JPH05272906A - 磁気式ストローク検出センサ - Google Patents

磁気式ストローク検出センサ

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JPH05272906A
JPH05272906A JP1318193A JP1318193A JPH05272906A JP H05272906 A JPH05272906 A JP H05272906A JP 1318193 A JP1318193 A JP 1318193A JP 1318193 A JP1318193 A JP 1318193A JP H05272906 A JPH05272906 A JP H05272906A
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JP
Japan
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magnetic
core
detection
sendust
coil
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Withdrawn
Application number
JP1318193A
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English (en)
Inventor
Shinichi Murakami
晋一 村上
Kazuo Inoue
和生 井上
Michihiro Tani
通弘 谷
Mitsuru Ono
充 尾野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60GVEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
    • B60G2204/00Indexing codes related to suspensions per se or to auxiliary parts
    • B60G2204/10Mounting of suspension elements
    • B60G2204/11Mounting of sensors thereon
    • B60G2204/112Mounting of sensors thereon on dampers, e.g. fluid dampers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60GVEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
    • B60G2204/00Indexing codes related to suspensions per se or to auxiliary parts
    • B60G2204/10Mounting of suspension elements
    • B60G2204/11Mounting of sensors thereon
    • B60G2204/115Wheel hub bearing sensors

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検出感度を向上でき、さらには耐熱性,耐熱
サイクル性に優れた磁気式ストローク検出センサを提供
する。 【構成】 磁性体製ピストンロッド5に凹溝13を所定
間隔をあけて形成してなる磁気スケールの変位量を検出
する磁気式ストローク検出センサを構成する場合に、検
出コイル15のコア22に、厚さ1mm以下の軟磁性合金
板の積層体を採用する。また、この軟磁性合金板に液体
急冷法によるセンダスト系合金薄帯22aを採用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気スケールの軸方向
移動量,あるいは回転角度等を検出する磁気式ストロー
ク検出センサに関し、特に検出感度を向上でき、さらに
は耐熱性,耐熱サイクル性に優れた検出コイル用コアの
構造に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、自動車においては、乗心地や走
行性を向上させるためにショックアブソーバのピストン
ロッドの変位量を検出し、この検出値に応じて減衰力や
車高を制御する制御装置が搭載されている。このような
ピストンロッド等の変位量を検出するセンサとして、従
来、悪環境下での安定性,信頼性の点から主として磁気
式のセンサが用いられている。しかしこの種の磁気式サ
ンサのうち、例えば、通常用いられるMR素子,ホール
素子では、使用可能な温度範囲が−10〜80℃程度と
狭いことから、自動車のエンジンルーム内,排気系等の
ような大きな熱サイクルが発生する箇所には使用できな
い。また、上記MR素子やホール素子の場合、検出対象
の磁気スケールがマグネット等着磁した磁性体でなけれ
ばならないが、高温下(例えば150℃以上)において
検出対象が安定した磁力を保持することは困難であり、
この点からも使用温度環境が制限される。
【0003】一方、コイルのインダクタンス値の変化で
変位量を検出する磁気コイル式のストローク検出センサ
は、コイルにバイアス電流を印加してコアを磁化させる
ことから、磁化されていない磁性体でも検出することが
できる。このことから磁気スケールを高温下でも使用で
き、従って上記自動車のような熱サイクルが発生するよ
うな箇所にも採用できる。このような磁気コイル式スト
ローク検出センサとして、従来、非磁性体のピストンロ
ッドの外周に所定間隔をあけて磁性部を形成し、ピスト
ンロッドの軸方向進退に伴う磁性部の通過を検出コイル
で検出するようにしたものが提案されている(例えば、
特開昭61-281902 号公報,特公平1-34328 号公報参
照)。この検出コイルは、コアを挿入してなるコイルボ
ビンの外周にコイルを巻回するとともに、これを磁気シ
ールドケース内に収容した構造となっている。また、上
記検出コイルのコアは、例えば酸化物系のソフトフェラ
イトやアモルファス合金を所定形状,大きさに加工した
ものが採用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の磁気式ストローク検出センサでは、検出コイルのコ
アの感度が低く、検出精度を向上させるうえでネックと
なっている。
【0005】また、上記従来のコア材に使用されるソフ
トフェライトやアモルファス合金は150℃以上での透磁
率の低下が著しいことから、高温雰囲気での使用や熱サ
イクルが発生する箇所での使用が困難であるという問題
がある。
【0006】本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、検出コイルの感度を向上して検出精度を向上
でき、さらには耐熱性,耐熱サイクル性に優れた磁気式
ストローク検出センサを提供することを目的としてい
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、磁性
体と非磁性体とを交互に配設してなる磁気スケール、又
は磁性体に複数の凹状の溝を形成してなる磁気スケール
の変位量を検出コイルを用いて検出する磁気式ストロー
ク検出センサであって、上記検出コイルのコアが、厚さ
1mm以下の軟磁性合金板の積層体からなることを特徴と
している。
【0008】ここで上記軟磁性合金板は、後述の液体急
冷法によるものの他に、鋳造材等から切削加工によって
形成したものも採用可能である。
【0009】また請求項2の発明は、上記検出コイルの
コアが、厚さ1mm以下の軟磁性合金板の単体からなるこ
とを特徴としている。以下、合金板を積層することなく
単体で使用した材料を非積層体と呼び、またこれからな
るコアを非積層コアと呼ぶ。
【0010】さらに請求項3の発明は、上記請求項1又
は2の発明において、軟磁性合金板がセンダスト系合金
板であることを特徴としている。
【0011】請求項4の発明は、上記請求項1ないし3
のいずれかの発明において、軟磁性合金板が液体急冷法
を用いたセンダスト系合金薄帯であることを特徴として
いる。
【0012】ここで、上記軟磁性合金板としては、セン
ダスト系合金の他にパーマロイ,ファインメット(登録
商標)が採用でき、これらの薄板を例えば樹脂製接着剤
で接着して積層体とすることとなる。
【0013】また上記センダスト系合金には、Fe−S
i−Al,Fe−Si−Co,Fe−Si−Ga,Fe
−Al−Ge等が採用できる。
【0014】また、上記センダスト系合金薄板は双ロー
ルによる液体急冷法により製造されたものを採用するの
が以下の理由から望ましい。まず、双ロール急冷法を用
いたセンダスト系合金は鋳造法によるものと比較して結
晶が極めて微細であるため、磁気理論により磁気特性が
優れている。また、センダスト系合金は難加工材である
ため、1mm以下の薄板を製造するには鋳造材を加工する
より急冷法による方がコスト的に安価である。なお上記
双ロール急冷法は、一対のロールを圧接させた状態で互
いに対向する方向に回転させ、このロール間にセンダス
ト系合金溶融を供給し、この合金溶融をロールの接触部
で急冷凝固させるとともに圧延することによって連続し
た急冷薄板を製造する方法である。
【0015】
【作用】請求項1の発明に係る磁気式ストローク検出セ
ンサによれば、コアに厚さ1mm以下の軟磁性合金板の積
層体を採用したので、つまり薄板を重ねた構造としたこ
とから広い温度範囲に渡って検出感度を向上でき、それ
だけ検出精度を向上できる。ここで、上記合金の厚みを
1mmより厚くすると軟磁性材料の透磁率が著しく低下
し、センサとしての感度が十分に得られない。
【0016】また、請求項2の発明に係る磁気式ストロ
ーク検出センサによれば、コアに厚さ1mm以下の軟磁性
合金板の単体(非積層体)を採用したので、温度変化に
よる特性の変化が少なく、かつ所定の温度範囲において
は上記積層体を用いた場合と同等の検出感度を実現でき
る。また上記積層体の場合に比較して、その製造工程が
簡単であり、それだけ製造コストを下げることができ
る。
【0017】さらに、請求項3の発明に係る磁気式スト
ローク検出センサによれば、軟磁性合金板にセンダスト
系合金薄板を採用したので、透磁率は高温領域において
も室温時と略同等の値を示し、しかも高周波領域での飽
和磁束密度の低下が少ないという特性が得られる。その
結果検出感度を向上できるとともに、耐熱製,耐熱サイ
クル性を向上でき、従来では困難であった 150℃以上の
高温下での使用が可能となり、用途を拡大できる。
【0018】さらに、請求項4の発明に係る磁気式スト
ローク検出センサによれば、軟磁性合金板に液体急冷法
を用いたセンダスト系合金薄帯を採用したので、鋳造材
を加工するよりコスト的に安価に製造することができる
とともに、上述のセンダスト系合金の特徴を合わせ持つ
ことができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。図1ないし図5は請求項1,3,4の発明に
係る第1実施例による磁気式ストローク検出センサを説
明するための図である。本第1実施例では、車両のショ
ックアブソーバのピストンロッドのストローク量を検出
する場合を例にとって説明する。図において、1はショ
ックアブソーバであり、これのシリンダ3の下端は図示
しないサスペンションアームに連結され、ピストンロッ
ド5の上端は車体に連結されている。このショックアブ
ソーバ1は、オイル2が充填された上記シリンダ3内に
ピストン4を摺動自在に挿入し、該ピストン4に上記ピ
ストンロッド5の下部5aを固着するとともに、該ロッ
ド5の上部5bをシリンダ3の外方に突出した構成とな
っている。またシリンダ3の上端には端板6が配設され
ており、この端板6の軸心を上記ピストンロッド5が貫
通している。この端板6とピストンロッド5との間には
シール用Oリング7が配設されている。
【0020】上記ピストン4にはこれにより区分けされ
た油室8a,8bを連通するオリフィス孔9が形成され
ている。また上記油室8bには減衰力を調節するための
油圧アクチュエータ21が継続されている。
【0021】上記ピストンロッド5は、SUS430 等の
磁性鋼からなり、このピストンロッド5の外方突出部の
外周面には、これの軸方向に所定ピッチ(例えば0.4mm
)ごとに凹溝13がストライプ状に形成されている。
この凹溝13を形成したことにより該凹溝13部分が非
磁性部、該凹部13,13間部分が強磁性部5cとなっ
ており、該ピストンロッド5が磁気スケールとして機能
する。なお、上記凹溝13は、ピストンロッド5のシー
ルに支障のない上方部分に形成されている。
【0022】また、上記シリンダ3の上端のピストンロ
ッド5に臨む部分に、本実施例の磁気式ストローク検出
センサを構成する一対の検出コイル15,15が配設さ
れている。この検出コイル15は、外径6mmφ,長さ21
mm程度の大きさを有するPCパーマロイからなる筒状の
磁気シールドケース16内にポリイミドアミド樹脂から
なるボビン17を挿入し、このボビン17の外周に、ポ
リイミドアミド樹脂を被覆してなる1次側銅線18,及
び2次側銅線18´を巻回するとともに、その軸心にコ
ア22を埋設挿入して構成されており、上記各銅線1
8,18´の両端には端子19,19´が接続されてい
る。
【0023】上記各端子19,19´は信号処理回路3
0を介してCPU20に接続されている。このCPU2
0は上記検出コイル15からの検出信号を信号処理回路
30で処理してなるパルス信号をカウントすることによ
って上記ピストンロッド5の移動距離を算出し、この算
出した移動距離に応じて油圧アクチュエータ21を駆動
し、これにより減衰力を調整するよう構成されている。
【0024】そして、上記ボビン17の軸心に配設され
た上記コア22が本実施例の特徴をなしている。このコ
ア22は短冊状のもので、厚さ0.06mmのセンダスト合金
薄板22aを5枚重ねてなる積層体から構成されてい
る。上記センダスト合金薄板22aは、Si 8.8wt%,
Al 5.5wt%,残部Feからなるもので、これは上述の
双ロール急冷法により製造されたものである。この双ロ
ール急冷法により得られた急冷薄板をエポキシ樹脂を介
在させて接着し、これを放電加工により切削して形成さ
れたものである。ここで上記各検出コイル15,15
は、凹溝13の形成ピッチを後述する正弦波曲線におい
て 360度とした時、互いに 270度,又は90度離れた位置
に配設されている。
【0025】このような磁気式ストローク検出センサに
おいて、ピストンロッド5が軸方向に進退移動すると、
該ロッド5の凹溝13が検出コイル15の直前を通過す
る毎に、各検出コイル15のインピーダンスが正弦波状
に変化する(図5(1) 参照)。図中、曲線x,yは 150
℃の時の各検出コイル15のインピーダンス変化を示
し、曲線x´,y´は−30℃の時のインピーダンス変化
を示す。そしてCPU20は上記インピーダンス変化を
100mHを基準に二値化して図5(2),及び図5(3)に示す
ようなパルス信号を得る。このパルス信号をカウントす
ることによってピストンロッド5の移動距離を算出し、
この算出した移動距離に応じてアクチュエータ21を駆
動することにより減衰力を調節する。これにより車両の
乗心地や走行性を向上する。また、ピストンロッド5の
移動方向は両検出コイル15から得られるパルス信号の
立ち上がりの先,後により判定する。この判定を正確に
行うためには二値化の基準値は本実施例の場合、94〜10
7mH の許容範囲で設定する必要がある。なお、上記ピス
トンロッド5の中立位置は学習制御により最も頻度の多
い値とする。
【0026】このように本第1実施例によれば、検出コ
イル15のコア22にセンダスト合金薄板22aを積層
してなる積層体を採用したので、広い温度範囲に渡って
検出感度を向上でき、それだけ検出精度を向上できる。
ちなみに、本実施例の検出コイル15の検出精度は、−
30〜150 ℃の温度範囲で使用した場合、±0.2mm であっ
た。また感度は後述する非積層コアに比べて大幅にアッ
プした。
【0027】また、本第1実施例では、センダスト系合
金板22aを採用したので、−40〜250 ℃の範囲での使
用が可能となることから、耐熱性,耐熱サイクル性を向
上でき、従来では困難であった高温雰囲気での使用を可
能にできる。
【0028】なお、上記実施例では、検出コイル15を
2つ用いてピストンロッド5の移動方向を判定するよう
に構成したが、移動方向を判定する必要がない場合は検
出コイルは1つでも良い。また、上記実施例では、検出
コアとしてセンダスト合金薄板の積層体を採用した場合
を例にとって説明したが、本発明の検出コアはこれに限
られるものではなく、例えばパーマロイ,ファインメッ
ト(登録商標)等の軟磁性合金薄板の積層体でも良く、
この場合も検出感度を向上できる。
【0029】また、上記実施例ではショックアブソーバ
のピストンロッドの移動量を検出するようにした場合を
例にとって説明したが、本発明の用途範囲は勿論これに
限られるものではない。例えば、自動車におけるステア
リングの舵角,アクセルの開度,あるいはエンジンやA
BS用車輪の回転数等の検出に適用できる。また一般産
業用の油空圧シリンダのストローク,高圧プロセス用バ
ルブシャフトのストローク,ロボットアームの角度,あ
るいは工作機械におけるテーブル位置等の検出にも適用
できる。
【0030】さらに、上記実施例では、磁性体からなる
ピストンロッド5に所定間隔ごとに非磁性部となる凹溝
13を形成して、所定ピッチごとに磁性に強弱をつける
よう構成したが、本発明の磁気スケールは、磁性体と非
磁性体とを交互に配設することにより構成することもで
きる。
【0031】図6及び図7は、上記検出センサ15をA
BS(アンチロックブレーキシステム)における車輪回
転速度検出に適用した第2実施例を示す図である。図
中、40は車輪支持部であり、これは、車幅方向に延び
るアスクルシャフト40aをベアリング41を介在させ
てハウジング42で回転自在に支持するとともに、この
ハウジング42をサスペンションアーム43に固着し、
上記シャフト40aの先端部に車輪を支持するホイール
プレート44を固着した構造となっている。また、上記
アスクルシャフト40aにはロータ45が固定されてい
る。このロータ45は磁性体製で歯車状の直径50mmφの
プレートであり、これの外周面45bには 0.4mmピッチ
で溝45aが半径方向に凹設されており、1回転あたり
196パルスの信号が得られるよう構成されている。そし
て、上記ハウジング42には上記第1実施例で説明した
のと同様の、コアにセンダスト合金薄板の積層体を用い
た検出センサ15が装着されており、この検出センサ1
5は上記ロータ45の溝45aを臨む位置に配置されて
いる。
【0032】上記ABSにおいて、車輪の回転とともに
ロータ45が回転すると、検出センサ15で該ロータ4
5の外周面45bと溝45aとの磁性の強弱を検出し、
これのパルス信号をCPUでカウントし、車輪速度を算
出する。そして車体速度と車輪速度とを比較し、急ブレ
ーキにより車輪がロックして両速度の差が所定値以上に
なるとブレーキ油圧を減圧してブレーキ力を弱め、上記
ロックを解除し、これにより車体の横滑り等を防止す
る。
【0033】本実施例においても、センダスト合金薄板
の積層体を採用したので、検出感度を向上でき、上記実
施例と略同様の効果が得られる。この場合、検出センサ
の検出精度は−30〜150 ℃の温度範囲で使用した場合、
±1.8 ゜であった。また検出信号は0〜3000rpm の範囲
で良好な感度,精度が得られた。さらに、検出対象が上
記ロータ45に溝45aを形成するだけで良いので、コ
ストの低減を図ることができる。
【0034】図13は、請求項2,3の発明に係る第3
実施例を説明するための図である。本第3実施例では、
厚さ 0.3mmのセンダスト合金の単体からなる非積層コア
22’を採用した。これはセンダスト合金の塊状物から
機械加工によって作成したものである。本実施例の如く
非積層コアを用いたセンサは、上記第1,第2実施例の
上記積層体を用いた場合と比べて、性能が低いものの所
定の温度,周波数範囲では、実用上問題ない。また非積
層コアの場合、積層体を製造する工程が不要となること
から、コストの低減を図ることができる。なお、積層体
と非積層体との温度,周波数依存性の違いについては以
下に詳述する。
【0035】図8ないし図12は上記第1,第2,第3
実施例の検出コイル15の効果を確認するために行った
試験結果を説明するための図である。図8は、上記実施
例の検出コイル15の温度依存性を周波数ごとに測定し
た試験結果を示す。なお、図中RSxは積層体を、Sy
は非積層体を各々意味している。同図からも明らかなよ
うに、1kHz,10kHz においては、RSxは80℃付近でピ
ークをもつのに対して、Syは漸増或いはフラットな特
性を持ち、特に1kHzの高温域( 250℃)においては、
SyがRSxより高い透磁率を示している。そして、10
0kHzにおいては、ともに略一定の低い透磁率を示してい
る。また、実使用域である 10kHzではSyはRSxより
約60%低いが、これはバイアス磁束や検出コイルター
ン数等の調整により対応可能である。一方、温度変化に
対する特性はSyの方が安定している。このように使用
周波数や使用温度域及び温度変化に対する特性等の条件
により、RSx,Syともに上記コアに採用することが
可能であることがわかる。
【0036】また、図9及び図10は、本実施例のセン
ダスト合金薄板の積層コア(実線で示す)と、同成分の
センダスト鋳塊を切削加工して形成した非積層コア(破
線で示す)との板厚による透磁率の変化,及び周波数に
よる磁束密度の変化を測定した試験結果を示す。図9か
らも明らかなように、上記第1,第2実施例の積層コア
は厚さによる透磁率の低下が少なく、センサとして使用
する際のコア厚さにおいても積層前の薄板(0.06mm)と
略同様の透磁率が得られている。また、非積層コアにお
いても上記第3実施例のように板厚が 0.3mm程度なら実
用に耐えることがわかる。また、図10からも明らかな
ように、上記第1,第2実施例の積層コアは、1kHz 以
上の高周波領域における飽和磁束密度の低下が少なく、
高周波領域においても優れた特性が得られているとがわ
かる。また、非積層コアにおいても上記1kHz 前後なら
実用に耐えることがわかる。
【0037】
【表1】
【0038】図12及び表1は、室温における出力波
形,及び温度変化による出力電圧値を測定した試験結果
を示す。この試験では、上記ボビン18に 0.1mmφの1
次側巻線を 600ターン巻回するとともに、0.08mmφの2
次側巻線を 600ターン巻回して上記第1,第2実施例の
検出コイル15を構成し、この検出コイル15を、図1
1に示すような検出回路に接続した。上記1次側巻線に
は直流 100mAのバイアス電流を印加し、2次側巻線には
検出端子を接続した。そして、この検出コイル15に、
PCパーマロイ板(厚さ 0.1mm)及びリン青銅板(厚さ
0.1mm)を交互に積層して形成されたブロックを45mm/s
ecの一定速度で通過させ、この時の室温(20℃)におけ
る出力波形をストレージスコープで観察した。また、−
40〜260 ℃の温度変化による出力電圧(VP-P )を測定
した。
【0039】図12及び表1からも明らかように、−40
〜260 ℃の温度範囲において信号の周期を検出するのに
十分な出力が得られており、高温雰囲気における変位量
を精度良く検出できる一方、積層体を用いたため温度変
化により出力値が大幅に変化していることがわかる。こ
の場合、図8より、非積層コア材を用いることにより、
安定した出力が得ることができる。
【0040】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明に係る磁気
式スクロール検出センサによれば、検出コイルのコアに
厚さ1mm以下の軟磁性合金板の積層体を採用したので、
検出感度を向上でき、それだけ検出精度を向上できる効
果がある。また、請求項2の発明では、検出コイルのコ
アに厚さ1mm以下の軟磁性合金板の単体(非積層体)を
採用したので、温度変化に対しても安定な特性を示し、
また製造コストの削減を図ることができる効果がある。
そして、請求項3の発明では、センダスト系合金板を採
用したので、また特に請求項4の発明では、液体急冷法
によるセンダスト系合金薄帯を採用したので、検出感度
を向上できるとともに、耐熱性,耐熱サイクル性を向上
でき、高温雰囲気中での使用を可能にできる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1,3,4の発明に係る第1実施例によ
る磁気式ストローク検出センサを説明するためのショッ
クアブソーバの断面図である。
【図2】上記第1実施例の磁気式ストローク検出センサ
の断面図である。
【図3】上記第1実施例の検出コイルを示す斜視図であ
る。
【図4】上記第1実施例のコアを示す斜視図である。
【図5】上記第1実施例の磁気式ストローク検出センサ
の出力波形図である。
【図6】請求項1,3,4の発明に係る第2実施例によ
る磁気式車輪速度検出センサを説明するための断面図で
ある。
【図7】上記第2実施例における検出コイルとロータと
を示す図である。
【図8】上記第1,第2実施例及び第3実施例の効果を
確認するために行った試験結果を示す特性図である。
【図9】上記第1〜第3実施例の効果を確認するために
行った試験結果を示す特性図である。
【図10】上記第1〜第3実施例の効果を確認するため
に行った試験結果を示す特性図である。
【図11】上記第1〜第3実施例の効果を確認するため
に行った試験方法を示す回路図である。
【図12】上記第1,第2実施例の効果を確認するため
に行った試験結果を示す特性図である。
【図13】請求項2,3の発明に係る第3実施例による
コアを示す斜視図である。
【符号の説明】
5 ピストンロッド(磁気スケール) 5c 強磁性部 13 弱磁性部(溝) 15 検出コイル 22 コア 22a センダスト系合金板(軟磁性合金板) 22´ 非積層コア

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁性体と非磁性体とを交互に配設してな
    る磁気スケール、又は磁性体に複数の凹状の溝を形成し
    てなる磁気スケールの変位量を検出コイルを用いて検出
    する磁気式ストローク検出センサであって、上記検出コ
    イルのコアが、厚さ1mm以下の軟磁性合金板の積層体か
    らなることを特徴とする磁気式ストローク検出センサ。
  2. 【請求項2】 磁性体と非磁性体とを交互に配設してな
    る磁気スケール、又は磁性体に複数の凹状の溝を形成し
    てなる磁気スケールの変位量を検出コイルを用いて検出
    する磁気式ストローク検出センサであって、上記検出コ
    イルのコアが、厚さ1mm以下の軟磁性合金板の単体(非
    積層体)からなることを特徴とする磁気式ストローク検
    出センサ。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において、軟磁性合金板
    がセンダスト系合金板であることを特徴とする磁気式ス
    トローク検出センサ。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
    軟磁性合金板が液体急冷法を用いたセンダスト系合金薄
    帯であることを特徴とする磁気式ストローク検出セン
    サ。
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