JPH05267138A - 電子線描画装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】コンピュータで、電子線描画装置の多数の部品
を制御する際に、各々の部品の動作回数，移動距離，動
作精度，動作時間等の情報を蓄積しておくことにより、
調整や交換が必要になった部品を知ることを目的とす
る。 【構成】コンピュータ１に、制御装置２をつなげ、さら
に、ＸＹステージ３，アーム４，センサ５等の部品をつ
なげたような構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータで制御し
ている多数の部品の内、調整や交換の必要であるものの
判定方法に係り、例えば調整や部品交換が必要であるこ
とを自己診断する電子線描画装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータで制御している電子線描画
装置の多数の部品は、使用しているうちに劣化，精度低
下，動作時間増加，破損等の問題が発生してくる。そこ
で前記問題発生時や一定期間ごとに、調整や交換するこ
とが一般的に行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の方法においては、次のような問題点がある。

【０００４】使用方法により前記部品の各々の動作回
数，移動距離等が違う。また、各々の部品も加工精度，
調整精度等が違う。そのため前記問題発生までの時間が
違い、必要ないものを調整や交換したり、必要なものを
調整や交換しなかったりする問題点がある。

【０００５】本発明の目的は、必要ない調整や部品交換
を防止し、必要なものだけの調整や部品交換を行うこと
にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、コンピュータ
で制御しているＸＹステージ，アーム，センサ他有寿命
の多数の部品の動作回数，移動距離，動作精度，動作時
間等の情報を前記コンピュータで蓄積し、その蓄積され
た情報をチェックするものである。

【０００７】

【作用】各々の部品の動作回数，移動距離，動作精度，
動作時間等の情報を蓄積することにより各々の部品の劣
化度や精度低下度が判るので、必要なものだけの調整や
部品交換を行うことができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。

【０００９】図１は、本発明を電子線描画装置に適用し
た場合の処理手順の一実施例を示すフローチャートであ
り、図２は、本発明に係る電子線描画装置の構成を示す
ブロック図である。

【００１０】図２において、１は入出力装置や表示装置
や記憶装置等を備えたコンピュータであり、電子線描画
装置の操作，制御，管理等を行う。２は電子線描画装置
の制御装置であり、次に説明する多数の部品の動作を行
う。３はＸＹステージで、４はアームであり、例えばモ
ータで動作しレーザで位置測定する。５はセンサで、例
えば有無検出を行う。

【００１１】次に図１のフローチャートに基づいて説明
する。

【００１２】まず、電子線描画装置が稼働を開始する
（ステップ１０）と、コンピュータ１は制御装置２を用
いてＸＹステージ３，アーム４，センサ５等を動作さ
せ、その動作回数，移動距離，動作精度，動作時間等の
情報を蓄積する（１１）。

【００１３】この後、蓄積した各々の動作情報をコンピ
ュータ１で検査する（１２）。例えば動作回数や移動距
離や動作時間があらかじめ設定された値(以下警戒値と
略す)より大きいかについて検査したり、動作精度が警
戒値より悪いかについて検査する。

【００１４】この検査に該当しなければ、保守作業かを
検査する（１３）。

【００１５】保守作業であると、次回の保守作業まで
に、前述の蓄積した各々の動作情報の検査に該当するか
を、検査する（１４）。

【００１６】この検査に該当するか、前述の蓄積した各
々の動作情報の検査に該当すれば、調整や交換が必要な
箇所を表示する（１５）。

【００１７】調整や交換が行われたか検査し（１６）、
該当する部品の蓄積した動作情報をクリアする（１
７）。

【００１８】また、機構計を駆動する場合は、モータ駆
動電流の立上りやピーク値等の特性値を蓄積し、上記と
同じように検査することにも適用できる。

【００１９】この実施例によれば、必要になった部品の
調整や交換のみを行うことができ、必要ないものを調整
や交換したり、必要なものを調整や交換しなかったりす
ることを防止することができる。

【００２０】上述の実施例は、調整や交換が必要な箇所
を表示するだけであったが、本発明は、通信装置を用い
たシステムにも適用できる。調整や交換が必要になった
ら、サービスセンタに通信装置を用いて知らせたり、サ
ービスセンタから通信装置を用いて保守作業時に調整や
交換が必要な部品を調べたりすることができる。

【００２１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、各
々の部品の動作回数，移動距離，動作精度，動作時間等
の情報を蓄積しておくので、調整や交換が必要になった
部品を知ることができる。必要になった部品のみの調整
や交換を行えるので、必要ないものを調整や交換した
り、必要なものを調整や交換しなかったりすることを防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の処理手順の一実施例を示すフローチャ
ートである。

【図２】本発明に係る電子線描画装置のブロック図であ
る。

【符号の説明】

１…コンピュータ、２…制御装置、３…ＸＹステージ、
４…アーム、５…センサ、１０…稼働開始、１１…各々
の動作情報を蓄積、１２…各々の動作情報の蓄積の判
定、１３…保守作業かの判定、１４…保守作業での各々
の動作情報の蓄積の判定、１５…調整や交換が必要な箇
所を表示、１６…調整や交換が行われたかの判定、１７
…調整や交換が行われた部品の情報のクリア。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ＸＹステージ，アーム，センサ他有寿命部
   品を制御するコンピュータを持ち、前記部品の動作回
   数，移動距離，動作精度，動作時間等の情報を前記コン
   ピュータで蓄積し、調整や部品交換が必要であることを
   自己診断することを特徴とする電子線描画装置。