JPH05294788A - 分子線セル保管容器及びその保管方法 - Google Patents
分子線セル保管容器及びその保管方法Info
- Publication number
- JPH05294788A JPH05294788A JP11832192A JP11832192A JPH05294788A JP H05294788 A JPH05294788 A JP H05294788A JP 11832192 A JP11832192 A JP 11832192A JP 11832192 A JP11832192 A JP 11832192A JP H05294788 A JPH05294788 A JP H05294788A
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- JP
- Japan
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- molecular beam
- beam cell
- cell
- vessel
- container
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- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 分子線セルの本体部を含む主要部を、クリー
ンな状態で保管し、しかもその保管状態が、容器の外部
から目視できる分子線セル保管容器および分子線セル保
管方法を提供すること。 【構成】 分子線セル１の本体部１１を含む主要部１６
を、胴部３が透明な容器２内に収納する。この容器２に
は、その内部が真空引きできるよう連通孔６を介してバ
ルブ８を連結している。そして、容器２内を真空状態ま
たは窒素ガスを加圧状態にして、分子線セル１を保管す
る。
ンな状態で保管し、しかもその保管状態が、容器の外部
から目視できる分子線セル保管容器および分子線セル保
管方法を提供すること。 【構成】 分子線セル１の本体部１１を含む主要部１６
を、胴部３が透明な容器２内に収納する。この容器２に
は、その内部が真空引きできるよう連通孔６を介してバ
ルブ８を連結している。そして、容器２内を真空状態ま
たは窒素ガスを加圧状態にして、分子線セル１を保管す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば化合物半導体
を製造する分子線エピタキシー装置に用いられる分子線
セル（クヌードセンセル）の保管容器およびその保管方
法に関する。
を製造する分子線エピタキシー装置に用いられる分子線
セル（クヌードセンセル）の保管容器およびその保管方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の分子線セルの保管状態の
一例を示す概略断面図である。分子線セル１は、蒸発材
料を収容するルツボ、このルツボを加熱する加熱用ヒー
ター、反射板などからなる本体部１１と、ヒーター用リ
ード線１２と、熱電対１３などを、モリブデンなどから
なるサポート１４によりフランジ１５に支持して主要部
１６を形成している。そして、この主要部１６をステン
レス製の容器２０内に収納し、前記分子線セル１のフラ
ンジ１５と、容器２０のフランジ２１とをボルト、ナッ
トなどの締結部材によって締結している。
一例を示す概略断面図である。分子線セル１は、蒸発材
料を収容するルツボ、このルツボを加熱する加熱用ヒー
ター、反射板などからなる本体部１１と、ヒーター用リ
ード線１２と、熱電対１３などを、モリブデンなどから
なるサポート１４によりフランジ１５に支持して主要部
１６を形成している。そして、この主要部１６をステン
レス製の容器２０内に収納し、前記分子線セル１のフラ
ンジ１５と、容器２０のフランジ２１とをボルト、ナッ
トなどの締結部材によって締結している。
【０００３】
【発明が解決しょうとする課題】ところで、上記のよう
な分子線エピタキシー装置は、超高真空状態において分
子線セル１から結晶成長のための蒸発材料を加熱して分
子線を発生し、例えば基板上に化合物半導体を形成して
いる。したがって、前記分子線セル１の保管は、クリー
ンな状態に維持されていること、および分子線セル１の
本体部１１を含む主要部１６、例えば本体部１１の加熱
用ヒーターとヒーター用リード線１２との接続部分のネ
ジなどが緩んでいないか、あるいはルツボや加熱用ヒー
ターなどの状態が正常であるか否かを使用前や運搬後等
に目視できることが望まれている。
な分子線エピタキシー装置は、超高真空状態において分
子線セル１から結晶成長のための蒸発材料を加熱して分
子線を発生し、例えば基板上に化合物半導体を形成して
いる。したがって、前記分子線セル１の保管は、クリー
ンな状態に維持されていること、および分子線セル１の
本体部１１を含む主要部１６、例えば本体部１１の加熱
用ヒーターとヒーター用リード線１２との接続部分のネ
ジなどが緩んでいないか、あるいはルツボや加熱用ヒー
ターなどの状態が正常であるか否かを使用前や運搬後等
に目視できることが望まれている。
【０００４】ところが、前記容器２０は、ステンレス製
であり、その内部の状態を目視することができないと共
に、その内部雰囲気についても、特別に考慮されていな
かった。したがって、分子線エピタキシー装置を運転す
る際には、予め容器２０内から分子線セル１の本体部１
１を含む主要部１６を取出し、その都度保守点検をする
必要があり、その作業がきわめて煩雑である外、その準
備に手間がかかるといった不都合があった。
であり、その内部の状態を目視することができないと共
に、その内部雰囲気についても、特別に考慮されていな
かった。したがって、分子線エピタキシー装置を運転す
る際には、予め容器２０内から分子線セル１の本体部１
１を含む主要部１６を取出し、その都度保守点検をする
必要があり、その作業がきわめて煩雑である外、その準
備に手間がかかるといった不都合があった。
【０００５】そこでこの発明は、分子線セルの本体部を
含む主要部を、クリーンな状態で保管し、しかもその保
管状態が、容器の外部から目視できる分子線セル保管容
器および分子線セル保管方法を提供することを主たる目
的とする。
含む主要部を、クリーンな状態で保管し、しかもその保
管状態が、容器の外部から目視できる分子線セル保管容
器および分子線セル保管方法を提供することを主たる目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明はの分子線セル保管容器は、透明な胴部
と、この胴部の開口側に設けられていて、分子線セルの
フランジ部と締結されるフランジ部と、前記胴部にその
内部に連通する連通孔を介して連結されたバルブとから
なることを特徴とする。
め、この発明はの分子線セル保管容器は、透明な胴部
と、この胴部の開口側に設けられていて、分子線セルの
フランジ部と締結されるフランジ部と、前記胴部にその
内部に連通する連通孔を介して連結されたバルブとから
なることを特徴とする。
【０００７】また、この発明の分子線セル保管方法は、
胴部が透明な保管容器内に分子線セルの本体部を含む主
要部を収納密閉し、その後前記保管容器内を真空引き
し、この真空状態で保管することを特徴とする。
胴部が透明な保管容器内に分子線セルの本体部を含む主
要部を収納密閉し、その後前記保管容器内を真空引き
し、この真空状態で保管することを特徴とする。
【０００８】また、この発明の他の分子線セル保管方法
は、胴部が透明な保管容器内に分子線セルの本体部を含
む主要部を収納密閉し、その後前記保管容器内を真空引
きし、続いて窒素ガスを加圧状態に封入して保管するこ
とを特徴とする。
は、胴部が透明な保管容器内に分子線セルの本体部を含
む主要部を収納密閉し、その後前記保管容器内を真空引
きし、続いて窒素ガスを加圧状態に封入して保管するこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、分子線セルの本体部を含む
主要部が、容器外部から目視でき、事前に分子線セルの
保管状態が把握できる。
主要部が、容器外部から目視でき、事前に分子線セルの
保管状態が把握できる。
【００１０】また、分子線セルがクリーンな真空状態で
保管できるので、分子線エピタキシー装置の運転前に分
子線セルの保守点検が省略できる外、準備時間の短縮が
可能となる。したがって、作業効率を向上させることが
できる。
保管できるので、分子線エピタキシー装置の運転前に分
子線セルの保守点検が省略できる外、準備時間の短縮が
可能となる。したがって、作業効率を向上させることが
できる。
【００１１】また、分子線セルがクリーンな窒素ガス雰
囲気の加圧状態で保管できるので、分子線エピタキシー
装置の運転前に分子線セルの保守点検が省略できる外、
準備時間の短縮が可能となる。したがって、作業効率を
向上させることができる。
囲気の加圧状態で保管できるので、分子線エピタキシー
装置の運転前に分子線セルの保守点検が省略できる外、
準備時間の短縮が可能となる。したがって、作業効率を
向上させることができる。
【００１２】
【実施例】図１は、この発明の一実施例に係る分子線セ
ルの保管状態を示す概略断面図である。図２の従来例と
同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお
いては当該従来例との相違点を主に説明する。
ルの保管状態を示す概略断面図である。図２の従来例と
同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお
いては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００１３】この実施例においては、分子線セル１の本
体部１１を含む主要部１６を収納保管する容器２とし
て、例えばガラス、アクリル樹脂などからなる透明な胴
部３と、この胴部３の開口４側に設けられていて、前記
分子線セル１のフランジ１５とＯリング７を介して結合
されるフランジ部５と、前記胴部３の開口４とは反対側
の端部に、内部に連通する連通孔６を介して連結された
バルブ８とから形成されている。前記フランジ部５と、
分子線セル１のフランジ１５とは、ボルト、ナットなど
からなる締結部材によって締結されている。
体部１１を含む主要部１６を収納保管する容器２とし
て、例えばガラス、アクリル樹脂などからなる透明な胴
部３と、この胴部３の開口４側に設けられていて、前記
分子線セル１のフランジ１５とＯリング７を介して結合
されるフランジ部５と、前記胴部３の開口４とは反対側
の端部に、内部に連通する連通孔６を介して連結された
バルブ８とから形成されている。前記フランジ部５と、
分子線セル１のフランジ１５とは、ボルト、ナットなど
からなる締結部材によって締結されている。
【００１４】上記構成の分子線セル保管容器において、
分子線セル１を保管する場合、分子線セル１の本体部１
１を含む主要部１６を透明な胴部３を備えた容器２内に
収納し、前記分子線セル１のフランジ１５とフランジ部
５とをＯリング７を介してボルト、ナットなどからなる
締結部材を用いて締結密閉し、その後前記容器２内をバ
ルブ８を介して図示しない真空ポンプにより圧力が数To
rr程度以下の真空状態となるように真空引きし、この状
態でバルブ８を閉じ、分子線セル１を保管する。
分子線セル１を保管する場合、分子線セル１の本体部１
１を含む主要部１６を透明な胴部３を備えた容器２内に
収納し、前記分子線セル１のフランジ１５とフランジ部
５とをＯリング７を介してボルト、ナットなどからなる
締結部材を用いて締結密閉し、その後前記容器２内をバ
ルブ８を介して図示しない真空ポンプにより圧力が数To
rr程度以下の真空状態となるように真空引きし、この状
態でバルブ８を閉じ、分子線セル１を保管する。
【００１５】このようにすれば、分子線セル１の本体部
１１を含む主要部１６がクリーンな真空状態で保管され
ているので、分子線エピタキシー装置の運転前に分子線
セル１の保守点検が省略できる外、準備時間の短縮が可
能となる。したがって、作業効率を向上させることがで
きる。
１１を含む主要部１６がクリーンな真空状態で保管され
ているので、分子線エピタキシー装置の運転前に分子線
セル１の保守点検が省略できる外、準備時間の短縮が可
能となる。したがって、作業効率を向上させることがで
きる。
【００１６】また、上記保管方法によれば、容器２内が
負圧状態であるため、保管中に容器２の気密が損なわれ
た場合、吸気し本体部１１が汚損される虞がある。そこ
で、この実施例では、分子線セル１の本体部１１を含む
主要部１６を透明な胴部３を備えた容器２内に収納し、
前記分子線セル１のフランジ１５とフランジ部５とをＯ
リング７を介してボルト、ナットなどからなる結合部材
９を用いて結合密閉し、その後前記容器２内をバルブ８
を介して図示しない真空ポンプにより圧力が数Torr程度
以下の真空状態となるように真空引きし、続いてバルブ
８を介して窒素ガスを加圧状態となるように例えば０．
１気圧（ゲージ圧）程度に封入し、バルブ８を閉じこの
加圧状態で分子線セル１を保管する。
負圧状態であるため、保管中に容器２の気密が損なわれ
た場合、吸気し本体部１１が汚損される虞がある。そこ
で、この実施例では、分子線セル１の本体部１１を含む
主要部１６を透明な胴部３を備えた容器２内に収納し、
前記分子線セル１のフランジ１５とフランジ部５とをＯ
リング７を介してボルト、ナットなどからなる結合部材
９を用いて結合密閉し、その後前記容器２内をバルブ８
を介して図示しない真空ポンプにより圧力が数Torr程度
以下の真空状態となるように真空引きし、続いてバルブ
８を介して窒素ガスを加圧状態となるように例えば０．
１気圧（ゲージ圧）程度に封入し、バルブ８を閉じこの
加圧状態で分子線セル１を保管する。
【００１７】このようにすれば、分子線セル１の本体部
１１を含む主要部１６が、クリーンな窒素ガス雰囲気の
加圧状態で保管されているので、分子線エピタキシー装
置の運転前に分子線セル１の保守点検が省略できる外、
準備時間の短縮が可能となる。また、容器２内が窒素ガ
ス雰囲気の加圧状態であるため、保管中に万一容器２の
気密が損なわれても、吸気することがなく、本体部１１
を含む主要部１６が汚損される虞がない。したがって、
作業効率を向上させることができる。
１１を含む主要部１６が、クリーンな窒素ガス雰囲気の
加圧状態で保管されているので、分子線エピタキシー装
置の運転前に分子線セル１の保守点検が省略できる外、
準備時間の短縮が可能となる。また、容器２内が窒素ガ
ス雰囲気の加圧状態であるため、保管中に万一容器２の
気密が損なわれても、吸気することがなく、本体部１１
を含む主要部１６が汚損される虞がない。したがって、
作業効率を向上させることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、分子線
セルの本体部を含む主要部が、容器外部から目視でき、
事前に分子線セルの保管状態を把握することができる。
セルの本体部を含む主要部が、容器外部から目視でき、
事前に分子線セルの保管状態を把握することができる。
【００１９】また、分子線セルがクリーンな状態で保管
できるので、分子線エピタキシー装置の運転前に分子線
セルの保守点検が省略できる外、準備時間の短縮が可能
となる。したがって、作業効率を向上させることができ
る。
できるので、分子線エピタキシー装置の運転前に分子線
セルの保守点検が省略できる外、準備時間の短縮が可能
となる。したがって、作業効率を向上させることができ
る。
【図１】 この発明の一実施例に係る分子線セルの保管
状態を示す概略断面図である。
状態を示す概略断面図である。
【図２】 従来の分子線セルの保管状態を示す概略断面
図である。
図である。
１ 分子線セル ２ 容器 ３ 透明な胴部 ４ 開口 ５ フランジ部 ６ 連通孔 ８ バルブ １１ 本体部 １５ フランジ １６ 主要部
Claims (3)
- 【請求項１】 透明な胴部と、この胴部の開口側に設け
られていて、分子線セルのフランジと締結されるフラン
ジ部と、前記胴部にその内部に連通する連通孔を介して
連結されたバルブとからなることを特徴とする分子線セ
ル保管容器。 - 【請求項２】 胴部が透明な保管容器内に分子線セルの
本体部を含む主要部を収納密閉し、その後前記保管容器
内を真空引きし、この真空状態で保管することを特徴と
する分子線セル保管方法。 - 【請求項３】 胴部が透明な保管容器内に分子線セルの
本体部を含む主要部を収納密閉し、その後前記保管容器
内を真空引きし、続いて窒素ガスを加圧状態に封入して
保管することを特徴とする分子線セル保管方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11832192A JPH05294788A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 分子線セル保管容器及びその保管方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11832192A JPH05294788A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 分子線セル保管容器及びその保管方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05294788A true JPH05294788A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=14733780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11832192A Pending JPH05294788A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 分子線セル保管容器及びその保管方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05294788A (ja) |
-
1992
- 1992-04-10 JP JP11832192A patent/JPH05294788A/ja active Pending
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