JPH0529312B2 - - Google Patents

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JPH0529312B2
JPH0529312B2 JP63022158A JP2215888A JPH0529312B2 JP H0529312 B2 JPH0529312 B2 JP H0529312B2 JP 63022158 A JP63022158 A JP 63022158A JP 2215888 A JP2215888 A JP 2215888A JP H0529312 B2 JPH0529312 B2 JP H0529312B2
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tube
solder
end wall
glass
gas discharge
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Noibauaa Ruudorufu
Yunguburuuto Uerunaa
Rashinsukii Deiitaa
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DOITSUCHE FUORUSHUNKUSANSHUTARUTO FUYURU RUFUTO UNTO RAUMUFUAARUTO EE FUAU
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DOITSUCHE FUORUSHUNKUSANSHUTARUTO FUYURU RUFUTO UNTO RAUMUFUAARUTO EE FUAU
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/032Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube
    • H01S3/0323Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube by special features of the discharge constricting tube, e.g. capillary
    • HELECTRICITY
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    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition

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Description

ピン39 を有し、しかも (e) 管体4、端壁6,8及びキヤピラリ管14,
16がアルカリ石灰珪酸ガラス又はアルミノ石
灰珪酸ガラスから成り、 (f) 端壁6,8が管体4、キヤピラリ管14,1
6、ポンプ接続管片及びカソード接続ピンとガ
ラスはんだによつて密封結合されているHe−
Neガス放電管において、 (g) 端壁6,8が管体4に挿入された円筒状円板
として形成され、 (h) 円筒状カソード37の端部が制限する端壁6
のためにストツパとして構成され、かつ (i) ガラスはんだ17,19が一方の端壁では該
端壁の外面をかつ他方の端壁ではその内面を全
面的に被覆していることを特徴とするHe−Ne
ガス放電管。
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 本発明は、 (a) 内側に存在する円筒状カソードと、管体の端
部に挿入されかつ円筒状孔を備えた端壁とを有
する円筒状管体、 (b) 端壁の円筒状孔に挿入されかつ端壁内に密封
保持された、ガラスから成るキヤピラリ管、 (c) 端壁の一方に密封固定されたポンプ接続管
片、 (d) 軸線平行の孔を貫通して端壁の一方に案内さ
れた、円筒状カソードのための接続ピンを有
し、しかも (e) 管体、端壁及びキヤピラリ管がアルカリ石灰
珪酸ガラス又はアルミノ石灰珪酸ガラスから成
り、 (f) 端壁が管体、キヤピラリ管、ポンプ接続管片
及びカソード接続ピンとガラスはんだによつて
密封結合されているHe−Neガス放電管に関す
る。
従来の技術 He−Neガス放電管は、特に測定技術的装置の
ために使用される。公知のガス放電管において
は、個々の部分は溶接によつて相互に結合されて
いる。この製造は一般にオートマツチクで行われ
る。低い膨張係数を有しかつオートマツチク製作
のために好適である硬質ガラスが使用される。こ
れらのガス放電管は、使用される硬質ガラスがヘ
リウムに対して限られた気密性を有するにすぎな
いという欠点を有する。従つて、ガス放電管は限
られた寿命を有するにすぎない。この種のガス放
電管においては、ブルースタの窓をそれをを包囲
するガラスはんだリングによつて密封固定するこ
とが公知である(ドイツ連邦共和国特許出願公開
第3103385号同第2326561号明細書、ヨーロツパ特
許公開第119408号明細書、ドイツ連邦共和国実用
新案登録第7203534号明細書)。
多くの用途、例えば宇宙飛行において使用する
際及びレーザジヤイロにおいて使用する際には、
著しく長い耐用時間が必要とされる。
発明が解決しようとする課題 本発明の課題は、ヘリウム損失が公知のガス放
電管よりも著しく少ない、冒頭に記載した形式の
He−Neガス放電管を提供することであつた。
課題を解決するための手段 前記課題は、本発明により冒頭に記載した形式
のHe−Neガス放電管において、 (g) 端壁が管体に挿入された円筒状円板として形
成され、 (h) 円筒状カソードの端部が制限する端壁のため
にストツパとして構成され、かつ (i) ガラスはんだが一方の端壁では該端壁の外面
をかつ他方の端壁ではその内面を全面的に被覆
していることを特徴とすることにより解決され
る。
実施例 次に、図示の実施例により本発明を詳細に説明
する。
図面に示されたガス放電管2は、円筒状管体4
を有する。この管体の端部に、円板状端壁6,8
が挿入されている。端壁6及び8は中央孔を備え
ており、該孔にキヤピラリ管14,16が挿入さ
れ、これらノキヤピラリ管は常法でそれらの内側
にある端部で相互に所定の間隔をもつて配置され
ている。
前記孔及び端壁6及び8の外周の寸法は、端壁
及び管体と、キヤピラリ管との間にできるだけ僅
かな、しかし十分な遊びが生じるように選択すべ
きである、該遊びはそれでもつて交差を考慮して
マウントの際にキヤピラリ管の応力の無い整列が
可能であるようにするために必要である。端壁6
及び8はその外周に段部18をかつその内周に段
部20を有している。これらの段部はキヤピラリ
管の内側の管壁もしくは外周と共にそれぞれ、キ
ヤピラリ管を端壁にかつ端壁を管体に密封固定す
るために役立つガラスはんだを受容するためのは
んだ継ぎ目を形成する。
図示の実施例では、両者の円板6及び8の段部
18,20はそれぞれ反対に外側に向いている。
該段部はまた同じ方向に向くように配置されてい
てもよい、即ち一方の側では管内部に向いていて
もよい。これらは又以下に記載するように省くこ
ともできる。
管体4及び端壁6,8は、アルカリ石灰珪酸ガ
ラス又はアルミノ石灰珪酸ガラスから成る。軟質
ガラスに属するアルカリ石灰珪酸ガラスは、以下
の主成分を有する:CaO(5〜12重量%)、アルカ
リ(13〜20重量%)、SiO2(残り)。中硬質ガラス
に属するアルミノ石灰珪酸ガラスは、以下の特徴
的含量を有する:Al2O3(3.5〜10重量%);CaO
(6〜12重量%);アルカリ(8〜23重量%)、
SiO2(残り)。3重量%未満の別の成分も存在す
ることができる(“Werkstoffkunde der Hoch−
vakuumtechik”第2巻、2頁;VEB
Deutscher Verlag der Wissen−schaften、
Berin1962参照)。
例えば主としてSiO2約72%、Na2O+K2O14
%、CaO9%、MgO3〜4%及びAl2O31%の組成
を有する、常用のフロートガラス品質のアルカリ
石灰珪酸ガラスを使用することができる。このよ
うなガラスは密度2.5g/cm3及び線状の熱膨張係
数8.5〜9.5・10-6/Kを有する。これらのガラス
は管、端壁及びキヤピラリ管のために使用するこ
とができる。ドイツのFa.Schott Ruhrglasから
商品名“AR−Glasklar”として市販されてい
る、極めて有用なアルミノ石灰珪酸ガラスは、ほ
ぼ以下の化学的組成(重量%)を有する:
SiO269、B2O31、Al2O34、Na2O13、K2O3、
BaO2、CaO5及びMgO3;線状膨張係数α20/300
は、9.0・10-6/Kであり;転移温度は520℃であ
り、密度は2.52g/cm3である。アルカリ石灰珪酸
ガラス及びアルミノ石灰珪酸ガラスは高いヘリウ
ム気密性を有する、該気密性は一般にHe−Neガ
ス放電管が製作される硬質ガラスよりも102倍程
大きい、従つて硬質ガラスからガラス封止によつ
て製造された公知のガス放電管よりも著しく長い
耐用時間が期待される。
はんだ材料としては、結晶性ガラスはんだを使
用するのが有利である。Fa.Schott Glas−werke
の結晶性ガラスはんだ“Glas No.8597”が特に
有利であることが判明した。このガラスはんだは
435℃で溶融しかつはんだ付け後には450℃に再加
熱することができ、しかも強度が劣化されない。
しかし、又安定なガラスはんだ、特に硼珪酸鉛型
のものを使用することもできる。
ガラスはんだは別に前焼結したはんだリング
(幅1〜2mm及び厚さ2mm)の形で施すことがで
きる。しかし、第2図に示されているように、相
応する厚さを有するはんだ円板を使用することも
できる。
キヤピラリ管はその外側端部に、キヤピラリ直
径よりも大きい直径を有する区分22,24を有
する。そのようにして形成された空間において、
両者のキヤピラリ管14,16内にそれぞれアノ
ードピン26,28が突入している。外側端部で
は、キヤピラリ管はブルースタの角度αで傾斜し
かつこの傾斜部にブルースタの窓30がガラスは
んだで固定されている。このためには傾斜部とブ
ルースタの窓との間の平面的はんだ付けが行われ
るように、薄いガラスはんだ円板を使用するのが
有利である。
第1図において、右側の端壁6に孔32が設け
られており、該孔に同様にガラスはんだ36で固
定されかつ密封されたポンプ接続管片34が嵌合
されている。アノードピン26及び28の固定及
びシールも同様にガラスはんだによつて行われ
る。
管は更に公知形式で、管4内に押し込まれたア
ルミニウム円筒体の形のカソード37を備え、該
カソードは端壁の一方、この場合には端壁8を貫
通案内された接続ピン39に固定されている。こ
の円筒状カソード37及びその接続ピン39は、
第1図には点線で示されている。接続ピン39は
同様に端壁8にはんだ付けされている。
製造は以下のようにして実施することができ
る。即ち、まずブルースタの窓をキヤピラリ管に
はんだ付けしかつアノードピン26,28をはん
だ付けする。次いで、はんだリングもしくははん
だ円板を添えて端壁6及び8を管体4に嵌合させ
る。その際、円筒状カソードの端面をストツパと
して使用することができる。端壁に、更にキヤピ
ラリ管を嵌合させかつアライメント状態に保持す
る。次いで、はんだ継ぎ目がアライメントされて
いれば、前記のようにして、当該部分を1工程で
はんだ付けする。
第2図に分解図で示されたガス放電管の場合に
は、個々の構成部材は実質的に第1図に示されて
いるものに一致する。この実施形の個々の構成部
材は、第3図には組み立てた状態で示されてい
る。第1図の実施形に示されているものに相当す
る部分に関しては、第1図は前記説明を参照され
たい。この場合には、両者の端壁6及び8が段部
を有しない簡単な円板から成つている点が異なつ
ている。はんだ付けのために、はんだ円板17及
び19が設けられており、該円板は外径及び孔1
3もしくは21の直径に関しては端壁のそれに等
しい。更に、端壁及び所属のはんだ円板は一方で
はポンプ接続管片34のための同じ孔15並びに
他方ではカソード接続ピン39のための孔23を
有する。端壁6及び8並びに所属のはんだ円板1
7及び19は、それぞれ同じ工具を用いてガラス
板もしくは焼結したガラスはんだ円板から超音波
加工によつて製造することができる。この場合に
は、端壁の段部を省くのが有利である。
ガス放電管は垂直軸線を有するようにしてはん
だ付けする。この際、第3図に示されているよう
に、端壁6は円筒状カソード37の端部に載つて
おり、該円筒状カソードの端部ははんだ円板17
が実質的に管体4の上方縁部と同一平面内に位置
するように設計されている。
円筒状カソード37の下方端部ははんだ円板1
9の上に載つており、該はんだ円板はまた端壁8
に載つており、該端壁もまた管体4の下方端部と
同一平面内に位置する。この場合、保持するため
に支持円板41が設けられており、該円板上に管
体4及び端壁8が載つている。
キヤピラリ管のアライメントのためには、第3
図に示されているような装置を使用するのが有利
である。この場合にはベース板43を有する締め
付け台40に締め付けブラケツト42が固定され
ており、該ブラケツトはその前方端部に相互に同
一直線上にある楔状溝44を備えており、該溝に
前記形式で予め組立てられた管2をそのキヤピラ
リ管14及び16の外側に突出した端部で嵌合さ
せる。次いで、図示されていない締め付け部材を
用いてキヤピラリ管を溝44に機械的に締め付け
る。第3図に示めされた実施例では、締め付け台
40はねじ45で台座48を備えたL字形支持部
材46に固定されている。このようにして、両者
のキヤピラリ管のそれらの軸線方向に対するかつ
ブルースタの窓に位置に関するアライメントが可
能であり、このことはガス放電管の作動及び効率
にとつて極めて重要なことである。端壁及び管体
4と、キヤピラリ管14及び16との嵌合遊び
は、応力の無いアライメントが可能であるように
選択されるべきである。
次いで、前記のようにして前記装置に取り付け
たガス放電管を、はんだ円板17のはんだが端壁
の内周及び外周のはんだ継ぎ目及び孔15及び2
3に流れ込むことができるように、装置を用いて
直立させて炉内に挿入する、その際重力の作用及
び毛細管作用で結合面の完全な“ぬれ”が達成さ
れる。はんだ結合は、約7℃/minの加熱もしく
は冷却速度で実施すべきである。
勿論、前記形式で調製したキヤピラリ管を場合
によりアノードピン及び場合によりカソード37
の接続ピン39と一緒にまず別々に端壁とはんだ
付けしかつ引き続きそうして既製した端壁を管体
4とはんだ付けすることも可能である。前記のガ
ラスはんだ“7597”を使用する際には、連続的は
んだ付けのために同じガラスはんだを使用するこ
とができる。さもなければ、十分に異なつたはん
だ付け温度を有するガラスはんだを使用する必要
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるHe−Neガス放電管の縦
断面図、第2図はHe−Neガス放電管の有利な1
実施例の分解斜視図及び第3図は第2図の放電管
を製造するための装置の側面図である。 4……円筒状管体、6,8……端壁、10,1
2……孔、13,15,21,23……孔、1
4,16……キヤピラリ管、17,19……はん
だ円板、18,20……段部、22,24……孔
区分、23……孔、26,28……アノード接続
ピン、30……ブルースタの窓、34……ポンプ
接続管片、37……円筒状カソード、39……接
続ピン、α……ブルースタ角度。
【特許請求の範囲】
1 レーザ陰極を製造するための方法であつて、
ガラスまたはガラスセラミツク材料から作られた
実質的に半球状の基礎要素1は真空被覆工程によ
りそ内側にアルミニウムまたはアルミニウム合金
の被覆(Al被覆)が与えられ、 浄化された基礎要素1を、真空ユニツトの容器
内で、被覆される陰極基礎要素1の内側と整列す
る開口9を有する導電ベース2に設置するステツ
プと、 容器の圧力を、酸素の分圧が2×10-9ミリバー
ルよりも小さくかつ残余のガスの圧力が2×10-7
ミリバールを越えない程度まで減じるステツプ
と、 容器をわずかな圧力のもとで少なくとも一種の
レーザガスで充満し、一方Al被覆を層成長の速
度に関して、制御可能である被覆工程で本質的に
同時に付与するステツプとを備え、そのAl被覆
はまたベース2の部分的な区域をカバーし、その
ため被覆された基礎要素1とベース2との間に導
電接続を作り、 真空状態を中断せずに、Al被覆された基礎要
素1を容器内でガス注入口装置7上の位置へもた
らし、それを介してレーザガスの混合物を数ミリ
JP63022158A 1987-02-04 1988-02-03 He-ne gas discharge tube Granted JPS6457687A (en)

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DE3703304 1987-02-04

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