JPH05288923A - Color filter - Google Patents

Color filter

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JPH05288923A
JPH05288923A JP9312192A JP9312192A JPH05288923A JP H05288923 A JPH05288923 A JP H05288923A JP 9312192 A JP9312192 A JP 9312192A JP 9312192 A JP9312192 A JP 9312192A JP H05288923 A JPH05288923 A JP H05288923A
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JP
Japan
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color filter
layer
colored
transparent
pattern
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Application number
JP9312192A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Okazaki
暁 岡崎
Hiroyuki Kusukawa
宏之 楠川
Norikatsu Ono
典克 小野
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a highly precise color filter used for the flat display of a liquid crystal display, etc., the imager of a CCD, etc., or a color sensor, etc. CONSTITUTION:The color filter has a transparent substrate 12 and a color layer 16, which consists of colored patterns 16R, 16G, and 16B of plural colors formed by exposing a photosensitive layer, formed by coating the transparent substrate 12 with a photosensitive material developing stickiness by exposure, through a photomask having a specific pattern and sticking a colored powder material on the exposed part A transparent conductive film 19 is formed on this colored layer 16.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルタに係り、
特に、例えば液晶ディスプレイ等のフラットディスプレ
イ、CCD等のイメージャー、あるいはカラーセンサ等
に用いられるカラーフィルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter,
In particular, the present invention relates to a color filter used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、カラービデオカメラの撮像管に
は、複数色の微細なストライプが透明基板上に形成され
たカラーフィルタが装着されている。
2. Description of the Related Art For example, an image pickup tube of a color video camera is equipped with a color filter having fine stripes of a plurality of colors formed on a transparent substrate.

【0003】また、液晶ディスプレイ(LCD)におい
ても、近年のカラー化の要請に対応するために、アクテ
ィブマトリックス方式および単純マトリックス方式のい
ずれの方式においてもカラーフィルタが用いられてい
る。例えば、薄膜トランジスタ(TFT)を用いたアク
ティブマトリックス方式の液晶ディスプレイでは、カラ
ーフィルタは透明基板上に形成された赤(R)、緑
(G)、青(B)の3原色からなる着色層を備え、R,
G,Bのそれぞれの画素に対応する電極をオン、オフさ
せることで液晶がシャッタとして作動しR,G,Bのそ
れぞれの画素を光が透過してカラー表示が行われる。そ
して、色混合は2色以上の画素に対応する液晶シャッタ
を開き混色して別の色に見せる加色混合の原理により網
膜上で視覚的に行われる。
Also in liquid crystal displays (LCDs), color filters are used in both the active matrix system and the simple matrix system in order to meet recent demands for colorization. For example, in an active matrix type liquid crystal display using a thin film transistor (TFT), a color filter includes a colored layer formed of three primary colors of red (R), green (G) and blue (B) on a transparent substrate. , R,
The liquid crystal operates as a shutter by turning on and off the electrodes corresponding to the respective pixels of G and B, and light is transmitted through the respective pixels of R, G and B to perform color display. Then, color mixing is visually performed on the retina based on the principle of additive color mixing in which liquid crystal shutters corresponding to pixels of two or more colors are opened and colors are mixed to make another color appear.

【0004】上述のように用いられるカラーフィルタの
着色層は、従来、染色法、分散法等の手段を用いて形成
されていた。ここで、染色法によるカラーフィルタの着
色層の形成は、例えば次のようにして行われていた。
The colored layer of the color filter used as described above has hitherto been formed by a method such as a dyeing method or a dispersion method. Here, the formation of the colored layer of the color filter by the dyeing method has been performed as follows, for example.

【0005】すなわち、ゼラチン、カゼイン、ポリビニ
ルアルコール等の親水性樹脂に重クロム酸塩等の感光剤
を添加した塗布液を、スピンコート塗布法等により透明
ガラス基板上に塗布し、次いで、所定パターンのマスク
を用いて露光・現像を行い、その後、染料により染色し
て第一着色層を形成する。その後、この第一着色層上に
二度染め防止のために防染層を設けてから第二着色層お
よび第三着色層をそれぞれ第一着色層の形成と同様にし
て形成する。これにより、透明ガラス基板上にR,G,
Bの各着色層を備えたカラーフィルタを得ることができ
る。
That is, a coating solution prepared by adding a photosensitizer such as dichromate to a hydrophilic resin such as gelatin, casein or polyvinyl alcohol is coated on a transparent glass substrate by a spin coating method or the like, and then a predetermined pattern is formed. The mask is used for exposure and development, and then dyed with a dye to form a first colored layer. After that, a dye-proof layer is provided on the first colored layer to prevent double dyeing, and then the second colored layer and the third colored layer are respectively formed in the same manner as the formation of the first colored layer. As a result, R, G,
It is possible to obtain a color filter provided with each colored layer of B.

【0006】また、分散法を用いたカラーフィルタの着
色層の形成は、例えば次のようにして行われていた。す
なわち、透明感光性樹脂に有機顔料、無機顔料等の着色
剤を分散した感光液を透明ガラス基板上に塗布して感光
性樹脂層を形成する。次に、この感光性樹脂層上に所定
形状の開口パターンを有するマスクを載置し、露光・現
像を行い第一着色層を形成する。同様にして第二着色
層、第三着色層を形成してR,G,Bの各着色層を備え
たカラーフィルタを得ることができる。
Further, the formation of the colored layer of the color filter using the dispersion method has been performed as follows, for example. That is, a photosensitive liquid in which a colorant such as an organic pigment or an inorganic pigment is dispersed in a transparent photosensitive resin is applied on a transparent glass substrate to form a photosensitive resin layer. Next, a mask having an opening pattern of a predetermined shape is placed on this photosensitive resin layer, and exposure and development are performed to form a first colored layer. Similarly, a second color layer and a third color layer are formed to obtain a color filter having R, G, and B color layers.

【0007】また、アクティブマトリックス方式ではカ
ラーフィルタの着色層上に共通電極である透明導電膜が
設けられ、単純マトリックス方式では着色層上に電極列
をなすように透明導電膜が設けられていた。
Further, in the active matrix system, the transparent conductive film which is a common electrode is provided on the colored layer of the color filter, and in the simple matrix system the transparent conductive film is provided so as to form an electrode array on the colored layer.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、染色法
により形成されるカラーフィルタは、色調が豊富で解像
性に優れるが、染色の際に既に着色された部分が二度染
めされないように防染対策を施す必要がある等の点から
工程が煩雑であり製造コストが高いという問題があっ
た。また、着色剤に染料を用いているため耐熱性、耐薬
品性、耐光性等が劣るという問題もあった。
However, although the color filter formed by the dyeing method has a rich color tone and is excellent in resolution, it is dye-proofed so that the already colored portion is not dyed twice during dyeing. There is a problem that the process is complicated and the manufacturing cost is high because it is necessary to take measures. Further, since a dye is used as the colorant, there is a problem that heat resistance, chemical resistance, light resistance and the like are poor.

【0009】また、分散法により形成されるカラーフィ
ルタは、耐熱性、耐光性の高い微細なパターン形成が可
能である反面、色変えの度にフォトリソグラフィー工程
の処理を行う必要があるため工程が煩雑で製造コスト低
減が困難であるという問題があった。
Further, the color filter formed by the dispersion method can form a fine pattern having high heat resistance and light resistance, but on the other hand, it is necessary to perform a photolithography process every time the color is changed. There is a problem that it is complicated and it is difficult to reduce the manufacturing cost.

【0010】このような背景から、低コスト化と量産化
を同時に可能にするとともに、大画面化も可能な印刷法
により製造さるカラーフィルタが提案されている。しか
しながら、印刷法においては、画素の太りや細り、ピン
ホールの発生等により印刷形状が悪化したり、細線の厚
みが充分にとれないため、得られるカラーフィルタは微
細パターンの再現性に問題があり、また、高品位のブラ
ックマトリックスを備えるカラーフィルタでは、クロム
蒸着法等によりブラックマトリックスを形成する必要が
あり製造コストが増大するという問題があった。
From such a background, there has been proposed a color filter manufactured by a printing method which enables cost reduction and mass production at the same time and also enables a large screen. However, in the printing method, the print shape is deteriorated due to thickening or thinning of pixels, the occurrence of pinholes, etc., and the thickness of fine lines cannot be sufficiently obtained, so that the obtained color filter has a problem in reproducibility of a fine pattern. Further, in a color filter provided with a high-quality black matrix, there is a problem that it is necessary to form the black matrix by a chrome vapor deposition method or the like, and the manufacturing cost increases.

【0011】本発明は上述のような事情に鑑みてなされ
たものであり、液晶ディスプレイ等のフラットディスプ
レイ、CCD等のイメージャー、あるいはカラーセンサ
等に用いられる高精度のカラーフィルタを提供すること
を目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a highly accurate color filter used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor. To aim.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は透明基板と、露光により粘着性を発
現する感光性物質を前記透明基板上に塗布して形成され
た感光性層を所定のパターンを有するフォトマスクを介
して露光し露光部分に着色粉末物質を付着させて形成し
た複数色の着色パターンからなる着色層と、該着色層上
に積層された透明導電膜を有するような構成とした。
In order to achieve such an object, the present invention provides a transparent substrate and a photosensitive material formed by applying a photosensitive substance that exhibits adhesiveness upon exposure to the transparent substrate. A colored layer having a plurality of colored patterns formed by exposing the layer through a photomask having a predetermined pattern and depositing colored powder substances on the exposed portion; and a transparent conductive film laminated on the colored layer It was configured like this.

【0013】[0013]

【作用】カラーフィルタは、透明基板上の感光性層が所
定のパターンを有するフォトマスクを介して露光されて
粘着性が発現された露光部分に着色粉末物質が付着され
て形成された複数色の着色パターンからなる着色層が設
けられ、この着色層上には透明導電膜が積層される。こ
れにより、精度の高い微細パターンを備えるカラーフィ
ルタが得られる。
The color filter has a plurality of colors formed by adhering the colored powder substance to the exposed portion where the photosensitive layer on the transparent substrate is exposed through a photomask having a predetermined pattern to exhibit adhesiveness. A colored layer having a colored pattern is provided, and a transparent conductive film is laminated on the colored layer. As a result, a color filter having a highly precise fine pattern can be obtained.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本発明の一実施例であるカラーフィ
ルタの概略構成を示す断面図である。図1において、カ
ラーフィルタ10はアクティブマトリックス方式用カラ
ーフィルタであり、透明基板12と、この透明基板12
上に形成されたブラックマトリックス14と、着色層1
6と、ブラックマトリックス14と着色層16を覆うよ
うに設けられた保護層18と透明共通電極19とを備え
ている。そして、着色層16は赤色パターン16R、緑
色パターン16G、青色パターン16Bからなってい
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a color filter which is an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a color filter 10 is a color filter for an active matrix system, and includes a transparent substrate 12 and this transparent substrate 12
The black matrix 14 formed above and the colored layer 1
6, a black matrix 14 and a protective layer 18 provided so as to cover the colored layer 16 and a transparent common electrode 19. The colored layer 16 is composed of a red pattern 16R, a green pattern 16G and a blue pattern 16B.

【0015】また、図2は本発明のカラーフィルタを用
いたアクティブマトリックス方式による液晶ディスプレ
イ(LCD)の一例を示す斜視図であり、図3は同じく
概略断面図である。図2および図3において、LCD1
はカラーフィルタ10と透明ガラス基板20とをシール
材30を介して対向させ、その間に捩れネマティック
(TN)液晶からなる厚さ約5〜10μm程度の液晶層
40を形成し、さらに、カラーフィルタ10と透明ガラ
ス基板20の外側に偏光板50,51が配設されて構成
されている。そして、カラーフィルタ10は透明共通電
極19が液晶層40側に位置するように配設されてい
る。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display (LCD) using the color filter of the present invention, and FIG. 3 is a schematic sectional view of the same. 2 and 3, the LCD 1
Makes the color filter 10 and the transparent glass substrate 20 face each other with a sealant 30 in between, and forms a liquid crystal layer 40 made of twisted nematic (TN) liquid crystal with a thickness of about 5 to 10 μm between them. The polarizing plates 50 and 51 are arranged outside the transparent glass substrate 20. The color filter 10 is arranged so that the transparent common electrode 19 is located on the liquid crystal layer 40 side.

【0016】また、透明ガラス基板20上には表示電極
22が各着色パターン16R、16G、16Bに対応す
るように設けられ、各表示電極22は薄膜トランジスタ
(TFT)24を有している。また、各表示電極22間
にはブラックマトリックス14に対応するように走査線
(ゲート電極母線)26aとデータ線26bが配設され
ている。
Display electrodes 22 are provided on the transparent glass substrate 20 so as to correspond to the respective colored patterns 16R, 16G and 16B, and each display electrode 22 has a thin film transistor (TFT) 24. A scanning line (gate electrode busbar) 26a and a data line 26b are arranged between the display electrodes 22 so as to correspond to the black matrix 14.

【0017】尚、カラーフィルタ10の着色層16の各
着色パターンの配列は図2に示されるようにモザイク配
列となっているが、着色パターンの配列はこれに限定さ
れるものではなく、三角配列、ストライプ配列等として
もよい。
The arrangement of the respective colored patterns of the colored layer 16 of the color filter 10 is a mosaic arrangement as shown in FIG. 2, but the arrangement of the colored patterns is not limited to this and is a triangular arrangement. Alternatively, a stripe arrangement or the like may be used.

【0018】このようなLCD1では、各着色パターン
16R、16G、16Bが画素を構成し、偏光板51側
から照明光を照射した状態で各画素に対応する表示電極
をオン、オフさせることで液晶層40がシャッタとして
作動し、着色パターン16R、16G、16Bのそれぞ
れの画素を光が透過してカラー表示が行われる。
In such an LCD 1, each of the colored patterns 16R, 16G and 16B constitutes a pixel, and the display electrode corresponding to each pixel is turned on and off in a state where the illumination light is irradiated from the polarizing plate 51 side. The layer 40 operates as a shutter, and light is transmitted through each pixel of the colored patterns 16R, 16G, and 16B to perform color display.

【0019】カラーフィルタ10の透明基板12として
は、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の
可撓性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、
光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材等を用
いることができる。このなかで、特にコーニング社製7
059ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定
性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガ
ラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであ
るため、アクティブマトリックス方式によるLCD用の
カラーフィルタに適している。
The transparent substrate 12 of the color filter 10 is a rigid material such as quartz glass, Pyrex glass, or synthetic quartz plate, or a transparent resin film.
A flexible material having flexibility such as an optical resin plate can be used. Of these, Corning 7
059 glass is a material with a small coefficient of thermal expansion, has excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and since it is an alkali-free glass that does not contain an alkali component in the glass, it is a color filter for LCDs using an active matrix method. Suitable for

【0020】ここで、本発明のカラーフィルタにおける
ブラックマトリックス14および着色層16の形成例を
図4および図5を参照して説明する。先ず透明基板12
上に感光性物質を塗布して厚さ0.5〜5μm程度の感
光性層13を形成する(図4(A))。次に、ブラック
マトリックス用のフォトマスクを介して感光性層13を
露光し露光部分13aに粘着性を発現させる(図4
(B))。そして、感光性層13上に隠蔽粉末物質を散
布し(図4(C))、露光部分13aに隠蔽粉末物質を
付着させるとともに余分な隠蔽粉末物質を吹き飛ばすこ
とによりブラックマトリックス14が形成される(図4
(D))。
Here, an example of forming the black matrix 14 and the coloring layer 16 in the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5. First, the transparent substrate 12
A photosensitive material is applied on top to form a photosensitive layer 13 having a thickness of about 0.5 to 5 μm (FIG. 4 (A)). Next, the photosensitive layer 13 is exposed through a photomask for a black matrix to cause the exposed portion 13a to exhibit tackiness (FIG. 4).
(B)). Then, the masking powder substance is sprayed on the photosensitive layer 13 (FIG. 4C), and the masking powder substance is attached to the exposed portion 13a and the excess masking powder substance is blown off to form the black matrix 14 ( Figure 4
(D)).

【0021】次に、赤色パターン用のフォトマスクを介
して感光性層13を露光し露光部分13bに粘着性を発
現させる(図5(A))。そして、感光性層13上に赤
色粉末物質を散布し(図5(B))、露光部分13bに
赤色粉末物質を付着させるとともに余分な赤色粉末物質
を吹き飛ばすことにより赤色パターン16Rが形成され
る(図5(C))。同様に、緑色パターン用のフォトマ
スクを介して露光し、緑色粉末物質を付着させて緑色パ
ターン16Gが形成され(図5(D))、青色パターン
用のフォトマスクを介して露光し、青色粉末物質を付着
させて青色パターン16Bが形成される(図5
(E))。このようにして、赤、緑、青の各着色パター
ンからなる着色層16が形成される。
Next, the photosensitive layer 13 is exposed to light through a photomask for a red pattern so that the exposed portion 13b exhibits tackiness (FIG. 5 (A)). Then, a red powder substance is dispersed on the photosensitive layer 13 (FIG. 5B), and the red powder substance is adhered to the exposed portion 13b and the excess red powder substance is blown off to form a red pattern 16R ( FIG. 5C). Similarly, it is exposed through a photomask for a green pattern, a green powder substance is adhered to form a green pattern 16G (FIG. 5D), and it is exposed through a photomask for a blue pattern to obtain a blue powder. A blue pattern 16B is formed by depositing the substance (FIG. 5).
(E)). In this way, the colored layer 16 including the red, green, and blue colored patterns is formed.

【0022】上述のようにしてブラックマトリックス1
4および着色層16を形成した後に加熱処理を施しても
よい。加熱処理条件は、通常、150℃以上、好ましく
は250℃以上である。このような加熱処理により、感
光性層13の感光性物質が昇華除去されて、ブラックマ
トリックス14を構成する隠蔽粉末物質および着色層1
6を構成する着色粉末物質が平坦化され、ブラックマト
リックス14および着色層16の表面平滑性が向上す
る。
Black matrix 1 as described above
4 and the colored layer 16 may be formed and then subjected to heat treatment. The heat treatment condition is usually 150 ° C. or higher, preferably 250 ° C. or higher. By such heat treatment, the photosensitive substance in the photosensitive layer 13 is removed by sublimation, and the concealing powder substance constituting the black matrix 14 and the coloring layer 1 are removed.
The colored powder substance constituting 6 is flattened, and the surface smoothness of the black matrix 14 and the colored layer 16 is improved.

【0023】尚、露光部分への隠蔽粉末物質、各着色粉
末物質の付着は、上述のように1回の付着操作のみとし
てもよく、あるいは複数回繰り返してもよい。また、上
述の実施例では、ブラックマトリックス14が形成され
てから着色層16が形成されるが、形成順序はこれに限
定されるものではなく、着色層16が形成されてからブ
ラックマトリックス14が形成されるものであってもよ
い。また、ブラックマトリックスのないカラーフィルタ
としてもよい。
The concealment powder substance and each colored powder substance may be adhered to the exposed portion only once as described above, or may be repeated a plurality of times. Further, in the above-described embodiment, the colored layer 16 is formed after the black matrix 14 is formed, but the formation order is not limited to this, and the black matrix 14 is formed after the colored layer 16 is formed. It may be one that is done. Also, a color filter without a black matrix may be used.

【0024】露光により粘着性を発現する感光性物質と
しては、下記に示されるような1,4−ジヒドロピリジ
ン化合物を用いることができる。 1,4−ジヒドロピリジン化合物 : 2,6−ジメチ
ル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロ
ピリジン−3,5−ジカルボン酸ジメチルエステル;
2,6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−
1,4−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン酸ジエ
チルエステル; 2,6−ジメチル−4−(2′−ニト
ロ−4′,5′−ジメトキシフェニル)−1,4−ジヒ
ドロピリジン−3,5−ジカルボン酸ジエチルエステ
ル; 2,6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニ
ル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン
酸ジイソプロピルエステル; 2,6−ジメチル−4−
(2′−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン
−3,5−ジカルボン酸ジ(β−エトキシエチル)エス
テル; 2,6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニ
ル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン
酸3−メチル−5−エチルエステル; 2,6−ジメチ
ル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロ
ピリジン−3,5−ジカルボン酸3−イソプロピル−5
−メチルエステル; 2,6−ジメチル−4−(2′−
ニトロフェニル)−3−アセト−1,4−ジヒドロピリ
ジン−5−カルボン酸エチルエステル; 2,6−ジメ
チル−4−(2′−ニトロフェニル)−3,5−ジアセ
ト−1,4−ジヒドロピリジンおよび2,6−ジメチル
−4−(2′−ニトロフェニル)−3,5−ジシアノ−
1,4−ジヒドロピリジン。
As the photosensitive substance which exhibits tackiness when exposed to light, a 1,4-dihydropyridine compound as shown below can be used. 1,4-dihydropyridine compound: 2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid dimethyl ester;
2,6-Dimethyl-4- (2'-nitrophenyl)-
1,4-Dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid diethyl ester; 2,6-dimethyl-4- (2'-nitro-4 ', 5'-dimethoxyphenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid Acid diethyl ester; 2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid diisopropyl ester; 2,6-dimethyl-4-
(2′-Nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid di (β-ethoxyethyl) ester; 2,6-dimethyl-4- (2′-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine -3,5-Dicarboxylic acid 3-methyl-5-ethyl ester; 2,6-Dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid 3-isopropyl-5
-Methyl ester; 2,6-dimethyl-4- (2'-
Nitrophenyl) -3-aceto-1,4-dihydropyridine-5-carboxylic acid ethyl ester; 2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -3,5-diaceto-1,4-dihydropyridine and 2 , 6-Dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -3,5-dicyano-
1,4-dihydropyridine.

【0025】このような1,4−ジヒドロピリジン化合
物は、例えば1モルの脂肪族または芳香族アルデヒド、
1モルのアンモニアおよび2モルのβ−ケトカルボン酸
エステル、β−ケトカルボン酸ニトリルあるいはβ−ジ
ケトンとから、Hantzsch合成の方法に従って製造するこ
とができる。
Such 1,4-dihydropyridine compounds are, for example, 1 mol of aliphatic or aromatic aldehydes,
It can be produced from 1 mol of ammonia and 2 mol of β-ketocarboxylic acid ester, β-ketocarboxylic acid nitrile or β-diketone according to the Hantzsch synthesis method.

【0026】上述の感光性物質は、単独で用いて感光性
層13を形成してもよく、あるいはバインダーと混合し
て使用してもよい。バインダーとの混合割合は、バイン
ダー1重量部に対して0.2〜9重量部程度が好まし
い。使用するバインダーとしては、ポリアクリル酸エス
テルおよび/またはポリメタクリル酸エステル、アクリ
ル酸および/またはメタクリル酸もしくは他のアクリル
モノマーおよび/またはビニルモノマー類の共重合体;
マレイン酸無水物、マレイン酸および/またはそのス
チレン、もしくは他のビニルモノマーのジ−もしくはセ
ミエステル類の共重合体; ポリ塩化ビニル、その塩素
化処理生成物、ポリ塩化ビニリデン、塩素化ポリエチレ
ン等の塩素含有ビニルポリマー、または共重合体; ポ
リスチレンおよびマレイン酸等とのスチレン共重合体、
ポリエチレンおよびマレイン酸等とのエチレン共重合
体; ブタジエン、クロロプレン等に基づく合成ゴムお
よびそれらのスチレン、アクリロニトリル等との共重合
体; 高分子量のポリエチレンオキサイドまたはポリエ
ピクロルヒドリンのようなポリエーテルが挙げられる。
The above-mentioned photosensitive substances may be used alone to form the photosensitive layer 13, or may be used as a mixture with a binder. The mixing ratio with the binder is preferably about 0.2 to 9 parts by weight with respect to 1 part by weight of the binder. Binders used include polyacrylic acid esters and / or polymethacrylic acid esters, acrylic acid and / or methacrylic acid or copolymers of other acrylic monomers and / or vinyl monomers;
Copolymers of maleic anhydride, maleic acid and / or its styrene, or di- or semiesters of other vinyl monomers; polyvinyl chloride, its chlorinated products, polyvinylidene chloride, chlorinated polyethylene, etc. Chlorine-containing vinyl polymer or copolymer; styrene copolymer with polystyrene and maleic acid,
Ethylene copolymers with polyethylene and maleic acid, etc .; Synthetic rubbers based on butadiene, chloroprene, etc. and their copolymers with styrene, acrylonitrile, etc .; and high molecular weight polyethylene oxides or polyethers such as polyepichlorohydrin.

【0027】また、感光性物質には増感剤、安定化剤等
を含有することができる。上述のような感光性物質を透
明基板12上に塗布するには、スピンコート法等の公知
の方法を用いることができる。また、感光性層13の露
光に用いる光源としては、超高圧水銀灯、キセノンラン
プ、蛍光灯等が挙げられる。露光における照射量は50
〜300mJ/cm2 程度が好ましい。
Further, the photosensitive material may contain a sensitizer, a stabilizer and the like. To apply the above-mentioned photosensitive substance on the transparent substrate 12, a known method such as a spin coating method can be used. The light source used for exposing the photosensitive layer 13 may be an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a fluorescent lamp or the like. Exposure dose is 50
It is preferably about 300 mJ / cm 2 .

【0028】隠蔽粉末物質および着色粉末物質は、酸化
チタン(TiO2 )、SiO2 、ガラス粉末、カーボン
ブラック、グラファイト、銅ーフタロシアニン類、アゾ
染料、アルミニウム、銅、鉄等の金属粉末あるいは金属
酸化物をバインダーを用いて平均粒径30μm以下、好
ましくは10μm以下の微細粒子としたものを使用する
ことができる。バインダーとしては、上記の感光性層1
3形成用のバインダーと公用の材料を使用することがで
きる。また、バインダーには湿潤剤、帯電防止剤等の添
加剤を加えてもよい。
The concealing powder substance and the coloring powder substance include titanium oxide (TiO 2 ), SiO 2 , glass powder, carbon black, graphite, copper-phthalocyanines, azo dyes, metal powders such as aluminum, copper and iron or metal oxides. It is possible to use fine particles having a mean particle size of 30 μm or less, preferably 10 μm or less, using a binder. As the binder, the above-mentioned photosensitive layer 1
3 Binders for forming and publicly available materials can be used. Further, additives such as a wetting agent and an antistatic agent may be added to the binder.

【0029】カラーフィルタ10のブラックマトリック
ス14と着色層16を覆うように設けられる保護層18
は、透明有機材料または透明無機材料により形成するこ
とができる。
A protective layer 18 provided so as to cover the black matrix 14 and the colored layer 16 of the color filter 10.
Can be formed of a transparent organic material or a transparent inorganic material.

【0030】透明有機材料としてはアクリル系樹脂、エ
ポキシ系樹脂およびポリイミド系樹脂を用いることがで
きる。上記の樹脂による保護層18の形成は、スピンナ
ー塗布法、バーコート法、フレキソ印刷法、流延法(被
塗布体上に溶融樹脂を流し、その後、ローラで所定の厚
みに延ばす方法)等の塗布方法を用いて行うことができ
る。そして、このような保護層18の厚さは、0.2〜
50μm程度、好ましくは0.5〜10μm程度であ
る。
Acrylic resins, epoxy resins and polyimide resins can be used as the transparent organic material. The protective layer 18 is formed of the above resin by a spinner coating method, a bar coating method, a flexographic printing method, a casting method (a method of pouring a molten resin on an object to be coated, and then extending it to a predetermined thickness with a roller). It can be performed using a coating method. The thickness of the protective layer 18 is 0.2 to
It is about 50 μm, preferably about 0.5 to 10 μm.

【0031】また、透明無機材料としては、二酸化ケイ
素(SiO2 )、硫化亜鉛(ZnS)、三酸化二ジルコ
ニウム(Zr2 3 )等のいずれか、あるいはこれらの
2種以上の組み合わせを挙げることができる。このよう
な透明無機材料による保護層18の形成は、スパッタリ
ング法、イオンプレーティング、イオンアシスト等の蒸
着法等の公知の方法に従って行うことができる。また、
有機ケイ素化合物を用いてディッピング法により形成す
ることもできる。そして、このような保護層18の厚さ
は、20〜2000Å程度が好ましい。
As the transparent inorganic material, any one of silicon dioxide (SiO 2 ), zinc sulfide (ZnS), dizirconium trioxide (Zr 2 O 3 ), and the like, or a combination of two or more thereof may be mentioned. You can The formation of the protective layer 18 made of such a transparent inorganic material can be carried out by a known method such as a sputtering method, a vapor deposition method such as ion plating or ion assist. Also,
It can also be formed by a dipping method using an organosilicon compound. The thickness of the protective layer 18 is preferably about 20 to 2000Å.

【0032】このように、保護層18が形成されること
により、カラーフィルタ10には優れた表面平滑性、耐
熱性、耐光性あるいは耐薬品性が付与される。透明共通
電極19としては、Au,Ag,Cu,Pt ,Rh等の
金属薄膜(但し、厚さ50Å以下)、SnO2 ,TiO
2 、CdO,Cd2 SnO4 ,In23 ,ZnO,S
nO2 :Sb,ITO(In2 3 :Sn)等の酸化物
半導体薄膜等を用いることができるが透過率、抵抗値の
点でITO、もしくは、ZnO膜が好ましい。上記の透
明共通電極はイオンプレーティングおよびイオンアシス
トのような蒸着法、スパッタリング法等の公知の方法に
より形成することができる。透明共通電極19の厚さは
200〜2000Å程度が好ましい。
By thus forming the protective layer 18, the color filter 10 is provided with excellent surface smoothness, heat resistance, light resistance or chemical resistance. As the transparent common electrode 19, a metal thin film of Au, Ag, Cu, Pt, Rh, etc. (however, the thickness is 50 Å or less), SnO 2 , TiO 2 is used .
2 , CdO, Cd 2 SnO 4 , In 2 O 3 , ZnO, S
An oxide semiconductor thin film such as nO 2 : Sb or ITO (In 2 O 3 : Sn) can be used, but an ITO or ZnO film is preferable in terms of transmittance and resistance. The above-mentioned transparent common electrode can be formed by a known method such as a vapor deposition method such as ion plating or ion assist, or a sputtering method. The thickness of the transparent common electrode 19 is preferably about 200 to 2000Å.

【0033】図6は本発明のカラーフィルタの他の実施
例を示す概略断面図である。図6において、カラーフィ
ルタ60は単純マトリックス方式用カラーフィルタであ
り、透明基板62と、この透明基板62上に形成された
ブラックマトリックス64と、着色層66と、ブラック
マトリックス64と着色層66を覆うように設けられた
保護層68と透明電極69とを備えている。透明電極6
9は走査電極を構成する複数の電極列をなしている。こ
のような透明電極69は、上述の透明共通電極19と同
様に形成した後、エッチング等の公知の方法により形成
することができる。
FIG. 6 is a schematic sectional view showing another embodiment of the color filter of the present invention. In FIG. 6, the color filter 60 is a color filter for a simple matrix system, and covers the transparent substrate 62, the black matrix 64 formed on the transparent substrate 62, the coloring layer 66, the black matrix 64 and the coloring layer 66. The protective layer 68 and the transparent electrode 69 thus provided are provided. Transparent electrode 6
Reference numeral 9 forms a plurality of electrode rows that form scanning electrodes. Such a transparent electrode 69 can be formed by a known method such as etching after being formed in the same manner as the transparent common electrode 19 described above.

【0034】次に、実験例を示して本発明を更に詳細に
説明する。 (実験例1)まず、2−ブタノン200cm3 中に、2,
6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4
−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン酸のジメチル
エステル7.5gと、2,6−ジメチル−4−(2′−
ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5
−ジカルボン酸のジエチルエステル7.5gとを溶解し
て、露光により粘着性を発現する感光性物質を調製し
た。そして、透明基板としてコーニング社製7059ガ
ラス(厚さ=1.1mm)を用い、スピンコート法(回
転数=500r.p.m.)により上記の感光性物質を塗布
し、透明基板上に感光性層(厚さ=1.5μm)を形成
した。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to experimental examples. (Experimental example 1) First, in 2-butanone 200 cm 3 ,
6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4
-7.5 g of dimethyl ester of dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid and 2,6-dimethyl-4- (2'-
Nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5
-The diethyl ester of dicarboxylic acid 7.5g was melt | dissolved and the photosensitive material which expresses adhesiveness by exposure was prepared. Then, using Corning 7059 glass (thickness = 1.1 mm) as a transparent substrate, the above-mentioned photosensitive substance was applied by a spin coating method (rotation number = 500 rpm), and a photosensitive layer ( Thickness = 1.5 μm).

【0035】次に、感光性層に対してブラックマトリッ
クス用のフォトマスクを介して紫外線露光を行った。露
光用の光源は超高圧水銀灯を用い、照射量は365nm
の波長において200mJ/cm2 とした。このような紫
外線露光により、感光性層のうち紫外線が照射された領
域には粘着性が発現していることが確認された。
Next, the photosensitive layer was exposed to ultraviolet light through a black matrix photomask. Ultra-high pressure mercury lamp was used as the light source for exposure, and the irradiation amount was 365 nm.
Was set to 200 mJ / cm 2 . It was confirmed that such an ultraviolet exposure exposed the adhesive to the region of the photosensitive layer that was exposed to the ultraviolet.

【0036】次に、感光性層の全面に黒色トナー(積水
化成品工業社製MB−15ブラックSHC−3(試供
品)、平均粒径=14.2μm)をふりかけ、その後、
圧縮空気により黒色トナーを吹き飛ばした。これによっ
て、上記の紫外線露光により粘着性が発現している領域
にのみ黒色トナーを付着してブラックマトリックスパタ
ーンを形成した。尚、この工程において圧縮空気により
吹き飛ばされた(除去された)黒色トナーは、回収して
再度使用することができた。この時の解像力は、ライン
&スペースで10μmであった。
Next, black toner (MB-15 Black SHC-3 (sample) by Sekisui Plastics Co., Ltd., average particle diameter = 14.2 μm) was sprinkled on the entire surface of the photosensitive layer, and then,
The black toner was blown off by compressed air. As a result, the black toner was adhered only to the region where the tackiness was developed by the above-mentioned UV exposure, and a black matrix pattern was formed. The black toner blown off (removed) by the compressed air in this step could be collected and reused. The resolution at this time was 10 μm in line and space.

【0037】次に、黒色トナーが付着している感光性層
に対して赤色パターン用のフォトマスクを介して所定位
置に紫外線露光を行った。紫外線露光条件は上記の露光
と同一とした。そして、黒色トナーの場合と同様に赤色
トナー(積水化成品工業社製MB−8レッド(試供
品)、平均粒径=8.7μm)を用いて赤色パターンを
形成した。
Next, the photosensitive layer having the black toner adhered thereto was exposed to ultraviolet light at a predetermined position through a photomask for a red pattern. The ultraviolet exposure conditions were the same as the above exposure. Then, as in the case of the black toner, a red pattern (MB-8 red (manufactured by Sekisui Plastics Co., Ltd., average particle size = 8.7 μm)) was used to form a red pattern.

【0038】次に、黒色トナーおよび赤色トナーが付着
している感光性層に対して、赤色パターンと同様にして
緑色パターン用のフォトマスクを介して所定位置に紫外
線露光を行い、緑色トナー(積水化成品工業社製MB−
8グリーンHC(試供品)、平均粒径=8.1μm)を
用いて緑色パターンを形成した。
Next, the photosensitive layer on which the black toner and the red toner are adhered is exposed to ultraviolet light at a predetermined position through a photomask for the green pattern in the same manner as the red pattern, and the green toner (water accumulation) is applied. MB- manufactured by Kasei Kogyo Co., Ltd.
A green pattern was formed using 8 Green HC (sample), average particle size = 8.1 μm).

【0039】さらに、黒色トナー、赤色トナーおよび緑
色トナーが付着している感光性層に対して、赤色パター
ンと同様にして青色パターン用のフォトマスクを介して
所定位置に紫外線露光を行い、青色トナー(積水化成品
工業社製MB−8ブルーHC(試供品)、平均粒径=
8.9μm)を用いて青色パターンを形成した。これに
より、赤(R)、緑(G)、青(B)の着色パターンか
らなる着色層を形成した。
Further, the photosensitive layer on which the black toner, the red toner and the green toner are attached is exposed to ultraviolet light at a predetermined position through a photomask for the blue pattern in the same manner as the red pattern, and the blue toner is exposed. (MB-8 Blue HC by Sekisui Plastics Co., Ltd. (sample), average particle size =
8.9 μm) was used to form a blue pattern. As a result, a colored layer having a colored pattern of red (R), green (G), and blue (B) was formed.

【0040】次に、このような着色層を覆うように保護
層を形成した。この保護層は下記組成の保護層用塗布液
をスピンコート法により着色層上に塗布して形成した後
に、紫外線露光により硬化した。保護層の厚さは約8μ
mであった。
Next, a protective layer was formed so as to cover such a colored layer. The protective layer was formed by applying a coating solution for a protective layer having the following composition on the colored layer by spin coating, and then curing by ultraviolet exposure. The thickness of the protective layer is about 8μ
It was m.

【0041】 (保護層用塗布液) ・O−クレゾールノボラックエポキシアクリレート 35重量部 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 15重量部 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 50重量部 ・イルガキュアー907(チバガイギー社製) 2重量部 ・UVE1014(ゼネラルエレクトリック社製) 2重量部 ・エチルセロソルブアセテート 200重量部 さらに、この保護層上にスパッタリング法により厚さ約
220Åの透明共通電極(ITO膜)を形成してカラー
フィルタを得た。 (実験例2)実験例1と同様にしてブラックマトリック
スと赤(R)、緑(G)、青(B)の着色パターンを有
する着色層を形成した後、270℃で30分間の加熱処
理を施し、その後、実験例1と同様にして保護層と透明
共通電極(ITO膜)とを形成してカラーフィルタを得
た。このカラーフィルタでは、感光性物質は昇華除去さ
れていた。 (実験例3)実験例1と同様にしてブラックマトリック
ス、着色層および保護層を形成した後、図6に示される
ような透明電極列を形成してカラーフィルタを得た。透
明電極列はITOを用いてスパッタリング法により厚さ
約220Å、線幅約95μm、ピッチ約110μmとな
るように形成した。
(Protective Layer Coating Liquid) O-cresol novolac epoxy acrylate 35 parts by weight Cresol novolac epoxy resin 15 parts by weight Dipentaerythritol hexaacrylate 50 parts by weight Irgacure 907 (manufactured by Ciba Geigy) 2 parts by weight -UVE1014 (manufactured by General Electric Co.) 2 parts by weight-Ethyl cellosolve acetate 200 parts by weight Further, a transparent common electrode (ITO film) having a thickness of about 220 Å was formed on this protective layer by a sputtering method to obtain a color filter. (Experimental Example 2) In the same manner as in Experimental Example 1, a black matrix and a colored layer having a red (R), green (G), and blue (B) colored pattern were formed, and then heat treatment was performed at 270 ° C for 30 minutes. After that, a protective layer and a transparent common electrode (ITO film) were formed in the same manner as in Experimental Example 1 to obtain a color filter. In this color filter, the photosensitive substance was removed by sublimation. (Experimental Example 3) After forming a black matrix, a coloring layer and a protective layer in the same manner as in Experimental Example 1, a transparent electrode array as shown in FIG. 6 was formed to obtain a color filter. The transparent electrode array was formed by using ITO to have a thickness of about 220 .ANG., A line width of about 95 .mu.m, and a pitch of about 110 .mu.m.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によるカラ
ーフィルタは、透明基板上の感光性層が所定のパターン
を有するフォトマスクを介して露光されて粘着性が発現
された露光部分に着色粉末物質が付着されて形成された
複数色の着色パターンからなる着色層を備え、また、こ
の着色層上には透明導電膜を備えているため、微細パタ
ーン精度が良好であるとともに、優れた表面平滑性を有
するという効果が奏される。
As described in detail above, in the color filter according to the present invention, the exposed portion where the photosensitive layer on the transparent substrate is exposed through a photomask having a predetermined pattern to exhibit tackiness is colored. It has a colored layer consisting of a colored pattern of a plurality of colors formed by adhering a powder substance, and a transparent conductive film is provided on this colored layer, so that the fine pattern accuracy is good and the surface is excellent. The effect of having smoothness is exhibited.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの一実施例を示す概略
断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a color filter of the present invention.

【図2】本発明のカラーフィルタを用いたアクティブマ
トリックス方式による液晶ディスプレイの一例を示す斜
視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display using a color filter of the present invention.

【図3】図2に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。
3 is a schematic cross-sectional view of the liquid crystal display shown in FIG.

【図4】本発明のカラーフィルタの製造を説明するため
の工程図である。
FIG. 4 is a process drawing for explaining the production of the color filter of the present invention.

【図5】本発明のカラーフィルタの製造を説明するため
の工程図である。
FIG. 5 is a process drawing for explaining the production of the color filter of the present invention.

【図6】本発明のカラーフィルタの他の実施例を示す概
略断面図である。
FIG. 6 is a schematic sectional view showing another embodiment of the color filter of the invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,60…カラーフィルタ 12,62…透明基板 13,63…感光性層 14,64…ブラックマトリックス 16,66…着色層 16R,16G,16B…着色パターン 18,68…保護層 19…透明共通電極 69…透明電極 10, 60 ... Color filter 12, 62 ... Transparent substrate 13, 63 ... Photosensitive layer 14, 64 ... Black matrix 16, 66 ... Coloring layer 16R, 16G, 16B ... Coloring pattern 18, 68 ... Protective layer 19 ... Transparent common electrode 69 ... Transparent electrode

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板と、露光により粘着性を発現す
る感光性物質を前記透明基板上に塗布して形成された感
光性層を所定のパターンを有するフォトマスクを介して
露光し露光部分に着色粉末物質を付着させて形成した複
数色の着色パターンからなる着色層と、該着色層上に積
層された透明導電膜を有することを特徴とするカラーフ
ィルタ。
1. A transparent substrate and a photosensitive layer formed by applying a photosensitive material that exhibits adhesiveness upon exposure onto the transparent substrate are exposed through a photomask having a predetermined pattern to the exposed portion. A color filter comprising: a colored layer having a colored pattern of a plurality of colors formed by adhering a colored powder substance, and a transparent conductive film laminated on the colored layer.
【請求項2】 前記透明導電膜は保護層を介して前記着
色層上に積層されていることを特徴とする請求項1記載
のカラーフィルタ。
2. The color filter according to claim 1, wherein the transparent conductive film is laminated on the colored layer via a protective layer.
【請求項3】 前記透明導電膜は酸化インジウムスズ膜
および酸化亜鉛膜のいずれかであることを特徴とする請
求項1または2記載のカラーフィルタ。
3. The color filter according to claim 1, wherein the transparent conductive film is one of an indium tin oxide film and a zinc oxide film.
【請求項4】 前記透明導電膜の厚さは200〜200
0Åであることを特徴とする請求項1乃至3記載のカラ
ーフィルタ。
4. The thickness of the transparent conductive film is 200 to 200.
The color filter according to claim 1, wherein the color filter is 0Å.
【請求項5】 前記感光性層をブラックマトリックス用
パターンを有するフォトマスクを介して露光し露光部分
に隠蔽粉末物質を付着させて形成したブラックマトリッ
クスを有することを特徴とする請求項1乃至4記載のカ
ラーフィルタ。
5. The black matrix formed by exposing the photosensitive layer through a photomask having a black matrix pattern and depositing a masking powder substance on the exposed portion. Color filters.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008026812A (en) * 2006-07-25 2008-02-07 Toppan Printing Co Ltd Color filter and method for manufacturing the same

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