JPH05264476A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
- Publication number
- JPH05264476A JPH05264476A JP4061718A JP6171892A JPH05264476A JP H05264476 A JPH05264476 A JP H05264476A JP 4061718 A JP4061718 A JP 4061718A JP 6171892 A JP6171892 A JP 6171892A JP H05264476 A JPH05264476 A JP H05264476A
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- JP
- Japan
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- ray
- shutter
- inspection
- inspected
- ray tube
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、検査能率の向上とＸ線発生手段の
長寿命化を図ることを目的とする。 【構成】 Ｘ線発生手段３からＸ線遮蔽室１内に放射さ
れるＸ線を遮蔽するＸ線遮蔽手段５と、Ｘ線遮蔽手段５
に設けられＸ線発生手段３から被検査体へのＸ線の照射
・停止を制御するＸ線照射・停止手段６とを有すること
を特徴とする。
長寿命化を図ることを目的とする。 【構成】 Ｘ線発生手段３からＸ線遮蔽室１内に放射さ
れるＸ線を遮蔽するＸ線遮蔽手段５と、Ｘ線遮蔽手段５
に設けられＸ線発生手段３から被検査体へのＸ線の照射
・停止を制御するＸ線照射・停止手段６とを有すること
を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばＣＴ（計算断層
映像法）やＸ線テレビ等の非破壊検査の分野で用いるＸ
線検査装置に関する。
映像法）やＸ線テレビ等の非破壊検査の分野で用いるＸ
線検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＴやＸ線テレビ等の従来のＸ線検査装
置では、一般に、被検査体出し入れ用の試料扉を備えた
Ｘ線遮蔽室内に、Ｘ線発生用のＸ線管と被検査体の透過
Ｘ線等、被検査体の情報を含むＸ線を検出するＸ線検出
器とが設けられている。試料扉にはその開閉に連動する
スイッチが設けられ、このスイッチでＸ線管のインター
ロックがとられるようになっている。そして、試料扉が
閉じている時スイッチがＯＮしてＸ線管のＯＮ許可が出
される。試料扉が開かれた時は、スイッチはＯＦＦとな
ってＸ線管はＯＮとなることが拘束され、Ｘ線管がＯＮ
状態の時でもスイッチがＯＦＦするとＸ線管はＯＦＦと
なる。したがって、Ｘ線検査を行う場合、被検査体の交
換のため試料扉が開閉されると、これに伴なってＸ線管
もＯＮ・ＯＦＦを繰返すことになる。
置では、一般に、被検査体出し入れ用の試料扉を備えた
Ｘ線遮蔽室内に、Ｘ線発生用のＸ線管と被検査体の透過
Ｘ線等、被検査体の情報を含むＸ線を検出するＸ線検出
器とが設けられている。試料扉にはその開閉に連動する
スイッチが設けられ、このスイッチでＸ線管のインター
ロックがとられるようになっている。そして、試料扉が
閉じている時スイッチがＯＮしてＸ線管のＯＮ許可が出
される。試料扉が開かれた時は、スイッチはＯＦＦとな
ってＸ線管はＯＮとなることが拘束され、Ｘ線管がＯＮ
状態の時でもスイッチがＯＦＦするとＸ線管はＯＦＦと
なる。したがって、Ｘ線検査を行う場合、被検査体の交
換のため試料扉が開閉されると、これに伴なってＸ線管
もＯＮ・ＯＦＦを繰返すことになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のＸ線検査装置で
は、試料扉の開閉に連動するスイッチが設けられ、この
スイッチでＸ線管のインターロックがとられている。こ
のため、試料扉の開閉の度にＸ線管のＯＮ・ＯＦＦの時
間が必要となる。特にＯＮ時には、試料扉閉→Ｘ線管Ｏ
Ｎ→整定タイムラグ→データ収集の手順を踏むため、検
査能率の低下を招く。そして、例えばＣＴでは１スキャ
ン当りの所要時間が短かくなるにつれてその影響は大き
くなる。
は、試料扉の開閉に連動するスイッチが設けられ、この
スイッチでＸ線管のインターロックがとられている。こ
のため、試料扉の開閉の度にＸ線管のＯＮ・ＯＦＦの時
間が必要となる。特にＯＮ時には、試料扉閉→Ｘ線管Ｏ
Ｎ→整定タイムラグ→データ収集の手順を踏むため、検
査能率の低下を招く。そして、例えばＣＴでは１スキャ
ン当りの所要時間が短かくなるにつれてその影響は大き
くなる。
【０００４】また、Ｘ線管のＯＮ・ＯＦＦの頻度が多く
なるため、Ｘ線管への高電圧印加とフィラメント点火の
ＯＮ・ＯＦＦが繰返されてその寿命を短かくするおそれ
がある。
なるため、Ｘ線管への高電圧印加とフィラメント点火の
ＯＮ・ＯＦＦが繰返されてその寿命を短かくするおそれ
がある。
【０００５】そこで、本発明は、検査能率の向上とＸ線
発生手段の長寿命化を図ることのできるＸ線検査装置を
提供することを目的とする。
発生手段の長寿命化を図ることのできるＸ線検査装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、被検査体出し入れ用の試料扉を備え当該被
検査体を収容するＸ線遮蔽室と、該Ｘ線遮蔽室内に設置
されＸ線を発生するＸ線発生手段と、該Ｘ線発生手段か
ら前記Ｘ線遮蔽室内に放射されるＸ線を遮蔽するＸ線遮
蔽手段と、該Ｘ線遮蔽手段に設けられ前記Ｘ線発生手段
から前記被検査体へのＸ線の照射・停止を制御するＸ線
照射・停止手段と、前記被検査体の情報を含むＸ線を検
出するＸ線検出手段とを有することを要旨とする。
するために、被検査体出し入れ用の試料扉を備え当該被
検査体を収容するＸ線遮蔽室と、該Ｘ線遮蔽室内に設置
されＸ線を発生するＸ線発生手段と、該Ｘ線発生手段か
ら前記Ｘ線遮蔽室内に放射されるＸ線を遮蔽するＸ線遮
蔽手段と、該Ｘ線遮蔽手段に設けられ前記Ｘ線発生手段
から前記被検査体へのＸ線の照射・停止を制御するＸ線
照射・停止手段と、前記被検査体の情報を含むＸ線を検
出するＸ線検出手段とを有することを要旨とする。
【０００７】
【作用】上記構成において、Ｘ線照射・停止手段により
Ｘ線発生手段から被検査体へのＸ線の照射が停止され、
Ｘ線発生手段からＸ線遮蔽室内へのＸ線の放射が遮蔽さ
れた状態でＸ線発生手段が予めＯＮされる。この状態で
試料扉が開かれてＸ線遮蔽室内への被検査体のセット又
は交換が行われる。このあと試料扉が閉じられてからＸ
線照射・停止手段が開状態とされて被検査体へＸ線が照
射され、検査が実行される。これにより検査作業中、Ｘ
線発生手段はＯＮ状態のままとされ、検査能率の向上が
実現されるとともにＸ線発生手段の長寿命化が達成され
る。
Ｘ線発生手段から被検査体へのＸ線の照射が停止され、
Ｘ線発生手段からＸ線遮蔽室内へのＸ線の放射が遮蔽さ
れた状態でＸ線発生手段が予めＯＮされる。この状態で
試料扉が開かれてＸ線遮蔽室内への被検査体のセット又
は交換が行われる。このあと試料扉が閉じられてからＸ
線照射・停止手段が開状態とされて被検査体へＸ線が照
射され、検査が実行される。これにより検査作業中、Ｘ
線発生手段はＯＮ状態のままとされ、検査能率の向上が
実現されるとともにＸ線発生手段の長寿命化が達成され
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００９】図１は、本発明をＣＴに適用した第１実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【００１０】まず、その構成を説明すると、被検査体出
し入れ用の試料扉２を備えたＸ線遮蔽室１内に、Ｘ線発
生手段としてのＸ線管３とこれに対向してＸ線検出手段
としてのＸ線検出器４とが設置されている。Ｘ線管３の
部分には、そのＸ線管３からＸ線遮蔽室１内に放射され
るＸ線を遮蔽するＸ線遮蔽手段としてのＸ線管遮蔽５が
設けられ、Ｘ線管遮蔽５にＸ線管３から被検査体へのＸ
線の照射・停止を制御するＸ線照射・停止手段としての
Ｘ線シャッタ６が取付けられている。また、Ｘ線管３と
Ｘ線検出器４との間には、被検査体を載せて回転及び直
線運動するＴ／Ｒテーブル７が設置されている。８はＸ
線検出器４の検出信号を収集するデータ収集部、９はＣ
ＰＵ、１０はメモリ用のディスク、１１は制御卓、１２
は表示装置、１３はメカコントローラであり、このメカ
コントローラ１３によりＸ線シャッタ６、試料扉２及び
Ｔ／Ｒテーブル７が制御されるようになっている。１４
はＸ線管３を制御するＸ線管制御部である。
し入れ用の試料扉２を備えたＸ線遮蔽室１内に、Ｘ線発
生手段としてのＸ線管３とこれに対向してＸ線検出手段
としてのＸ線検出器４とが設置されている。Ｘ線管３の
部分には、そのＸ線管３からＸ線遮蔽室１内に放射され
るＸ線を遮蔽するＸ線遮蔽手段としてのＸ線管遮蔽５が
設けられ、Ｘ線管遮蔽５にＸ線管３から被検査体へのＸ
線の照射・停止を制御するＸ線照射・停止手段としての
Ｘ線シャッタ６が取付けられている。また、Ｘ線管３と
Ｘ線検出器４との間には、被検査体を載せて回転及び直
線運動するＴ／Ｒテーブル７が設置されている。８はＸ
線検出器４の検出信号を収集するデータ収集部、９はＣ
ＰＵ、１０はメモリ用のディスク、１１は制御卓、１２
は表示装置、１３はメカコントローラであり、このメカ
コントローラ１３によりＸ線シャッタ６、試料扉２及び
Ｔ／Ｒテーブル７が制御されるようになっている。１４
はＸ線管３を制御するＸ線管制御部である。
【００１１】Ｘ線シャッタ６には、シャッタ閉を検出す
る図示省略のシャッタスイッチが設けられ、試料扉２
は、扉閉を検出する図示省略の扉スイッチが設けられて
いる。図２は、シャッタスイッチ及び扉スイッチでＸ線
管３のインターロックをとるロジック回路１５を示して
いる。シャッタスイッチ閉信号Ｐと扉信号ＱのＯＲでＸ
線管３のＯＮ許可信号Ｒが出るようになっている。
る図示省略のシャッタスイッチが設けられ、試料扉２
は、扉閉を検出する図示省略の扉スイッチが設けられて
いる。図２は、シャッタスイッチ及び扉スイッチでＸ線
管３のインターロックをとるロジック回路１５を示して
いる。シャッタスイッチ閉信号Ｐと扉信号ＱのＯＲでＸ
線管３のＯＮ許可信号Ｒが出るようになっている。
【００１２】次に、図３のフローチャートを用いて上述
のように構成されたＸ線検査装置の動作を説明する。
のように構成されたＸ線検査装置の動作を説明する。
【００１３】検査が開始されると、Ｘ線シャッタ６が閉
じられた状態で予めＸ線管３がＯＮされる。Ｘ線管３が
ＯＮ状態でも、Ｘ線管遮蔽５とＸ線シャッタ６によりＸ
線遮蔽室１内においてもＸ線の漏れは安全レベルに保た
れる。この状態で試料扉２が開かれてＸ線遮蔽室１内へ
の被検査体のセットが行われる（ステップ２１〜２
３）。次いで、試料扉２を閉じてからＸ線シャッタ６が
開けられ、被検査体へのＸ線のスキャンが行われる（ス
テップ２４〜２６）。そしてＸ線検出器４で被検査体の
情報を含むＸ線が検出されて所要の映像化処理が行われ
る。
じられた状態で予めＸ線管３がＯＮされる。Ｘ線管３が
ＯＮ状態でも、Ｘ線管遮蔽５とＸ線シャッタ６によりＸ
線遮蔽室１内においてもＸ線の漏れは安全レベルに保た
れる。この状態で試料扉２が開かれてＸ線遮蔽室１内へ
の被検査体のセットが行われる（ステップ２１〜２
３）。次いで、試料扉２を閉じてからＸ線シャッタ６が
開けられ、被検査体へのＸ線のスキャンが行われる（ス
テップ２４〜２６）。そしてＸ線検出器４で被検査体の
情報を含むＸ線が検出されて所要の映像化処理が行われ
る。
【００１４】１つの被検査体についてのＸ線検査が終了
すれば、まずＸ線シャッタ６が閉じられてから試料扉２
が開かれ、被検査体が取出される（ステップ２７，２
８）。引続いて他の被検査体についてのＸ線検査が必要
であれば被検査体の入替えが行われた後、ステップ２４
へ戻る（ステップ２９，３０）。
すれば、まずＸ線シャッタ６が閉じられてから試料扉２
が開かれ、被検査体が取出される（ステップ２７，２
８）。引続いて他の被検査体についてのＸ線検査が必要
であれば被検査体の入替えが行われた後、ステップ２４
へ戻る（ステップ２９，３０）。
【００１５】上述のように、本実施例によれば、Ｘ線検
査の作業中、Ｘ線管３はＯＮ状態のままとされる。Ｘ線
シャッタ６の開閉動作は２秒程度以下とすることが可能
であるため、Ｘ線管３のＯＮに数秒〜数十秒かかるのと
比べると大幅な検査時間の短縮が図られて検査能率が向
上する。また一定の検査条件の間、Ｘ線管３はＯＮした
ままであるため、その動作が安定して長寿命化が可能と
なる。
査の作業中、Ｘ線管３はＯＮ状態のままとされる。Ｘ線
シャッタ６の開閉動作は２秒程度以下とすることが可能
であるため、Ｘ線管３のＯＮに数秒〜数十秒かかるのと
比べると大幅な検査時間の短縮が図られて検査能率が向
上する。また一定の検査条件の間、Ｘ線管３はＯＮした
ままであるため、その動作が安定して長寿命化が可能と
なる。
【００１６】図４には、本発明をＸ線テレビ（透視装
置）に適用した第２実施例を示す。
置）に適用した第２実施例を示す。
【００１７】なお、図４において前記図１における機器
及び部材等と同一ないし均等のものは、前記と同一符号
を以って示し、重複した説明を省略する。
及び部材等と同一ないし均等のものは、前記と同一符号
を以って示し、重複した説明を省略する。
【００１８】この実施例においても、Ｘ線管３の部分に
Ｘ線シャッタ６を持つＸ線管遮蔽５が設けられている。
Ｘ線シャッタ６にその閉を検出するシャッタスイッチが
設けられ、試料扉にその閉を検出する扉スイッチが設け
られ、両スイッチによりＸ線管３のインターロックがと
られることは前記と同様である。１６は被検査体載置用
のテーブル、１７はＸ線検出手段としてのイメージング
システムである。被検査体の情報を含むＸ線がイメージ
ングシステム１７で画像化されて表示装置１２に表示さ
れる。
Ｘ線シャッタ６を持つＸ線管遮蔽５が設けられている。
Ｘ線シャッタ６にその閉を検出するシャッタスイッチが
設けられ、試料扉にその閉を検出する扉スイッチが設け
られ、両スイッチによりＸ線管３のインターロックがと
られることは前記と同様である。１６は被検査体載置用
のテーブル、１７はＸ線検出手段としてのイメージング
システムである。被検査体の情報を含むＸ線がイメージ
ングシステム１７で画像化されて表示装置１２に表示さ
れる。
【００１９】なお、上述の各実施例において、Ｘ線に代
えて中性子線、電子線その他の放射線を用いても上記と
同様の作用、効果が得られる。
えて中性子線、電子線その他の放射線を用いても上記と
同様の作用、効果が得られる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
Ｘ線発生手段からＸ線遮蔽室内に放射されるＸ線を遮蔽
するＸ線遮蔽手段と、このＸ線遮蔽手段に設けられＸ線
発生手段から被検査体へのＸ線の照射・停止を制御する
Ｘ線照射・停止手段とを具備させたため、Ｘ線照射・停
止手段を停止制御状態とすれば、検査作業中、Ｘ線発生
手段をＯＮ状態のままとしても試料扉を開、閉して被検
査体のセットないしは交換を行うことができる。したが
って検査能率が向上するとともにＸ線発生手段の長寿命
化を図ることができる。
Ｘ線発生手段からＸ線遮蔽室内に放射されるＸ線を遮蔽
するＸ線遮蔽手段と、このＸ線遮蔽手段に設けられＸ線
発生手段から被検査体へのＸ線の照射・停止を制御する
Ｘ線照射・停止手段とを具備させたため、Ｘ線照射・停
止手段を停止制御状態とすれば、検査作業中、Ｘ線発生
手段をＯＮ状態のままとしても試料扉を開、閉して被検
査体のセットないしは交換を行うことができる。したが
って検査能率が向上するとともにＸ線発生手段の長寿命
化を図ることができる。
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の第１実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】第１実施例においてシャッタスイッチ及び扉ス
イッチでＸ線管のインターロックをとるためのロジック
回路を示す図である。
イッチでＸ線管のインターロックをとるためのロジック
回路を示す図である。
【図３】第１実施例の動作を説明するためのフローチャ
ートである。
ートである。
【図４】本発明の第２実施例を示す構成図である。
１ Ｘ線遮蔽室 ２ 試料扉 ３ Ｘ線管（Ｘ線発生手段） ４ Ｘ線検出器（Ｘ線検出手段） ５ Ｘ線管遮蔽（Ｘ線遮蔽手段） ６ Ｘ線シャッタ（Ｘ線照射・停止手段） １７ イメージングシステム（Ｘ線検出手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査体出し入れ用の試料扉を備え当該
被検査体を収容するＸ線遮蔽室と、該Ｘ線遮蔽室内に設
置されＸ線を発生するＸ線発生手段と、該Ｘ線発生手段
から前記Ｘ線遮蔽室内に放射されるＸ線を遮蔽するＸ線
遮蔽手段と、該Ｘ線遮蔽手段に設けられ前記Ｘ線発生手
段から前記被検査体へのＸ線の照射・停止を制御するＸ
線照射・停止手段と、前記被検査体の情報を含むＸ線を
検出するＸ線検出手段とを有することを特徴とするＸ線
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061718A JPH05264476A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061718A JPH05264476A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Ｘ線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264476A true JPH05264476A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=13179290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4061718A Pending JPH05264476A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05264476A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7028528B2 (en) | 2001-05-30 | 2006-04-18 | Micro Motion, Inc. | Flowmeter proving device and method |
| JP2011163870A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2017053630A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | リョーエイ株式会社 | Ｘ線ｃｔ装置およびｃｔ検査方法 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP4061718A patent/JPH05264476A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7028528B2 (en) | 2001-05-30 | 2006-04-18 | Micro Motion, Inc. | Flowmeter proving device and method |
| JP2011163870A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2017053630A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | リョーエイ株式会社 | Ｘ線ｃｔ装置およびｃｔ検査方法 |
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