JPH0529442A - Table device - Google Patents
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- JPH0529442A JPH0529442A JP3177937A JP17793791A JPH0529442A JP H0529442 A JPH0529442 A JP H0529442A JP 3177937 A JP3177937 A JP 3177937A JP 17793791 A JP17793791 A JP 17793791A JP H0529442 A JPH0529442 A JP H0529442A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体装置の
製造装置において、ウエハを保持するテ−ブル装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a table device for holding a wafer in, for example, a semiconductor device manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体露光装置は、反射光学系
を採用し、例えば超高圧Ｈｇランプから所定波長のスペ
クトルを取り出し、これをコンデンサレンズを通してマ
スクパタ−ンが形成されたレチクル（マスク）に照射す
る。そして、上記露光装置は、上記レチクルを通過した
マスクパタ−ンを、縮小投影レンズにより縮小し位置決
めテ−ブル上に載置されたウエハに投影する。このこと
で、上記ウエハには上記マスクパタ−ンの一部が露光さ
れる。2. Description of the Related Art For example, a semiconductor exposure apparatus adopts a reflection optical system, extracts a spectrum of a predetermined wavelength from an ultra-high pressure Hg lamp, and irradiates the spectrum on a reticle (mask) having a mask pattern formed through a condenser lens. To do. Then, the exposure device reduces the mask pattern that has passed through the reticle by a reduction projection lens and projects it onto a wafer placed on a positioning table. As a result, a part of the mask pattern is exposed on the wafer.
【０００３】さらに、上記露光装置は、上記ウエハに上
記マスクパタ−ン全体を露光するために、上記位置決め
テ−ブルを駆動し、上記ウエハを所定方向に逐次位置決
め駆動する。そして、上記露光装置は、ウエハを位置決
めするごとに上記反射光学系をＯＮ状態にすることで、
上記ウエハの略全面に亘って高精度に上記マスクパタ−
ンを露光する。また、上記露光装置は、重ね合わせ露光
を行う。すなわち、ウエハの同じ部位に何度も重ねて露
光を行うことによって回路パタ−ンを形成する。Further, the exposure apparatus drives the positioning table to sequentially position and drive the wafer in a predetermined direction in order to expose the entire mask pattern on the wafer. Then, the exposure apparatus turns on the reflection optical system every time the wafer is positioned,
The mask pattern with high accuracy over substantially the entire surface of the wafer.
Exposure. Further, the exposure apparatus performs overlay exposure. That is, a circuit pattern is formed by repeatedly exposing the same portion of the wafer.
【０００４】このため、上記ウエハとレチクル（マス
ク）が高精度に位置決めされることが要求されるので、
上記位置決めテ−ブルにはかなりの位置決め精度が要求
される。また、この位置決めテ−ブルは外乱により上記
レチクルと上記ウエハとに位置ずれが生じるのを防止す
るために、空気ばねなどから構成される防振台の上面に
載置されている。Therefore, it is required that the wafer and the reticle (mask) be positioned with high precision.
The above positioning table requires a considerable positioning accuracy. Further, the positioning table is mounted on the upper surface of a vibration isolation table composed of an air spring or the like in order to prevent the positional deviation between the reticle and the wafer due to disturbance.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な構成によれば、上記位置決めテ−ブルが駆動される
と、上記位置決めテ−ブルの重心が移動し、この位置決
めテ−ブルが上記防振台上で傾くことがある。このと
き、上記防振台はこれを修正するために、上記位置決め
テ−ブルを上方向に押し戻そうとする。このことで上記
防振台に振動が生じ、上記ウエハと上記レチクルに位置
ずれが生じ、正確な重ね合わせ露光ができないという不
都合が生じる。この発明は、このような事情に鑑みてな
されたもので、テ−ブルが移動しても重心が移動しない
テ−ブル装置を提供することを目的とするものである。By the way, according to the above-mentioned structure, when the positioning table is driven, the center of gravity of the positioning table moves, and the positioning table is prevented from moving. It may tilt on the shaking table. At this time, the vibration isolation table tries to push back the positioning table upward in order to correct it. As a result, the vibration isolation table vibrates, the wafer and the reticle are misaligned, and an inconvenient overlay exposure cannot be performed. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a table device in which the center of gravity does not move even if the table moves.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は、第１に、基
体と、この基体上に往復移動自在に設けられた主テ−ブ
ルと、上記基体上に往復移動自在に設けられ、上記主テ
−ブルと略同じ質量を有する副テ−ブルと、上記主テ−
ブルと副テ−ブルとを、連動して互いに反対方向に同量
ずつ移動するように連結した連結手段と、上記連結手段
を作動させ、主テ−ブルと副テ−ブルとを互いに反対方
向に駆動する駆動手段とを備えることを特徴とする。第
２に、上記第１の手段において、上記副テ−ブルは、主
テ−ブルの移動方向と平行にその両隣りに対称的に一つ
ずつ配置されていることを特徴とする。第３に、上記第
１の手段において、上記副テ−ブルは、主テ−ブルの下
部に配設されていることを特徴とする。第４に、上記第
１の手段において、上記連結手段は、主テ−ブルおよび
副テ−ブルを接続するベルトまたはワイヤを有すること
を特徴とする。第５に、上記第１の手段において、上記
駆動手段は、送りねじまたはリニアモ−タであることを
特徴とする。According to the present invention, a base body, a main table reciprocally movable on the base body, and a reciprocating movable body on the base body are provided. The sub-table having approximately the same mass as the table and the main table described above.
And the sub-table are connected so as to move in the opposite directions by the same amount in an interlocking manner, and the connecting means is operated to move the main table and the sub-table in opposite directions. Drive means for driving to. Secondly, in the first means, the sub-tables are arranged symmetrically one by one on both sides of the sub-table in parallel with the moving direction of the main table. Thirdly, in the first means, the sub-table is arranged below the main table. Fourthly, in the first means, the connecting means has a belt or a wire for connecting the main table and the sub table. Fifth, in the first means, the driving means is a feed screw or a linear motor.
【０００７】[0007]
【作用】このような構成によれば、上記主テ−ブルと上
記副テ−ブルは連動して反対方向に移動するので装置全
体の重心位置を略定位置に保つことができる。According to this structure, since the main table and the sub table move in the opposite directions in conjunction with each other, the center of gravity of the entire apparatus can be maintained at a substantially fixed position.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１、図２を参
照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【０００９】この発明のテ−ブル装置１は、上面２ａが
平坦に形成された基体としての矩形板状の定盤２を有す
る。この定盤２は空気ばね（防振台）３…によって保持
され、上面２ａは水平に保たれている。The table device 1 of the present invention has a rectangular plate-shaped surface plate 2 as a base body having an upper surface 2a formed flat. The surface plate 2 is held by air springs (vibration isolator) 3 ... And the upper surface 2a is kept horizontal.
【００１０】この定盤２の上面には、この定盤２の中心
線ｅに線対称に配置された一対の第１のガイドレ−ル
４、４が固定されている。また、上記定盤２の第１のガ
イドレ−ル４、４の外側の上面２ａには、上記中心線ｅ
に線対称に配置された一対の第２のガイドレ−ル５、５
が固定されている。On the upper surface of the surface plate 2, a pair of first guide rails 4 and 4 arranged in line symmetry with respect to the center line e of the surface plate 2 are fixed. Further, the center line e is formed on the upper surface 2a outside the first guide rails 4 and 4 of the surface plate 2.
A pair of second guide rails 5 and 5 arranged line-symmetrically to each other
Is fixed.
【００１１】上記一対の第１のガイドレ−ル４、４に
は、副テ−ブルとしての矩形板状の第１のスライダ７が
この第１のガイドレ−ル４、４に沿ってスライド自在に
取り付けられている。すなわち、この第１のスライダ７
は、下端面に上記一対の第１のガイドレ−ル４、４と係
合する一対の凹溝７ａ、７ａを有し、この凹溝７ａを上
記一対の第１のガイドレ−ル４にスライド自在に係合さ
せて取り付けられている。A rectangular plate-shaped first slider 7 as a sub-table is slidably attached to the pair of first guide rails 4 and 4 along the first guide rails 4 and 4. It is installed. That is, this first slider 7
Has a pair of recessed grooves 7a, 7a engaged with the pair of first guide rails 4, 4 on its lower end surface, and the recessed groove 7a is slidable on the pair of first guide rails 4. It is attached by engaging with.
【００１２】さらに、上記第１のスライダ７には軸線を
上記中心線ｅに一致させて設けられた駆動手段としての
ボ−ルねじ機構８が設けられている。上記第１のスライ
ダ７はこのボ−ルねじ機構８のナットを構成するめねじ
孔７ｂを有する。そして、このめねじ孔７ｂには上記ボ
−ルねじ機構８の上記中心線ｅに軸線を一致させたねじ
軸９が回転自在に螺挿されている。Further, the first slider 7 is provided with a ball screw mechanism 8 as a drive means provided with its axis aligned with the center line e. The first slider 7 has a female screw hole 7b that constitutes a nut of the ball screw mechanism 8. A screw shaft 9 having its axis aligned with the center line e of the ball screw mechanism 8 is rotatably screwed into the female screw hole 7b.
【００１３】上記ねじ軸９の両端部は、一対の支持板１
０、１０によって回転自在に支持されている。また、上
記ねじ軸９の一端は、一方の支持板１０に上記ねじ軸９
と軸線を一致させて取り付けられ上記ボ−ルねじ機構８
の駆動源を構成するステッピングモ−タ１２の駆動軸に
連結されている。したがって、このステッピングモ−タ
１２を作動させることで、上記ねじ軸９は回転駆動さ
れ、上記第１のスライダ７は上記第１のガイドレ−ル
４、４に沿ってスライド移動する。Both ends of the screw shaft 9 have a pair of support plates 1
It is rotatably supported by 0 and 10. Further, one end of the screw shaft 9 is attached to the one support plate 10 by the screw shaft 9.
And the ball screw mechanism 8 attached so that their axes coincide with each other.
Is connected to the drive shaft of the stepping motor 12 that constitutes the drive source of the. Therefore, by operating the stepping motor 12, the screw shaft 9 is rotationally driven, and the first slider 7 slides along the first guide rails 4 and 4.
【００１４】また、上記一対の第２のガイドレ−ル５、
５には、同形状、同質量に形成された第２のスライダ１
３および第３のスライダ１４が、上記一対の第２のガイ
ドレ−ル５、５にそれぞれスライド自在に取り付けられ
ている。すなわち、上記第２、３のスライダ１３、１４
は、下端面に上記第２のガイドレ−ル５と係合する凹溝
１３ａ、１４ａを有する。そして、これら第２、第３の
スライダ１３、１４は、上記凹溝１３ａ、１４ａを上記
一対の第２のガイドレ−ル５、５にそれぞれスライド自
在に係合させて取り付けられている。The pair of second guide rails 5,
5 is a second slider 1 having the same shape and the same mass.
The third and third sliders 14 are slidably attached to the pair of second guide rails 5 and 5, respectively. That is, the second and third sliders 13 and 14 are
Has concave grooves 13a and 14a which engage with the second guide rail 5 on its lower end surface. The second and third sliders 13 and 14 are attached by slidably engaging the concave grooves 13a and 14a with the pair of second guide rails 5 and 5, respectively.
【００１５】さらに、上記第１のスライダ７と第２のス
ライダ１３の間には、この第１のスライダ７と第２のス
ライダ１３を連結する第１の連結手段１６が設けられて
いる。この第１の連結手段１６は、第１、第２のロ−ラ
１７、１８およびこの第１、第２のロ−ラ１７、１８に
張設されたベルト１９とからなる。Further, a first connecting means 16 for connecting the first slider 7 and the second slider 13 is provided between the first slider 7 and the second slider 13. The first connecting means 16 comprises first and second rollers 17 and 18, and a belt 19 stretched around the first and second rollers 17 and 18.
【００１６】上記第１、第２のロ−ラ１７、１８は、そ
れぞれ、上記定盤２の上面２ａの上記第１、第２のガイ
ドレ−ル４、５の一端および他端に対応する部位に軸線
を垂直にして回転自在に設けられている。The first and second rollers 17 and 18 are portions corresponding to one end and the other end of the first and second guide rails 4 and 5 on the upper surface 2a of the surface plate 2, respectively. It is rotatably installed with its axis vertical.
【００１７】そして、この第１、第２のロ−ラ１７、１
８に張設されたベルト１９の外面は、上記第１のスライ
ダ７および第２のスライダ１３が伴に上記定盤２の長手
方向中央部に位置している状態で、それぞれ上記第１の
スライダ７の一側面および第２のスライダ１３の一側面
に固着されている。すなわち、上記第１、第２のスライ
ダ７、１３は、上記ベルト１９によって、連動して互い
に反対方向に移動するように連結されている。Then, the first and second rollers 17, 1
The outer surface of the belt 19 stretched over the first slider 7 and the second slider 13 are located at the central portion in the longitudinal direction of the surface plate 2 together with the first slider 7 and the second slider 13, respectively. 7 and one side surface of the second slider 13. That is, the first and second sliders 7 and 13 are linked by the belt 19 so as to interlock and move in mutually opposite directions.
【００１８】また、上記第１のスライダ７と上記第３の
スライダ１４の間にも、上記第１の連結手段１６と同様
に、上記第１のスライダ７と第３のスライダ１４を連動
して互いに反対方向に移動するように連結する第２の連
結手段２０が設けられている。この第２の連結手段２０
は上記第１の連結手段１６と同じ構成を有するものであ
るので同一符号を付して説明を省略する。Further, between the first slider 7 and the third slider 14, the first slider 7 and the third slider 14 are interlocked with each other, similarly to the first connecting means 16. Second connecting means 20 are provided for connecting so as to move in mutually opposite directions. This second connecting means 20
Since has the same configuration as the first connecting means 16, the same reference numerals are given and description thereof is omitted.
【００１９】さらに、上記第２、第３のスライダ１３、
１４には上面を載置面２１ａとするテ−ブル本体２１が
取り付けられる。すなわち、図２に示すように、上記テ
−ブル本体２１は上記第２、第３のスライダ１３、１４
と伴に上記定盤２の長手方向に沿って往復移動し、かつ
上記第１のスライダ７とは非接触なように設けられてい
る。そして、上記第２、第３のスライダ１３、１４とこ
のテ−ブル本体２１とでこの発明の主テ−ブル２２を構
成している。また、この主テ−ブル２２全体の質量は上
記第２のスライダ７（副テ−ブル）の質量と略同じくな
るように調整されている。次に、このテ−ブル装置１の
動作を図２を参照して説明する。Further, the second and third sliders 13,
A table main body 21 having an upper surface as a mounting surface 21 a is attached to 14. That is, as shown in FIG. 2, the table main body 21 includes the second and third sliders 13 and 14.
Along with this, it is reciprocated along the longitudinal direction of the surface plate 2 and is provided so as not to contact the first slider 7. The second and third sliders 13 and 14 and the table main body 21 constitute the main table 22 of the present invention. The mass of the entire main table 22 is adjusted to be substantially the same as the mass of the second slider 7 (sub-table). Next, the operation of the table device 1 will be described with reference to FIG.
【００２０】このテ−ブル装置１は、上記テ−ブル本体
２１の載置面２１ａに被処理物、被測定物等を保持す
る。そして、この被処理物、被測定物等を位置決め駆動
するときには、上記テ−ブル装置１は、上記ステッピン
グモ−タ１２を作動させる。このことで、ボ−ルねじ機
構８によって上記第１のスライダ７（副テ−ブル）が、
第１のガイドレ−ル４に沿って例えば図２に矢印イで示
す方向に移動する。上記第２、第３のスライダ１３、１
４は、上記第１、第２の連結手段１６、２０によって、
第１のスライダ７と反対の方向に駆動される。このこと
で上記主テ−ブル２２は矢印ロで示す方向に移動する。The table device 1 holds an object to be processed, an object to be measured, etc. on the mounting surface 21a of the table body 21. When positioning and driving the object to be processed, the object to be measured, etc., the table device 1 operates the stepping motor 12. As a result, the ball screw mechanism 8 causes the first slider 7 (sub table) to move
It moves along the first guide rail 4, for example, in the direction indicated by the arrow A in FIG. The second and third sliders 13 and 1
4 is provided by the first and second connecting means 16 and 20.
It is driven in the direction opposite to the first slider 7. This causes the main table 22 to move in the direction indicated by the arrow B.
【００２１】このとき、上記第１のスライダ７（副テ−
ブル）と主テ−ブル２２とは同じ量だけ反対方向に移動
することになるので、このテ−ブル装置１全体の重心位
置は変化せず、バランスを保つことができる。At this time, the first slider 7 (secondary tape)
Since the table) and the main table 22 move in the opposite directions by the same amount, the position of the center of gravity of the entire table device 1 does not change and the balance can be maintained.
【００２２】このような構成によれば、重心位置がずれ
ることによって定盤２が傾くということを有効に防止す
ることができる。したがって、上記主テ−ブル２２の上
面（テ−ブル本体２１の載置面２１ａ）を常に水平状態
に保つことが可能であり、例えば、上記半導体露光装置
の場合には、ウエハに重ね合わせ露光をする場合でも、
露光位置がずれることが少ないのでより正確な露光を行
うことが可能である。なお、この発明は上記一実施例に
限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲
で種々変形可能である。With this structure, it is possible to effectively prevent the surface plate 2 from tilting due to the displacement of the center of gravity. Therefore, it is possible to keep the upper surface of the main table 22 (the mounting surface 21a of the table main body 21) in a horizontal state at all times. Even when
Since the exposure position does not shift much, more accurate exposure can be performed. It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and can be variously modified without changing the gist of the invention.
【００２３】例えば、上記一実施例では、上記第２、第
３のスライダ１３、１４の上面に上記テ−ブル本体を載
せ、これを主テ−ブル２２としたが、他の実施例とし
て、図３に示すように、上記第１のスライダ７の上面に
テ−ブル本体２１´を載せ、このテ−ブル本体２１´と
上記第１のスライダ７を主テ−ブル２２´とし、上記第
２、第３のスライダ１３、１４を副テ−ブルとするよう
にしても良い。For example, in the above-mentioned one embodiment, the table main body is placed on the upper surfaces of the second and third sliders 13 and 14 and is used as the main table 22, but as another embodiment, As shown in FIG. 3, a table body 21 'is placed on the upper surface of the first slider 7, and the table body 21' and the first slider 7 are used as a main table 22 '. The second and third sliders 13 and 14 may be sub-tables.
【００２４】この場合にも、上記副テ−ブル（第２、第
３のスライダ１３、１４）および上記主テ−ブル２２´
の質量を調整して、これらの質量が略等しくなるように
する必要がある。さらに、他の実施例として図４に示す
ような構成にしても良い。この実施例のテ−ブル装置１
´においては、主テ−ブル２３の下側に副テ−ブル２４
が設けられている。Also in this case, the sub table (second and third sliders 13 and 14) and the main table 22 'are also provided.
Must be adjusted so that they are approximately equal. Further, as another embodiment, a configuration as shown in FIG. 4 may be adopted. Table device 1 of this embodiment
In ', the sub table 24 is provided below the main table 23.
Is provided.
【００２５】すなわち、上記主テ−ブル２３と副テ−ブ
ル２４は上下方向に平行に配置され、それぞれ定盤に固
定された図示しないガイドレ−ルによって図に矢印で示
す方向に往復移動自在に保持されている。また、上記主
テ−ブル２３と副テ−ブル２４は略同じ質量に形成され
ている。That is, the main table 23 and the sub table 24 are arranged parallel to each other in the vertical direction, and are reciprocally movable in the directions shown by arrows in the figure by guide rails (not shown) fixed to the surface plate. Is held. The main table 23 and the sub-table 24 are formed to have substantially the same mass.
【００２６】上記主テ−ブル２３にはこの主テ−ブル２
３を矢印で示す方向に駆動するボ−ルねじ機構２５が設
けられている。さらに、上記主テ−ブル２３と副テ−ブ
ル２４とは上記一実施例と同じように上記ボ−ルねじ機
構２５の両端部付近に配置された一対のロ−ラ２６、２
６に張設されたベルト２７によって互いに反対方向に連
動するように連結されている。The main table 23 includes the main table 2
A ball screw mechanism 25 is provided for driving 3 in the direction indicated by the arrow. Further, the main table 23 and the sub-table 24 are a pair of rollers 26, 2 arranged near both ends of the ball screw mechanism 25, as in the case of the above-described embodiment.
The belts 27 stretched over the belt 6 are connected so as to interlock with each other in opposite directions.
【００２７】このような構成によれば、上記主テ−ブル
２３を移動させた場合でも、副テ−ブル２４が連動して
反対方向に移動することで、このテ−ブル装置１´は常
にバランスがとられ、重心を定位置に保つことができ
る。このことで、このテ−ブル装置１´が防振台等に支
えられている場合でも上記主テ−ブル２３および副テ−
ブル２４が傾くことが有効に防止される。According to this structure, even when the main table 23 is moved, the sub table 24 is interlocked and moves in the opposite direction, so that the table device 1'is always operated. It is well balanced and keeps the center of gravity in place. As a result, even when the table device 1'is supported by the anti-vibration table or the like, the main table 23 and the sub table 23 are supported.
The tilting of the bull 24 is effectively prevented.
【００２８】また、上記一実施例および、他の実施例に
おいては、上記テ−ブル装置１は露光装置に用いられる
場合を示したがこれに限定されるものではなく、高精度
で位置決めが要求される被駆動部材（例えば測定物）を
保持するテ−ブル装置であればその用途は問うものでは
ない。Further, in the above-mentioned one embodiment and other embodiments, the case where the table apparatus 1 is used for the exposure apparatus is shown, but the present invention is not limited to this, and positioning with high accuracy is required. If the table device holds a driven member (for example, an object to be measured) to be used, its application does not matter.
【００２９】さらに、上記一実施例および他の実施例で
は連結手段としてベルト１９（１７）を用いたがベルト
に限定されるものではなく、例えば上記第１、第２のロ
−ラ１７（２６）、１８（２６）をスプロケットにし
て、このスプロケット間にチェ−ンを張設し、このチェ
−ンによって上記主テ−ブルと副テ−ブルとを連結する
ようにしても良いし、上記第１、第２のロ−ラ１７（２
６）、１８（２６）をリ−ルにして、このリ−ル間にワ
イヤを張設し、このワイヤによって上記主テ−ブルと副
テ−ブルとを連結するようにしても良い。Further, although the belt 19 (17) is used as the connecting means in the above-mentioned one embodiment and other embodiments, it is not limited to the belt, and for example, the above-mentioned first and second rollers 17 (26). ), 18 (26) may be used as sprockets, and a chain may be stretched between the sprockets, and the main table and the sub-table may be connected by this chain. The first and second rollers 17 (2
6) and 18 (26) may be reels, and a wire may be stretched between the reels to connect the main table and the sub-table.
【００３０】また、上記一実施例および他の実施例にお
いては、駆動手段としてボ−ルねじ機構８（２５）を用
いたが、これに限定されるものではなく例えば図５に示
すようにリニアモ−タ２８を用いるようにしても良い。Although the ball screw mechanism 8 (25) is used as the driving means in the above-mentioned one embodiment and other embodiments, the invention is not limited to this, and for example, as shown in FIG. -28 may be used.
【００３１】[0031]
【効果】以上述べたように、この発明は、略同じ質量を
有する主テ−ブルおよび副テ−ブルを連結手段によって
連動して互いに反対方向に同量づつ移動するように連結
したAs described above, according to the present invention, the main table and the sub table having substantially the same mass are connected by the connecting means so as to move in the opposite directions by the same amount.
【００３２】このような構成によれば、テ−ブル装置の
重心位置は変化せず、バランスを保つことができるか
ら、上記主テ−ブルおよび副テ−ブルが傾くことが有効
に防止され、より高精度な位置決めを行うことができ
る。According to this structure, the center of gravity of the table device does not change and the balance can be maintained, so that the main table and the sub table are effectively prevented from tilting, More accurate positioning can be performed.
【図１】この発明の一実施例を示す、全体斜視図。FIG. 1 is an overall perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図２】同じく、動作を説明する斜視図。FIG. 2 is likewise a perspective view for explaining the operation.
【図３】他の実施例を示す全体斜視図。FIG. 3 is an overall perspective view showing another embodiment.
【図４】同じく他の実施例を示す全体斜視図。FIG. 4 is an overall perspective view showing another embodiment of the present invention.
【図５】同じく他の実施例を示す全体斜視図。FIG. 5 is an overall perspective view showing another embodiment of the present invention.
１…テ−ブル装置、２…定盤、７…第１のスライダ（副
テ−ブル）、８…ボ−ルねじ機構（駆動手段）、１６…
第１の連結手段、１８…第２のロ−ラ、１９…ベルト、
２０…第２の連結手段、２２…主テ−ブル、２８…リニ
アモ−タ。ｅ…中心線、イ、ロ、１…テ−ブル装置、２
…定盤、３…空気ばね、４…第１のガイドレ−ル、５…
第２のガイドレ−ル、７…第１のスライダ、７ａ…凹
溝、７ｂ…めねじ孔、８…ボ−ルねじ機構、９…ねじ
軸、１０…支持板、１２…ステッピングモ−タ、１３…
第２のスライダ、１３ａ…凹溝、１４…第３のスライ
ダ、１４ａ…凹溝、１６…第１の連結手段、１７…第１
のロ−ラ、１８…第２のロ−ラ、１９…ベルト、２０…
第２の連結手段、２１…テ−ブル本体、２２…主テ−ブ
ルDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Table device, 2 ... Surface plate, 7 ... 1st slider (sub table), 8 ... Ball screw mechanism (driving means), 16 ...
1st connection means, 18 ... 2nd roller, 19 ... Belt,
20 ... 2nd connection means, 22 ... Main table, 28 ... Linear motor. e ... center line, a, b, 1 ... table device, 2
... surface plate, 3 ... air spring, 4 ... first guide rail, 5 ...
Second guide rail, 7 ... First slider, 7a ... Recessed groove, 7b ... Female screw hole, 8 ... Ball screw mechanism, 9 ... Screw shaft, 10 ... Support plate, 12 ... Stepping motor, 13 …
Second slider, 13a ... Groove, 14 ... Third slider, 14a ... Groove, 16 ... First connecting means, 17 ... First
Roller, 18 ... Second roller, 19 ... Belt, 20 ...
Second connection means, 21 ... Table body, 22 ... Main table
Claims (5)
けられた主テ−ブルと、上記基体上に往復移動自在に設
けられ、上記主テ−ブルと略同じ質量を有する副テ−ブ
ルと、上記主テ−ブルと副テ−ブルとを、連動して互い
に反対方向に同量ずつ移動するように連結した連結手段
と、上記連結手段を作動させ、主テ−ブルと副テ−ブル
とを互いに反対方向に駆動する駆動手段とを備えること
を特徴とするテ−ブル装置。1. A base body, a main table reciprocally provided on the base body, and a sub-table provided on the base body so as to reciprocate and having substantially the same mass as the main table. Table, the connecting means for connecting the main table and the sub-table so as to move in the opposite directions by the same amount, and the connecting means for actuating the main table and the sub-table. And a driving means for driving the table and the table in opposite directions.
向と平行にその両隣りに対称的に一つずつ配置されてい
ることを特徴とする請求項１記載のテ−ブル装置。2. The table device according to claim 1, wherein the sub-tables are arranged symmetrically one by one on both sides of the sub-table in parallel with the moving direction of the main table. .
配設されていることを特徴とする請求項１記載のテ−ブ
ル装置。3. The table device according to claim 1, wherein the sub-table is disposed below the main table.
−ブルを接続するベルトまたはワイヤを有することを特
徴とする請求項１記載のテ−ブル装置。4. The table device according to claim 1, wherein the connecting means has a belt or a wire for connecting the main table and the sub table.
モ−タであることを特徴とする請求項１記載のテ−ブル
装置。5. The table device according to claim 1, wherein the driving means is a feed screw or a linear motor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3177937A JPH0529442A (en) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | Table device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3177937A JPH0529442A (en) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | Table device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0529442A true JPH0529442A (en) | 1993-02-05 |
Family
ID=16039676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3177937A Pending JPH0529442A (en) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | Table device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0529442A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20160049964A (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-10 | 구로다 프리시젼 인더스트리스 리미티드 | Work table apparatus |
-
1991
- 1991-07-18 JP JP3177937A patent/JPH0529442A/en active Pending
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| JP2016083764A (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 黒田精工株式会社 | Work table device |
| TWI630984B (en) * | 2014-10-28 | 2018-08-01 | 黑田精工股份有限公司 | Workbench |
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