JP3120891B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents

Manufacturing method of color filter

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JP3120891B2
JP3120891B2 JP9311792A JP9311792A JP3120891B2 JP 3120891 B2 JP3120891 B2 JP 3120891B2 JP 9311792 A JP9311792 A JP 9311792A JP 9311792 A JP9311792 A JP 9311792A JP 3120891 B2 JP3120891 B2 JP 3120891B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルタの製造方
法に係り、特に、例えば液晶ディスプレイ等のフラット
ディスプレイ、CCD等のイメージャー、あるいはカラ
ーセンサ等に用いられるカラーフィルタを高精度で、か
つ効率よく得ることのできるカラーフィルタの製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, and more particularly, to a method for manufacturing a color filter used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor with high accuracy and efficiency. The present invention relates to a method of manufacturing a color filter which can be easily obtained.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、カラービデオカメラの撮像管に
は、複数色の微細なストライプが透明基板上に形成され
たカラーフィルタが装着されている。
2. Description of the Related Art For example, a color filter in which fine stripes of a plurality of colors are formed on a transparent substrate is mounted on an image pickup tube of a color video camera.

【0003】また、液晶ディスプレイ(LCD)におい
ても、近年のカラー化の要請に対応するために、アクテ
ィブマトリックス方式および単純マトリックス方式のい
ずれの方式においてもカラーフィルタが用いられてい
る。例えば、薄膜トランジスタ(TFT)を用いたアク
ティブマトリックス方式の液晶ディスプレイでは、カラ
ーフィルタは赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色が
用いられ、R,G,Bのそれぞれの画素に対応する電極
をオン、オフさせることで液晶がシャッタとして作動し
R,G,Bのそれぞれの画素を光が透過してカラー表示
が行われる。そして、色混合は2色以上の画素に対応す
る液晶シャッタを開き混色して別の色に見せる加色混合
の原理により網膜上で視覚的に行われる。
[0003] In a liquid crystal display (LCD), a color filter is used in both an active matrix system and a simple matrix system in order to respond to recent demands for colorization. For example, in an active matrix type liquid crystal display using a thin film transistor (TFT), three primary colors of red (R), green (G), and blue (B) are used as color filters, and each pixel of R, G, and B is used. The liquid crystal operates as a shutter by turning on and off the electrodes corresponding to the above, and light is transmitted through each of the R, G, and B pixels to perform color display. The color mixing is visually performed on the retina by the principle of additive color mixing in which liquid crystal shutters corresponding to pixels of two or more colors are opened and mixed to show different colors.

【0004】上述のようにして用いられるカラーフィル
タは、従来、染色法、分散法等の手段を用いて製造され
ていた。ここで、染色法によるカラーフィルタの製造
は、例えば次のようにして行われている。
[0004] The color filters used as described above have been conventionally manufactured by means such as a dyeing method and a dispersion method. Here, the production of a color filter by a dyeing method is performed, for example, as follows.

【0005】すなわち、ゼラチン、カゼイン、ポリビニ
ルアルコール等の親水性樹脂に重クロム酸塩等の感光剤
を添加した塗布液を、スピンコート塗布法等により透明
ガラス基板上に塗布し、次いで、所定パターンのマスク
を用いて露光・現像を行い、その後、染料により染色し
て第一着色層を形成する。その後、この第一着色層上に
二度染め防止のために防染層を設けてから第二着色層お
よび第三着色層をそれぞれ第一着色層の形成と同様にし
て形成する。これにより、透明ガラス基板上にR,G,
Bの各着色層を備えたカラーフィルタを得ることができ
る。
That is, a coating solution obtained by adding a photosensitive agent such as dichromate to a hydrophilic resin such as gelatin, casein or polyvinyl alcohol is applied onto a transparent glass substrate by a spin coating method or the like. Exposure / development is performed using the mask described above, and then dyed with a dye to form a first colored layer. Thereafter, an anti-dye layer is provided on the first colored layer to prevent double dyeing, and then a second colored layer and a third colored layer are formed in the same manner as the formation of the first colored layer. As a result, R, G,
A color filter including each of the colored layers B can be obtained.

【0006】また、分散法を用いたカラーフィルタの製
造は、例えば次のようにして行われている。すなわち、
透明感光性樹脂に有機顔料、無機顔料等の着色剤を分散
した感光液を透明ガラス基板上に塗布して感光性樹脂層
を形成する。次に、この感光性樹脂層上に所定形状の開
口パターンを有するマスクを載置し、露光・現像を行い
第一着色層を形成する。同様にして第二着色層、第三着
色層を形成してR,G,Bの各着色層を備えたカラーフ
ィルタを得ることができる。
The production of a color filter using the dispersion method is performed, for example, as follows. That is,
A photosensitive liquid in which a coloring agent such as an organic pigment or an inorganic pigment is dispersed in a transparent photosensitive resin is applied on a transparent glass substrate to form a photosensitive resin layer. Next, a mask having an opening pattern of a predetermined shape is placed on the photosensitive resin layer, and exposure and development are performed to form a first colored layer. Similarly, a second color layer and a third color layer are formed to obtain a color filter having R, G, and B color layers.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、染色法
においては、色調が豊富で解像性に優れるカラーフィル
タが得られる反面、染色の際に既に着色された部分が二
度染めされないように防染対策を施す必要がある等の点
から工程が煩雑であり製造コストが高くなるという問題
があった。また、着色剤に染料を用いているため耐熱
性、耐薬品性、耐光性等が劣るという問題もあった。
However, in the dyeing method, a color filter having a rich color tone and excellent resolution is obtained, but on the other hand, the dyeing is carried out so that the already colored portion is not dyed twice during the dyeing. There is a problem in that the steps are complicated and the manufacturing cost is increased because it is necessary to take measures. Further, since a dye is used as a coloring agent, there is a problem that heat resistance, chemical resistance, light resistance and the like are inferior.

【0008】また、分散法においては、耐熱性、耐光性
の高い微細なパターンを形成することが可能である反
面、色変えの度にフォトリソグラフィー工程の処理を行
う必要があり、工程が煩雑で製造コスト低減が困難であ
るという問題があった。
In the dispersion method, it is possible to form a fine pattern having high heat resistance and light resistance, but it is necessary to perform a photolithography process every time the color is changed, and the process is complicated. There is a problem that it is difficult to reduce the manufacturing cost.

【0009】このような背景から、低コスト化と量産化
を同時に可能にするとともに、大画面化も可能なカラー
フィルタの製造方法として印刷法が提案されている。従
来より提案されている印刷法としては、平版オフセット
印刷、凹版オフセット印刷等のオフセット方式、スクリ
ーン印刷方式、フレキソ印刷方式等がある。
[0009] From such a background, a printing method has been proposed as a method of manufacturing a color filter capable of simultaneously realizing low cost and mass production and also having a large screen. Conventionally proposed printing methods include offset methods such as lithographic offset printing and intaglio offset printing, screen printing methods, and flexographic printing methods.

【0010】しかしながら、印刷法においては、画素の
太りや細り、ピンホールの発生等により印刷形状が悪化
し、特に微細パターンの再現が困難であるという問題が
あった。また、特に細線の厚みが充分にとれないため、
例えばブラックマトリックスのように遮光性の要求され
る着色パターンを備えるカラーフィルタの製造には適さ
ないものであった。したがって、高品位のブラックマト
リックスを備えるカラーフィルタを製造する場合には、
コストのかかるクロム蒸着法等によりブラックマトリッ
クスを形成する必要があった。さらに、従来の印刷法に
おいては、ブランケットからガラス基板にインキを転移
させる際に、インキの一部分のみが転移するためインキ
層内での分裂が生じて、印刷後のインキ表面が平滑にな
らないという問題があった。さらにまた、プロセスが不
安定なため連続して印刷を続けた場合、印刷膜厚が変化
したり、印刷形状が悪化するという問題もあった。
However, in the printing method, there is a problem that the printing shape is deteriorated due to the thickening or thinning of the pixels and the occurrence of pinholes, and it is particularly difficult to reproduce a fine pattern. In addition, especially because the thickness of the thin wire cannot be taken sufficiently,
For example, it is not suitable for the production of a color filter having a colored pattern requiring a light shielding property such as a black matrix. Therefore, when manufacturing a color filter having a high-quality black matrix,
It was necessary to form a black matrix by an expensive chromium vapor deposition method or the like. Furthermore, in the conventional printing method, when transferring the ink from the blanket to the glass substrate, only a part of the ink is transferred, so that a division occurs in the ink layer and the ink surface after printing is not smooth. was there. Furthermore, if the printing is continued continuously due to the unstable process, there is a problem that the printed film thickness changes and the printed shape deteriorates.

【0011】本発明は上述のような事情に鑑みてなされ
たものであり、液晶ディスプレイ等のフラットディスプ
レイ、CCD等のイメージャー、あるいはカラーセンサ
等に用いられるカラーフィルタを高精度で、かつ効率よ
く得ることのできるカラーフィルタの製造方法を提供す
ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and is intended to provide a highly accurate and efficient color filter used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a color filter that can be obtained.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は露光により粘着性を発現する感光性
物質を透明ガラス基板上に塗布して感光性層を形成した
後、所定のパターンで前記感光性層を露光し露光部分に
前記透明ガラス基板との密着性を有するシラン変性樹脂
バインダーを含む着色粉末物質を付着させて着色パター
ンを形成する工程を必要色数分繰り返して着色層を形成
し、その後、加熱処理を行うような構成とした。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method in which a photosensitive material which exhibits tackiness by exposure is coated on a transparent glass substrate to form a photosensitive layer. Exposing the photosensitive layer with the pattern described above and adhering a colored powder material containing a silane-modified resin having an adhesive property to the transparent glass substrate to the exposed portion to form a colored pattern; A colored layer was formed by repeating the heat treatment, and then a heat treatment was performed.

【0013】[0013]

【作用】透明基板上に形成された感光性層は、所定のパ
ターンで露光されて露光部分に粘着性が発現され、この
露光部分に着色粉末物質を付着させて着色パターンが形
成され、これを繰り返すことにより必要とする複数色の
着色パターンからなる着色層が形成され、その後、加熱
処理が施される。そして、上記の着色粉末物資は透明
ラス基板との密着性を有するシラン変性樹脂バインダー
を含むため、着色層を構成する着色粉末物質は透明基板
と良好な接着状態に維持され、これにより微細パターン
形成が可能なカラーフィルタの製造が可能になるととも
に、カラーフィルタの工程の簡略化がなされて製造コス
トの低減が可能である。
The photosensitive layer formed on the transparent substrate is exposed to light in a predetermined pattern to exhibit tackiness on the exposed portion, and a colored powder material is attached to the exposed portion to form a colored pattern. By repeating, a colored layer composed of a required colored pattern of a plurality of colors is formed, and then a heat treatment is performed. The colored powder materials of the transparent glass
Since it contains a silane-modified resin binder that has adhesiveness to the glass substrate, the colored powder material constituting the colored layer is maintained in a good adhesion state to the transparent substrate, thereby making it possible to produce a color filter capable of forming a fine pattern. In addition, the process of the color filter is simplified, and the manufacturing cost can be reduced.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明により製造されたカラーフ
ィルタを用いたアクティブマトリックス方式による液晶
ディスプレイ(LCD)の一例を示す斜視図であり、図
2は同じく概略断面図である。図1および図2におい
て、LCD1はカラーフィルタ10と透明ガラス基板2
0とをシール部材30を介して対向させ、その間に捩れ
ネマティック(TN)液晶からなる厚さ約5〜10μm
程度の液晶層40を形成し、さらに、カラーフィルタ1
0と透明ガラス基板20の外側に偏光板50,51が配
設されて構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display (LCD) using a color filter manufactured according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view of the same. 1 and 2, an LCD 1 includes a color filter 10 and a transparent glass substrate 2.
0 through a seal member 30, and a thickness of about 5 to 10 μm made of twisted nematic (TN) liquid crystal therebetween.
Of the liquid crystal layer 40, and the color filter 1
The polarizers 50 and 51 are provided outside the transparent glass substrate 20 and the transparent glass substrate 20.

【0015】図3はカラーフィルタ10の拡大部分断面
図であり、カラーフィルタ10は透明基板12と、この
透明基板12上に形成されたブラックマトリックス14
と、着色層16と、ブラックマトリックス14と着色層
16を覆うように設けられた保護層18と透明共通電極
19とを備えている。このカラーフィルタ10は透明共
通電極19が液晶層40側に位置するように配設されて
いる。そして、着色層16は赤色パターン16R、緑色
パターン16G、青色パターン16Bからなり、各着色
パターンの配列は図1に示されるようにモザイク配列と
なっている。尚、着色パターンの配列はこれに限定され
るものではなく、三角配列、ストライプ配列等としても
よい。
FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of the color filter 10. The color filter 10 includes a transparent substrate 12 and a black matrix 14 formed on the transparent substrate 12.
, A colored layer 16, a protective layer 18 provided to cover the black matrix 14 and the colored layer 16, and a transparent common electrode 19. The color filter 10 is disposed such that the transparent common electrode 19 is located on the liquid crystal layer 40 side. The coloring layer 16 includes a red pattern 16R, a green pattern 16G, and a blue pattern 16B, and the arrangement of the coloring patterns is a mosaic arrangement as shown in FIG. Note that the arrangement of the colored patterns is not limited to this, and may be a triangular arrangement, a stripe arrangement, or the like.

【0016】また、透明ガラス基板20上には表示電極
22が各着色パターン16R、16G、16Bに対応す
るように設けられ、各表示電極22は薄膜トランジスタ
(TFT)24を有している。また、各表示電極22間
にはブラックマトリックス14に対応するように走査線
(ゲート電極母線)26aとデータ線26bが配設され
ている。
A display electrode 22 is provided on the transparent glass substrate 20 so as to correspond to each of the colored patterns 16R, 16G, and 16B. Each display electrode 22 has a thin film transistor (TFT) 24. Further, a scanning line (gate electrode bus) 26 a and a data line 26 b are provided between the display electrodes 22 so as to correspond to the black matrix 14.

【0017】このようなLCD1では、各着色パターン
16R、16G、16Bが画素を構成し、偏光板51側
から照明光を照射した状態で各画素に対応する表示電極
をオン、オフさせることで液晶層40がシャッタとして
作動し、着色パターン16R、16G、16Bのそれぞ
れの画素を光が透過してカラー表示が行われる。
In such an LCD 1, each colored pattern 16R, 16G, 16B constitutes a pixel, and a display electrode corresponding to each pixel is turned on and off in a state where illumination light is radiated from the polarizing plate 51 side. The layer 40 operates as a shutter, and light is transmitted through each pixel of the coloring patterns 16R, 16G, and 16B to perform color display.

【0018】カラーフィルタ10の透明基板12として
は、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の
可撓性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、
光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材等を用
いることができる。このなかで、特にコーニング社製7
059ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定
性および高温加熱処理における作業性に優れ、又、ガラ
ス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスである
為アクティブマトリックス方式によるLCD用のカラー
フィルタに適している。
The transparent substrate 12 of the color filter 10 may be a rigid material such as quartz glass, Pyrex glass, or synthetic quartz plate, or a transparent resin film.
A flexible material having flexibility, such as an optical resin plate, can be used. Among them, especially Corning 7
059 glass is a material with a small coefficient of thermal expansion, excellent in dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment. In addition, since it is a non-alkali glass containing no alkali component in the glass, it is used as an active matrix type color filter for LCD. Are suitable.

【0019】本発明では、露光により粘着性を発現する
感光性物質を用いて透明基板12上にブラックマトリッ
クス14と着色層16を形成する。ここで、本発明によ
るカラーフィルタ製造の一例を図4および図5を参照し
て説明する。先ず透明基板12上に感光性物質を塗布し
て厚さ0.5〜5μm程度の感光性層13を形成する
(図4(A))。次に、ブラックマトリックス用のフォ
トマスクを介して感光性層13を露光し露光部分13a
に粘着性を発現させる(図4(B))。そして、感光性
層13上に隠蔽粉末物質を散布し(図4(C))、露光
部分13aに隠蔽粉末物質を付着させるとともに余分な
隠蔽粉末物質を吹き飛ばしてブラックマトリックス14
を形成する(図4(D))。このようなブラックマトリ
ックス14を構成する隠蔽粉末物質には透明基板12と
の密着性を有するバインダーが含まれている。
In the present invention, a black matrix 14 and a colored layer 16 are formed on a transparent substrate 12 by using a photosensitive material which exhibits tackiness upon exposure. Here, an example of manufacturing a color filter according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, a photosensitive substance is applied on the transparent substrate 12 to form a photosensitive layer 13 having a thickness of about 0.5 to 5 μm (FIG. 4A). Next, the photosensitive layer 13 is exposed through a photomask for a black matrix to expose an exposed portion 13a.
To exhibit adhesiveness (FIG. 4 (B)). Then, a concealing powder substance is sprayed on the photosensitive layer 13 (FIG. 4 (C)), and the concealing powder substance is attached to the exposed portions 13a, and excess concealing powder substance is blown off to remove the black matrix 14.
Is formed (FIG. 4D). The opaque powder material constituting the black matrix 14 contains a binder having an adhesive property to the transparent substrate 12.

【0020】次に、赤色パターン用のフォトマスクを介
して感光性層13を露光し露光部分13bに粘着性を発
現させる(図5(A))。そして、感光性層13上に赤
色粉末物質を散布し(図5(B))、露光部分13bに
赤色粉末物質を付着させるとともに余分な赤色粉末物質
を吹き飛ばして赤色パターン16Rを形成する(図5
(C))。同様に、緑色パターン用のフォトマスクを介
して露光し、緑色粉末物質を付着させて緑色パターン1
6Gを形成し(図5(D))、青色パターン用のフォト
マスクを介して露光し、青色粉末物質を付着させて青色
パターン16Bを形成する(図5(E))。このような
着色パターンを構成する着色粉末物質には、上述の隠蔽
粉末物質と同様に、透明基板12との密着性を有するバ
インダーが含まれている。
Next, the photosensitive layer 13 is exposed through a photomask for a red pattern to cause the exposed portion 13b to exhibit adhesiveness (FIG. 5A). Then, a red powder material is sprayed on the photosensitive layer 13 (FIG. 5B), and the red powder material is attached to the exposed portions 13b and excess red powder material is blown off to form a red pattern 16R (FIG. 5).
(C)). Similarly, exposure is performed through a photomask for a green pattern, a green powder material is adhered, and a green pattern 1 is formed.
6G is formed (FIG. 5D), exposed through a blue pattern photomask, and a blue powder material is deposited to form a blue pattern 16B (FIG. 5E). The colored powder material constituting such a colored pattern contains a binder having adhesiveness to the transparent substrate 12, as in the above-described concealed powder material.

【0021】上述のようにしてブラックマトリックス1
4および着色層16を形成した後に加熱処理が施され
る。加熱処理条件は、通常、150℃以上であり、好ま
しくは250℃以上である。このような加熱処理によ
り、感光性層13が昇華除去されて、ブラックマトリッ
クス14を構成する隠蔽粉末物質および着色層16を構
成する着色粉末物質が透明基板12と接触した状態とな
る(図6(A))。同時に、ブラックマトリックス14
を構成する隠蔽粉末物質および着色層16を構成する着
色粉末物質が溶融されて、上記バインダーにより透明基
板12と隠蔽粉末物質および着色粉末物質との接着性が
高められるとともに、ブラックマトリックス14を構成
する隠蔽粉末物質および着色層16を構成する着色粉末
物質が平坦化され、ブラックマトリックス14および着
色層16の表面平滑性が向上する(図6(B))。
As described above, the black matrix 1
After forming the fourth layer 4 and the colored layer 16, a heat treatment is performed. The heat treatment condition is usually 150 ° C. or higher, preferably 250 ° C. or higher. By such heat treatment, the photosensitive layer 13 is sublimated and removed, and the concealing powder material constituting the black matrix 14 and the colored powder material constituting the colored layer 16 come into contact with the transparent substrate 12 (FIG. 6 ( A)). At the same time, black matrix 14
Is melted, and the binder enhances the adhesiveness between the transparent substrate 12 and the concealing powder material and the coloring powder material, and forms the black matrix 14. The concealing powder material and the coloring powder material constituting the coloring layer 16 are flattened, and the surface smoothness of the black matrix 14 and the coloring layer 16 is improved (FIG. 6B).

【0022】尚、露光部分への隠蔽粉末物質、各着色粉
末物質の付着は、上述のように1回の付着操作のみとし
てもよく、あるいは複数回繰り返してもよい。また、上
述の製造工程においてブラックマトリックス形成工程を
削除することにより、ブラックマトリックスのないカラ
ーフィルタを製造することができる。さらに、上述の実
施例では、ブラックマトリックス14を形成してから着
色層16を形成しているが、形成順序はこれに限定され
るものではなく、着色層16を形成してからブラックマ
トリックス14を形成してもよい。
The application of the concealing powder substance and each of the coloring powder substances to the exposed portions may be performed only once as described above, or may be repeated a plurality of times. Further, by eliminating the black matrix forming step in the above-described manufacturing steps, a color filter without a black matrix can be manufactured. Further, in the above-described embodiment, the colored layer 16 is formed after the black matrix 14 is formed. However, the forming order is not limited to this, and the black matrix 14 is formed after the colored layer 16 is formed. It may be formed.

【0023】隠蔽粉末物質および着色粉末物質は、酸化
チタン(TiO2 )、SiO2 、ガラス粉末、カーボン
ブラック、グラファイト、銅ーフタロシアニン類、アゾ
染料、アルミニウム、銅、鉄等の金属粉末あるいは金属
酸化物をバインダーを用いて平均粒径30μm以下、好
ましくは10μm以下の微細粒子としたものを使用する
ことができる。
The concealing powder substance and the coloring powder substance are titanium oxide (TiO 2 ), SiO 2 , glass powder, carbon black, graphite, copper-phthalocyanines, azo dyes, metal powders such as aluminum, copper, iron or metal oxides. The product can be used as fine particles having an average particle size of 30 μm or less, preferably 10 μm or less using a binder.

【0024】本発明において、隠蔽粉末物質および着色
粉末物質を構成するバインダーは、上述したように透明
基板12との密着性を有するバインダーである。透明基
板12がガラス基板である場合には、上記のバインダー
はシランカプラーを含有する樹脂バインダーあるいはシ
ラン変性樹脂バインダーが好ましい。シランカプラーと
しては、RSiX3 で示される化学構造を有するものが
好ましく使用される。上記Rは、通常、ビニル、グリシ
ドキシ、メタクリル、アミノ、メルカプト基等を有する
有機官能性基であり、上記Xは塩素、アルコキシ基等の
加水分解性基である。
In the present invention, the binder constituting the concealing powder substance and the coloring powder substance is a binder having adhesiveness to the transparent substrate 12 as described above. When the transparent substrate 12 is a glass substrate, the binder is preferably a resin binder containing a silane coupler or a silane-modified resin binder. As the silane coupler, those having a chemical structure represented by RSix 3 are preferably used. R is usually an organic functional group having a vinyl, glycidoxy, methacryl, amino, mercapto group or the like, and X is a hydrolyzable group such as a chlorine or alkoxy group.

【0025】このようなシランカプラーとしては、γ−
(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルメチルジ
メトキシシラン、アミノシラン、γ−メタクリロキシプ
ロピルトリメトキシシラン、N−β−(N−ビニルベン
ジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシ
シラン・塩酸塩、γ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシ
ラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−クロロプロピ
ルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、γ−
アニリノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメト
キシシラン、オクタデシルジメチル[3−(トリメトキ
シシリル)プロピル]アンモニウムクロライド、γ−ク
ロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプト
プロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリクロロシ
ラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラ
ン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス(βメトキ
シエトキシ)シラン、ビニルトリエトキシシラン、β−
(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシ
シラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシ
ラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプ
ロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルト
リエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピル
トリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメト
キシシラン等を使用することができる。
As such a silane coupler, γ-
(2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropylmethyldimethoxysilane, aminosilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl)- γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxy Silane, hexamethyldisilazane, γ-
Anilinopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, octadecyldimethyl [3- (trimethoxysilyl) propyl] ammonium chloride, γ-chloropropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, methyltrichlorosilane, dimethyldichlorosilane , Trimethylchlorosilane, vinyltrichlorosilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, vinyltriethoxysilane, β-
(3,4 epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyl Dimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like can be used.

【0026】そして、このようなシランカプラーは、下
記のような樹脂バインダー中に1〜3重量%程度含有さ
れることが好ましい。 1.ポリスチレン系樹脂 (1)ポリスチレンホモポリマー (2)共重合系ポリマー 水素添加スチレン樹脂 スチレン・イソブチレン共重合体 スチレン・ブタジエン共重合体 アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン三元共重合体
(ABS) アクリロニトリル・スチレン・アクリル酸エステル三元
共重合体(ASA) スチレン・アクリロニトリル共重合体(AS) アクリロニトリル・アクリルゴム・スチレン三元共重合
体(AAS) アクリロニトリル・塩素化ポリエチレン・スチレン三元
共重合体(ACS) アクリロニトリル・EAV・スチレン三元共重合体(A
ES) 2.アクリルおよびアクリル系樹脂 (1)ホモポリマー ポリメチルメタアクリレート エチルメタアクリレート n−ブチルメタアクリレート グリシジルメタアクリレート (2)共重合体 メチレン・メタアクリレート/ブチルメタアクリレート
共重合体 アクリル酸エチル/アクリル酸共重合体 3.スチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体 スチレン・アクリル共重合体 スチレン・ジエチルアミノ・エチルメタアクリレート共
重合体 スチレン・ブタジエン・アクリル酸エステル共重合体 スチレン・ブタジエン共重合体 スチレン・ブタジエン・塩素化パラフィン共重合体 スチレン・メチルメタアクリレート共重合体 スチレン・メチルメタアクリレート共重合体/スチレン
ブチルメタアクリレートのブレンド スチレン・n−ブチルメタアクリレート スチレン・ジエチルアミノ・エチルメタアクリレート スチレン・メチルメタアクリレート・n−ブチルアクリ
レート スチレン・メチルメタアクリレート・ブチルアクリレー
ト−N−(エトキシメチル)アクリルアミド スチレン・グリシジルメタアクリレート スチレン・ジメチルアミノ・エチルメタアクリレート スチレン・ブタジエン・ジメチルアミノエチルメタアク
リレート スチレン・アクリル酸エステル・マレイン酸エステル スチレン・メタアクリル酸メチル・アクリル酸2−エチ
ルヘキシル共重合体 スチレン・n−ブチルアクリレート・エチルグリコール
メタアクリレート スチレン・n−ブチルメタアクリレート・アクリル酸共
重合体 スチレン・n−ブチルメタアクリレート・無水マレイン
酸樹脂 スチレン・ブチルアクリレート・イソブチルマレイン酸
ハーフエステル・ジビニルベンゼン共重合体 また、シラン変性樹脂バインダーとしては、例えば、不
飽和結合を有する樹脂に、ビニル基およびアルコキシ基
を有するシランをグラフト重合させたもの等を使用する
ことができる。
Such a silane coupler is preferably contained in the following resin binder in an amount of about 1 to 3% by weight. 1. Polystyrene resin (1) Polystyrene homopolymer (2) Copolymer polymer Hydrogenated styrene resin Styrene / isobutylene copolymer Styrene / butadiene copolymer Acrylonitrile / butadiene / styrene terpolymer (ABS) Acrylonitrile / styrene / acryl Acid ester terpolymer (ASA) styrene / acrylonitrile copolymer (AS) acrylonitrile / acrylic rubber / styrene terpolymer (AAS) acrylonitrile / chlorinated polyethylene / styrene terpolymer (ACS) acrylonitrile / EAV / styrene terpolymer (A
ES) 2. Acrylic and acrylic resin (1) Homopolymer Polymethyl methacrylate Ethyl methacrylate N-butyl methacrylate Glycidyl methacrylate (2) Copolymer Methylene methacrylate / butyl methacrylate copolymer Ethyl acrylate / Acrylic acid copolymer Coalescing 3. Styrene / (meth) acrylate copolymer Styrene / acryl copolymer Styrene / diethylamino / ethyl methacrylate copolymer Styrene / butadiene / acrylate copolymer Styrene / butadiene copolymer Styrene / butadiene / chlorinated paraffin Copolymer Styrene / methyl methacrylate copolymer Styrene / methyl methacrylate copolymer / styrene butyl methacrylate blend Styrene / n-butyl methacrylate Styrene / diethylamino / ethyl methacrylate Styrene / methyl methacrylate / n-butyl acrylate Styrene / methyl methacrylate / butyl acrylate-N- (ethoxymethyl) acrylamide Styrene / glycidyl methacrylate Styrene / dimethylamido No-ethyl methacrylate Styrene / butadiene / dimethylaminoethyl methacrylate Styrene / acrylic acid ester / maleic acid ester Styrene / methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate copolymer Styrene / n-butyl acrylate / ethyl glycol methacrylate Styrene -N-butyl methacrylate-acrylic acid copolymer styrene-n-butyl methacrylate-maleic anhydride resin styrene-butyl acrylate-isobutyl maleic acid half ester-divinylbenzene copolymer Also, as a silane-modified resin binder, for example, A resin obtained by graft-polymerizing a silane having a vinyl group and an alkoxy group onto a resin having an unsaturated bond can be used.

【0027】尚、バインダーには湿潤剤、帯電防止剤等
の添加剤を加えてもよい。露光により粘着性を発現する
感光性物質としては、下記に示されるような1,4−ジ
ヒドロピリジン化合物を用いることができる。
Incidentally, additives such as a wetting agent and an antistatic agent may be added to the binder. As the photosensitive substance which exhibits tackiness upon exposure, a 1,4-dihydropyridine compound as shown below can be used.

【0028】1,4−ジヒドロピリジン化合物 :
2,6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−
1,4−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン酸ジメ
チルエステル; 2,6−ジメチル−4−(2′−ニト
ロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5−ジ
カルボン酸ジエチルエステル; 2,6−ジメチル−4
−(2′−ニトロ−4′,5′−ジメトキシフェニル)
−1,4−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン酸ジ
エチルエステル; 2,6−ジメチル−4−(2′−ニ
トロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5−
ジカルボン酸ジイソプロピルエステル; 2,6−ジメ
チル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4−ジヒド
ロピリジン−3,5−ジカルボン酸ジ(β−エトキシエ
チル)エステル; 2,6−ジメチル−4−(2′−ニ
トロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5−
ジカルボン酸3−メチル−5−エチルエステル; 2,
6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4
−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン酸3−イソプ
ロピル−5−メチルエステル; 2,6−ジメチル−4
−(2′−ニトロフェニル)−3−アセト−1,4−ジ
ヒドロピリジン−5−カルボン酸エチルエステル;
2,6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−
3,5−ジアセト−1,4−ジヒドロピリジンおよび
2,6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−
3,5−ジシアノ−1,4−ジヒドロピリジン。
1,4-dihydropyridine compound:
2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl)-
1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid dimethyl ester; 2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid diethyl ester; 2,6- Dimethyl-4
-(2'-nitro-4 ', 5'-dimethoxyphenyl)
-1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid diethyl ester; 2,6-dimethyl-4- (2′-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-
2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid di (β-ethoxyethyl) ester; 2,6-dimethyl-4-dicarboxylic acid diisopropyl ester; (2'-nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5-
Dicarboxylic acid 3-methyl-5-ethyl ester; 2,
6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4
-Dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid 3-isopropyl-5-methyl ester; 2,6-dimethyl-4
-(2'-nitrophenyl) -3-aceto-1,4-dihydropyridine-5-carboxylic acid ethyl ester;
2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl)-
3,5-diacet-1,4-dihydropyridine and 2,6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl)-
3,5-dicyano-1,4-dihydropyridine.

【0029】このような1,4−ジヒドロピリジン化合
物は、例えば1モルの脂肪族または芳香族アルデヒド、
1モルのアンモニアおよび2モルのβ−ケトカルボン酸
エステル、β−ケトカルボン酸ニトリルあるいはβ−ジ
ケトンとから、Hantzsch合成の方法に従って製造するこ
とができる。
Such 1,4-dihydropyridine compounds are, for example, 1 mol of an aliphatic or aromatic aldehyde,
It can be produced from 1 mol of ammonia and 2 mol of β-ketocarboxylic acid ester, β-ketocarboxylic nitrile or β-diketone according to the method of Hantzsch synthesis.

【0030】上述の感光性物質は、単独で用いて感光性
層13を形成してもよく、あるいはバインダーと混合し
て使用してもよい。バインダーとの混合割合は、バイン
ダー1重量部に対して0.2〜9重量部程度が好まし
い。使用するバインダーとしては、ポリアクリル酸エス
テルおよび/またはポリメタクリル酸エステル、アクリ
ル酸および/またはメタクリル酸もしくは他のアクリル
モノマーおよび/またはビニルモノマー類の共重合体;
マレイン酸無水物、マレイン酸および/またはそのス
チレン、もしくは他のビニルモノマーのジ−もしくはセ
ミエステル類の共重合体; ポリ塩化ビニル、その塩素
化処理生成物、ポリ塩化ビニリデン、塩素化ポリエチレ
ン等の塩素含有ビニルポリマー、または共重合体; ポ
リスチレンおよびマレイン酸等とのスチレン共重合体、
ポリエチレンおよびマレイン酸等とのエチレン共重合
体; ブタジエン、クロロプレン等に基づく合成ゴムお
よびそれらのスチレン、アクリロニトリル等との共重合
体; 高分子量のポリエチレンオキサイドまたはポリエ
ピクロルヒドリンのようなポリエーテルが挙げられる。
The above-mentioned photosensitive substance may be used alone to form the photosensitive layer 13, or may be used by mixing with a binder. The mixing ratio with the binder is preferably about 0.2 to 9 parts by weight per 1 part by weight of the binder. Binders used include polyacrylates and / or polymethacrylates, copolymers of acrylic acid and / or methacrylic acid or other acrylic monomers and / or vinyl monomers;
Copolymers of maleic anhydride, maleic acid and / or di- or semi-esters of styrene or other vinyl monomers, such as polyvinyl chloride, chlorinated products thereof, polyvinylidene chloride, chlorinated polyethylene, etc. Chlorine-containing vinyl polymer or copolymer; styrene copolymer with polystyrene and maleic acid, etc.
Ethylene copolymers with polyethylene and maleic acid; synthetic rubbers based on butadiene, chloroprene and the like and copolymers thereof with styrene, acrylonitrile and the like; polyethers such as high molecular weight polyethylene oxide and polyepichlorohydrin.

【0031】また、感光性物質には増感剤、安定化剤等
を含有することができる。上述のような感光性物質を透
明基板12上に塗布するには、スピンコート法等の公知
の方法を用いることができる。また、感光性層13の露
光に用いる光源としては、超高圧水銀灯、キセノンラン
プ、蛍光灯等が挙げられる。露光における照射量は50
〜300mJ/cm2 程度が好ましい。
The photosensitive substance may contain a sensitizer, a stabilizer and the like. In order to apply the above-described photosensitive substance onto the transparent substrate 12, a known method such as a spin coating method can be used. Further, as a light source used for exposing the photosensitive layer 13, an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a fluorescent lamp, and the like can be given. Exposure dose in exposure is 50
About 300 mJ / cm 2 is preferable.

【0032】カラーフィルタ10のブラックマトリック
ス14と着色層16を覆うように設けられる保護層18
は、カラーフィルタ10の表面平滑化を目的とするもの
であり、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド
系樹脂等の透明樹脂、あるいは二酸化ケイ素等の透明無
機化合物等を用いて形成することができる。保護層の厚
さは0.2〜50μm程度が好ましい。尚、本発明では
着色層形成後の加熱処理によりブラックマトリックス1
4と着色層16の表面平滑性が向上しているため、この
ような保護層18を形成しなくてもよい。
A protective layer 18 provided to cover the black matrix 14 and the colored layer 16 of the color filter 10
Is intended to smooth the surface of the color filter 10 and can be formed using a transparent resin such as an acrylic resin, an epoxy resin, or a polyimide resin, or a transparent inorganic compound such as silicon dioxide. . The thickness of the protective layer is preferably about 0.2 to 50 μm. In the present invention, the black matrix 1 is formed by a heat treatment after the formation of the colored layer.
Since the surface smoothness of the coloring layer 4 and the coloring layer 16 are improved, such a protective layer 18 does not need to be formed.

【0033】透明共通電極19としては、酸化インジウ
ムスズ(ITO)膜を用いることができる。ITO膜は
蒸着法、スパッタ法等の公知の方法により形成すること
ができ、厚さは200〜2000Å程度が好ましい。
As the transparent common electrode 19, an indium tin oxide (ITO) film can be used. The ITO film can be formed by a known method such as an evaporation method and a sputtering method, and the thickness is preferably about 200 to 2000 °.

【0034】次に、実験例を示して本発明を更に詳細に
説明する。 (実験例1)まず、2−ブタノン200cm3 中に、2,
6−ジメチル−4−(2′−ニトロフェニル)−1,4
−ジヒドロピリジン−3,5−ジカルボン酸のジメチル
エステル7.5gと、2,6−ジメチル−4−(2′−
ニトロフェニル)−1,4−ジヒドロピリジン−3,5
−ジカルボン酸のジエチルエステル7.5gとを溶解し
て、露光により粘着性を発現する感光性物質を調製し
た。そして、透明基板としてコーニング社製7059ガ
ラス(厚さ=1.1μm)を用い、スピンコート法(回
転数=500r.p.m.)により上記の感光性物質を塗布
し、透明基板上に感光性層(厚さ=1.5μm)を形成
した。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to experimental examples. (Experimental example 1) First, in 2-butanone 200cm 3 ,
6-dimethyl-4- (2'-nitrophenyl) -1,4
7.5 g of dimethyl ester of dihydropyridine-3,5-dicarboxylic acid and 2,6-dimethyl-4- (2'-
(Nitrophenyl) -1,4-dihydropyridine-3,5
-Dicarboxylic acid diethyl ester (7.5 g) was dissolved to prepare a photosensitive substance which exhibits tackiness upon exposure. Then, using the 7059 glass (thickness = 1.1 μm) manufactured by Corning Co., Ltd. as a transparent substrate, the above photosensitive substance was applied by a spin coating method (rotation speed = 500 rpm), and a photosensitive layer ( (Thickness = 1.5 μm).

【0035】次に、感光性層に対してブラックマトリッ
クス用のフォトマスクを介して紫外線露光を行った。露
光用の光源は超高圧水銀灯を用い、照射量は365nm
の波長において200mJ/cm2 とした。このような紫
外線露光により、感光性層のうち紫外線が照射された領
域には粘着性が発現していることが確認された。
Next, the photosensitive layer was exposed to ultraviolet light through a black matrix photomask. An ultra-high pressure mercury lamp was used as a light source for exposure, and the irradiation amount was 365 nm.
At a wavelength of 200 mJ / cm 2 . It was confirmed by such ultraviolet light exposure that tackiness was developed in a region of the photosensitive layer irradiated with ultraviolet light.

【0036】次に、感光性層の全面に下記の構成の黒色
トナーをふりかけ、その後、圧縮空気により黒色トナー
を吹き飛ばした。 (黒色トナー) ・顔料:カーボンブラック ・バインダー:ポリステレンホモポリマー/γ−(2−
アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン1% ・平均粒径=7μm これによって、上記の紫外線露光により粘着性が発現し
ている領域にのみ黒色トナーが付着してブラックマトリ
ックスパターンが形成された。尚、この工程において圧
縮空気により吹き飛ばされた(除去された)黒色トナー
は、回収して再度使用することができる。この時の解像
力は、ライン&スペースで10μmであった。
Next, a black toner having the following structure was sprayed on the entire surface of the photosensitive layer, and then the black toner was blown off by compressed air. (Black toner) ・ Pigment: carbon black ・ Binder: polysterene homopolymer / γ- (2-
(Aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane 1% Average particle size = 7 μm As a result, the black toner adhered only to the area where the adhesiveness was exhibited by the above-described ultraviolet exposure, and a black matrix pattern was formed. The black toner blown off (removed) by the compressed air in this step can be collected and reused. The resolution at this time was 10 μm in line & space.

【0037】次に、黒色トナーが付着している感光性層
に対して赤色パターン用のフォトマスクを介して所定位
置に紫外線露光を行った。紫外線露光条件は上記の露光
と同一とした。そして、黒色トナーの場合と同様に下記
の構成の赤色トナーを用いて赤色パターンを形成した。
Next, the photosensitive layer to which the black toner was adhered was exposed to ultraviolet light at a predetermined position through a photomask for a red pattern. The UV exposure conditions were the same as the above exposure. Then, similarly to the case of the black toner, a red pattern was formed using the red toner having the following configuration.

【0038】(赤色トナー) ・顔料:ウォッチングレッド ・バインダー:ポリステレンホモポリマー/γ−(2−
アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン1% ・平均粒径=8μm 次に、黒色トナーおよび赤色トナーが付着している感光
性層に対して、赤色パターンと同様にして緑色パターン
用のフォトマスクを介して所定位置に紫外線露光を行
い、緑色トナー(顔料としてフタロシアニングリーンを
用いた他は赤色トナーと同一構成)を用いて緑色パター
ンを形成した。
(Red toner) Pigment: Watching red Binder: Polysterene homopolymer / γ- (2-
Aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane 1% Average particle size = 8 μm Next, the photosensitive layer to which the black toner and the red toner are adhered is passed through a photomask for a green pattern in the same manner as the red pattern. Then, a predetermined pattern was exposed to ultraviolet light to form a green pattern using a green toner (the same configuration as the red toner except that phthalocyanine green was used as a pigment).

【0039】さらに、黒色トナー、赤色トナーおよび緑
色トナーが付着している感光性層に対して、赤色パター
ンと同様にして青色パターン用のフォトマスクを介して
所定位置に紫外線露光を行い、青色トナー(顔料として
フタロシアニンブルーを用いた他は赤色トナーと同一構
成)を用いて青色パターンを形成した。これにより、赤
(R)、緑(G)、青(B)の着色パターンを有する着
色層が形成された。
Further, the photosensitive layer to which the black toner, the red toner and the green toner are adhered is exposed to ultraviolet light at a predetermined position through a photomask for a blue pattern in the same manner as the red pattern. (The same configuration as the red toner except that phthalocyanine blue was used as the pigment) to form a blue pattern. Thereby, a colored layer having a colored pattern of red (R), green (G), and blue (B) was formed.

【0040】次に、270℃で30分間の加熱処理を施
した。その後、着色層上にスパッタリング法により厚さ
約220Åの透明共通電極(ITO膜)を形成してカラ
ーフィルタを得た。
Next, a heat treatment was performed at 270 ° C. for 30 minutes. Thereafter, a transparent common electrode (ITO film) having a thickness of about 220 ° was formed on the colored layer by a sputtering method to obtain a color filter.

【0041】このようなカラーフィルタでは、感光性物
質は昇華除去されており、またカラーフィルタのブラッ
クマトリックスおよび着色層と透明基板との接着性は、
碁盤目試験による剥離が発生せず良好なものであった。 (実験例2)黒色トナーおよび赤、緑、青の各トナー
を、下記のシラン変性樹脂バインダーを用いたトナーと
した他は実験例1と同様にしてカラーフィルタを得た。
In such a color filter, the photosensitive substance has been removed by sublimation, and the adhesion between the black matrix and the colored layer of the color filter and the transparent substrate is as follows.
It was good without peeling off in a grid test. (Experimental Example 2) A color filter was obtained in the same manner as in Experimental Example 1 except that the black toner and each of the red, green and blue toners were changed to toners using the following silane-modified resin binder.

【0042】(シラン変性樹脂バインダー) ポリスチンレンホモポリマー 80% シリコーン・ポリイミド共重合体 20% このようなカラーフィルタのブラックマトリックスおよ
び着色層と透明基板との接着性は碁盤目試験による剥離
が発生せず良好なものであった。 (比較実験例) 黒色トナーおよび赤、緑、青の各トナーを、下記の樹脂
バインダーを用いたトナーとした他は実験例1と同様に
してカラーフィルタを得た。
(Silane-modified resin binder) Polystyrene homopolymer 80% Silicone / polyimide copolymer 20% The adhesion between the black matrix and the colored layer of such a color filter and the transparent substrate is peeled off by a grid test. It was good without it. (Comparative Experimental Example) A color filter was obtained in the same manner as in Experimental Example 1 except that the black toner and each of the red, green, and blue toners were changed to toners using the following resin binders.

【0043】(樹脂バインダー) ポリスチレンホモポリマー このようなカラーフィルタのブラックマトリックスおよ
び着色層と透明基板との接着性は碁盤目試験により剥離
が認められ、カラーフィルターとしては不充分なもので
あった。
(Resin binder) Polystyrene homopolymer The adhesion between the black matrix and the colored layer of such a color filter and the transparent substrate was peeled off by a cross-cut test, and the color filter was insufficient.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば露
光により粘着性を発現する感光性物質を透明基板上に塗
布して感光性層を形成した後、所定のパターンで前記感
光性層を露光し露光部分に透明基板との密着性を有する
バインダーを含む着色粉末物質を付着させて着色パター
ンを形成する工程を必要色数分繰り返して着色層を形成
し、その後、加熱処理を行うことにより着色層を構成す
る着色粉末物質が溶融されて着色粉末物質は透明基板と
良好な接着状態に維持され、かつ着色層の表面平滑性が
大幅に向上し、微細パターン形成が可能なカラーフィル
タの製造が可能になるとともに、カラーフィルタの工程
の簡略化がなされて製造コストの低減が可能となる。
As described in detail above, according to the present invention, a photosensitive substance which exhibits tackiness upon exposure is coated on a transparent substrate to form a photosensitive layer, and the photosensitive layer is formed in a predetermined pattern. The step of exposing the layer and adhering a colored powder material containing a binder having adhesiveness to the transparent substrate to the exposed portion to form a colored pattern is repeated for the required number of colors to form a colored layer, and thereafter, a heat treatment is performed. As a result, the colored powder material constituting the colored layer is melted, the colored powder material is maintained in a good adhesion state with the transparent substrate, and the surface smoothness of the colored layer is greatly improved, and a color filter capable of forming a fine pattern. Can be manufactured, and the process of the color filter can be simplified, so that the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明により製造されたカラーフィルタを用い
たアクティブマトリックス方式による液晶ディスプレイ
の一例を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display using a color filter manufactured according to the present invention.

【図2】図1に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of the liquid crystal display shown in FIG.

【図3】図1に示される液晶ディスプレイに用いられて
いるカラーフィルタの拡大部分断面図である。
FIG. 3 is an enlarged partial cross-sectional view of a color filter used in the liquid crystal display shown in FIG.

【図4】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。
FIG. 4 is a process chart for explaining a method of manufacturing a color filter according to the present invention.

【図5】本発明によるカラーフィルタの製造方法を説明
するための工程図である。
FIG. 5 is a process diagram illustrating a method of manufacturing a color filter according to the present invention.

【図6】透明基板と着色粉末物質との接着状態を説明す
るための概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining a bonding state between a transparent substrate and a coloring powder substance.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…カラーフィルタ 12…透明基板 13…感光性層 14…ブラックマトリックス 16…着色層 16R,16G,16B…着色パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter 12 ... Transparent substrate 13 ... Photosensitive layer 14 ... Black matrix 16 ... Coloring layer 16R, 16G, 16B ... Coloring pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/20 101 H01L 27/14 H04N 9/07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 5/20 101 H01L 27/14 H04N 9/07

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 露光により粘着性を発現する感光性物質
を透明ガラス基板上に塗布して感光性層を形成した後、
所定のパターンで前記感光性層を露光し露光部分に前記
透明ガラス基板との密着性を有するシラン変性樹脂バイ
ンダーを含む着色粉末物質を付着させて着色パターンを
形成する工程を必要色数分繰り返して着色層を形成し、
その後、加熱処理を行うことを特徴とするカラーフィル
タの製造方法。
Claims: 1. A photosensitive material that exhibits tackiness upon exposure is coated on a transparent glass substrate to form a photosensitive layer.
A step of exposing the photosensitive layer in a predetermined pattern and attaching a colored powder material containing a silane-modified resin binder having adhesiveness to the transparent glass substrate on the exposed portion to form a colored pattern is required. Repeat for the number of colors to form a colored layer,
Thereafter, a heat treatment is performed.
【請求項2】 ブラックマトリックス用パターンで前記
感光性層を露光し露光部分に前記透明ガラス基板との密
着性を有するバインダーを含む隠蔽粉末物質を付着させ
てブラックマトリックスを形成した後、前記着色層の形
成を行うことを特徴とする請求項1記載のカラーフィル
タの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the photosensitive layer is exposed to a black matrix pattern, and a concealing powder material containing a binder having an adhesive property to the transparent glass substrate is attached to the exposed portion to form a black matrix. 2. The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein a color filter is formed.
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