JPH05299703A - 同軸型熱電対 - Google Patents
同軸型熱電対Info
- Publication number
- JPH05299703A JPH05299703A JP4096868A JP9686892A JPH05299703A JP H05299703 A JPH05299703 A JP H05299703A JP 4096868 A JP4096868 A JP 4096868A JP 9686892 A JP9686892 A JP 9686892A JP H05299703 A JPH05299703 A JP H05299703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- metal
- thermocouple
- insulating film
- metal thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
- H10N10/17—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】極細で長尺であるうえ、起電力のばらつきのな
い熱電対を得る。 【構成】合金である金属線１１の外周面上に第一の絶縁
膜１２、金属薄膜１３、第二の絶縁膜１４を順次積層し
てから金属線と金属薄膜を一端において熱溶接し次いで
第三の絶縁膜１５で被覆した構成とする。
い熱電対を得る。 【構成】合金である金属線１１の外周面上に第一の絶縁
膜１２、金属薄膜１３、第二の絶縁膜１４を順次積層し
てから金属線と金属薄膜を一端において熱溶接し次いで
第三の絶縁膜１５で被覆した構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は極細の熱電対に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の熱電対を示す平面図であ
る。ガラス繊維やアルミナ管からなる絶縁管３１によ絶
縁された２種類の金属線３２と３３から構成されてい
る。金属３２は例えば銅、金属３３としては例えばコン
スタンタンが用いられる。図４は従来の異なる熱電対を
示す平面図である。アルミナ等の絶縁基板３４の上に異
なる金属薄膜３５と３６が蒸着法で形成される。
る。ガラス繊維やアルミナ管からなる絶縁管３１によ絶
縁された２種類の金属線３２と３３から構成されてい
る。金属３２は例えば銅、金属３３としては例えばコン
スタンタンが用いられる。図４は従来の異なる熱電対を
示す平面図である。アルミナ等の絶縁基板３４の上に異
なる金属薄膜３５と３６が蒸着法で形成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の熱
電対においては絶縁管を使用しなければならないために
その直径が太くなり、屈曲した微小な隙間に熱電対を挿
入して温度を計測することは困難である。とくに絶縁体
にアルミナ管を用いる場合は微小物体の温度測定は不適
当である。また金属線の直径が０．５ｍｍ以下の場合は
アルミナ管への挿入は困難である。手作業では金属線を
ねじ曲げることが多いがこのために熱電対が切断し易
い。
電対においては絶縁管を使用しなければならないために
その直径が太くなり、屈曲した微小な隙間に熱電対を挿
入して温度を計測することは困難である。とくに絶縁体
にアルミナ管を用いる場合は微小物体の温度測定は不適
当である。また金属線の直径が０．５ｍｍ以下の場合は
アルミナ管への挿入は困難である。手作業では金属線を
ねじ曲げることが多いがこのために熱電対が切断し易
い。
【０００４】また従来の異なる熱電対においては金属薄
膜を蒸着法で形成するために組成比にばらつきを生じて
特性が不均一であり、また蒸着膜の幅が１ｍｍ以下のも
のや長さが１ｍ以上に長い熱電対を製造することは困難
であった。この発明は上述の点に鑑みてなされ、その目
的は熱電対の構造に改良を加えることにより極細で長尺
の熱電対を提供することにある。
膜を蒸着法で形成するために組成比にばらつきを生じて
特性が不均一であり、また蒸着膜の幅が１ｍｍ以下のも
のや長さが１ｍ以上に長い熱電対を製造することは困難
であった。この発明は上述の点に鑑みてなされ、その目
的は熱電対の構造に改良を加えることにより極細で長尺
の熱電対を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的はこの発明に
よれば、金属線と、その外周面に順次積層された第一の
絶縁膜と、金属薄膜と、第二の絶縁膜とを有し、金属線
は合金からなり、一端において第一の絶縁膜を介して金
属薄膜と電気的に接続され、第一の絶縁膜は金属線と金
属薄膜を絶縁し、金属薄膜は単一の金属元素からなり、
第二の絶縁膜は金属薄膜を絶縁するものであるとするこ
とにより達成される。
よれば、金属線と、その外周面に順次積層された第一の
絶縁膜と、金属薄膜と、第二の絶縁膜とを有し、金属線
は合金からなり、一端において第一の絶縁膜を介して金
属薄膜と電気的に接続され、第一の絶縁膜は金属線と金
属薄膜を絶縁し、金属薄膜は単一の金属元素からなり、
第二の絶縁膜は金属薄膜を絶縁するものであるとするこ
とにより達成される。
【０００６】
【作用】金属線の周りに薄膜を積層した構造であるので
極細で長尺の熱電対が形成される。金属線は合金とし、
金属薄膜は単一の金属元素から構成するので熱電対に使
用する金属の組成比が変動することがない。
極細で長尺の熱電対が形成される。金属線は合金とし、
金属薄膜は単一の金属元素から構成するので熱電対に使
用する金属の組成比が変動することがない。
【０００７】
【実施例】次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１はこの発明の実施例に係る熱電対を示す要部
切断斜視図である。図２はこの発明の実施例に係る熱電
対を示す要部断面図である。直径０．５ｍｍのコンスタ
ンタンからなる金属線１１の外周面に１μｍ厚のシリカ
からなる第一の絶縁膜１２を形成し、次いでこの絶縁膜
の外周面に銅からなる金属薄膜１３を蒸着法で１μｍ厚
さに形成する。金属薄膜１３の外周面にはさらにシリカ
からなる第二の絶縁膜１４がスパッタリング法で形成さ
れる。
する。図１はこの発明の実施例に係る熱電対を示す要部
切断斜視図である。図２はこの発明の実施例に係る熱電
対を示す要部断面図である。直径０．５ｍｍのコンスタ
ンタンからなる金属線１１の外周面に１μｍ厚のシリカ
からなる第一の絶縁膜１２を形成し、次いでこの絶縁膜
の外周面に銅からなる金属薄膜１３を蒸着法で１μｍ厚
さに形成する。金属薄膜１３の外周面にはさらにシリカ
からなる第二の絶縁膜１４がスパッタリング法で形成さ
れる。
【０００８】このようにして得られた積層体の一端が酸
水素炎で加熱され金属線１１と金属薄膜１３とが溶接さ
れる。最後に金属線と金属薄膜の溶接された一端に第三
の絶縁膜１５がスパッタリング法で形成される。熱電対
の他端は金属線１１と金属薄膜１３とが電圧計に接続さ
れる。熱電対の一端１５は測温部に配置される。他端は
例えば０℃の一定温度に維持される。この時金属線と金
属薄膜の間に発生する起電力が電圧計により測定され
る。
水素炎で加熱され金属線１１と金属薄膜１３とが溶接さ
れる。最後に金属線と金属薄膜の溶接された一端に第三
の絶縁膜１５がスパッタリング法で形成される。熱電対
の他端は金属線１１と金属薄膜１３とが電圧計に接続さ
れる。熱電対の一端１５は測温部に配置される。他端は
例えば０℃の一定温度に維持される。この時金属線と金
属薄膜の間に発生する起電力が電圧計により測定され
る。
【０００９】金属線１１はコンスタンタンの他、白金−
白金ロジウムなども用いることができる。また金属薄膜
としては銅のほか白金，鉄，等も用いることができる。
金属薄膜１３は単一の金属元素から構成されるので蒸着
に際し、組成の変動が生じることがなく、起電力のばら
つきのない熱電対が得られる。第一および第二の絶縁
膜、金属薄膜の蒸着に際しては試料は回転される。
白金ロジウムなども用いることができる。また金属薄膜
としては銅のほか白金，鉄，等も用いることができる。
金属薄膜１３は単一の金属元素から構成されるので蒸着
に際し、組成の変動が生じることがなく、起電力のばら
つきのない熱電対が得られる。第一および第二の絶縁
膜、金属薄膜の蒸着に際しては試料は回転される。
【００１０】このようにして極細で長尺の熱電対が得ら
れるので自由に屈曲させることができる上、狭隘な部分
の測定も可能となる。また得られた熱電対は熱容量が小
さく、応答速度が速いという長所もある。
れるので自由に屈曲させることができる上、狭隘な部分
の測定も可能となる。また得られた熱電対は熱容量が小
さく、応答速度が速いという長所もある。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば金属線と、その周囲に
順次積層された第一の絶縁膜と、金属薄膜と、第二の絶
縁膜とを有し、金属線は合金からなり、一端において第
一の絶縁膜を介して金属薄膜と電気的に接続され、第一
の絶縁膜は金属線と金属薄膜を絶縁し、金属薄膜は単一
の金属元素からなり、第二の絶縁膜は金属薄膜を絶縁す
るものであるので、金属線の周りに薄膜を積層した構造
となり極細で長尺の熱電対が形成される。また金属線は
合金とし、金属薄膜は単一の金属元素から構成するので
熱電対に使用する金属の組成比が変動することがなく起
電力のばらつきのない熱電対が得られる。
順次積層された第一の絶縁膜と、金属薄膜と、第二の絶
縁膜とを有し、金属線は合金からなり、一端において第
一の絶縁膜を介して金属薄膜と電気的に接続され、第一
の絶縁膜は金属線と金属薄膜を絶縁し、金属薄膜は単一
の金属元素からなり、第二の絶縁膜は金属薄膜を絶縁す
るものであるので、金属線の周りに薄膜を積層した構造
となり極細で長尺の熱電対が形成される。また金属線は
合金とし、金属薄膜は単一の金属元素から構成するので
熱電対に使用する金属の組成比が変動することがなく起
電力のばらつきのない熱電対が得られる。
【図１】この発明の実施例に係る熱電対を示す要部切断
斜視図
斜視図
【図２】この発明の実施例に係る熱電対を示す要部断面
図
図
【図３】従来の熱電対を示す平面図
【図４】従来の異なる熱電対を示す平面図
１１ 金属線 １２ 第一の絶縁膜 １３ 金属薄膜 １４ 第二の絶縁膜 １５ 第三の絶縁膜 ３１ 絶縁管 ３２ 金属線 ３３ 金属線 ３４ 絶縁基板 ３５ 金属薄膜 ３６ 金属薄膜
Claims (4)
- 【請求項１】金属線と、その外周面に順次積層された第
一の絶縁膜と、金属薄膜と、第二の絶縁膜とを有し、 金属線は合金からなり、一端において第一の絶縁膜を介
して金属薄膜と電気的に接続され、 第一の絶縁膜は金属線と金属薄膜を絶縁し、 金属薄膜は単一の金属元素からなり、 第二の絶縁膜は金属薄膜を絶縁するものであることを特
徴とする同軸型熱電対。 - 【請求項２】請求項１記載の熱電対において、金属線は
コンスタンタンであることを特徴とする同軸型熱電対。 - 【請求項３】請求項１記載の熱電対において、金属薄膜
は銅であることを特徴とする同軸型熱電対。 - 【請求項４】請求項１記載の熱電対において、第一およ
び第二の絶縁膜はシリカからなることを特徴とする同軸
型熱電対。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4096868A JPH05299703A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 同軸型熱電対 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4096868A JPH05299703A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 同軸型熱電対 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299703A true JPH05299703A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14176420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4096868A Pending JPH05299703A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 同軸型熱電対 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299703A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001135715A (ja) * | 1999-08-24 | 2001-05-18 | Ibiden Co Ltd | 測温素子および半導体製造装置用セラミック基材 |
| CN106166059A (zh) * | 2015-05-18 | 2016-11-30 | 韦伯斯特生物官能(以色列)有限公司 | 具有共轴热电偶的导管 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP4096868A patent/JPH05299703A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001135715A (ja) * | 1999-08-24 | 2001-05-18 | Ibiden Co Ltd | 測温素子および半導体製造装置用セラミック基材 |
| CN106166059A (zh) * | 2015-05-18 | 2016-11-30 | 韦伯斯特生物官能(以色列)有限公司 | 具有共轴热电偶的导管 |
| JP2016214861A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | バイオセンス・ウエブスター・(イスラエル)・リミテッドBiosense Webster (Israel), Ltd. | 同軸熱電対を備えたカテーテル |
| US10918437B2 (en) | 2015-05-18 | 2021-02-16 | Biosense Webster (Israel) Ltd. | Catheter with coaxial thermocouple |
| EP3777744A1 (en) * | 2015-05-18 | 2021-02-17 | Biosense Webster (Israel) Ltd | Catheter with coaxial thermocouple |
| JP2021100662A (ja) * | 2015-05-18 | 2021-07-08 | バイオセンス・ウエブスター・（イスラエル）・リミテッドＢｉｏｓｅｎｓｅ Ｗｅｂｓｔｅｒ （Ｉｓｒａｅｌ）， Ｌｔｄ． | 同軸熱電対を備えたカテーテル |
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