JPH05299739A - 発光素子の保護回路 - Google Patents
発光素子の保護回路Info
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- JPH05299739A JPH05299739A JP12992492A JP12992492A JPH05299739A JP H05299739 A JPH05299739 A JP H05299739A JP 12992492 A JP12992492 A JP 12992492A JP 12992492 A JP12992492 A JP 12992492A JP H05299739 A JPH05299739 A JP H05299739A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザダイオードＬＤへの過電流を自動的に
阻止し、破壊防止を可能とする。 【構成】 レーザダイオードＬＤへの給電ライン１５中
にレーザ電流モニタ抵抗Ｒ１を挿入する。レーザ電流モ
ニタ抵抗Ｒ１の端子間に、このレーザ電流モニタ抵抗Ｒ
１に流れる電流がレーザダイオードＬＤの標準電流値と
最大電流値との間に定めた規定値を越えたときＯＮする
ようにフォトカプラ１８のＬＥＤ１９を接続する。これ
により、フォトカプラ１８のフォトトランジスタ２０で
レーザダイオードＬＤの出力電流を制限することができ
る。
阻止し、破壊防止を可能とする。 【構成】 レーザダイオードＬＤへの給電ライン１５中
にレーザ電流モニタ抵抗Ｒ１を挿入する。レーザ電流モ
ニタ抵抗Ｒ１の端子間に、このレーザ電流モニタ抵抗Ｒ
１に流れる電流がレーザダイオードＬＤの標準電流値と
最大電流値との間に定めた規定値を越えたときＯＮする
ようにフォトカプラ１８のＬＥＤ１９を接続する。これ
により、フォトカプラ１８のフォトトランジスタ２０で
レーザダイオードＬＤの出力電流を制限することができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光検出器を構成する
発光素子の駆動回路、特にその発光素子の過大電流に対
する保護回路に関するものである。
発光素子の駆動回路、特にその発光素子の過大電流に対
する保護回路に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体ウエハ等の被処理体の処
理装置、例えば半導体ウエハの表面にレジスト液，現像
液等を供給する塗布／現像ステーションにおいては、そ
の搬入載置台とのインターフェースステーション内にピ
ンセットを有する中間受け渡し台，搬送機構及びバッフ
ァ用のキャリアと称するカセットを備える。そして、露
光されたウエハを搬入する場合には、搬送機構のピンセ
ットによりウエハを搬入載置台から中間受け渡し台を介
して塗布／現像ステーション側のメイン搬送アームに引
き渡すが、その際、中間受け渡し台上にウエハが載置さ
れているときには、搬送機構のピンセットによりウエハ
はバッファ用キャリア内に一時収納されるようになって
いる。
理装置、例えば半導体ウエハの表面にレジスト液，現像
液等を供給する塗布／現像ステーションにおいては、そ
の搬入載置台とのインターフェースステーション内にピ
ンセットを有する中間受け渡し台，搬送機構及びバッフ
ァ用のキャリアと称するカセットを備える。そして、露
光されたウエハを搬入する場合には、搬送機構のピンセ
ットによりウエハを搬入載置台から中間受け渡し台を介
して塗布／現像ステーション側のメイン搬送アームに引
き渡すが、その際、中間受け渡し台上にウエハが載置さ
れているときには、搬送機構のピンセットによりウエハ
はバッファ用キャリア内に一時収納されるようになって
いる。
【０００３】上記ピンセットによりキャリアに対してウ
エハを収納あるいは取り出す場合、カセット内に半導体
ウエハが存在するかどうかの有無検出が必要である。従
来、このカセット内のウエハの有無検出は、例えば搬送
機構に設けた左右一対のアーム先端に相対向して発光部
及び受光部を設けてウエハ有無検出器を構成し、これを
キャリア内のウエハの周縁部がその間に入る位置まで前
進させた後、キャリアの最上段から最下段のレベルまで
降下させることにより行っている。
エハを収納あるいは取り出す場合、カセット内に半導体
ウエハが存在するかどうかの有無検出が必要である。従
来、このカセット内のウエハの有無検出は、例えば搬送
機構に設けた左右一対のアーム先端に相対向して発光部
及び受光部を設けてウエハ有無検出器を構成し、これを
キャリア内のウエハの周縁部がその間に入る位置まで前
進させた後、キャリアの最上段から最下段のレベルまで
降下させることにより行っている。
【０００４】図５は、かかるウエハ有無検出器の発光部
に用いられる発光素子例えば半導体レーザ素子の駆動回
路であり、パッケージ内に半導体レーザダイオードＬＤ
及びモニタ用フォトダイオードＰＤを封入した半導体レ
ーザ素子１０を用い、これをケーブルライン１１及びコ
ネクタ１２を介して駆動回路と接続している。レーザダ
イオードＬＤ及びフォトダイオードＰＤはアースライン
１４を共有しており、＋５Ｖ電源を所定電圧に調整する
安定化ＩＣである電圧調整回路１３から半導体レーザＬ
Ｄへの給電ライン１５中には出力電流モニタ抵抗である
レーザ電流モニタ抵抗Ｒ１が直列に挿入され、また−５
Ｖ電源からフォトダイオードＰＤへの給電ライン１６中
には抵抗Ｒ１１及び可変抵抗器（光量調整ボリューム）
ＶＲ１が直列に挿入される。また、モニタ用フォトダイ
オードＰＤは電圧調整回路１３内部における誤差検出回
路と接続されている。
に用いられる発光素子例えば半導体レーザ素子の駆動回
路であり、パッケージ内に半導体レーザダイオードＬＤ
及びモニタ用フォトダイオードＰＤを封入した半導体レ
ーザ素子１０を用い、これをケーブルライン１１及びコ
ネクタ１２を介して駆動回路と接続している。レーザダ
イオードＬＤ及びフォトダイオードＰＤはアースライン
１４を共有しており、＋５Ｖ電源を所定電圧に調整する
安定化ＩＣである電圧調整回路１３から半導体レーザＬ
Ｄへの給電ライン１５中には出力電流モニタ抵抗である
レーザ電流モニタ抵抗Ｒ１が直列に挿入され、また−５
Ｖ電源からフォトダイオードＰＤへの給電ライン１６中
には抵抗Ｒ１１及び可変抵抗器（光量調整ボリューム）
ＶＲ１が直列に挿入される。また、モニタ用フォトダイ
オードＰＤは電圧調整回路１３内部における誤差検出回
路と接続されている。
【０００５】ここでレーザダイオードＬＤの電気的光学
特性は、小形汎用８４０ｎｍレーザである場合、例えば
動作電流の標準値が６０ｍＡ，最大値が８５ｍＡとする
ことができる。そこで、従来、上記半導体レーザ素子の
駆動回路の調整は、レーザダイオードＬＤへの供給電
流がレーザダイオードＬＤの最大定格値（８５ｍＡ）を
越えないよう、光量調整ボリュームＶＲ１を回して、レ
ーザ電流モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧を上記動作電流の標
準値〜最大値（６０ｍＡ〜が８５ｍＡ）のほぼ中央
（１．５５Ｖ）に合せ、相手方受光部を構成する受光
トランジスタ（図示せず）にレーザダイオードＬＤの光
軸を機械的に合せた後、その受光トランジスタの感度
に合わせて光量調整ボリュームＶＲ１を微調整する、と
いう調整を行っていた。
特性は、小形汎用８４０ｎｍレーザである場合、例えば
動作電流の標準値が６０ｍＡ，最大値が８５ｍＡとする
ことができる。そこで、従来、上記半導体レーザ素子の
駆動回路の調整は、レーザダイオードＬＤへの供給電
流がレーザダイオードＬＤの最大定格値（８５ｍＡ）を
越えないよう、光量調整ボリュームＶＲ１を回して、レ
ーザ電流モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧を上記動作電流の標
準値〜最大値（６０ｍＡ〜が８５ｍＡ）のほぼ中央
（１．５５Ｖ）に合せ、相手方受光部を構成する受光
トランジスタ（図示せず）にレーザダイオードＬＤの光
軸を機械的に合せた後、その受光トランジスタの感度
に合わせて光量調整ボリュームＶＲ１を微調整する、と
いう調整を行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の駆動回路では、(1) 電源投入時、発振安定化用
コンデンサＣ１のため、レーザダイオードＬＤの供給電
流が多くなる、(2) 光量調整ボリュームＶＲ１の回し過
ぎにより、レーザダイオードＬＤに過電流が流れる、
(3) モニタ用フォトダイオードＰＤのケーブルラインが
外れると過電流が流れる、(4) テスター等によりレーザ
ダイオードＬＤを電流測定した場合には、レーザダイオ
ードＬＤが静電破壊されることがある等の問題があっ
た。
た従来の駆動回路では、(1) 電源投入時、発振安定化用
コンデンサＣ１のため、レーザダイオードＬＤの供給電
流が多くなる、(2) 光量調整ボリュームＶＲ１の回し過
ぎにより、レーザダイオードＬＤに過電流が流れる、
(3) モニタ用フォトダイオードＰＤのケーブルラインが
外れると過電流が流れる、(4) テスター等によりレーザ
ダイオードＬＤを電流測定した場合には、レーザダイオ
ードＬＤが静電破壊されることがある等の問題があっ
た。
【０００７】この発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、レーザダイオードＬＤへの過電流を自動的に防止
し、調整ミス，接続ミスがあっても、レーザ素子を破壊
しない保護回路を提供しようとするものである。このレ
ーザダイオードの保護回路は、カセット内に半導体ウエ
ハが存在するかどうかの有無検出等に有用であるが、こ
れに限定されるものではない。
で、レーザダイオードＬＤへの過電流を自動的に防止
し、調整ミス，接続ミスがあっても、レーザ素子を破壊
しない保護回路を提供しようとするものである。このレ
ーザダイオードの保護回路は、カセット内に半導体ウエ
ハが存在するかどうかの有無検出等に有用であるが、こ
れに限定されるものではない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の発光素子の保護回路は、発光素子への給
電ライン中に電流モニタを挿入し、この電流モニタに流
れる電流が上記発光素子の標準電流値と最大電流値との
間に定めた規定値を越えたとき出力信号を発生する検出
手段と、この検出手段が上記出力信号を発生したとき発
光素子への電流を制限する電流調節手段とを設けた構成
のものである。
に、この発明の発光素子の保護回路は、発光素子への給
電ライン中に電流モニタを挿入し、この電流モニタに流
れる電流が上記発光素子の標準電流値と最大電流値との
間に定めた規定値を越えたとき出力信号を発生する検出
手段と、この検出手段が上記出力信号を発生したとき発
光素子への電流を制限する電流調節手段とを設けた構成
のものである。
【０００９】この発明において、上記検出手段は、上記
電流モニタに流れる電流が上記発光素子の標準電流値と
最大電流値との間に定めた規定値を越えたとき出力信号
を発生するものであれば、フォトカプラによるもの、或
いは、定電流回路によるもののいずれであってもよい。
電流モニタに流れる電流が上記発光素子の標準電流値と
最大電流値との間に定めた規定値を越えたとき出力信号
を発生するものであれば、フォトカプラによるもの、或
いは、定電流回路によるもののいずれであってもよい。
【００１０】
【作用】上記のように構成されるこの発明の発光素子の
保護回路によれば、モニタしている発光素子への電流が
規定値をオーバすると検出手段がＯＮし、これにより電
流調節手段が動作して電流値を制限する。この規定値
は、発光素子の標準電流値と最大電流値との間に定めて
あるため、発光素子に過大電流が流れることがない。従
って、発光素子の取り扱い不十分による発光素子の破損
事故が防止される。
保護回路によれば、モニタしている発光素子への電流が
規定値をオーバすると検出手段がＯＮし、これにより電
流調節手段が動作して電流値を制限する。この規定値
は、発光素子の標準電流値と最大電流値との間に定めて
あるため、発光素子に過大電流が流れることがない。従
って、発光素子の取り扱い不十分による発光素子の破損
事故が防止される。
【００１１】
【実施例】以下に、この発明の発光素子の保護回路の実
施例について図面を参照して詳細に説明する。
施例について図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】図１及び図２は、図５と同じくウエハ有無
検出器の発光部に用いられる半導体レーザ素子の駆動回
路であり、その構成も基本的には図５とほぼ同じであ
る。即ち、パッケージ内に発光素子例えば半導体レーザ
ダイオードＬＤ及びモニタ用フォトダイオードＰＤを封
入した半導体レーザ素子１０として、例えば小形汎用８
４０ｎｍレーザを用い、これをケーブルライン１１及び
コネクタ１２を介して駆動回路と接続している。
検出器の発光部に用いられる半導体レーザ素子の駆動回
路であり、その構成も基本的には図５とほぼ同じであ
る。即ち、パッケージ内に発光素子例えば半導体レーザ
ダイオードＬＤ及びモニタ用フォトダイオードＰＤを封
入した半導体レーザ素子１０として、例えば小形汎用８
４０ｎｍレーザを用い、これをケーブルライン１１及び
コネクタ１２を介して駆動回路と接続している。
【００１３】カセット内に半導体ウエハが存在するかど
うかの有無検出は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ピ
ンセット７を有する搬送機構６に設けた左右一対のアー
ム１，２の先端に相対向して発光部３及び受光部４を設
けてウエハ有無検出器を構成し、これをキャリア８内の
ウエハＷの周縁部がその光ビーム５間に入る位置まで前
進させた後、キャリア８の最上段から最下段のレベルま
で、矢印Ｂの上下方向に動かすことにより行っう。半導
体レーザ素子１０は、この発光部３として設けられる。
うかの有無検出は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ピ
ンセット７を有する搬送機構６に設けた左右一対のアー
ム１，２の先端に相対向して発光部３及び受光部４を設
けてウエハ有無検出器を構成し、これをキャリア８内の
ウエハＷの周縁部がその光ビーム５間に入る位置まで前
進させた後、キャリア８の最上段から最下段のレベルま
で、矢印Ｂの上下方向に動かすことにより行っう。半導
体レーザ素子１０は、この発光部３として設けられる。
【００１４】レーザダイオードＬＤ及びフォトダイオー
ドＰＤはアースライン１４を共有しており、＋５Ｖ電源
を所定電圧に調整する安定化ＩＣである電圧調整回路１
３から半導体レーザＬＤへの給電ライン１５中にはレー
ザ電流モニタ抵抗Ｒ１が直列に挿入され、また−５Ｖ電
源からフォトダイオードＰＤへの給電路１６中には抵抗
Ｒ１１及び光量調整ボリュームＶＲ１が直列に挿入され
る。また、モニタ用フォトダイオードＰＤのアノード
は、電圧調整回路１３内部で出力調節回路を構成してい
る演算増幅器３０の非反転入力端子に接続されており、
そのフォトダイオードＰＤでモニタされる電圧が、反転
入力端子と−５Ｖ電源ライン間に接続された基準電圧３
１と比較され、その差分が出力指示偏差として電圧調整
回路の機能に与えられるようになっている。例えば、モ
ニタ電圧が基準電圧３１よりも低い場合には、光量不足
の状態のため、電圧調整回路１３の出力電圧を上げて、
レーザダイオードＬＤへの供給電圧を増加させることに
より発光量を増加させる。モニタ電圧が基準電圧３１よ
りも高い場合は上記と逆の動作をする。
ドＰＤはアースライン１４を共有しており、＋５Ｖ電源
を所定電圧に調整する安定化ＩＣである電圧調整回路１
３から半導体レーザＬＤへの給電ライン１５中にはレー
ザ電流モニタ抵抗Ｒ１が直列に挿入され、また−５Ｖ電
源からフォトダイオードＰＤへの給電路１６中には抵抗
Ｒ１１及び光量調整ボリュームＶＲ１が直列に挿入され
る。また、モニタ用フォトダイオードＰＤのアノード
は、電圧調整回路１３内部で出力調節回路を構成してい
る演算増幅器３０の非反転入力端子に接続されており、
そのフォトダイオードＰＤでモニタされる電圧が、反転
入力端子と−５Ｖ電源ライン間に接続された基準電圧３
１と比較され、その差分が出力指示偏差として電圧調整
回路の機能に与えられるようになっている。例えば、モ
ニタ電圧が基準電圧３１よりも低い場合には、光量不足
の状態のため、電圧調整回路１３の出力電圧を上げて、
レーザダイオードＬＤへの供給電圧を増加させることに
より発光量を増加させる。モニタ電圧が基準電圧３１よ
りも高い場合は上記と逆の動作をする。
【００１５】図１及び図２の駆動回路が図５と大きく相
違する点は、レーザダイオードＬＤの保護回路１７を有
していることにある。この保護回路１７は赤外ＬＥＤ１
９とフォトトランジスタ２０から成るフォトカプラ１８
を用いて構成されており、その赤外ＬＥＤ１９はダイオ
ード２１を介して出力電流モニタ抵抗Ｒ１（以下にレー
ザ電流モニタ抵抗という）の端子間に並列に接続され、
またフォトトランジスタ２０は、そのエミッタが給電路
１６のラインに、コレクタがアースライン１４に接続さ
れて、フォトダイオードＰＤに並列に接続されている。
違する点は、レーザダイオードＬＤの保護回路１７を有
していることにある。この保護回路１７は赤外ＬＥＤ１
９とフォトトランジスタ２０から成るフォトカプラ１８
を用いて構成されており、その赤外ＬＥＤ１９はダイオ
ード２１を介して出力電流モニタ抵抗Ｒ１（以下にレー
ザ電流モニタ抵抗という）の端子間に並列に接続され、
またフォトトランジスタ２０は、そのエミッタが給電路
１６のラインに、コレクタがアースライン１４に接続さ
れて、フォトダイオードＰＤに並列に接続されている。
【００１６】半導体レーザ素子１０におけるレーザダイ
オードＬＤの電気的光学特性は、例えば動作電流の標準
値が６０ｍＡ，最大値が８５ｍＡであり、この６０〜８
５ｍＡの電流値に対してレーザ電流モニタ抵抗Ｒ１はＲ
１＝２２Ωとしてある。従って、レーザ電流モニタ抵抗
Ｒ１の端子電圧ＶＦは、約１．３Ｖ〜１．９Ｖを示すこ
とになる。一方、互いに直列に接続された赤外ＬＥＤ１
９及びダイオード２１のうち、赤外ＬＥＤ１９の有する
固有の順方向電圧は例えば１．０Ｖ、ダイオード２１が
有する固有の順方向電圧は０．６Ｖであり、両者の和は
１．６Ｖである。よって赤外ＬＥＤ１９は、レーザ電流
モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧ＶＦがこの１．６Ｖ以上にな
ったときＯＮし、点灯する。つまり、この赤外ＬＥＤ１
９及びダイオード２１の直列回路が持つ順方向電圧１．
６Ｖが保護回路１７の動作点を定める電流の規定値を定
める。この動作点は、レーザダイオードＬＤの動作電流
の標準値〜最大値（６０ｍＡ〜８５ｍＡ）に対応するレ
ーザ電流モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧ＶＦの範囲（１．３
Ｖ〜１．９Ｖ）のほぼ中央に定めたことに相当する。
オードＬＤの電気的光学特性は、例えば動作電流の標準
値が６０ｍＡ，最大値が８５ｍＡであり、この６０〜８
５ｍＡの電流値に対してレーザ電流モニタ抵抗Ｒ１はＲ
１＝２２Ωとしてある。従って、レーザ電流モニタ抵抗
Ｒ１の端子電圧ＶＦは、約１．３Ｖ〜１．９Ｖを示すこ
とになる。一方、互いに直列に接続された赤外ＬＥＤ１
９及びダイオード２１のうち、赤外ＬＥＤ１９の有する
固有の順方向電圧は例えば１．０Ｖ、ダイオード２１が
有する固有の順方向電圧は０．６Ｖであり、両者の和は
１．６Ｖである。よって赤外ＬＥＤ１９は、レーザ電流
モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧ＶＦがこの１．６Ｖ以上にな
ったときＯＮし、点灯する。つまり、この赤外ＬＥＤ１
９及びダイオード２１の直列回路が持つ順方向電圧１．
６Ｖが保護回路１７の動作点を定める電流の規定値を定
める。この動作点は、レーザダイオードＬＤの動作電流
の標準値〜最大値（６０ｍＡ〜８５ｍＡ）に対応するレ
ーザ電流モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧ＶＦの範囲（１．３
Ｖ〜１．９Ｖ）のほぼ中央に定めたことに相当する。
【００１７】次に、保護回路１７の動作について説明す
る。
る。
【００１８】フォトカプラ１８は、上記ダイオード２１
及び赤外ＬＥＤ１９による順方向電圧１．６Ｖを基準と
して、レーザダイオードＬＤへの出力電流がこれより大
きいか否かを常時モニタしている。レーザダイオードＬ
Ｄに流れる電流が、その規定値である７２ｍＡ（１．６
Ｖ）をオーバすると、赤外ＬＥＤ１９がＯＮとなり、出
力信号として発光する。このため、フォトトランジスタ
２０が発生した発光を受光して導通し、ライン１４，１
６間の電流が増大して、電圧調整回路１３の演算増幅器
３０からの検出量が多くなり、ライン１５に流れる電流
が制限され、レーザダイオードＬＤへの過電流を防止す
ることができる。
及び赤外ＬＥＤ１９による順方向電圧１．６Ｖを基準と
して、レーザダイオードＬＤへの出力電流がこれより大
きいか否かを常時モニタしている。レーザダイオードＬ
Ｄに流れる電流が、その規定値である７２ｍＡ（１．６
Ｖ）をオーバすると、赤外ＬＥＤ１９がＯＮとなり、出
力信号として発光する。このため、フォトトランジスタ
２０が発生した発光を受光して導通し、ライン１４，１
６間の電流が増大して、電圧調整回路１３の演算増幅器
３０からの検出量が多くなり、ライン１５に流れる電流
が制限され、レーザダイオードＬＤへの過電流を防止す
ることができる。
【００１９】要するに、上記フォトカプラ１８は、レー
ザ電流モニタ抵抗Ｒ１に流れる電流がレーザダイオード
ＬＤの標準電流値と最大電流値との間に定めた規定値を
越えたとき出力信号を発生する検出手段として機能し、
また演算増幅器３０は、この検出手段が出力信号を発生
したときレーザダイオードＬＤへの出力電流を制限する
電流調節手段として機能する。
ザ電流モニタ抵抗Ｒ１に流れる電流がレーザダイオード
ＬＤの標準電流値と最大電流値との間に定めた規定値を
越えたとき出力信号を発生する検出手段として機能し、
また演算増幅器３０は、この検出手段が出力信号を発生
したときレーザダイオードＬＤへの出力電流を制限する
電流調節手段として機能する。
【００２０】従って、(1) 電源投入時も保護回路１７が
動作するので、レーザダイオードＬＤへの過電流を防止
することができ、(2) 調整ミスにより光量調整ボリュー
ムＶＲ１を回し過ぎても、レーザダイオードＬＤへの電
流を制限することができ、(3) 配線ミスにより、モニタ
ライン１６のケーブルが接続されてないときも、レーザ
ダイオードＬＤへの電流を制限することができ、(4) レ
ーザダイオードＬＤへの供給電流が最大定格値を越えな
いよう、光量調整ボリュームＶＲ１を回して、レーザ電
流モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧を許容可変範囲のほぼ中央
に合せる調整が要しなくなるため、テスター等の使用が
不要となり、レーザダイオードＬＤの静電破壊がなくな
る。
動作するので、レーザダイオードＬＤへの過電流を防止
することができ、(2) 調整ミスにより光量調整ボリュー
ムＶＲ１を回し過ぎても、レーザダイオードＬＤへの電
流を制限することができ、(3) 配線ミスにより、モニタ
ライン１６のケーブルが接続されてないときも、レーザ
ダイオードＬＤへの電流を制限することができ、(4) レ
ーザダイオードＬＤへの供給電流が最大定格値を越えな
いよう、光量調整ボリュームＶＲ１を回して、レーザ電
流モニタ抵抗Ｒ１の端子電圧を許容可変範囲のほぼ中央
に合せる調整が要しなくなるため、テスター等の使用が
不要となり、レーザダイオードＬＤの静電破壊がなくな
る。
【００２１】上記実施例では、フォトカプラ１８を用い
た保護回路１７を接続し、この保護回路１７の後段に発
振安定化用コンデンサＣ１を接続する構成としたが、必
ずしもこのような構成とする必要はなく、図４に示すよ
うに、トランジスタ４１，４２と抵抗４３〜４５とで形
成される定電流回路４０により保護回路を形成すること
もできる。この定電流回路４０によれば、給電ライン１
５に電流が流れると、トランジスタ４１がＯＮし、抵抗
４４，トランジスタ４１，抵抗４３の回路が形成され
て、レーザダイオードＬＤが発光する。また、給電ライ
ン１５に過剰電流が流れると、抵抗４３の両端電位差が
増大してトランジスタ４２がＯＮし、抵抗４４，４５，
トランジスタ４２の回路が形成され、トランジスタ４１
はＯＦＦ状態になる。従って、給電ライン１５に流れる
電流が制限され、レーザダイオードＬＤへの過剰電流を
防止することができる。
た保護回路１７を接続し、この保護回路１７の後段に発
振安定化用コンデンサＣ１を接続する構成としたが、必
ずしもこのような構成とする必要はなく、図４に示すよ
うに、トランジスタ４１，４２と抵抗４３〜４５とで形
成される定電流回路４０により保護回路を形成すること
もできる。この定電流回路４０によれば、給電ライン１
５に電流が流れると、トランジスタ４１がＯＮし、抵抗
４４，トランジスタ４１，抵抗４３の回路が形成され
て、レーザダイオードＬＤが発光する。また、給電ライ
ン１５に過剰電流が流れると、抵抗４３の両端電位差が
増大してトランジスタ４２がＯＮし、抵抗４４，４５，
トランジスタ４２の回路が形成され、トランジスタ４１
はＯＦＦ状態になる。従って、給電ライン１５に流れる
電流が制限され、レーザダイオードＬＤへの過剰電流を
防止することができる。
【００２２】上記のように構成される定電流回路４０に
おいて、抵抗４４，４５，トランジスタ４１，抵抗４３
により形成される回路は、検出手段として機能し、また
抵抗４４，４５，トランジスタ４２により形成される回
路は、検出手段がＯＮしたときレーザダイオードＬＤの
出力電流を制限する電流調節手段として機能する。
おいて、抵抗４４，４５，トランジスタ４１，抵抗４３
により形成される回路は、検出手段として機能し、また
抵抗４４，４５，トランジスタ４２により形成される回
路は、検出手段がＯＮしたときレーザダイオードＬＤの
出力電流を制限する電流調節手段として機能する。
【００２３】なお、第二実施例において、上記第一実施
例と同様に、発振安定化用コンデンサＣ１を設ける場合
には、図４中に想像線で示すように、コンデンサＣ２を
定電流回路４０の電源側に接続することもできる。
例と同様に、発振安定化用コンデンサＣ１を設ける場合
には、図４中に想像線で示すように、コンデンサＣ２を
定電流回路４０の電源側に接続することもできる。
【００２４】また、上記実施例は、クリーントラックに
おいてウエハ有無検出器を構成する場合について説明し
たが、ウエハの所定位置からの飛び出し検出や、ウエハ
の受け渡し確認等に適用できることは勿論、他の用途に
おけるレーザダイオードを使用するもの全般にわたり適
用できるものである。更に、発光素子としては、レーザ
ダイオードに限らず、ＬＥＤ，ランプ球等を適用するこ
とも可能である。
おいてウエハ有無検出器を構成する場合について説明し
たが、ウエハの所定位置からの飛び出し検出や、ウエハ
の受け渡し確認等に適用できることは勿論、他の用途に
おけるレーザダイオードを使用するもの全般にわたり適
用できるものである。更に、発光素子としては、レーザ
ダイオードに限らず、ＬＥＤ，ランプ球等を適用するこ
とも可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明の保護
回路によれば、上記のように構成されているので、以下
のような優れた効果が得られる。
回路によれば、上記のように構成されているので、以下
のような優れた効果が得られる。
【００２６】１）電源投入時もこの発明の保護回路が動
作するので、発光素子への過電流を防止することができ
る。
作するので、発光素子への過電流を防止することができ
る。
【００２７】２）調整ミスにより光量調整ボリュームを
回し過ぎても、発光素子への電流を制限することができ
る。
回し過ぎても、発光素子への電流を制限することができ
る。
【００２８】３）配線ミスにより、モニタラインのケー
ブルが接続されてないときも、発光素子への電流を制限
できる。
ブルが接続されてないときも、発光素子への電流を制限
できる。
【００２９】４）光量調整ボリュームを回して電流モニ
タ抵抗の端子電圧を許容可変範囲の中央に合せる調整が
要しなくなるため、テスター等の使用が不要となり、発
光素子の静電破壊がなくなる。
タ抵抗の端子電圧を許容可変範囲の中央に合せる調整が
要しなくなるため、テスター等の使用が不要となり、発
光素子の静電破壊がなくなる。
【図１】この発明の第一実施例の保護回路を示す図であ
る。
る。
【図２】図１の保護回路の詳細を示した図である。
【図３】この発明の一実施例のウエハ有無検出器の構成
図である。
図である。
【図４】この発明の第二実施例の保護回路を示す図であ
る。
る。
【図５】従来の半導体レーザ素子の駆動回路を示す図で
ある。
ある。
ＬＤ 半導体レーザダイオード ＰＤ モニタ用フォトダイオード Ｒ１ レーザ電流モニタ抵抗（出力電流モニタ抵抗） １０ 半導体レーザ素子 １７ 保護回路 １８ フォトカプラ（検出手段） １９ 赤外ＬＥＤ ２０ フォトトランジスタ ２１ ダイオード ３０ 演算増幅器（電流調節手段） ４０ 定電流回路 ４１，４２ トランジスタ ４３〜４５ 抵抗
Claims (1)
- 【請求項１】 発光素子への給電ライン中に電流モニタ
を挿入し、この電流モニタに流れる電流が上記発光素子
の標準電流値と最大電流値との間に定めた規定値を越え
たとき出力信号を発生する検出手段と、この検出手段が
上記出力信号を発生したとき発光素子への電流を制限す
る電流調節手段とを設けたことを特徴とする発光素子の
保護回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12992492A JPH05299739A (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | 発光素子の保護回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12992492A JPH05299739A (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | 発光素子の保護回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299739A true JPH05299739A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=15021780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12992492A Withdrawn JPH05299739A (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | 発光素子の保護回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299739A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004200213A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Sony Corp | 半導体レーザの保護回路及びこれを備えた半導体レーザの測定装置 |
| JP2007073841A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Sony Corp | 駆動回路 |
| WO2011136495A3 (ko) * | 2010-04-26 | 2011-12-29 | (주)파워에이앤디 | Ｌｅｄ 램프 조도제어용 보호회로 |
| KR101222994B1 (ko) * | 2008-05-10 | 2013-01-17 | 심현섭 | 교류전원을 이용한 엘이디 조명모듈 |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP12992492A patent/JPH05299739A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004200213A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Sony Corp | 半導体レーザの保護回路及びこれを備えた半導体レーザの測定装置 |
| JP2007073841A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Sony Corp | 駆動回路 |
| KR101222994B1 (ko) * | 2008-05-10 | 2013-01-17 | 심현섭 | 교류전원을 이용한 엘이디 조명모듈 |
| WO2011136495A3 (ko) * | 2010-04-26 | 2011-12-29 | (주)파워에이앤디 | Ｌｅｄ 램프 조도제어용 보호회로 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |