JPH05261242A - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置Info
- Publication number
- JPH05261242A JPH05261242A JP4062018A JP6201892A JPH05261242A JP H05261242 A JPH05261242 A JP H05261242A JP 4062018 A JP4062018 A JP 4062018A JP 6201892 A JP6201892 A JP 6201892A JP H05261242 A JPH05261242 A JP H05261242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- exhaust gas
- outer electrode
- inner electrode
- cylindrical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Chimneys And Flues (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐久性，処理能力の向上を計った排ガス処理
装置を得る。 【構成】 処理対象の燃焼装置より発生する排ガスを大
気圧グロー放電プラズマにより脱硝硫を行う処理装置に
おいて、筒状の外電極１，同外電極の内側に設けられた
筒状の内電極３，上記外電極および内電極の間に間隔を
おいて設けられた筒状の中間誘電体２，上記外電極およ
び内電極に接続された電源とを設ける。
装置を得る。 【構成】 処理対象の燃焼装置より発生する排ガスを大
気圧グロー放電プラズマにより脱硝硫を行う処理装置に
おいて、筒状の外電極１，同外電極の内側に設けられた
筒状の内電極３，上記外電極および内電極の間に間隔を
おいて設けられた筒状の中間誘電体２，上記外電極およ
び内電極に接続された電源とを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ボイラ，各種エンジ
ン，ガスタービン，各種燃焼炉から発生するＮＯx ，Ｎ
2 Ｏ，ＳＯx をグロー放電プラズマにより効果的に除去
し、かつ熱による耐久性に優れた排ガス処理装置に関す
る。
ン，ガスタービン，各種燃焼炉から発生するＮＯx ，Ｎ
2 Ｏ，ＳＯx をグロー放電プラズマにより効果的に除去
し、かつ熱による耐久性に優れた排ガス処理装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４〜図６は従来から用いられているグ
ロー放電プラズマによる排ガス処理装置の説明図であ
る。図４において燃焼装置１０１より発生した排ガス
は、サイクロンコレクタ１０２を介してプラズマ反応器
１０４に導入される。プラズマ反応器１０４は図５，図
６に詳細を示すように、円筒状の外電極１０６の内側に
円筒状の誘電体１０７を同軸上に配置し、誘電体１０７
の内面には内電極１０８として箔状の金属を設置した構
成になっている。
ロー放電プラズマによる排ガス処理装置の説明図であ
る。図４において燃焼装置１０１より発生した排ガス
は、サイクロンコレクタ１０２を介してプラズマ反応器
１０４に導入される。プラズマ反応器１０４は図５，図
６に詳細を示すように、円筒状の外電極１０６の内側に
円筒状の誘電体１０７を同軸上に配置し、誘電体１０７
の内面には内電極１０８として箔状の金属を設置した構
成になっている。
【０００３】排ガスは外電極１０６と誘電体１０７の間
に流入し、処理される。誘電体１０７内面への排ガス流
入を避けるため、下流部は封じ込みとする。
に流入し、処理される。誘電体１０７内面への排ガス流
入を避けるため、下流部は封じ込みとする。
【０００４】プラズマ反応器１０４への高電圧供給は、
外電極１０６と内電極１０８とに接続された電源１０３
より行われる。
外電極１０６と内電極１０８とに接続された電源１０３
より行われる。
【０００５】以上の構成において高電圧が印加される
と、外電極１０６と内電極１０８との間でグロー放電が
発生する。この放電部へ流入した排ガスはプラズマ化さ
れ、高エネルギーを持った電子とガス分子の衝突による
励起，電離によりＮＯx ，Ｎ2Ｏは分解し、除去され
る。
と、外電極１０６と内電極１０８との間でグロー放電が
発生する。この放電部へ流入した排ガスはプラズマ化さ
れ、高エネルギーを持った電子とガス分子の衝突による
励起，電離によりＮＯx ，Ｎ2Ｏは分解し、除去され
る。
【０００６】上記のプラズマ化により、５０〜２００PP
M 程度のＮＯx は印加電圧１５ｋｖで約７０％分解す
る。したがって、ボイラー，ガスタービンなどの各種燃
焼を伴なう装置の排ガス処理装置としての利用が期待さ
れる。
M 程度のＮＯx は印加電圧１５ｋｖで約７０％分解す
る。したがって、ボイラー，ガスタービンなどの各種燃
焼を伴なう装置の排ガス処理装置としての利用が期待さ
れる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の装置では次
のような問題点があった。 （１） ガス温度上昇に伴ない、誘電体と内電極の密着
性が劣化し、誘電体と内電極のわずかな空隙で放電が起
き、ガス分解に有効なガス流路間への放電エネルギーが
減少する。 （２） 上記放電によって上昇した内電極の熱は、誘電
体下流部が封じ込みのため放散できず、温度上昇の抑制
ができない。このため更に高電圧を印加すると放電電流
が増加し、この高温部で放電集中が生じ、誘電体を損傷
し、アーク放電へ移行する。 （３） ＮＯx 等の低減率は印加電圧への依存度が大き
い。しかし上記（１）（２）の理由により印加電圧ＭＡ
Ｘ値は１５ｋｖ程度に制限される。
のような問題点があった。 （１） ガス温度上昇に伴ない、誘電体と内電極の密着
性が劣化し、誘電体と内電極のわずかな空隙で放電が起
き、ガス分解に有効なガス流路間への放電エネルギーが
減少する。 （２） 上記放電によって上昇した内電極の熱は、誘電
体下流部が封じ込みのため放散できず、温度上昇の抑制
ができない。このため更に高電圧を印加すると放電電流
が増加し、この高温部で放電集中が生じ、誘電体を損傷
し、アーク放電へ移行する。 （３） ＮＯx 等の低減率は印加電圧への依存度が大き
い。しかし上記（１）（２）の理由により印加電圧ＭＡ
Ｘ値は１５ｋｖ程度に制限される。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため次の手段を講ずる。
するため次の手段を講ずる。
【０００９】すなわち，処理対象の燃焼装置より発生す
る排ガスを大気圧グロー放電プラズマにより脱硝硫を行
う処理装置において、筒状の外電極と、同外電極の内側
に設けられた筒状の内電極と、上記外電極および内電極
の間に間隔をおいて設けられた筒状の中間誘電体と、上
記外電極および内電極に接続された電源とを設けた。
る排ガスを大気圧グロー放電プラズマにより脱硝硫を行
う処理装置において、筒状の外電極と、同外電極の内側
に設けられた筒状の内電極と、上記外電極および内電極
の間に間隔をおいて設けられた筒状の中間誘電体と、上
記外電極および内電極に接続された電源とを設けた。
【００１０】
【作用】上記手段において、外電極と内電極間に高電圧
が印加されると、グロー放電が発生する。また、外電極
と内電極間に排ガスが導入されると、排ガスはグロー放
電によりプラズマ化され、ＮＯx ，Ｎ2 Ｏ，ＳＯx 等が
分解除去される。排ガスは外電極および内電極に接して
流れるため、各電極部での熱集中が緩和され、かつ安定
したグロー放電が形成される。また中間誘電体が内電極
や外電極と密着していないため、電極の温度上昇に伴う
誘電体劣化等の悪影響を受けない。
が印加されると、グロー放電が発生する。また、外電極
と内電極間に排ガスが導入されると、排ガスはグロー放
電によりプラズマ化され、ＮＯx ，Ｎ2 Ｏ，ＳＯx 等が
分解除去される。排ガスは外電極および内電極に接して
流れるため、各電極部での熱集中が緩和され、かつ安定
したグロー放電が形成される。また中間誘電体が内電極
や外電極と密着していないため、電極の温度上昇に伴う
誘電体劣化等の悪影響を受けない。
【００１１】このようにして、耐久性および処理効率が
向上する。
向上する。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例を図１〜図３により説明す
る。なお、従来例で説明した部分は、説明を省略し、こ
の発明に関する部分を主体に説明する。
る。なお、従来例で説明した部分は、説明を省略し、こ
の発明に関する部分を主体に説明する。
【００１３】図１，図２にて、円筒形の外電極１，およ
び円筒形の内電極３が、同軸に設けられる。内電極３
は、両端面が閉端面になっている。またこれらの中間
に、誘電体製の円筒形の中間誘電体２が同軸に挿入され
る。中間誘電体２と外電極１，内電極３間は所定の間隔
があけられている。
び円筒形の内電極３が、同軸に設けられる。内電極３
は、両端面が閉端面になっている。またこれらの中間
に、誘電体製の円筒形の中間誘電体２が同軸に挿入され
る。中間誘電体２と外電極１，内電極３間は所定の間隔
があけられている。
【００１４】外電極１と内電極３には、高圧電源１０３
が接続されている。また中間誘電体２と外電極１および
内電極３間には排ガスが流される。
が接続されている。また中間誘電体２と外電極１および
内電極３間には排ガスが流される。
【００１５】以上において、外電極１と内電極３間に高
電圧が印加されると、グロー放電が発生する。また、外
電極１と内電極３間に排ガスが導入されると、排ガスは
グロー放電によりプラズマ化され、ＮＯx ，Ｎ2 Ｏ，Ｓ
Ｏx 等が効率よく分解除去される。
電圧が印加されると、グロー放電が発生する。また、外
電極１と内電極３間に排ガスが導入されると、排ガスは
グロー放電によりプラズマ化され、ＮＯx ，Ｎ2 Ｏ，Ｓ
Ｏx 等が効率よく分解除去される。
【００１６】排ガスは外電極１および内電極３に接して
流れるため、各電極部での熱集中が緩和され、かつ安定
したグロー放電が形成される。また従来例のように中間
誘電体が内電極３と密着していないため、電極の温度上
昇に伴う誘電体劣化等の悪影響を受けない。
流れるため、各電極部での熱集中が緩和され、かつ安定
したグロー放電が形成される。また従来例のように中間
誘電体が内電極３と密着していないため、電極の温度上
昇に伴う誘電体劣化等の悪影響を受けない。
【００１７】従って、本例では電極間に１５ｋｖ以上を
印加することができ、ＮＯx 低減率は、図３の点線で示
すように、高い価がえられる。
印加することができ、ＮＯx 低減率は、図３の点線で示
すように、高い価がえられる。
【００１８】図より分るように、従来例は、構造上の問
題より印加電圧は最大１５ｋｖであり、それ以上では、
グロー放電が安定せず処理性能も不安定でＮＯx 低減率
は約７０％に停っていた。しかし、本例では、高電圧印
加に対する耐久性が向上し、印加電圧２０ｋｖも可能に
なりＮＯx 低減率も約８５％に向上した。
題より印加電圧は最大１５ｋｖであり、それ以上では、
グロー放電が安定せず処理性能も不安定でＮＯx 低減率
は約７０％に停っていた。しかし、本例では、高電圧印
加に対する耐久性が向上し、印加電圧２０ｋｖも可能に
なりＮＯx 低減率も約８５％に向上した。
【００１９】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、中間誘電体が内電極や外電極に密着していないた
め、電極の温度上昇に伴う誘電体劣化等の悪影響を受け
ない。したがって、高電圧印加に対し、安定なグロー放
電が維持でき、耐久性、処理能力が向上する。
ば、中間誘電体が内電極や外電極に密着していないた
め、電極の温度上昇に伴う誘電体劣化等の悪影響を受け
ない。したがって、高電圧印加に対し、安定なグロー放
電が維持でき、耐久性、処理能力が向上する。
【図１】本発明の一実施例の構成斜視図である。
【図２】同実施例のプラズマ反応容器部の横断面図であ
る。
る。
【図３】同実施例の作用効果説明図である。
【図４】従来例の全体系統図である。
【図５】同従来例のプラズマ反応容器部の構成斜視図で
ある。
ある。
【図６】同従来例のプラズマ反応容器部の横断面図であ
る。
る。
１ 外電極 ２ 中間誘電体 ３ 内電極 １０３ 電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 信明 長崎市深堀町５丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 内田 聡 長崎市飽の浦町１番１号 三菱重工業株式 会社長崎造船所内
Claims (1)
- 【請求項１】 処理対象の燃焼装置より発生する排ガス
を大気圧グロー放電プラズマにより脱硝硫を行う処理装
置において、筒状の外電極と同外電極の内側に設けられ
た筒状の内電極と、上記外電極および内電極の間に間隔
をおいて設けられた筒状の中間誘電体と、上記外電極お
よび内電極に接続された電源とを備えていることを特徴
とする排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4062018A JPH05261242A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4062018A JPH05261242A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05261242A true JPH05261242A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=13188013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4062018A Withdrawn JPH05261242A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05261242A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003098014A1 (fr) * | 2002-05-17 | 2003-11-27 | Furrex Co., Ltd. | Systeme de commande d'emission d'echappement de type a decharge |
| US7160521B2 (en) | 2001-07-11 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Treatment of effluent from a substrate processing chamber |
| JP2009505937A (ja) * | 2005-08-30 | 2009-02-12 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 高純度の四塩化珪素または高純度の四塩化ゲルマニウムを連続的に製造するための反応器、プラントおよび工業的方法 |
| CN104984642A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-10-21 | 北京国电龙源环保工程有限公司 | 烟气脱硫脱硝除尘一体化系统 |
| CN111333140A (zh) * | 2019-05-24 | 2020-06-26 | 西安闪光能源科技有限公司 | 同轴串接型电子束源 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP4062018A patent/JPH05261242A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7160521B2 (en) | 2001-07-11 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Treatment of effluent from a substrate processing chamber |
| WO2003098014A1 (fr) * | 2002-05-17 | 2003-11-27 | Furrex Co., Ltd. | Systeme de commande d'emission d'echappement de type a decharge |
| JP2009505937A (ja) * | 2005-08-30 | 2009-02-12 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 高純度の四塩化珪素または高純度の四塩化ゲルマニウムを連続的に製造するための反応器、プラントおよび工業的方法 |
| CN104984642A (zh) * | 2015-07-14 | 2015-10-21 | 北京国电龙源环保工程有限公司 | 烟气脱硫脱硝除尘一体化系统 |
| CN111333140A (zh) * | 2019-05-24 | 2020-06-26 | 西安闪光能源科技有限公司 | 同轴串接型电子束源 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |