JPH05289137A

JPH05289137A - 波長変換装置とその製造方法

Info

Publication number: JPH05289137A
Application number: JP9127992A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Matsumoto; 秀一松本; Masahiro Yamada; 正裕山田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-04-10
Filing date: 1992-04-10
Publication date: 1993-11-05

Abstract

(57)【要約】【目的】変換効率の向上をはかる。【構成】全厚さに渡る分極反転領域が形成された周期
分極反転構造１を有する板上非線型光学結晶２を含む共
振器構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は波長変換装置、特に光第
２高調波発生装置（以下ＳＨＧという）とその製造方法
に係わる。

【０００２】

【従来の技術】非線型光学結晶の一部に光導波路を形成
した導波路型ＳＨＧは、光の閉じ込めができることか
ら、波長変換効率を高めることができる。

【０００３】即ち波長変換効率は、基本波パワー、基本
波と第２高調波との相互作用長の各２乗に比例すること
から、導波路型としたことで、主として相互作用長を長
くすることの効果によって波長変換効率を高められると
考えられている。

【０００４】しかしながら、非線型光学結晶板によるい
わゆるバルク型ＳＨＧは、例えば、いわゆるＱないしは
フィネスの高い外部共振器を構成し易く、この場合、基
本波パワーを充分高めることができ波長変換効率の高い
ＳＨＧを得る可能性を有している。

【０００５】従来、バルク型ＳＨＧにおいて８００ｎｍ
オーダの波長を、４００ｎｍオーダの波長に変換するこ
とができるものとしては、ＫＮ（ＫＮｂＯ₃）が存在す
るこに過ぎない。

【０００６】この、バルク結晶の非線型光学効果の応用
に際しての位相整合法は、従来、非線型光学結晶自身の
もつ複屈折と、異常屈折率と常屈折率の結晶温度に対す
る変化率の差を組合せて２次高調波の異常屈折率と、基
本波波長での常屈折率が合致するように、偏光、結晶方
位を設定し、両者の位相速度を合わせるもので、異常屈
折率と、常屈折率の温度に対する変化率が異なることを
利用する。しかしながら、ＫＮの場合でも、室温近傍で
の位相整合波長は、８７０ｎｍ程度となり、結晶温度が
０℃で８６０ｎｍ程度が得られるにすぎない。

【０００７】これに対し非線型光学定数の周期的反転に
よって基本波と２次高調波の位相整合を行うようにした
疑似位相整合法が知られている。これによれば、利用可
能な非線型光学材料の範囲が広がり、光学定数ｄ₃₃にす
ぐれた結晶の利用が可能となる。

【０００８】このような非線型光学定数の周期的反転を
バルク型ＳＨＧにおいて生じさせる方法としては、例え
ばその結晶育成において、チョクラルスキー法による育
成法によりその温度制御によって密度勾配から自動的に
分極反転を生じさせるものであるが、この場合本来疑似
位相整合に求められる非線型光学定数の周期的反転のみ
ならず、屈折率の変化も生じてしまう。また母材への異
種原子の拡散、本来の組成比からのずれの発生等によっ
て、基本波としてのレーザ光のような電界強度を持った
光に対する耐性に劣化を生じる。

【０００９】また、電圧印加等によって周期分極反転構
造を形成する方法の提案もなされているが、通常の場
合、充分深く、形状制御性にすぐれた分極反転領域の形
成が困難で、バルク型ＳＨＧへの適用に問題があった。

【００１０】このため、上述した疑似位相整合法を用い
たバルク型ＳＨＧはその実現化が遅れている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、先に本出願
人が提供した特願平３−４６８５９号「周期ドメイン判
定構造を有する光デバイス装置とその製法」、特願平３
−１０７３９２号「分極反転制御方法」において、深
く、かつ形状制御性すぐれた周期分極反転構造を作るこ
とができたことに鑑み、バルク型ＳＨＧにおいて、この
疑似位相整合法を利用し、更に、より変換効率の向上を
はかる。

【００１２】また、本発明は、基本波光源として用いる
例えば半導体レーザにおける波長のばらつきを強制的に
特定の波長にロックして、より高い変換効率を有する波
長変換装置をできるようにする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明においては、図１
に一例の側面図を示し、図２にその上面図を示すよう
に、分極反転領域が全厚さに渡って形成された周期分極
反転構造１を有する板状非線型光学結晶２を有して成
り、板状非線型光学結晶２を含む共振器を構成して成
る。

【００１４】また、本発明の他の１は、全厚さに渡る分
極反転領域が形成された周期分極反転構造１を有し、両
主面が平行平面性にすぐれた板状非線型光学結晶２を有
して成り、この板状非線型光学結晶２の両主面２ａ及び
２ｂで全反射させるか薄膜コーティングによって反射率
を高め、これら両主面での繰返し反射によって周期分極
反射構造１による疑似位相整合条件を満足させながら基
本波と光第２高調波の相互作用長を大にする。

【００１５】更にまた、本発明の他の１は、例えば図５
に示すように、全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造１を有する板状非線型光学結晶２を有
し、この板状非線型光学結晶２の周期分極反転構造１の
形成部における光路を挟んで対向する第１の対向電極１
１を設ける。

【００１６】また本発明の他の１は、全厚さに渡る分極
反転領域が形成された周期分極反射構造１を有する板状
非線型光学結晶２と、基本波光源のレーザ４とを有し、
板状非線型光学結晶２の周期分極反転構造１の形成部に
おける光路を挟んで対向する第１の対向電極１１を設
け、板状非線型光学結晶２を含むリング外部共振器を構
成し、第１の対向電極１１への印加電圧を調整して周期
分極反転構造１によるブラッグ反射条件を上記共振器の
共鳴波長と一致させて上記基本波光源のレーザ３をイン
ジェクションロッキングさせる。

【００１７】更に本発明の他の１は、全厚さに渡る分極
反転領域が形成された周期分極反転構造１を有する板状
非線型光学結晶２と基本波光源のレーザ３とを有し、板
状非線型光学結晶２の周期分極反転構造１の形成部にお
ける光路を挟んで対向する第１の対向電極１１を設ける
と共に、上記光路を挟んで他部に第２の対向電極１２を
設け、板状非線型光学結晶２を含む共振器が構成する。
また、本発明の他の１は、図８及び図９に示すように、
全厚さに渡る分極反転領域が形成された周期分極反転構
造１を有する板状非線型光学結晶２を有して成り、板状
非線型光学結晶２の相対向する両端面２ｃ及び２ｄが所
要の曲面とすると共に反射面として共振器を構成し、上
記周期分極反転構造１の分域壁が共振器の１の主たる光
路と直交するようにする。

【００１８】更に、本発明方法においては、単分域化さ
れた非線型光学結晶基体に、これを挟んで少くとも一方
が最終的に得る周期分極反転構造の周期パターンに対応
するパターンとされた対向電極を設け、この対向電極間
に３００℃以下望ましくは１５０℃未満の温度下で１ｋ
Ｖ／ｍｍ〜１００ｋＶ／ｍｍの電界を印加して周期分極
反転構造を形成し、上記非線型光学結晶基体から全厚さ
に渡る分極反転領域が形成された周期電極反転構造を有
する板状非線型光学結晶を得る。

【００１９】

【作用】上述の本発明方法によって分極反転構造を形成
するときは、ミリメータオーダの厚さの板状非線型光学
結晶基板に対してその全厚さに渡って分極反転領域を形
成できることから位相整合を確実に行うことができ高変
換効率のいわゆるバルク型ＳＨＧを構成できる。

【００２０】そして、本発明においては、その光導波を
行う非線型光学結晶２の両主面２ａ及び２ｂに平行平面
性を持たせ、全反射が生じるようにするか、もしくは反
射面を形成して導波光を例えば図１に破線ａをもって模
式的に示したように、周期的分極反射構造１による疑似
位相整合条件を満足しながら基本波を比較的長い距離に
渡って伝搬させることができるので、非線型相互作用長
を大とすることができ、２次高調波の変換効率を大とす
ることができる。

【００２１】そして、この周期分極反転構造１を有する
非線型光学結晶２を含む例えば外部共振器を構成したの
で、基本波パワーを大とすることができ、変換効率を更
に高めることができる。

【００２２】また、第１の対向電極１１を周期分極反転
構造部に設けたことにより、この第１の対向電極１１間
に電圧印加を行うことによって、直流電界を用いて対向
電極間の板状非線型光学結晶中に分極反転の周期と同じ
周期の屈折率のグレーティングを形成し、かつその印加
電圧を変化させることで、屈折率のグレーティングのブ
ラッグ反射率を調整できる。したがって、これを、リン
グ外部共振器構成において用いることによって励起光源
側に、ある光量の光を戻すことが可能となり、共振器の
共振波長と、ブラッグ反射条件が合致するとき、励起光
源のレーザに対して、インジェクションロッキングが可
能となる。このため外部共振器の共振条件と、励起光源
の発振波長を容易に合致させることが可能となる。つま
り、外部共振器の共振条件と、例えば、非線型光学効果
のための位相整合条件が同時に満たされる場合、波長選
択性に厳しい外部共振器型非線型光学効果デバイスの欠
点を克服し、かつ、高効率の非線型光学効果を生じさせ
ることができる。

【００２３】また、板状非線型光学結晶２に第２の対向
電極１２を設けることにより、この電極を通じて、直流
電界を与え、電気光学効果を用いて対向電極間の強誘電
体の屈折率を変化させることができ、これによって共振
器の共振条件を調整することができるので、共振器の設
計、製造が容易となり、更に確実に共振を発生できるこ
とから、更に変換効率の向上がはかられる。

【００２４】

【実施例】本発明による波長変換装置の実施例を説明す
る。図１及び図２を参照して本発明装置の一例を説明す
る。図１はその略線的側面図で、図２はその上面図を示
す。

【００２５】単分域化されたＬＮ（ＬｉＮｂＯ₃）、Ｋ
ＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ₄）等、例えばｚ板のＬＮより成
り、ｃ軸方向（ｚ方向）に単分域化された板状非線型光
学結晶２、この例では、ミリミーダの厚さの板状非線型
光学結晶２を用い、両主面２ａ及び２ｂを光学的精度の
平行平面とし、両主面２ａ及び２ｂで、全反射が生じる
ように、或いは例えば反射膜コーティングを行って反射
面とする。板状非線型光学結晶（以下結晶板という）２
の一部には、その全厚さに渡って形成された分極反転領
域が周期的に導波方向に（板面方向）にストライプ状に
形成した周期的分極反射構造１を形成する。そして、結
晶板１の両主面２ａ及び２ｂに、周期的分極反射構造１
の形成部とこの形成部外において、伝搬する光束Ｌ_Bの
幅Ｗ_Lを超える幅をもって結晶板２を挟んでそれぞれ対
向する第１及び第２の対向電極１１及び１２を被着形成
する。

【００２６】そして、結晶板２の一端面２ｃから入射さ
せた基本波を図１中破線ａで模式的に示すように、繰返
し反射させて比較的長い距離に渡って周期的分極反射構
造１の領域を疑似位相整合条件を満足させながら、他方
の端面２ｄへと伝搬させることにより、長い相互作用長
を生じさせてこれに比例する非線型相互作用効率によっ
て２次高調波を発生させこれを端面２ｄから導出する。

【００２７】一方、結晶板２の両端面２ａ及び２ｂに
は、対の反射鏡Ｍ₁及びＭ₂が対向して配置され、結晶
板２を含む共振器が構成される。反射鏡Ｍ₁及びＭ₂は
凹面鏡とされて、基本波光が結晶板２内に効率よく、閉
じ込められるようにする。一方の基本波を入力する側の
反射鏡Ｍ₁は、基本波光に所要の透過率を示すが２次高
調波を反射させ、他方の反射鏡は、２次高調波に透過性
を示し、基本波を反射させるダイクロックミラーとす
る。

【００２８】結晶板２の両端面２ｃ及び２ｄは、所要の
傾斜面とされ、無反射コートがなされて入射基本波が効
率良く両主面２ａ及び２ｂで繰返し反射し、かつ両反射
鏡Ｍ ₁及びＭ₂間において結晶板２を含む共振器が構成
されるようにする。

【００２９】結晶板２中の非線型光学相互作用長は、結
晶外に設けられた反射鏡Ｍ₁及びＭ ₂の曲率半径、結晶
板２の厚さによって、また、反射鏡の反射率、結晶板端
面２ｃ，２ｄ等のコーティング等は通常の共振器設計の
手法によって設計される。また、分極反転周期は結晶板
２の両面２ａ，２ｂの反射角、結晶の複屈折性を考慮し
て導出される。そして、このとき、結晶板２中の分極構
造と、ポンプ波、シグナル波、アイドラー波（もしくは
基本波と第２高調波）の偏光の関係は、上述の図１で示
す場合のほか、図３に側面図を示し、図４にその上面図
を示すように、ｘ板による結晶板２によって構成し、そ
の板面方向に単分域化され、分極反転領域を形成した分
極反転周期構造とすることができる。

【００３０】図１及び２の例では、ＬＮの場合、ブリュ
ースター結合が可能となる一方、光波の電界が分極軸に
対して斜め入射するため非線型光学定数を充分には利用
できないものであるのに比し図３及び図４の例ではこれ
の改善がはかられる。

【００３１】また、図５に示すように結晶板２外に、更
に反射鏡Ｍ₃を設けてリング共振器とし得る。

【００３２】図６は、この系を単純化して示したもので
簡単化のために結晶板２中のジグザグ光路を主たる光路
として直線的に示したが、以下に、述べるチューニング
機構の一般性は失われてない。この構成において、第１
の対向電極１１間に直流電界を印加すると、各分域にお
いて屈折率が±Δｎ変化することから周期的な屈折率の
グレーディングを誘起することになってここにＤＢＲが
形成される。

【００３３】そして、今、リング共振器のキャビティー
長を１５ｍｍとすると、ＦＳＲ（フリースペクトラルレ
ンジ）として、０．０４６ｎｍが得られる。

【００３４】また、今、基本波が８３０ｎｍ近傍の波長
とするものとして、ＬＮを用いた場合のＳＨＧを構成す
べく疑似位相整合のための周期的反射構造を形成した場
合において、上述したように第１の対向電極１１間に直
流電界を印加してＤＢＲを形成した状態についてみる。
疑似位相整合のための分極反転周期、ＤＢＲ周期を導く
ために、ネルソン等によって与えられたセルマイヤー式
（Journal of AppliedPhysics vol.45, no.8,(1974)Nel
son, D.F.参照）を用いた。疑似位相整合条件とＤＢＲ
条件を同時に満足する条件を図７から図式的に求めると
次数２９〜３７に相当するＤＢＲ条件を与える曲線７１
〜７５と、疑似位相整合条件を与える曲線７６の交点の
周期が２つの条件を満足することになる。

【００３５】今、分極反転周期として２．９５μｍを選
び相互作用長を３ｍｍと仮定すると屈折率の分散特性か
ら波長トレランス幅（ＦＷＨＭ）約０．２ｎｍが計算さ
れ、この範囲に外部共振器の共鳴が４本（０．２／０．
０４６＝４．３５）程度たつことがわかる。したがっ
て、この構造を外部共振器型ＳＨＧとして用い、第２高
調波発生を効率的に実行するためには外部共振器の共鳴
条件を疑似位相条件に合致させねばならない。ところ
で、図６において結晶板２の単分域に外部電界を第２の
対向電極１２によって印加すると、電気光学効果によっ
て外部共振器のキャビティ長を制御することができるの
で疑似位相整合の中心波長に外部共振器の共鳴波長を合
わせることができる。

【００３６】実際の数値例として第２の対向電極長を５
ｍｍ、結晶板２の厚さを１ｍｍとすると、１波長分の光
路変化を与える屈折率の変化量として１．２５×１０^-4
が必要となる。今、ＬＮの光学定数ｒ₃₃を用いた場合、
約５００Ｖの電圧印加に相当し、少くともこの半分の電
圧印加でこの疑似位相整合条件と、外部共振器の共振条
件を合致できることがわかる。したがって、図６のキャ
ビティ構成で、上述の諸条件を満足し励起光源の波長が
外部共振器の共振波長と合致したとき、高効率の疑似位
相整合による第２次高調波発生が可能となる。

【００３７】一方、第１の対向電極１１によって周期的
分極反転領域に外部直流電界を印加して得られる電気光
学効果によって誘起される周期的な屈折率のグレーティ
ングからの反射率を見積もると、相互作用長３ｍｍ、分
極反転周期０．８３２μｍより、グレーティングペア数
約１０００を得、３００Ｖの電圧印加によってＬＮのｒ
₃₃から得られる屈折率変化５×１０^-5を考慮して光強度
反射率２×１０^-3すなわち０．２％程度が得られること
がわかる。したがって、前述の共鳴諸条件が満足され電
極１１による電圧印加によってＤＢＲが機能した場合、
励起光源側に外部共振器の共鳴周波数の光を戻すことが
可能となり、適当な励起光源すなわち基本波光源を選択
することで、その光源としてのレーザ例えば半導体レー
ザ３の発振波長をこの共鳴周波数にインジェクションロ
ックすることができる。すなわち、励起光源（基本波光
源）として半導体レーザを用いた場合において、問題と
なる発振波長のばらつき、特性劣化によるばらつき、温
度変化によるばらつき等を解消でき安定した２次高調波
の発生を可能にする。

【００３８】図８及び図９にその側面図及び上面図を示
す例においては、結晶基板２の両端面２ｃ及び２ｄを適
当な曲率の光学的研磨と薄膜コーティングなどによる反
射率を付加して共振器構造を形成していわゆる固体モノ
リシックリング共振器を構成した場合で、この場合閉じ
た光路の内の１つの光路と分極反転領域による分域壁が
直交するように周期分極反転構造１を配置する。この場
合においても前述したと同様に第１及び第２の対向電極
１１及び１２を設けることによって外部共振器の高いフ
ィネスを利用して、周期分極反転構造を有する領域での
疑似位相整合条件を満足しながら基本波の光強度を高め
た状態で、高効率の非成型相互作用を生じさせることが
できる。

【００３９】尚、図８及び図９において図１及び図２と
対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。

【００４０】そして、上述の各例における周期分極反転
領域の形成は、図１０に示すように、厚さ例えば１ｍｍ
オーダの結晶板２を用意し単分域化する。

【００４１】この単分域化は、例えばそのキュリー温度
直下の例えば１２００℃程度まで昇温して一定の方向に
外部直流電圧を全面的に印加することによって全面的に
ｃ軸方向に揃えて行った。

【００４２】そしてその分極の正側の主面２Ｓ（２ａ）
上にＡ１等よりなる例えば櫛歯状パターンにパターニン
グされた第１の電極６１を被着形成し、分極の負側の裏
面２Ｒ（２ｂ）にも同様にＡ１等よりなる櫛歯状パター
ンの第２の電極６２を被着形成する。これら電極６１及
び６２のそれぞれの櫛歯パターンは、互いに正対するよ
うに被着形成する。

【００４３】第１及び第２の電極６１，６２の一方例え
ば電極６２は、全面的に形成することもできる。

【００４４】そして、３００℃以下望ましくは１５０℃
未満の例えば室温において第１及び第２の電極６１及び
６２間に強誘電体１２の自発分極の正側の第１の電極２
１が正電位、負側の第２の電極が負電位となるように、
電源２５によって２ｋＶ／ｍｍ〜１００ｋＶ／ｍｍの例
えば１０ｋＶ／ｍｍの電圧を印加する。このようにする
と、第１の電極６１の櫛歯先端部から延長する分極反転
領域２６が生じる。すなわち第１の電極６１の櫛歯のパ
ターンに対応するパターンの周期的な分極反転領域が結
晶破壊をほとんど生じることなく強誘電体２の全厚さを
渡って形成することができた。

【００４５】尚、図において自発分極の方向を矢印ｄ
（先端が正）で示し、分極反転領域の分極方向を矢印ｈ
で示す。分極反転領域の形成後は電極６１及び６２を除
去する。

【００４６】

【発明の効果】上述の本発明方法によって分極反転構造
を形成するときは、ミリメータオーダの厚さの板状非線
型光学結晶基板に対してその全厚さに渡って分極反転領
域を形成できることから位相整合を確実に行うことがで
き高変換効率のいわゆるバルク型ＳＨＧを構成できる。

【００４７】そして、本発明においては、その光導波を
行う非線型光学結晶２の両主面２ａ及び２ｂに平行平面
を持たせ、全反射が生じるようにするかもしくは反射面
を形成して基本波を比較的長い距離に渡って伝搬させ、
非線型相互作用長を大とするので、２次高調波の変換効
率を大とすることができる。

【００４８】また、この周期分極反転構造１を有する非
線型光学結晶２を含む例えば外部共振器を構成したの
で、基本波パワーを大とすることができ、変換効率を更
に高めることができる。

【００４９】また、第１及び第２の対向電極１１及び１
２を設けたことによって共振器の共振条件の調整と、共
鳴周波数の光を励起光源に戻し、光源励磁のインジェク
ションロックによる基本波周波数の固定を行うことがで
きることから、安定して変換効率を高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明装置の一例の側面図である。

【図２】本発明装置の一例の上面図である。

【図３】本発明装置の他の例の側面図である。

【図４】本発明装置の他の例の上面図である。

【図５】本発明装置のさらに他の例の構成図である。

【図６】図５の例の模式的構成図である。

【図７】疑似位相条件とＤＢＲ条件の図式解である。

【図８】本発明装置のさらに他の例の側面図である。

【図９】本発明装置のさらに他の例の上面図である。

【図１０】本発明方法の説明図である。

【符号の説明】

１周期分極反転構造２板状非線型光学結晶１１第１の対向電極１２第２の対向電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｓ 3/09 3/109 8934−4Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造を有する板状非線型光学結晶を有して
成り、該板状非線型光学結晶を含む共振器が構成されて成るこ
とを特徴とする波長変換装置。
【請求項２】全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造を有し、両主面が平行平面性に優れた
板状非線型光学結晶を有して成り、該板状非線型光学結晶の両主面で全反射させるか薄膜コ
ーティングによって反射率を高め、これら両主面での繰
返し反射によって上記周期分極反転構造による疑似位相
整合条件を満足させながら基本波と光第２高周波の相互
作用長を大にしたことを特徴とする波長変換装置。
【請求項３】全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造を有する板状非線型光学結晶を有し、該板状非線型光学結晶の上記周期分極反転構造の形成部
における光路を挟んで対向する第１の対向電極が設けら
れて成ることを特徴とする波長変換装置。
【請求項４】全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造を有する板状非線型光学結晶と、基本
波光源のレーザとを有し、該板状非線型光学結晶の上記周期分極反転構造の形成部
における光路を挟んで対向する第１の対向電極が設けら
れ、上記板状非線型光学結晶を含むリング外部共振器が構成
され、上記第１の対向電極への印加電圧を調整して上記
周期分極反転構造によるブラッグ反射条件を上記共振器
の共鳴波長と一致させて上記基本波光源のレーザをイン
ジェクションロッキングさせることを特徴とする波長変
換装置。
【請求項５】全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造を有する板状非線型光学結晶と、基本
波光源のレーザとを有し、該板状非線型光学結晶の上記周期分極反転構造の形成部
における光路を挟んで対向する第１の対向電極が設けら
れ、上記光路を挟んで他部に第２の対向電極が設けられ、上
記板状非線型光学結晶を含む共振器が構成されて成るこ
とを特徴とする波長変換装置。
【請求項６】全厚さに渡る分極反転領域が形成された
周期分極反転構造を有する板状非線型光学結晶を有して
成り、該板状非線型光学結晶の相対向する両端面が所要の曲面
とされると共に反射面に形成されて共振器が構成され、上記周期分極反転構造の分域壁が上記共振器の１の主た
る光路と直交するようにしたことを特徴とする波長変換
装置。
【請求項７】単分域化された非線型光学結晶基体に、
これを挟んで少なくとも一方が最終的に得る周期分極反
転構造の周期パターンに対応するパターンとされた対向
電極を設け、該対向電極間に３００℃以下の温度下で１
ｋＶ／ｍｍ〜１００ｋＶ／ｍｍの電界を印加して周期分
極反射構造を形成し、上記非線型光学結晶基体から全厚さに渡る分極反転領域
が形成された周期分極反転構造を有する板状非線型光学
結晶を得ることを特徴とする請求項１，２，３，４，５
または６に記載の波長変換装置の製造方法。