JPH05293403A

JPH05293403A - 微粒子除去方法及び装置

Info

Publication number: JPH05293403A
Application number: JP9824092A
Authority: JP
Inventors: Hideo Yoshikawa; 英夫吉川; Takashi Ikeda; 尊池田
Original assignee: NIPPON MONSANT KK
Current assignee: NIPPON MONSANT KK
Priority date: 1992-04-17
Filing date: 1992-04-17
Publication date: 1993-11-09

Abstract

(57)【要約】【目的】気体に含まれる塵埃などの微粒子を除去する
ことを目的とする。【構成】気体の流れの上流側に導電性網を配置し、下
流側に通気性を有する導電性基質を気体の流れに対向す
るように配置するか、通気性を有するか有しない導電性
基質を気体の流れに沿うように配置し、前者を直流電源
源の負極側に接続し、後者を正極側に接続し、気体に含
まれる塵埃等の微粒子を上流側の導電性網を通過すると
きに負に帯電させ、下流の導電性基質により捕集する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微粒子除去方法及び装
置に関する。

【０００２】本発明の微粒子除去方法及び装置は、一般
的に空気等の気体中に浮遊する微細な塵、塵埃、雑菌、
だに（壁蝨）等の微粒子、物体の燃焼時の煙、排気ガス
に含まれる煤等の微粒子等を除去するフィルタに関して
用いることができる。更に詳細には、本発明の微粒子除
去方法及び装置は、自動車用空調機器用フィルタ、内燃
機関の吸気用フィルタ、熱機関用空気清浄機器用フィル
タ、精密機器用高効率フィルタ、原子力プラント中性子
ヒーティング冷却用空調系用フィルタ、超集積回路製造
クリーンルーム用フィルタ、クリーンベンチ（無菌実験
台）用フィルタ等に関して用いることができる。

【０００３】

【従来の技術】従来空気等の気体から塵等の微粒子を除
去するためには、微粒子を含む循環空気を繊維製のフィ
ルタに導入して、該フィルタを構成する織布の編目の隙
間の寸法により微粒子を捕集していた。

【０００４】また、その他に、直流電圧６ｋＶ以上で例
えば１０〜１２ｋＶの電極間（正電極側は接地）にコロ
ナ放電を起こさせて、空気の流れがその間を通るときに
塵埃等の微粒子を荷電する荷電部を空気の流れの上流側
に置き、下流側には電気的に絶縁物であるグラスウール
の織布又は不織布をパネル状の枠に入れたフィルタを空
気の流れに対向するように置き、その背後には若干の間
隔を置いて複数の金属板を空気の流れに沿うように置い
て集塵部とし、これらの金属板を別の直流電源（例え
ば、１００Ｖ）の正極に接続したものがある（グラスウ
ールのフィルタと金属板との間に若干の間隙を置いて直
接に接触させないのは、火花が生じて火災が発生する恐
れをなくすためである。）。空気に含まれる微粒子は、
荷電部で負に帯電されて、この帯電微粒子の内空気の流
れと共に下流側に移動するものは、集塵部の金属板にク
ーロン力で吸引されるが、まず、その前にあるグラスウ
ールのフィルタにその隙間の寸法により捕集される。次
に来る群の帯電微粒子は、既にフィルタに捕集されてい
る帯電微粒子との間のクーロン力に基づく斥力と重力と
によりグラスウールのフィルタに捕集されることなく、
下に落下して、かくして捕集される。

【０００５】前者の方法では、繊維製フィルタを構成す
る織布の編目の隙間の寸法により捕集微粒子の大小の形
状が決定されるので、捕集微粒子の種別に応じてそれに
適合した多数の繊維製フィルタを用意して置かなければ
ならない。また、繊維製フィルタを構成する織布の編目
が詰まると、空調系の流れを止めてフィルタを取替える
か、微粒子除去の予備の系を設けておいて、この系に切
替えなければならない。後者の方法では、コロナ放電の
電圧が６ｋＶボルト以上と高く、取扱上の注意及び火災
に対する配慮を必要とし、またそのフィルタの取替えに
は専門の技術者を必要とする。また、両者の装置ともに
高価であり、更に、フィルタの繊維の材質とその線径が
制限因子となって粒径が０．５μｍ以下の微粒子の捕集
が難しく、しかも直ぐに目詰まりして空気抵抗を増大さ
せる傾向があるので、部屋内の空気の循環に支障を来
す。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従って、本願発明の目
的は、気体から粒径の極めて小さな微粒子を含む微粒子
を効率よく除去し、しかも低電圧で動作をする微粒子除
去方法及び装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では、微粒子を含
んだ気体の流れの上流側に直流電源の負極に接続した導
電性網を該気体の流れに対向するように設置し、その下
流側に該直流電源の正極に接続した通気性を有する導電
性基質を該気体の流れに対向するように設置するか、該
直流電源の正極に接続した通気性を有するか有しない導
電性基質を該気体の流れに沿うように設置して、電気的
に中性の該微粒子を該導電性網を通過することにより負
電荷粒子にして、該導電性基質で捕集するものである。

【０００８】

【実施例】次に、図面を参照して本発明を説明する。

【０００９】図１は、本発明の第１実施例装置を概念的
に示す。

【００１０】空調系のダクト１、１′には微粒子、特に
塵埃除去装置２が連結される。ダクト１、１′は、一例
として長方形直管ダクトであって、ダクト寸法はダクト
内の風速等を考慮して決定する。ダクト１、１′の端部
には、外向きフランジ３、３’がそれぞれ設けられる。
塵埃除去装置２は、両端の入口部５及び出口部５′、膨
張した中央部６とを有する。入口部５、出口部５′と中
央部６との間には、風速を下げることを目的とした断面
形状が直線的に変化するデフューザが設けられる。ダク
ト１、１′と塵埃除去装置２の中央部６の寸法の比は
２：３であれば十分である。なお、デフューザを設ける
ことは必須ではなく、塵埃除去装置２の中央部６の寸法
をダクト１、１′の寸法と同じにしてもよい。塵埃除去
装置２の入口部５、出口部５′の端部には、外向きフラ
ンジ４、４′が設けられている。ダクト１のフランジ３
と塵埃除去装置２のフランジ４とは図示しないボルトに
よって締結され、ダクト１′のフランジ３′と塵埃除去
装置２のフランジ４′とは図示しないボルトによって締
結される。かくして、塵埃除去装置２は空気調和装置の
ダクト１、１′に一体として連結される。固体又は液体
微粒子を含む循環空気等のガスはダクト１へ導入され、
清浄ガスはダクト１′から排出される。

【００１１】塵埃除去装置２には、その入口部５のとこ
ろに導電性網群７が電気的に絶縁体である支持台８を介
してその側壁に取付けられている。導電性網群７は、そ
れぞれ間隔を置いて空気の流れに対向するように垂直に
配置された３枚の導電性網７¹７²、７³から成ってい
る。導電性網は、銅、ニッケル又はステンレス製の金網
とすることができ、その使用枚数は３枚に限らず、６
枚、一般的には複数枚にすることができ、用途によって
は１枚であってもよい。複数枚の導電性網を用いるとき
は、その前後の間隔は一例として１〜２ｍｍとする。導
電性網は、例えば銅、ニッケル又はステンレス製の金網
をパネル状の枠に入れてユニット化すると共に自立性を
持たせる。また、導電性網は、電気的に導電性であり、
その編目の間隔としては、除去しようとする微粒子が通
過できるものとし、一例として０．４〜１．３ミリメー
トルとする。

【００１２】塵埃除去装置２の中央部６には、通気性を
有する導電性基質８が循環空気の流れに対向するように
垂直に配置されて、電気的に絶縁体である支持台９を介
して塵埃除去装置２の側壁に取付けられている。上述の
通気性を有する導電性基質としては、一例として、ＦＬ
ＥＣＴＲＯＮ（商標、以下、「フレクトロン」と言
う。）を用いる。フレクトロンは、例えば、ナイロンの
織布を構成する繊維を少なくとも１種のポリマーと少な
くとも１種のＩＢ属又はVIII属の金属の化合物との錯体
を含む触媒の表面層を以て覆い、次いで該表面層を輻射
エネルギーに暴露することによって無電解メッキに対し
て活性化し、次いでその表面を無電解メッキにより金属
（銅、ニッケル、銀、スズ）を被覆したものである。こ
のメッキ層の厚みは０．１〜４ミクロンであり、それは
例えば銅の極めて均一な微粒子が大よそ３層〜１０層に
亘って稠密に付着したものから構成される（特開昭６３
ー１５９４１０号公報参照）。その金属（銅、ニッケ
ル、銀、スズ）の無電解メッキ層は、空気中に放置して
も、具体的には１年を経過しても光沢を失わず、極めて
酸化され難いとの特徴を有している。上記フレクトロン
は、柔軟性を有し、パネル状の枠に入れて固定する。そ
の寸法は、小さいもので幅が１０ｃｍで高さが３０ｃ
ｍ、大きいもので幅が１ｍで高さが２ｍのものであり、
その厚みは約１ｍｍである。フレクトロンを構成する織
布としては、アクリル、セルロース、ガラス、グラファ
イト、ポリアミド、ポリエステル、ポリイミド、ポリフ
ェニレンオキサイド、ポリフェニレンスルフォン、石
英、レーヨン、シリコンカーバイドの織布、不織布
（紙、合成紙を含む。）を用いることができる。

【００１３】更に、人工又は天然の織布、不織布（紙、
合成紙を含む。）に金属を無電解メッキにより被覆した
後に、他の金属を電解メッキによって更に被覆すること
ができる。上記の他の金属としては、コバルト、金、
銀、スズ、亜鉛、白金、パラジウム、イリジウム等を用
いることができる。

【００１４】織布、不織布の編目の大きさとしては、一
例として２５０メッシュ（メッシュとは１インチ（２
５．４ｍｍ）当たりの編目の数のことである。）よりも
大きく、２０メッシュよりも小さくする。その他に、通
気性を有する導電性基質としは、任意の金属の金網を用
いてもよい。なお、導電性基質としては、複数枚のフレ
クトロン、金属網を間隙を置いて併置してもよい。複数
枚のフレクトロン、金属網を用いるときの前後の間隙
は、１〜２ｍｍに取る。

【００１５】荷電部と集塵部との間隔は、例えば５０セ
ンチメートルに取る。

【００１６】上述の導電性基質群７は、直流電源１０の
負極に導線１１を用いて取付台及び塵埃除去装置２の側
壁に設けた開口を介して接続し、通気性を有する導電性
基質８は、直流電源１０の正極に導線１２を用いて取付
台及び塵埃除去装置２の側壁に設けた開口を介して接続
する。その際、塵埃除去装置２の側壁は一例として厚み
が１．２ｍｍ又は２．０ｍｍのトタン製であるので、導
線１１、１２としては電気的絶縁の目的で通常の被覆電
線を用いるが、裸導体にセラミックペーパを被覆したも
のでもよい。直流電源１０の電圧は、１２ボルト、２４
ボルトであってよく、好ましくは１００ボルト以下とす
るが、これに限定されない。６００ボルトとしてもよい
が、これ以上の電圧としても微粒子、特に塵埃除去の効
果は顕著には増大しない。

【００１７】なお、導電性網を設置する位置よりも更に
上流側に予め微粒子以外の気体中の異物を除くために、
通常の従来のフィルタを別途設けてもよい。

【００１８】次に、第１図に示す塵埃除去装置の動作を
説明する。

【００１９】ダクト１から塵埃等の微粒子を含んだ流体
が塵埃除去装置２に入り、その上流側に設置された導電
性網群７を通過するとき、塵埃の微粒子が電気的に負に
帯電した微粒子になる。このような微粒子が負に帯電す
る機構は定かではないが、導電性網に接触するか静電誘
導作用により負に帯電するものと考えられる。その後か
かる負に帯電した微粒子は、その下流側に設置された導
電性基質８にクーロン力により静電的に吸引されて、吸
着し捕集される。

【００２０】図２は、従来の繊維製フィルタの織布、不
織布を構成する繊維２１の編目を示す。塵埃のＡ形状粒
子は、繊維の交点で捕集される。また、Ｂ形状のように
編目より大きいものは捕集できるが、Ｃ形状のように非
常に小さい微粒子は繊維製フィルタの隙間を通過するこ
とになる。

【００２１】図３は、本発明に用いることのできるフレ
クトロンの編目を拡大して示す。例えばナイロンである
繊維３１の直径は通常２〜１０μｍであり、繊維３１に
無電解メッキされた金属、例えば銅の微粒子３２の粒径
は、約０．２μｍ以下で、比較的均一である。また、メ
ッキ層の厚さは、０．１〜４μｍであり、金属の微粒子
は３〜１０層に亘って堆積してメッキ層を構成してい
る。更に、金属微粒子同士の間隙は小さく、稠密に堆積
している（金属微粒子同士の間に生じる空隙の大きさは
０．２５μｍを超えない。）。図面では、説明の便宜
上、繊維３１及び金属微粒子３２の大小関係を誇張し、
且つ概念的に示し、また、金属微粒子は１層で堆積して
いるものとして示す。

【００２２】従って、フレクトロンを直流電源に接続し
たとき、フレクトロンの表面電荷密度が高く、空気中に
浮遊する微粒子を均一に吸着できる。また、金属微粒子
が稠密に堆積する結果として酸化を受けにくいので、そ
のクーロン力による微粒子の吸着の効果が永続する。一
例として、粒径が０．１２μｍの微粒子を捕集、除去す
ることができる。但し、この数値は使用した測定器の測
定下限であって、実際にはそれ以下の粒径の微粒子を捕
集するものと考えられる。図３には、図２のＣ形状微粒
子と同じ大きさのＤ形状帯電微粒子も捕集される様子を
概念的に示す。

【００２３】更に、銅等の重金属は制菌作用があるの
で、人間の居住空間の空調用フィルタ、クリーンベンチ
（無菌実験台）用フィルタに適している。実験による
と、上述の負に帯電した微粒子の付着は静電力に基づく
ので遊離することはないが、電源を切ると、これらの微
粒子は電気的に中性に戻り、重力でたやすく剥離する。

【００２４】人工又は天然の織布、不織布（紙、合成紙
を含む。）に金属を無電解メッキする方法は、上記のも
のに限定されず、通常の無電解メッキの方法を用いるこ
とができる。但し、その場合は、繊維性フィルタの繊維
に付着する金属の粒径が不揃で、しかも平均の粒径が５
乃至１０倍と大きく、且つ均一、稠密に付着せずに、大
きな空隙が生じて、たやすく酸化される。従って、直流
電源に接続したときに、大きな表面電荷密度が得られ
ず、集塵効率が若干低下する。

【００２５】図４には、本発明の第２実施例装置をダク
ト及び微粒子、特に塵埃除去装置の側壁を除いて概略的
に示す。

【００２６】循環空気の流れの上流には、導電性網４１
が配置され、下流には、通気性を有するか有しない導電
性基質４２が空気の流れに沿うように水平に設置され
る。導電性網４１は、直流電源４３の負極に導線４４を
用いて接続し、通気性を有するか有しない導電性基質４
２は、直流電源４３の正極に導線４５を用いて接続す
る。

【００２７】塵埃等の微粒子を含んだ流体が上流側に設
置された導電性網４１を通過するとき、塵埃の微粒子が
電気的に負に帯電した微粒子になる。その後かかる負に
帯電した微粒子は、下流側に設置された導電性基質４２
にクーロン力により静電的に吸引されて、捕集、吸着さ
れる。

【００２８】導電性網４１及び通気性を有する導電性基
質４２としては、図１に関して説明した本発明の第１実
施例に用いることのできるものを全て用いることができ
る。通気性を有しない導電性基質４２としては、合成樹
脂のプレート又はフィルムに無電解メッキにより金属を
被覆し、必要に応じて更に別の金属を電解メッキによっ
て被覆したものを用いることができる。勿論、任意のプ
レート、フィルムにアルミニウムをスパッタして被覆し
たものを用いてもよい。

【００２９】その他に、上述の通気性を有する導電性基
質を循環空気の流れに対向するように垂直に、且つ上述
の通気性を有するか又は有しない導電性基質を循環空気
の流れに沿うように水平に置いて、両者を組合せて配置
してもよい。

【００３０】図５には、本発明の第３実施例装置を概略
的に示す。これは第１図に示すものを概略竪形に設置し
たものである。

【００３１】長方形直管ダクト５１、５１′には、微粒
子、特に塵埃除去装置５２が一体的に締結される。塵埃
除去装置５２は、入口部５３、膨張した中央部５４、出
口部５５、処理部５６を有する。膨張した中央部５４
は、垂直に配置され、入口部５３は、水平に配置され、
出口部５５及び処理部５６は垂直に配置される。入口部
５３及び処理部５６は、塵埃除去装置５２の下端部にお
いて膨張した中央部５４とデフューザを介して一体に連
結される。出口部５５は、塵埃除去装置５２の上端部に
おいて膨張した中央部５４とデフューザを介して一体に
連結される。入口部５３には、導電性網群５７を構成す
る導電性網５７¹、５７²、５７³が電気的に絶縁体で
ある支持台を介して塵埃除去装置５２の側壁に取付けら
れている。膨張した中央部５４には、通気性を有するか
有しない導電性基質群５８を構成する導電性基質５
８¹、５８²、５８³、５８⁴が図示しない支持装置に
より電気的に絶縁体である支持台を介して微粒子除去装
置の側壁に取付ける。

【００３２】導電性網群５７は、直流電源５９の負極に
導線を用いて取付台及び微粒子除去装置５２の側壁に設
けた開口を介して接続し、通気性を有するか有しない導
電性基質群５８は、直流電源５９の正極に導線を用いて
取付台及び塵埃除去装置５２の側壁に設けた開口を介し
て接続する。

【００３３】処理部５６は、ヒータ５６¹とその下部の
受け皿部５６²とを有する。

【００３４】循環空気の微粒子は、空気の流れに対向す
るように垂直に配置された導電性網群５７を通過する際
に負に荷電され、この負の荷電微粒子は、循環空気の流
れに沿うようにこの場合は垂直に配置された通気性を有
するか有しない導電性基質群５８によって捕集される。
そして、微粒子除去装置の入口部と出口部の圧力差を測
定する計測器により、該圧力差を計測して、下限値に達
すると、自動又は手動により電源を切ると共に、図示し
ない槌打ち装置により機械的に中央部５４を槌打ちする
と、微粒子は剥離落下してヒータによって焼却される
か、受け皿部５６²に堆積して、後に適当なときに処分
される。なお、微粒子の焼却は、恐らくは塵埃が微細な
微粒子であることに起因して単に二酸化炭素になるのみ
であり、煤等の微粒子を再度発生することはない。な
お、ヒータを用いての焼却は省いてもよい。

【００３５】第６図には、本発明の第４実施例装置を概
略的に示す。

【００３６】長方形直管ダクト６１、６１′には、微粒
子、特に塵埃除去装置６２がその端部のフランジを図示
しないボルトによって締結することによって一体的に連
結される。塵埃除去装置６２は、膨張した中央部６４、
入口部６３、出口部６５、処理部６６を有する。膨張し
た中央部６４は、垂直に配置され、入口部６３は、水平
に配置され、出口部６５及び受け皿６６は垂直に配置さ
れる。入口部６３及び処理部６６は、塵埃除去装置６２
の下端部において膨張した中央部６４とデフューザを介
して一体に連結される。出口部６５は、塵埃除去装置６
２の上端部において膨張した中央部６４とデフューザを
介して一体に連結される。入口部６３には、導電性網群
６７を構成する導電性網６７¹、６７²、６７³が電気
的に絶縁体である支持台を介して塵埃除去装置の側壁に
取付けられる。膨張した中央部６４には、一方の側壁外
部において通気性を有する導電性基質、好ましくはフレ
クトロンの布６８をロール状に巻いたリール６８¹を配
置する。次いで、該導電性基質の布を引出して、中央部
６４の内部を塵埃を含む空気の流れに対向するように、
この場合は水平に配置し、更にリール６８¹と中央部６
４に関して正反対の他方の側壁外部に配置したリール６
８²に巻取る。

【００３７】循環空気の塵埃は、空気の流れに対向する
ように垂直に配置された導電性網群６７を通過する際に
負に荷電され、この負の荷電微粒子は、中央部６４にお
いて循環空気の流れに対向するように、この場合は水平
に配置された通気性を有する導電性基質６８によって捕
集される。

【００３８】なお、塵埃除去装置の入口部と出口部の圧
力差を測定する計測器により、該圧力差を計測して、下
限値に達すると、自動的に電源を切ると共に、通気性を
有する導電性基質の必要量をリール６８¹から繰出し、
前の塵埃を捕集した部分をリール６８²に巻取る。その
際に、捕集された塵埃の一部は下に落下して、処理部６
６の受け皿に捕集される。この際に、ヒータをも設け
て、塵埃の一部が処理部６６に捕集される前に焼却する
ことができるが、このことは任意である。受け皿部に堆
積した塵埃は後に処理される。

【００３９】なお、本発明の実施例においては、循環空
気の上流側に配置する導電性網としてはフレクトロンを
用いることができる。

【００４０】実施例１図１に示す微粒子除去装置とほぼ類似の装置を用いて、
ディーゼルエンジンの排気ガス中の煤の除去試験を行な
った。導線性網としては、６０メッシュのステンレス製
金網を３枚を併置したものを用いた。通気性のある導電
性基質としては、ナイロンの不織布に銅を無電解メッキ
により被覆したフレクトロンであって、金属量が３２パ
ーセントで、４９ｇ／ｍ²のものを用いた。

【００４１】汚染度はボッシュ汚染度計で計測した。

【００４２】微粒子除去装置の入口のところの入口汚染
度は３８．０％であって、直流電源の電圧を変えたとき
の微粒子除去装置の出口のところの出口汚染度（％）、
除染率（％）を以下の表１に示す。但し、圧力損失は２
６mmAqであった（このことは、微粒子除去装置を付加し
てもディーゼルエンジンの背圧を上げることがなかった
ことを意味する。）。

【００４３】

【表１】

【００４４】実施例２図１に示す微粒子除去装置とほぼ類似の装置を竪形にし
て、煙草の煙を用いてそれに含まれる微粒子の除去試験
を行なった。導電性網としては、６０メッシュのステン
レス製金網を６枚併置したものを用いた。通気性を有す
る導電性基質としたは、ナイロンの不織布に銅を無電界
メッキした表面積が１５５ｃｍ²のフレクトロンを用い
た。

【００４５】計測は、パーティクルカウンタを用いて行
なった。微粒子除去装置の入口のところでの粒径別の粒
子数、微粒子除去装置の出口のところでの直流電源の電
圧をパラメータとした粒径別の粒子数を以下の表２に示
す。但し、サンプル時間は１０秒、サンプル流量は４
７．１７ccであった。

【００４６】

【表２】

【００４７】更に、換算した捕集率（％）を以下の表３
に示す。

【００４８】

【表３】

【００４９】

【発明の効果】本発明の微粒子除去方法及び装置による
と、人体及び火災に対してより安全な低電圧で動作し
て、微細な微粒子を含む微粒子を効率よく捕集すること
ができ、目詰まりを起こし難く、しかも安価である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例装置を概略的に示す図であ
る。

【図２】従来の電気的に絶縁体である繊維製フィルタの
織布の編目、及び微粒子の捕集の様子を概略的に示す図
である。

【図３】本発明に用いることのできるフレクトロンの繊
維に堆積した金属微粒子の堆積の状態、及び微粒子の捕
集の様子を概略的に示す図である。

【図４】本発明の第２実施例装置を概略的に示す図であ
る。

【図５】本発明の第３実施例装置を概略的に示す図であ
る。

【図６】本発明の第４実施例装置を概略的に示す図であ
る。

【符号の説明】

１、１′ ダクト２微粒子除去装置７導電性網群８通気性を有する導電性基質１０直流電源２１、３１繊維４１導電性網４２通気性を有するか有しない導電性基質４３直流電源５２微粒子除去装置５７導電性網群５８通気性を有するか有しない導電性基質５９直流電源６２微粒子除去装置６７導電性網群６８通気性を有する導電性基質６９直流電源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微粒子を含んだ気体の流れの上流側に直
流電源の負極に接続した導電性網を該気体の流れに対向
するように設置し、その下流側に該直流電源の正極に接
続した通気性を有する導電性基質を該気体の流れに対向
するように設置し、電気的に中性の該微粒子を該導電性
網を通過するときに帯電微粒子にして、該導電性基質で
捕集する微粒子除去方法。
【請求項２】通気性を有する導電性基質は、人工又は
天然の織布又は不織布を構成する繊維を少なくとも１種
のポリマーと少なくとも１種のＩＢ属又はVIII属の金属
の化合物との錯体を含む触媒の表面層を以て覆い、次い
で該表面層を輻射エネルギーに暴露することによって無
電解メッキに対して活性化し、次いでその表面を無電解
メッキにより金属を被覆したものである請求項１記載の
微粒子除去方法。
【請求項３】通気性を有する導電性基質は、更に電解
メッキにより金属を被覆したものである請求項２記載の
微粒子除去方法。
【請求項４】直流電源の電圧は６００ボルト以下、好
ましくは１０乃至６００ボルトである請求項１乃至３の
いずれかに記載の微粒子除去方法。
【請求項５】微粒子を含んだ気体の上流側に直流電源
の負極に接続した導電性網を気体の流れに対向するよう
に設置し、その下流に正極に接続した通気性を有するか
有しない導電性基質を気体の流れに沿うように設置し、
電気的に中性の該微粒子を、該導電性網を通過するとき
に帯電微粒子にして、該導電性基質で捕集する微粒子除
去方法。
【請求項６】通気性を有するか有しない導電性基質
は、人工又は天然の織布、不織布、プレート又はフィル
ムを少なくとも１種のポリマーと少なくとも１種のＩＢ
属又はVIII属の金属の化合物との錯体を含む触媒の表面
層を以て覆い、次いで該表面層を輻射エネルギーに暴露
することによって無電解メッキに対して活性化し、次い
でその表面を無電解メッキにより金属を被覆したもので
ある請求項５記載の微粒子除去方法。
【請求項７】通気性を有するか有しない導電性基質
は、更に電解メッキにより金属を被覆したものである請
求項６記載の微粒子除去方法。
【請求項８】直流電源の電圧は６００ボルト以下、好
ましくは１０乃至６００ボルトである請求項５乃至７記
載の微粒子除去方法。
【請求項９】微粒子を含んだ気体の流れの上流側にそ
の流れに対向するように配置された導電性網と、該気体
の流れの下流側にその流れに対向するように配置された
通気性を有する導電性基質と、負極が該導電性網に接続
され、正極が該導電性基質に接続された直流電源とを具
備する微粒子除去装置。
【請求項１０】導電性網よりも更に上流側に微粒子以
外の気体中の異物を除くフィルタが配置された請求項９
記載の微粒子除去装置。
【請求項１１】微粒子が塵埃である請求項９記載の塵
埃除去装置。
【請求項１２】微粒子が雑菌である請求項９記載のバ
イオクリーンベンチ。
【請求項１３】微粒子を含んだ気体の流れの上流側に
その流れに対向するように置かれた導電性網と、該気体
の流れの下流側にその流れに沿うように置かれた通気性
を有するか有しない導電性基質と、負極が該導電性網に
接続され、正極が該導電性基質に接続された直流電源と
を具備する微粒子除去装置。
【請求項１４】導電性網よりも更に上流側に微粒子以
外の気体中の異物を除くフィルタが配置された請求項１
３記載の微粒子除去装置。
【請求項１５】微粒子が塵埃である請求項１３記載の
塵埃除去装置。
【請求項１６】微粒子が雑菌である請求項１３記載の
バイオクリーンベンチ。