JPH05283838A - プリント基板のパターン形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 導電パターンの位置誤差等の欠陥を出にくく
し、インライン化し易くして製造ラインの無人化を促進
することができると共に、多品種少量生産の場合にも安
価なランニングコストでプリント基板の製造を行うこと
ができるプリント基板のパターン形成方法を提供する。 【構成】 銅箔２０が貼着された基板１０上に、透明の
保護シート３５で覆われたフォトレジスト３０を延設
し、銅箔２０上に形成する導電パターンに対応するフォ
トレジスト３０部分をマスクしてそれ以外のフォトレジ
スト３０部分を感光、現像することにより、銅箔２０上
にレジストパターン３１を形成する工程を有するプリン
ト基板のパターン形成方法において、保護シート３５上
に電子写真法による印刷によってトナー像Ａを形成する
ことにより、導電パターンに対応するフォトレジスト３
０部分をマスクするようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非導電材料からなる基
板上にエッチングやメッキ等によって所定の導電パター
ンを形成するプリント基板のパターン形成方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば樹脂等の非導電材料か
らなる基板上に、銅箔等からなる所定の導電パターンを
形成する場合には、概ね次のような工程が行われる。ま
ず、図５に示すように、基板１に貼着された銅箔２上に
感光フィルム３を貼設する。通常、感光フィルム３は図
５に示すように、透明の保護シートＳ１，Ｓ２で両面を
保護されてロール状に巻かれているので、一方の保護シ
ートＳ２を剥離して剥離側を銅箔２側にして貼設し、さ
らに、感光フィルム３の保護シートＳ１上を、前記銅箔
２に形成すべきパターン部分を遮光させる遮光部分４ａ
とその他の部分を露光させる透光部分４ｂとを有するマ
スクフィルム４で覆い、この状態で光源５からの光を感
光フィルム３に照射させることにより、透光部分４ｂ及
び保護シートＳ１を透過する光源５からの光で感光フィ
ルム３を露光させる。

【０００３】次に、感光フィルム３を現像して露光され
た感光フィルム３部分を除去することにより、露光され
なかった感光フィルム３部分によるフォトレジスト３ａ
を図６に示すように銅箔２上に形成し、この状態でエッ
チング或はメッキ等を施すことによりフォトレジスト３
ａで覆われていない部分の銅箔２を除去して、さらにフ
ォトレジスト３ａを除去することにより、図７に示すよ
うに、基板１上に銅箔２による所定の導電パターン２ａ
を形成する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の導電パターン形成方法では、マスクフィルム４
の感光フィルム３上への貼着を通常人手により行ってい
るため、形成される導電パターン２ａの位置精度に誤差
が生じ易いという不具合があり、また、製造ラインを一
旦停止させてマスクフィルム４の貼着を行う必要がある
ため、インライン化しにくく製造ラインの無人化の妨げ
となる不具合があった。さらに、上述の従来方法では、
形成するパターン毎に個別のマスクフィルムが必要とな
るので、多品種少量生産の場合にはランニングコストが
高くついてしまうという不具合があった。

【０００５】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、導電パターンの位置誤差等の欠陥を出にくくし、イ
ンライン化し易くして製造ラインの無人化を促進するこ
とができると共に、多品種少量生産の場合にも安価なラ
ンニングコストでプリント基板の製造を行うことができ
るプリント基板のパターン形成方法を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、導電箔が貼着された基板上に、透明の保護
シートで覆われた感光フィルムを延設し、該感光フィル
ムの所定部分をマスクして該所定部分以外の感光フィル
ムを露光、現像することにより前記導電箔上にフォトレ
ジストを形成する工程を有するプリント基板のパターン
形成方法において、前記保護シート上に電子写真法によ
る印刷によってトナー像を形成することにより、前記感
光フィルムの前記所定部分をマスクするようにしたこと
を特徴とする。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づい
て説明する。図１は本発明によるプリント基板のパター
ン形成方法の一実施形態を示す説明図である。図１にお
いて１０は樹脂等の非導電材料からなる基板である。こ
の基板１０上には、後に導電パターンとなる銅箔２０
（導電箔）が貼着されており、この銅箔２０上には感光
フィルム３０が延設されている。この感光フィルム３０
は図２に示すように、透明の保護シート３５，３６で両
面を覆われた状態でロール状に巻かれており、銅箔２０
上に感光フィルム３０を延設する際には、一方の保護シ
ート３６を剥離しその剥離側の面を銅箔２０側にして延
設する。

【０００８】そして、銅箔２０、感光フィルム３０、保
護シート３５が順に積層された基板１０は、図１に示す
ように、電子写真法による印刷を行う印刷装置１００内
に供給される。この印刷装置１００は、外部からの印刷
情報に基づいて変調されたレーザ光Ｌを出力する光源１
１０と、光源１１０からのレーザ光Ｌを走査偏向するポ
リゴンミラー１２０と、光源１１０からポリゴンミラー
１２０へのレーザ光Ｌの光路を補正する補正レンズ１３
０と、ポリゴンミラー１２０で走査偏向されたレーザ光
Ｌを感光ドラム１５０上に集束させるｆθレンズ１４０
と、レーザ光Ｌの照射により感光ドラム１５０上に形成
される潜像を現像してトナー像を形成する現像部１６０
と、感光ドラム１５０上のトナー像を保護シート３５上
に転写させる転写部１７０と、保護シート３５上に転写
されたトナー像を定着させる定着部１８０とを備えてい
る。

【０００９】このような構成による印刷装置１００で
は、基板１０上に形成する導電パターンのＣＡＤデータ
が不図示のコントローラに入力され、これに基づいて光
源１１０から変調されて出力されるレーザ光Ｌがポリゴ
ンミラー１２０で走査偏向されて、ｆθレンズ１４０に
より感光ドラム１５０上に集束される。これにより、感
光ドラム１５０上には基板１０上に形成する導電パター
ンと同形の潜像が形成され、現像部１６０で現像されて
導電パターンと同形のトナー像が形成される。

【００１０】このトナー像は、転写部１７０で基板１０
に対するコロナ放電を行うことにより、感光ドラム１５
０上から保護シート３５上に転写され、さらに定着部１
８０を通過することにより図１中引用符号Ａで示すよう
に定着されたトナー像となる。そこで、印刷装置１００
によるトナー像Ａの印刷後に図２に示すように光源４０
からの光を保護シート３５上に照射して、トナー像Ａが
形成された部分以外の保護シート３５を透過する光で感
光フィルム３０を露光させ、感光フィルム３０から保護
シート３５を剥離した後に感光フィルム３０の現像を行
って、銅箔２０上に図３に示すような、トナー像Ａと同
形状のフォトレジスト３１を形成し、以後、既知の手段
により銅箔２０をエッチング或はメッキすることによ
り、図４に示すような、トナー像Ａと同形状の銅箔２０
による導電パターン２１を基板１０上に形成する。

【００１１】このように、本実施例のプリント基板のパ
ターン形成方法では、感光フィルム３０によるフォトレ
ジストを銅箔２０上に形成するために、電子写真法によ
る印刷を行うプリンタ１００によって、感光フィルム３
０を覆う保護シート３５上に導電パターンと同形のトナ
ー像Ａを形成し、このトナー像Ａによって、形成すべき
導電パターン部分の感光フィルム３０をマスクするよう
にしたので、感光フィルム３０へのマスキングの工程を
人手によらず自動で行うことができ、この工程をインラ
イン化し易くして製造ラインの無人化を促進することが
できると共に、パターンの位置精度を向上させて製品の
欠陥率を減少させることができる。

【００１２】また、保護シート３５上に形成されるトナ
ー像Ａが、外部からのＣＡＤデータ等による印刷情報で
決定されるので、複数のパターンの基板を少量ずつ製造
する場合にも安価なランニングコストで済む。さらに、
基板上に直接電子写真法の印刷装置によって導電性のト
ナー像を形成する製造方法に比べても、トナーの固化の
ための大掛かりな装置を必要とせず安価なランニングコ
ストでプリント基板の製造を行うことができ、且つ導電
性のトナーよりも導電の安定性で勝る銅箔等をパターン
の材料として使用できるという効果がある。

【００１３】尚、本実施例では基板１０の片面に銅箔２
０、感光フィルム３０、保護シート３５を積層して印刷
装置１００に供給する場合について示したが、基板１０
の両面に銅箔２０、感光フィルム３０、保護シート３５
を積層した状態で印刷装置１００に供給するようにして
もよい。この場合には、転写部１７０にて、トナー像を
転写する側とは反対側の保護シート３５面に対してコロ
ナ放電が行われる。

【００１４】

【発明の効果】上述したように本発明によれば、導電箔
が貼着された基板上に、透明の保護シートで覆われた感
光フィルムを延設し、該感光フィルムの所定部分をマス
クして該所定部分以外の感光フィルムを露光、現像する
ことにより前記導電箔上にフォトレジストを形成する工
程を有するプリント基板のパターン形成方法において、
前記保護シート上に電子写真法による印刷によってトナ
ー像を形成することにより、前記感光フィルムの前記所
定部分をマスクするようにした。このため、感光フィル
ムのマスキングの工程を人手によらず自動で行うことが
でき、この工程をインライン化し易くして製造ラインの
無人化を促進することができると共に、パターンの位置
精度を向上させて製品の欠陥を出にくくすることができ
る。また、保護シート上に形成されるトナー像が、電子
写真法による印刷を行う装置に外部から入力されるＣＡ
Ｄデータ等の印刷情報で決定されるので、多品種少量生
産の場合にも品種毎のマスクを用意する必要がなくな
り、安価なランニングコストでプリント基板の製造を行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるプリント基板のパターン形成方法
の一実施形態を示す説明図である。

【図２】図１に示す感光フィルムを銅箔上に延設する状
態を示す説明図である。

【図３】図１に示す印刷装置による印刷後に感光フィル
ムを露光、現像して銅箔上にフォトレジストを形成した
状態を示す説明図である。

【図４】図３の状態の基板をエッチングして導電パター
ンを形成した状態を示す説明図である。

【図５】従来のプリント基板のパターン形成方法におけ
るフォトレジストの形成工程を示す説明図である。

【図６】図５に示す銅箔上にフォトレジストを形成した
状態を示す説明図である。

【図７】図６の状態の基板をエッチングして導電パター
ンを形成した状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１０ 基板 ２０ 銅箔（導電箔） ３０ 感光フィルム ３１ フォトレジスト ３５ 保護シート Ａ トナー像

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年６月２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば樹脂等の非導電材料か
らなる基板上に、銅箔等からなる所定の導電パターンを
形成する場合には、概ね次のような工程が行われる。ま
ず、図５に示すように、フォトレジスト３の両面を透明
の保護シートＳ１，Ｓ２で保護しロール状に巻いたドラ
イフィルムフォトレジストから、一方の保護シートＳ２
を剥離し、剥離側のフォトレジスト３面を、基板１の銅
箔２上に貼設する。続いて、フォトレジスト３の保護シ
ートＳ１上を、前記銅箔２に形成すべきパターン部分を
遮光させる遮光部分４ａとその他の部分を露光させる透
光部分４ｂとを有するマスクフィルム４で覆い、この状
態で光源５からの光をフォトレジスト３に照射させるこ
とにより、透光部分４ｂ及び保護シートＳ１を透過する
光源５からの光でフォトレジスト３を露光させる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】次に、フォトレジスト３を現像して、露光
されたフォトレジスト３部分を除去することにより、露
光されなかったフォトレジスト３部分によるレジストパ
ターン３ａを図６に示すように銅箔２上に形成し、この
状態でエッチング或はメッキ等を施すことにより、レジ
ストパターン３ａで覆われていない部分の銅箔２を除去
して、さらにレジストパターン３ａを除去することによ
り、図７に示すように、基板１上に銅箔２による所定の
導電パターン２ａを形成する。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の導電パターン形成方法では、フォトレジスト３
上の保護シートＳ１にマスクフィルム４を貼着する作業
を通常人手により行っているため、形成される導電パタ
ーン２ａの位置精度に誤差が生じ易いという不具合があ
り、また、製造ラインを一旦停止させてマスクフィルム
４の貼着を行う必要があるため、インライン化しにくく
製造ラインの無人化の妨げとなる不具合があった。さら
に、上述の従来方法では、形成するパターン毎に個別の
マスクフィルムが必要となるので、多品種少量生産の場
合にはランニングコストが高くついてしまうという不具
合があった。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、導電箔が貼着された基板上に、透明の保護
シートで覆われたフォトレジストを延設し、該フォトレ
ジストの所定部分をマスクして該所定部分以外のフォト
レジスト部分を露光、現像することにより前記導電箔上
にレジストパターンを形成する工程を有するプリント基
板のパターン形成方法において、前記保護シー卜上に電
子写真法による印刷によってトナー像を形成することに
より、前記フォトレジストの前記所定部分をマスクする
ようにしたことを特徴とする。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づい
て説明する。図１は本発明によるプリント基板のパター
ン形成方法の一実施形態を示す説明図である。図１にお
いて１０は樹脂等の非導電材料からなる基板である。こ
の基板１０上には、後に導電パターンとなる銅箔２０
（導電箔）が貼着されており、この銅箔２０上にはフォ
トレジスト３０が延設されている。図２に示すように、
使用前のフォトレジスト３０の両面は、透明の保護シー
ト３５，３６により覆われ保護されているため、銅箔２
０上にフォトレジスト３０を延設する際には、一方の保
護シート３６が剥離され、剥離側のフォトレジスト３０
面が銅箔２０上に貼着される。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】このようにして、銅箔２０、フォトレジス
ト３０、保護シート３５が順に積層された基板１０は、
図１に示すように、電子写真法による印刷を行う印刷装
置１００内に供給される。この印刷装置１００は、外部
からの印刷情報に基づいて変調されたレーザ光Ｌを出力
する光源１１０と、光源１１０からのレーザ光Ｌを走査
偏向するポリゴンミラー１２０と、光源１１０とポリゴ
ンミラー１２０との間に配設され該ポリゴンミラー１２
０でのレーザ光Ｌの面倒れ現象を補正する補正レンズ１
３０と、ポリゴンミラー１２０で走査偏向されたレーザ
光Ｌを感光ドラム１５０上に集束させるｆθレンズ１４
０と、レーザ光Ｌの照射により感光ドラム１５０上に形
成される潜像を現像してトナー像を形成する現像部１６
０と、感光ドラム１５０上のトナー像を保護シート３５
上に転写させる転写部１７０と、保護シート３５上に転
写されたトナー像を定着させる定着部１８０とを備えて
いる。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】このトナー像は、転写部１７０で基板１０
に対するコロナ放電を行うことにより、感光ドラム１５
０上から保護シート３５上に転写され、さらに定着部１
８０を通過することにより図１中引用符号Ａで示すよう
に定着されたトナー像となる。そこで、印刷装置１００
によるトナー像Ａの印刷後に図２に示すように光源４０
からの光を保護シート３５上に照射して、トナー像Ａが
形成された部分以外の保護シート３５を透過する光でフ
ォトレジスト３０を露光させ、フォトレジスト３０から
保護シート３５を剥離した後にフォトレジスト３０の現
像を行って、銅箔２０上に図３に示すような、トナー像
Ａと同形状のレジストパターン３１を形成し、以後、既
知の手段により銅箔２０をエッチング或はメッキするこ
とにより、図４に示すような、トナー像Ａと同形状の銅
箔２０による導電パターン２１を基板１０上に形成す
る。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】このように、本実施例のプリント基板のパ
ターン形成方法では、導電パターンと同形状のレジスト
パターン３１を銅箔２０上に形成するために、電子写真
法による印刷を行うプリント１００によって、フォトレ
ジスト３０を覆う保護シート３５上に導電パターンと同
形のトナー像Ａを形成し、このトナー像Ａによって、形
成すべき導電パターン部分のフォトレジスト３０をマス
クするようにしたので、フォトレジスト３０へのマスキ
ングの工程を人手によらず自動で行うことができ、この
工程をインライン化し易くして製造ラインの無人化を促
進することができると共に、パターンの位置精度を向上
させて製品の欠陥率を減少させることができる。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】尚、本実施例では基板１０の片面に銅箔２
０、フォトレジスト３０、保護シート３５を積層して印
刷装置１００に供給する場合について示したが、基板１
０の両面に銅箔２０、フォトレジスト３０、保護シート
３５を積層した状態で印刷装置１００に供給するように
してもよい。この場合には、転写部１７０にて、トナー
像を転写する側とは反対側の保護シート３５面に対して
コロナ放電が行われる。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】

【発明の効果】上述したように本発明によれば、導電箔
が貼着された基板上に、透明の保護シートで覆われたフ
ォトレジストを延設し、該フォトレジストの所定部分を
マスクして該所定部分以外のフォトレジスト部分を露
光、現像することにより前記導電箔上にレジストパター
ンを形成する工程を有するプリント基板のパターン形成
方法において、前記保護シート上に電子写真法による印
刷によってトナー像を形成することにより、前記フォト
レジストの前記所定部分をマスクするようにした。この
ため、フォトレジストのマスキングの工程を人手によら
ず自動で行うことができ、この工程をインライン化し易
くして製造ラインの無人化を促進することができると共
に、パターンの位置精度を向上させて製品の欠陥を出に
くくすることができる。また、保護シート上に形成され
るトナー像が、電子写真法による印刷を行う装置に外部
から入力されるＣＡＤデータ等の印刷情報で決定される
ので、多品種少量生産の場合にも品種毎のマスクを用意
する必要がなくなり、安価なランニングコストでプリン
ト基板の製造を行うことができる。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるプリント基板のパターン形成方法
の一実施形態を示す説明図である。

【図２】図１に示すフォトレジストを銅箔上に延設する
状態を示す説明図である。

【図３】図１に示す印刷装置による印刷後にフォトレジ
ストを露光、現像して銅箔上にレジストパターンを形成
した状態を示す説明図である。

【図４】図３の状態の基板をエッチングして導電パター
ンを形成した状態を示す説明図である。

【図５】従来のプリント基板のパターン形成方法におけ
るレジストパターンの形成工程を示す説明図である。

【図６】図５に示す銅箔上にレジストパターンを形成し
た状態を示す説明図である。

【図７】図６の状態の基板をエッチングして導電パター
ンを形成した状態を示す説明図である。

【符号の説明】 １０ 基板 ２０ 銅箔（導電箔） ３０ フォトレジスト ３１ レジストパターン ３５ 保護シート Ａ トナー像

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電箔が貼着された基板上に、透明の保
   護シートで覆われた感光フィルムを延設し、該感光フィ
   ルムの所定部分をマスクして該所定部分以外の感光フィ
   ルムを露光、現像することにより前記導電箔上にフォト
   レジストを形成する工程を有するプリント基板のパター
   ン形成方法において、 前記保護シート上に、電子写真法による印刷によってト
   ナー像を形成することにより、前記感光フィルムの前記
   所定部分をマスクするようにした、 ことを特徴とするプリント基板のパターン形成方法。