JPH0525775B2 - - Google Patents

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JPH0525775B2
JPH0525775B2 JP58204797A JP20479783A JPH0525775B2 JP H0525775 B2 JPH0525775 B2 JP H0525775B2 JP 58204797 A JP58204797 A JP 58204797A JP 20479783 A JP20479783 A JP 20479783A JP H0525775 B2 JPH0525775 B2 JP H0525775B2
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measured
magazine
loader
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unloader
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JP58204797A
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JPS6097126A (en
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Shunichiro Fujioka
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6097126A publication Critical patent/JPS6097126A/en
Publication of JPH0525775B2 publication Critical patent/JPH0525775B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G65/00Loading or unloading

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

〔技術分野〕 本発明は、オートハンドラに関し、特に選別装
置に利用して有効な技術に関するものである。 〔背景技術〕 ハンドラは、たとえば、第1図に示すようなも
のがある。(電子材料1981年別冊p226〜p230)同
図においてローダは、マガジン内に収納された被
測定物を蓄積し、かつ被測定物を自重落下方式に
より環境槽2へ供給するものである。環境槽2は
供給された被測定物を、その測定目的に応じて、
低温または高温処理を施しながら、あるいは常温
に保ち、自重落下方式により測定部3へ搬送する
ものである。測定部3は、搬送された被測定物
を、コンタクトあるいはソケツト方式にて測定す
るものであり、接続線9によつて装置外にあるテ
スタ8と接続されている。選別部4は、測定結果
に従つて、自重落下方式および選別機構により選
別するものである。アンローダ5は、選別された
被測定物を自重落下方式により分類ごとにマガジ
ンに回収後、マガジンごと蓄積するものである。
制御部6は、上記各動作を制御するものである。
操作部7は、上記各動作を操作するものである。 上記構成のハンドラは、下記に示すような問題
点があることが、本発明者によつて明らかにされ
た。すなわち、装置寸法が大きいために、ローダ
1、アンローダ5でのマガジンの蓄積量は、マガ
ジンに収納された被測定物をローダ1に装填する
際等の操作性の面から、あるいは装置の構造上の
面から限定されてしまう。また、被測定物の搬送
中に被測定物のつまり(ジヤム)が生じたり、特
にデユアルインライン形ガラス封止、デユアルイ
ンライン形積層セラミツクパツケージの被測定物
については、被測定物と被測定物あるいは被測定
物とストツパ等が衝突することにより被測定物の
ワレ、カケ等の破損が生じる等の問題があつた。
しかし、スペース効率を向上させるために装置を
小さくする場合、例えば縦方向を小さくするに
は、ローダ、アンローダズのマガジンの蓄積量
(縦方向の搭載量)を減らすか、各部での搬送機
構を装置設置面に対して水平に近くなるように設
けることが考えられる。一方、横方向を小さくす
るには、環境槽、選別部、アンローダを短くする
か、あるいは、マガジンの長さを短くし、被測定
物の収納量を減らすことによりローダ、アンロー
ダを小さくすることが考えられる。ところが、無
人稼動効率から見たローダ、アンローダの蓄積
量、生産効率、及びジヤムの発生率を考慮すると
上記の方法は用いることができない。また、ロー
ダ、アンローダの容量を増やすのに、単にロー
ダ、アンローダを大きくすれば、さらに装置寸法
が大きくなつてしまう。そしてジヤムに関して
は、被測定物を機械的に搬送するわけではないの
で、その防止も困難である。 以上のように、一見して不合理な点が多く、種
類の課題解決は、とても難しくなつている。 そこで、本発明者は、ハンドラの基本的構成で
ある被測定物の搬送機構を装置設置面に対して斜
めに設けていること、つまり自重落下方式を用い
て被測定物搬送を行なつているところに着目し、
種々の課題解決を計つた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、多様な環境設定による被測定
物の試験をコンパクトな装置構成によつて行なう
ことが可能なハンドラを提供することにある。 本発明の他の目的は、容易にローダ及びアンロ
ーダの大容量化を実現することが可能なハンドラ
を提供することにある。 本発明のさらに他の目的は、被測定物の移動経
路におけるひつかかり(ジヤム)、および被測定
物の損傷を確実に防止することが可能なハンドラ
を提供することにある。 本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な
特徴は、本明細書の記述および添付図面から、あ
きらかになるであろう。 〔発明の概要〕 本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。 すなわち、本発明のハンドラは、 装置設置面に対して水平に設けられ、複数の被
測定物を長手方向に一列に収納した複数のマガジ
ンを水平な姿勢で積層収載するローダと、 このローダの直下に平行かつ一体に配置され、
前記ローダから供給される前記被測定物を当該ロ
ーダ直下の水平な経路を移動させる間に測定目的
に応じた処理を施す環境槽と、 この環境槽の一端に一体に配置され、当該環境
槽において処理された被測定物を測定及び選別す
るする測定選別部と、 環境槽の直下に平行かつ一体に配置され、測定
選別部から取り出された被測定物を環境槽の直下
に水平に位置するマガジン内に回収するアンロー
ダと、 ローダ内の最下端に位置するマガジンの一端に
配置され、当該マガジン内の被測定物を他端側に
水平に強制的に移動させる巻き尺型の第1の強制
送り機構と、 この第1の強制送り機構によつてマガジンの他
端部に排出される被測定物が個別に載置されるレ
ール、及び当該レールを環境槽の高さ位置まで昇
降動作を行なう上下動要回転ねじ、及びレール上
の被測定物を環境槽内に水平方向に強制的に送り
込む送りツメからなる第2の強制送り機構と、 測定選別部内に設けられ、測定済の被測定物の
振り分けを行なう揺動アーム及びアンローダ内の
マガジン内に揺動アーム上の被測定物を水平方向
に強制的に送り込むプツシヤからなる第3の強制
送り機構と、 ローダとアンローダとの間に環境槽の壁面に沿
つて配置され、マガジンを水平な姿勢を保持しつ
つ挟持して搬送する一対の弾性ベルトによりロー
ダ内のマガジンをアンローダに搬送するマガジン
搬送部と、 を備えた構造としたものである。 これにより、ローダ、環境槽、アンローダが装
置設置面に対して一体に積み重なるように配置さ
れているとともに、ローダからアンローダに至る
被測定物の搬送は、第1、第2及び第3の強制送
り機構によつて装置設置面に対して水平に行なわ
れるので、多様な環境設定による被測定物の試験
をコンパクトな装置構成で実現できるとともに、
設置スペースを有効に利用して容易にローダおよ
びアンローダにおけるマガジン収載量の大容量化
を達成することができる。 また、ローダからアンローダに至る被測定物の
搬送は、第1、第2及び第3の強制送り機構によ
つて強制的に行なわれるので、ジヤム及び被測定
物の衝突による損傷を防止することができる。 〔実施例〕 第2図は、本発明の一実施例であるハンドラを
示す正面図である。同図において10は、ローダ
であり、マガジン19に収納された被測定物を蓄
積しかつ11の強制送り機構(第1の強制送り機
構)により被測定物を搬送する機能を備えてお
り、その下方左側面に設けられる12は、搬送部
であり、前記ローダ10から送られた被測定物を
環境槽14に搬送する機能を備えている。13
は、マガジ搬送部であり、ローダ10で被測定物
を取り出した後のマガジン19をアンローダ18
に搬送する機能を備えている。前記ローダ10直
下に位置する14は、環境槽であり搬速部12に
より搬送された被測定物に対して、その測定目的
に応じて低温または高温処理を施しながら、ある
いは常温に保ちながら測定選別部15手前まで搬
送する機能を備えている。前記環境槽14右側面
に設けられる15は、測定選別部であり被測定物
をソケツト方式によつて測定した後、測定結果に
従つて選別する機能を備えており、接続線17に
より装置外にあるテスタ16に接続されている。
前記環境槽14直下に位置する18は、アンロー
ダであり選別された被測定物を、それぞれの分類
に応じてマガジンに回収し、マガジンが被測定物
で満たされると、コンテナに、マガジン19ごと
蓄積させる機能を備えている。 次に、上記の構成のハンドラの詳細を各部ごと
に説明する。 A ローダ10 第3図は、ローダ10の詳細図で、特に被測
定物を収納したマガジン19を各列ごとに一本
ずつ取出す機構を示している。すなわち、各列
ごとにマガジン19の長手方向と平行して上下
二本配置され、マガジン19長手方向両端部に
設けられたツメ20,21のうち下のツメ20
によつて、積み重ねてあるマガジン19のう
ち、最下にあるものの凹部が引掛けられ、複数
列に積み重ねてあるマガジン19が保持されて
いる。ツメ20,21は、それぞれ、22の回
転軸上に設けられたカム23,24の回転によ
つて交互にスライドするようになつている。そ
の動作は、回転軸22が回転すると共にカム2
3が回転することによりツメ20が後退する一
方、カム24の回転によりツメ21が突出し
て、下から二番目にあるマガジン19の凹部を
引掛け、その上方にあるマガジン19を保持す
る。その後充分にツメ20が後退すると、ツメ
20により引掛けられていた最下にあるマガジ
ン19が落下する。さらに回転軸22が回転す
ることによつて今度は、ツメ21が後退する一
方、ツメ20が突出し、充分に突出したところ
でツメ21が解除され、今までツメ21によつ
てささえられていた上下にあるマガジン19が
落下し、ツメ20によつてささえられる。ま
た、供給されたマガジン19のうち手前にある
マガジン19長手方向両端下方に設けられ、マ
ガジン19長手方向に対して直交する方向に配
置された回転軸25は、それぞれ一端を軸受2
6によつてささえられており、他端には傘歯歯
車27が設けられれている。この回転軸25が
回転することによつて回転軸25上に設けられ
たカム28が回転し、マガジン19長手方向両
端に設けられたクランパ29が動き、手前のマ
ガジン19をその長手方向両端でクランプす
る。その後第4図に示されるように、巻尺型の
強制送り機構11の押出しによつてマガジン1
9内の被測定物が一個ずつ送り出される。この
マガジン19内の被測定物が全て送り出される
と、強制送り機構11の押出し機構が元に戻
り、クランパ29が解除され、マガジン19は
マガジン搬送部13に送られる。その後複数列
供給されたマガジン19のうち、手前から二列
目にあつたマガジン19が、マガジン19長手
方向両端に設けられるツメ(図示せず)の矩形
動作によつて手前に搬送され、所定位置に達し
たところでクランパ29でクランプされ、前記
と同様に被測定物が供給される。その後順次供
給され、複数列供給されたマガジン19が無く
なるとツメ20,21が前記と同様にスライド
し、複数列一本ずつのマガジン19が供給され
る。 なお、前記回転軸22は、それぞれ長手方向
一端が軸受(図示せず)によつてささえられて
いるものであり、他端は、回転駆動軸(図示せ
ず)に、前記傘歯歯車27と同一形状のもので
接続されている(図示せず)。また、前記クラ
ンパ29の、マガジン長手方向と直交する方向
に設けられている30は、クランパ29の支点
軸となるもので、この支点軸30を支点として
揺動する。さらに、マガジン長手方向と平行に
設置されている回転軸31は、その長手方向一
端を軸受(図示せず)によつてささえられれて
おり、他端は回転機構(図示せず)に接続され
ていて、前記回転軸25を回転させるため、前
記傘歯歯車27と同一の傘歯歯車32で接続さ
れている。 B 搬送部12 第5図は、搬送部12での被測定物搬送機構
(第2の強制送り機構)を示している。すなわ
ち、33は上下動用回転ねじであり、その長手
方向は装置設置面に対して垂直方向となるよう
に配置され、一端は軸受34にてささえられ、
他端は、駆動源(図示せず)に接続されてい
る。この上下動用回転ねじ33の回転によつて
上下動する上下動ねじ35は、被測定物を搬送
するレール36をマガジン19長手方向と同方
向に設けている。その動作は、ローダ10から
一個ずつ送られる被測定物を一個ずつレール3
6上にのせた後、上下動用回転ねじ33が回転
し、上下動ねじ35が下がることによつて環境
槽14入口手前まで搬送し、送りツメ37によ
つて環境槽14内に挿入する。その後、上下動
用回転ねじ33が前記とは逆方向に回転するこ
とによつて上下動ねじ35が上昇し、所定位置
に停止後、前記と同様の動作を繰り返し、被測
定物の搬送を行なう。 C マガジン搬送部13 第6図は、ローダ10で被測定物をすべて供
給した後のマガジン19を、マガジン搬送部1
3でアンローダへ搬送する機構を示す側面図で
ある。すなわち、38,39は弾性ベルトで、
それぞれローラ40,41の回転によつて動く
ものであり、マガジン19をはさむかたちで配
置されている。42はローラであり、マガジン
19の搬送経路を形成すると共に、弾性ベルト
38に適切なテンシヨンを与える役目を果たす
ものである。43は、ガイド板であり、マガジ
ン19がローラ42に接触することを防ぐと共
に、マガジン19の搬送を案内する役目を果た
すものである。その動作は、弾性ベルト38,
39が、図中矢印で示されるような動きをする
ことにより、マガジン19がその間にはさまれ
るかたちでアンローダ18に搬送される。 D 環境槽14 第7図、第8図は、環境槽14での被測定物
搬送機構を示している。第7図は、搬送機構の
側面図を示し、第8図は正面図を示す。第7図
において44,45はガイドブロツクであり、
その間に配置される46は矩形動作可能なブロ
ツクである。第8図に示されるように、ガイド
ブロツク44,45及びブロツク46は、それ
ぞれの長手方向が被測定物長手方向と平行する
ように設けられており、被測定物は、ガイドブ
ロツク44,45によつて案内されながら、図
中矢印で示されるブロツク46の矩形動作によ
つて搬送される。 E 測定選別部15 第9図、第10図は、選定選別部15での、
被測定物の搬送、被測定物のソケツトへの挿
入、被測定物のソケツトからの抜き取り、被測
定物の搬送を示す正面図である。第9図におい
て、47,48は、ロボツトアームであり、上
下動可能であると共に、被測定物挾持部が開閉
可能となつている。このアーム47,48は、
被測定物長手方向と平行して設けられた二本の
ガイドレール49に沿つて移動可能な支持ブロ
ツク50により支持されている。51は、被測
定物を測定するソケツトである。また、52
は、プツシヤーであり、被測定物をソケツト5
1に挿入する際に押す役目を持つ。53は、バ
ネであり、被測定物をソケツト51から抜き取
る際に被測定物を押さえる役目を持つ。その動
作は、ロボツトアーム47,48が、それぞれ
環境槽14出口手前にある被測定物の上方所定
位置と、ソケツト51上方所定位置に位置する
ように二本のガイドレール49に沿つて支持ブ
ロツク50が移動する。その後ロボツトアーム
47,48が下降し、挾持部でそれぞれ被測定
物と測定済の被測定物をつかみ、ロボツトアー
ム47は上昇し、ロボツトアーム48は上昇す
ることによつてソケツト51から抜き取る。所
定の高さまで上昇したところで、支持ブロツク
50が二本のガイドレール49に沿つて図中右
方向に移動を始める。そして、第10図に示さ
れるように、ロボツトアーム47がソケツト5
1上方所定位置に、ロボツトアーム48がレー
ル54上方所定位置に達したところで停止す
る。その後ロボツトアーム47が下降して被測
定物をソケツト51に挿入する。一方ロボツト
アーム48も下降し、測定済の被測定物をレー
ル54上にのせる。その後測定済の被測定物
は、レール54に沿つて送りツメ55の矩形動
作によつて選別機構手前まで搬送される。 第11図は、測定選別部15のソケツト51
下方に設けられた選別機構(第3の強制送り機
構)を示す。図において56は揺動アームであ
り、回転軸57を中心にして揺動するものであ
る。この揺動アーム56は、図中二点鎖線で示
されるように、マガジン19手前まで回転する
際に、測定済の被測定物をのせている部分が揺
動アーム56長手方向に対して90°回転し、マ
ガジン19長手方向と測定済の被測定物長手方
向が一致する仕組になつている。58は、矩形
動作可能な送りツメであり、測定済の被測定物
を揺動アーム56上に搬送する役目を持つ。5
9,60はプツシヤーであり、レール54をは
さんで、マガジン19長手方向と同方向に設け
られていて、揺動アーム56によつて選別され
た測定済の被測定物をマガジン19に挿入する
役目を持つ。その動作は、測定済の被測定物が
ツメ58によつて揺動アーム56上に搬送され
る。その後、測定結果に基づいて揺動アーム5
6が回転し、プツシヤー59によつて測定済の
被測定物がマガジン19内に回収される。 F アンローダ18 アンローダ18では、選別された測定済の被
測定物をマガジン19に回収後、マガジン19
ごと蓄積する機能を持つ。第12図は、測定済
の被測定物で満たされたマガジン19を、エレ
ベータ上に搭載する機構を示している。図にお
いて61はマガジン19長手方向と直交して、
マガジン19長手方向両端に設けられる揺動ア
ームであり、マガジン19を搬送する機能を持
ち、回転軸62を中心にして揺動する。この揺
動アーム先端には、回転ガイド板63が設けら
れており、マガジン19を保持し、回転するこ
とによつてマガジン19を案内搬送する機能を
持つ。64はガイド板であり、マガジン19の
搬送を案内するものである。65はエレベータ
であり、マガジン19を複数列搭載後下降し、
その上方にさらにマガジン19を多段に搭載す
る機能を持つ。66は、コンテナである。その
動作は、測定済の被測定物で満たされたマガジ
ン19を保持している揺動アーム61が、図に
示すように回転軸62を中心にして回転し、そ
の後回転ガイド板63が90°回転し、マガジン
19は、回転ガイド板63上を落下する。そし
てガイド板64によつて一時落下が停止し、第
13図に示されるようにさらに回転ガイド板6
3が回転することによつてマガジン19がガイ
ド板64に沿つて落下する。その後、回転ガイ
ド板63が180°回転すると第14図に示される
ように、回転ガイド板63の回転による押し出
しによつてエレベータ65上に搭載される。こ
の動作を繰り返し、マガジン19が一段複数列
搭載された後、エレベータ65が下降してその
上にマガジン19が搭載されていく。その後、
コンテナ66にマガジン19ごと蓄積される。 なお、この蓄積機構は、分類ごとに行なうもの
である。 次に被測定物の流れを説明する。 ローダ10において蓄積された被測定物は、巻
尺型の強制送り機構11によつて搬送部12に一
個ずつ搬送される。搬送部12では、一個ずつ環
境槽14に搬送され、その後環境槽14内で測定
目的に応じて低温又は高温処理を施されながら、
あるいは常温に保たれ、ブロツク46の矩形動作
によつて測定選別部15手前まで搬送される。測
定選別部15では、ロボツトアーム47によつて
ソケツト51に挿入され、測定される。測定が終
了するとロボツトアーム48によつて抜き取りが
行なわれ搬送される。その後測定結果に基づいて
選別機構により選別され、アンローダ18で分類
ごとにマガジン19に回収され、マガジン19ご
とコンテナ66に蓄積される。 〔効果〕 1 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式(第1、
第2および第3の強制送り機構)により装置設
置面に対して水平に行ない、かつローダ、環境
槽、アンローダを装置設置面に対して水平に重
ねるように搭載することにより、装置全体が小
さくなり、スペース効率が向上するという効果
が得られる。 2 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式(第1、
第2および第3の強制送り機構)により装置設
置面に対して水平に行ない、かつローダ、環境
槽、アンローダを装置設置面に対して水平に重
ねるように搭載することにより、また装置全体
が小さくなることにより、ローダにおける被測
定物を充填したマガジンの供給、アンローダに
おける測定済の被測定物の回収作業効率が良く
なるという効果が得られる。 3 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式(第1、
第2および第3の強制送り機構)により装置設
置面に対して水平に行ない、かつローダ、環境
槽、アンローダを装置設置面に対して水平に重
ねるように搭載することにより、また装置全体
が小さくなることにより、ローダ、アンローダ
の大容量化が容易にできるという効果が得られ
る。 4 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式(第1、
第2および第3の強制送り機構)により装置設
置面に対して水平に行なうことにより、ジヤム
がなくなるという効果が得られる。 5 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式(第1、
第2および第3の強制送り機構)により装置設
置面に対して水平に行なうことにより、被測定
物と被測定物、あるいは被測定物とストツパ等
との衝突による衝撃が小さくなり、被測定物の
損傷を防ぐことができるという効果が得られ
る。 6 ローダ、アンローダの大容量化ができ、ジヤ
ム及び被測定物の損傷を防ぐことができるの
で、被測定物の蓄積量が増え、人手がかからな
くなり、無人稼働効率が良くなるという相乗効
果が得られる。 以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
もとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。 たとえば、ローダにおいて、ツメのスライド機
構の動作と、マガジンのクランプ機構の動作を、
マガジン長手方向一端について一個のカムで行な
うことができ、そうすることによつて、機構が簡
単になる。また、クランプ機構を、マガジン長手
方向両端にあり、長手方向と直交してマガジンを
はさむようにすることもできる。そうすることに
よつて、上方向のスペース効率が良くなる。ま
た、マガジンの長手方向に開口部があるものにつ
いては、その開口部に沿つてツメを入れ、そのツ
メによつて被測定物の搬送を行なう方法もあり、
そうすることによつて、ローダ外部に搬送機構を
設ける必要がなくなり、ローダの凸部が少なくな
る。 搬送部においては、被測定物の環境槽入口手前
までの搬送を、カムの回転によるレバーの上下動
によつて行なう方法もあり、そうすることによつ
て機構が簡単になる。 マガジン搬送部においては、ローダで被測定物
が全て供給された後のマガジンの搬送を、揺動ア
ームの上下揺動によつて行なう方法や、リンク機
構の上下運動によつて行なうこともでき、そうす
ることによつて機構が簡単にできる。 環境槽においては、被測定物の搬送をガイドブ
ロツクの矩形動作によつて行なう方法や、被測定
物をその長手方向に伸びるブロツク上にのせ、ツ
メ送りとする方法もあり、そうすることによつて
低・高温処理の効率が良くなる。また、被測定物
長手方向が、マガジン長手方向に対して直交する
ように並べて、ブロツクの矩形動作によつて搬送
する方法もあり、そうすることによつて多くの被
測定物を処理搬送できる。その場合には、搬送部
で搬送中に被測定物を90°回転させておく。また、
環境槽出入口にシヤツターを設けたり、環境槽内
に複数の仕切板を設けることもでき、そうするこ
とによつて環境槽内での低・高温状態等が保て易
くなる。 測定選別部においては、ソケツトを複数個用い
て測定する方法もあり、そうすることによつて効
率良く測定できる。また、ソケツト位置を装置設
置面に対して直交する位置に設けることもでき、
そうすることによつて測定選別部がコンパクトに
できる。他には、選別を、被測定物長手方向に対
して首振り可能なレールによつて行なう方法や、
被測定物長手方向に対して直交する方向に移動可
能なレールによつて行なう方法もあり、分類数や
スペースに応じて選別機構を選択できる。また、
マガジンへの被測定物の回収を、ツメによつて行
なうこともできる。 アンローダにおいては、選別された測定済の被
測定物で満たされたマガジンをエレベータ上に搭
載するのに、マガジン長手方向の中心に設けられ
る一本の揺動アームによつて行なう方法もあり、
そうすることによつて機構が簡単になる。また、
不良品が収納されているマガジンの蓄積を、自重
落下方法によつて行なう方式もあり、そうするこ
とによつて機構が簡単にできる。 〔利用分野〕 以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野である半導
体装置の製造技術に適用した場合について説明し
たが、それに限定されるものでなく、たとえば、
撮像装置などの半導体装置以外の電子部品、ある
いは小物品に対するハンドラに適用できる。
[Technical Field] The present invention relates to an autohandler, and particularly to a technique that is effective for use in a sorting device. [Background Art] For example, there is a handler as shown in FIG. (Electronic Materials 1981 Special Edition p226-p230) In the figure, the loader accumulates the objects to be measured stored in the magazine and supplies the objects to the environmental tank 2 by falling under their own weight. The environmental tank 2 stores the supplied object to be measured depending on the purpose of measurement.
The sample is transported to the measuring section 3 by gravity drop while being subjected to low temperature or high temperature treatment or kept at room temperature. The measuring section 3 measures the transported object to be measured using a contact or socket method, and is connected to a tester 8 located outside the apparatus by a connecting wire 9. The sorting section 4 sorts by a gravity drop method and a sorting mechanism according to the measurement results. The unloader 5 collects the selected objects to be measured into magazines according to their classification using a gravity drop method, and then stores the objects together in the magazines.
The control unit 6 controls each of the above operations.
The operation unit 7 is used to operate each of the above operations. The inventor has revealed that the handler with the above configuration has the following problems. In other words, due to the large size of the device, the amount of magazines stored in the loader 1 and unloader 5 is limited due to the operability when loading objects to be measured stored in the magazines into the loader 1, or due to the structure of the device. It is limited in terms of In addition, the object to be measured may become jammed during transportation, or the object to be measured may become jammed, especially if the object is a dual-in-line glass-sealed or dual-in-line laminated ceramic package. There have been problems such as damage to the measured object such as cracks and chips due to collision between the measured object and the stopper.
However, when making a device smaller in order to improve space efficiency, for example to make it smaller in the vertical direction, it is necessary to reduce the accumulated amount of magazines (vertical loading amount) in the loader and unloader, or to reduce the transport mechanism of each part of the device. It is conceivable to install it so that it is close to horizontal to the installation surface. On the other hand, to make the size smaller in the lateral direction, it is possible to make the loader and unloader smaller by shortening the environmental tank, sorting section, and unloader, or by shortening the length of the magazine and reducing the amount of objects to be measured. Conceivable. However, the above method cannot be used when considering the accumulation amount of loaders and unloaders from the viewpoint of unmanned operation efficiency, production efficiency, and jam occurrence rate. Furthermore, if the capacity of the loader and unloader is increased by simply increasing the size of the loader and unloader, the size of the device will further increase. As for jams, since the object to be measured is not mechanically conveyed, it is difficult to prevent jams. As mentioned above, there are many seemingly unreasonable points, making it extremely difficult to solve these kinds of problems. Therefore, the inventor of the present invention has proposed that the object to be measured transport mechanism, which is the basic structure of the handler, is provided diagonally to the installation surface of the device, that is, the object to be measured is transported using a self-weight drop method. Focusing on the
We tried to solve various problems. [Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a handler capable of testing objects to be measured under various environmental settings with a compact device configuration. Another object of the present invention is to provide a handler that can easily increase the capacity of loaders and unloaders. Still another object of the present invention is to provide a handler that can reliably prevent jamming of an object to be measured on its moving path and damage to the object. The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings. [Summary of the Invention] A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows. That is, the handler of the present invention includes: a loader that is installed horizontally with respect to the device installation surface and stores a plurality of magazines in which a plurality of objects to be measured are stored in a row in the longitudinal direction in a stacked manner; arranged parallel to and integrally with
an environmental tank in which the object to be measured supplied from the loader is subjected to processing according to the purpose of measurement while moving along a horizontal path directly under the loader; A measuring and sorting section that measures and sorts the processed objects to be measured; and a magazine that is arranged parallel and integrally with the environmental tank and that stores the objects taken out from the measuring and sorting section horizontally just below the environmental tank. an unloader that collects the object within the loader, and a tape measure-type first forced feeding mechanism that is placed at one end of the magazine located at the lowest end within the loader and forcibly moves the object to be measured in the magazine horizontally to the other end. and a rail on which the objects to be measured discharged to the other end of the magazine by the first forced feeding mechanism are individually placed, and a vertical movement for raising and lowering the rail to the height of the environmental tank. A second forced feeding mechanism consisting of a rotating screw and a feed claw that forcibly feeds the object to be measured on the rail into the environmental chamber in the horizontal direction; and a second forced feeding mechanism that is installed in the measurement sorting section and distributes the measured objects. A third forced-feeding mechanism includes a swinging arm that performs this and a pusher that forcibly feeds the object to be measured on the swinging arm horizontally into the magazine in the unloader, and a wall surface of an environmental tank between the loader and the unloader. and a magazine conveyance section that conveys the magazine in the loader to the unloader using a pair of elastic belts that are arranged along the magazine and convey the magazine while holding it in a horizontal position. As a result, the loader, environmental tank, and unloader are arranged so as to be stacked together on the equipment installation surface, and the conveyance of the object to be measured from the loader to the unloader is carried out by the first, second, and third forced feeds. Since the mechanism allows testing to be carried out horizontally to the equipment installation surface, it is possible to test objects to be measured under various environmental settings with a compact equipment configuration.
By effectively utilizing the installation space, it is possible to easily increase the capacity of magazines in loaders and unloaders. Furthermore, since the object to be measured from the loader to the unloader is forcibly transported by the first, second, and third forced feeding mechanisms, damage caused by collisions with the jam and the object to be measured can be prevented. can. [Embodiment] FIG. 2 is a front view showing a handler that is an embodiment of the present invention. In the figure, 10 is a loader, which has the function of accumulating the objects to be measured stored in the magazine 19 and transporting the objects to be measured by the forced feeding mechanism 11 (first forced feeding mechanism). Reference numeral 12 provided on the lower left side surface is a transport section, which has a function of transporting the object to be measured sent from the loader 10 to the environmental tank 14. 13
is a magazine conveyance unit, in which the magazine 19 after the object to be measured is taken out by the loader 10 is transferred to the unloader 18.
It has the function of transporting Reference numeral 14 located directly below the loader 10 is an environmental chamber in which the objects to be measured transported by the transport section 12 are subjected to low-temperature or high-temperature treatment depending on the purpose of measurement, or while being kept at room temperature for measurement and sorting. It has a function of transporting the paper to the front of section 15. Reference numeral 15 provided on the right side of the environmental tank 14 is a measurement sorting section, which has the function of measuring the object to be measured using a socket method and then sorting it according to the measurement results. It is connected to a certain tester 16.
18 located directly below the environmental tank 14 is an unloader that collects the sorted objects to be measured into magazines according to their classifications, and when the magazine is filled with the objects to be measured, the magazine 19 is accumulated in a container. It has the function to Next, details of each part of the handler having the above configuration will be explained. A Loader 10 FIG. 3 is a detailed view of the loader 10, particularly showing a mechanism for taking out magazines 19 containing objects to be measured one by one in each row. That is, the lower claw 20 of the two claws 20 and 21 provided at both ends of the magazine 19 in the longitudinal direction are arranged in parallel with the longitudinal direction of the magazine 19 in each row.
Among the stacked magazines 19, the recessed portion of the lowest one is hooked, and the magazines 19 stacked in a plurality of rows are held. The claws 20 and 21 are configured to alternately slide by rotation of cams 23 and 24 provided on the rotating shaft of the rotating shaft 22, respectively. This operation occurs as the rotating shaft 22 rotates and the cam 2
The rotation of the cam 24 causes the claw 20 to move backward, while the rotation of the cam 24 causes the claw 21 to protrude, catch the recess of the magazine 19 located second from the bottom, and hold the magazine 19 above it. After that, when the claw 20 is sufficiently retreated, the magazine 19 at the bottom, which has been hooked by the claw 20, falls. Further rotation of the rotating shaft 22 causes the claw 21 to move backward, while the claw 20 protrudes, and when the claw 20 is fully protruded, the claw 21 is released, and the upper and lower parts that were previously supported by the claw 21 are released. A certain magazine 19 falls and is held by the claw 20. Further, rotating shafts 25, which are provided below both longitudinal ends of the magazine 19 in the front of the supplied magazines 19 and arranged in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the magazine 19, each have one end attached to a bearing 2.
6, and a bevel gear 27 is provided at the other end. As this rotating shaft 25 rotates, the cam 28 provided on the rotating shaft 25 rotates, and the clampers 29 provided at both ends of the magazine 19 in the longitudinal direction move, clamping the magazine 19 in front at both ends in the longitudinal direction. do. Thereafter, as shown in FIG. 4, the magazine 1 is pushed out by the tape measure type forced feeding mechanism 11
The objects to be measured in 9 are sent out one by one. When all of the objects to be measured in the magazine 19 are sent out, the extrusion mechanism of the forced feeding mechanism 11 returns to its original state, the clamper 29 is released, and the magazine 19 is sent to the magazine transport section 13. Thereafter, among the magazines 19 supplied in multiple rows, the magazine 19 in the second row from the front is conveyed to the front by the rectangular movement of claws (not shown) provided at both ends of the magazine 19 in the longitudinal direction, and is transported to a predetermined position. When this point is reached, the object to be measured is clamped by the clamper 29, and the object to be measured is supplied in the same manner as described above. Thereafter, the magazines 19 are sequentially supplied, and when the magazines 19 supplied in the plurality of rows are exhausted, the claws 20 and 21 slide in the same manner as described above, and the magazines 19 in the plurality of rows are supplied one by one. Note that each of the rotating shafts 22 is supported by a bearing (not shown) at one end in the longitudinal direction, and the other end is connected to the bevel gear 27 by a rotational drive shaft (not shown). They are connected by having the same shape (not shown). Further, a reference numeral 30 of the clamper 29, which is provided in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the magazine, serves as a fulcrum shaft of the clamper 29, and the clamper 29 swings about this fulcrum shaft 30 as a fulcrum. Further, the rotating shaft 31, which is installed parallel to the longitudinal direction of the magazine, is supported at one longitudinal end by a bearing (not shown), and the other end is connected to a rotating mechanism (not shown). In order to rotate the rotating shaft 25, it is connected to the bevel gear 32 which is the same as the bevel gear 27. B Conveyance Section 12 FIG. 5 shows the object conveyance mechanism (second forced feeding mechanism) in the conveyance section 12. That is, 33 is a rotating screw for vertical movement, and its longitudinal direction is arranged perpendicular to the device installation surface, and one end is supported by a bearing 34.
The other end is connected to a drive source (not shown). The vertically movable screw 35, which moves vertically by the rotation of the vertically movable rotary screw 33, is provided with a rail 36 for conveying the object to be measured in the same direction as the longitudinal direction of the magazine 19. In this operation, the objects to be measured, which are sent one by one from the loader 10, are transferred one by one to the rail 3.
6, the vertically moving rotary screw 33 rotates, and the vertically moving screw 35 lowers to convey it to the front of the entrance of the environmental tank 14, and insert it into the environmental tank 14 using the feed claw 37. Thereafter, the vertical screw 35 is raised by rotating the vertical screw 33 in the opposite direction, and after stopping at a predetermined position, the same operation as described above is repeated to transport the object to be measured. C Magazine conveyance section 13 FIG.
FIG. 3 is a side view showing a mechanism for transporting to an unloader at step 3; That is, 38 and 39 are elastic belts,
They are moved by the rotation of rollers 40 and 41, respectively, and are arranged to sandwich the magazine 19 therebetween. 42 is a roller that forms a conveyance path for the magazine 19 and serves to apply appropriate tension to the elastic belt 38. A guide plate 43 serves to prevent the magazine 19 from coming into contact with the rollers 42 and to guide the conveyance of the magazine 19. The operation is performed by the elastic belt 38,
39 moves as shown by the arrow in the figure, and the magazine 19 is conveyed to the unloader 18 with the magazine 19 being sandwiched between them. D. Environmental tank 14 FIGS. 7 and 8 show a mechanism for conveying the object to be measured in the environmental tank 14. FIG. 7 shows a side view of the transport mechanism, and FIG. 8 shows a front view. In FIG. 7, 44 and 45 are guide blocks,
The numeral 46 placed between them is a block capable of rectangular movement. As shown in FIG. 8, the guide blocks 44, 45 and the block 46 are provided so that their respective longitudinal directions are parallel to the longitudinal direction of the object to be measured, and the object to be measured is placed in the guide blocks 44, 45. While being guided by the block 46, it is conveyed by the rectangular movement of the block 46 indicated by the arrow in the figure. E Measurement sorting unit 15 FIGS. 9 and 10 show the selection and sorting unit 15,
FIG. 3 is a front view illustrating transportation of the object to be measured, insertion of the object to be measured into the socket, removal of the object to be measured from the socket, and transportation of the object to be measured. In FIG. 9, 47 and 48 are robot arms which can move up and down, and whose holding parts for the object to be measured can be opened and closed. These arms 47, 48 are
The object to be measured is supported by a support block 50 that is movable along two guide rails 49 provided in parallel with the longitudinal direction of the object. 51 is a socket for measuring an object to be measured. Also, 52
is a pusher, and the object to be measured is placed in socket 5.
It has the role of pushing when inserting into 1. Reference numeral 53 denotes a spring, which serves to hold down the object to be measured when it is removed from the socket 51. The operation is such that the robot arms 47 and 48 move along the two guide rails 49 to the support block 50 so that they are located at a predetermined position above the object to be measured in front of the exit of the environmental tank 14 and at a predetermined position above the socket 51, respectively. moves. Thereafter, the robot arms 47 and 48 descend, gripping the object to be measured and the already measured object with their clamping portions, respectively, and the robot arm 47 and 48 move up and are pulled out from the socket 51. When the support block 50 rises to a predetermined height, it begins to move rightward in the figure along the two guide rails 49. Then, as shown in FIG. 10, the robot arm 47 connects to the socket 5.
When the robot arm 48 reaches a predetermined position above the rail 54, it stops. Thereafter, the robot arm 47 descends and inserts the object to be measured into the socket 51. Meanwhile, the robot arm 48 also descends and places the measured object on the rail 54. Thereafter, the measured object is conveyed along the rail 54 to the front side of the sorting mechanism by the rectangular movement of the feed claw 55. FIG. 11 shows the socket 51 of the measurement selection section 15.
The sorting mechanism (third forced feeding mechanism) provided below is shown. In the figure, reference numeral 56 denotes a swinging arm, which swings around a rotating shaft 57. As shown by the two-dot chain line in the figure, when this swinging arm 56 rotates to the front of the magazine 19, the part on which the measured object is placed is 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the swinging arm 56. It rotates so that the longitudinal direction of the magazine 19 and the longitudinal direction of the measured object coincide. 58 is a feed claw capable of rectangular movement, and has the role of conveying the measured object onto the swing arm 56. 5
Pushers 9 and 60 are provided across the rail 54 in the same direction as the longitudinal direction of the magazine 19, and insert measured objects sorted by the swing arm 56 into the magazine 19. have a role. In this operation, the measured object is conveyed onto the swing arm 56 by the claw 58. Then, based on the measurement results, the swing arm 5
6 rotates, and the measured object is collected into the magazine 19 by the pusher 59. F Unloader 18 In the unloader 18, after collecting the selected and measured objects into the magazine 19,
It has the function of accumulating data. FIG. 12 shows a mechanism for mounting a magazine 19 filled with measured objects onto an elevator. In the figure, 61 is perpendicular to the longitudinal direction of the magazine 19,
These swing arms are provided at both ends of the magazine 19 in the longitudinal direction, have the function of transporting the magazine 19, and swing around the rotating shaft 62. A rotation guide plate 63 is provided at the tip of this swing arm, and has the function of holding the magazine 19 and guiding and conveying the magazine 19 by rotating. Reference numeral 64 denotes a guide plate that guides the conveyance of the magazine 19. 65 is an elevator, which descends after loading multiple rows of magazines 19,
It has the function of mounting magazines 19 in multiple stages above it. 66 is a container. The operation is such that the swinging arm 61 holding the magazine 19 filled with measured objects rotates around the rotation axis 62 as shown in the figure, and then the rotation guide plate 63 rotates 90 degrees. The magazine 19 rotates and falls on the rotation guide plate 63. Then, the falling is temporarily stopped by the guide plate 64, and as shown in FIG.
3 rotates, the magazine 19 falls along the guide plate 64. Thereafter, when the rotation guide plate 63 rotates 180°, as shown in FIG. 14, the rotation guide plate 63 is pushed out by rotation and is mounted on the elevator 65. After repeating this operation and loading multiple rows of magazines 19, the elevator 65 descends and the magazines 19 are loaded thereon. after that,
The magazines 19 are stored in the container 66. Note that this accumulation mechanism is performed for each classification. Next, the flow of the object to be measured will be explained. The objects to be measured accumulated in the loader 10 are transported one by one to a transport section 12 by a tape measure-type forced feeding mechanism 11 . In the transport section 12, the pieces are transported one by one to an environmental tank 14, and then subjected to low temperature or high temperature treatment depending on the purpose of measurement in the environmental tank 14.
Alternatively, it is kept at room temperature and transported to the front of the measuring and sorting section 15 by the rectangular movement of the block 46. In the measurement and selection section 15, the robot arm 47 inserts the sample into the socket 51 and measures it. When the measurement is completed, the robot arm 48 extracts the sample and transports it. Thereafter, they are sorted by a sorting mechanism based on the measurement results, collected into magazines 19 by category by an unloader 18, and stored together with the magazines 19 in a container 66. [Effects] 1 The forced feeding method (first,
By mounting the loader, environmental tank, and unloader horizontally on the equipment installation surface using the second and third forced feeding mechanisms), the entire equipment becomes smaller. , the effect of improving space efficiency can be obtained. 2. The forced feeding method (first,
The second and third forced feed mechanisms) are used to move horizontally to the equipment installation surface, and the loader, environmental tank, and unloader are mounted horizontally on top of each other to the equipment installation surface, making the entire equipment smaller. As a result, the efficiency of supplying magazines filled with objects to be measured in the loader and collecting the measured objects in the unloader can be improved. 3. The forced feeding method (first,
The second and third forced feed mechanisms) are used to move horizontally to the equipment installation surface, and the loader, environmental tank, and unloader are mounted horizontally on top of each other to the equipment installation surface, making the entire equipment smaller. As a result, it is possible to easily increase the capacity of the loader and unloader. 4 Forced feeding method (first,
By performing the feeding horizontally with respect to the device installation surface using the second and third forced feeding mechanisms, the effect of eliminating jams can be obtained. 5 The forced feeding method (first,
By moving the device horizontally with respect to the installation surface using the second and third forced feeding mechanisms, the impact caused by collisions between objects to be measured or objects to be measured and stoppers, etc., is reduced. This has the effect of preventing damage to the 6 The capacity of the loader and unloader can be increased, and damage to jams and objects to be measured can be prevented, resulting in a synergistic effect of increasing the amount of objects to be measured, reducing the need for manpower, and improving the efficiency of unmanned operation. can get. Although the invention made by the present inventor has been specifically explained based on the examples above, the present invention is not limited to the above examples, and it is understood that various changes can be made without departing from the gist of the invention. Needless to say. For example, in a loader, the operation of the claw slide mechanism and the magazine clamp mechanism are
This can be done with one cam for one longitudinal end of the magazine, which simplifies the mechanism. Further, the clamp mechanisms may be provided at both ends of the magazine in the longitudinal direction and sandwich the magazine orthogonally to the longitudinal direction. This improves space efficiency in the upward direction. In addition, for magazines with openings in the longitudinal direction, there is also a method of inserting a tab along the opening and using the tab to transport the object to be measured.
By doing so, there is no need to provide a transport mechanism outside the loader, and the number of protrusions on the loader is reduced. In the conveyance section, there is a method in which the object to be measured is conveyed to the front of the entrance of the environmental tank by vertical movement of a lever by rotation of a cam, which simplifies the mechanism. In the magazine transport section, the magazine can be transported after all the objects to be measured have been supplied by the loader by vertically swinging the swinging arm or by vertically moving the link mechanism. By doing so, the mechanism can be simplified. In an environmental tank, there are two methods: one is to transport the object to be measured by rectangular movement of a guide block, and the other is to place the object to be measured on a block extending in the longitudinal direction and feed the object by claws. This improves the efficiency of low- and high-temperature processing. There is also a method of arranging the objects to be measured so that the longitudinal direction thereof is perpendicular to the longitudinal direction of the magazine and transporting them by rectangular movement of the blocks.By doing so, it is possible to process and transport a large number of objects to be measured. In that case, the object to be measured is rotated by 90° while being transported by the transport section. Also,
A shutter may be provided at the entrance and exit of the environmental tank, or a plurality of partition plates may be provided within the environmental tank, thereby making it easier to maintain low and high temperature conditions within the environmental tank. There is also a method of measuring using a plurality of sockets in the measurement and selection section, which allows efficient measurement. Additionally, the socket position can be placed perpendicular to the device installation surface.
By doing so, the measuring and selecting section can be made compact. Other methods include a method in which sorting is performed using a rail that can swing in the longitudinal direction of the object to be measured;
There is also a method using a rail movable in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the object to be measured, and the sorting mechanism can be selected depending on the number of classifications and space. Also,
The object to be measured can also be collected into the magazine using a claw. In an unloader, there is a method in which a magazine filled with selected and measured objects is loaded onto an elevator using a single swinging arm installed at the longitudinal center of the magazine.
This simplifies the mechanism. Also,
There is also a method of accumulating magazines containing defective products by dropping them under their own weight, which simplifies the mechanism. [Field of Application] In the above explanation, the invention made by the present inventor was mainly applied to the field of application of semiconductor devices, which is the background of the invention, but the present invention is not limited thereto. for example,
It can be applied to handlers for electronic components other than semiconductor devices such as image pickup devices, or small articles.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、従来のハンドラの概観を示す正面
図。第2図は、本発明のハンドラの概観を示す正
面図。第3図は、本発明のハンドラのローダにお
けるマガジン供給の仕組を示す傾視図。第4図
は、本発明のハンドラのローダにおいて、被測定
物供給の仕組を示す正面図。第5図は、本発明の
ハンドラの移送部における被即例物の移送の仕組
を示す正面図。第6図は、本発明のハンドラの空
マガジン移送部における、空マガジン移送の仕組
を示す側面図。第7図は、本発明のハンドラの環
境槽における被測定物の搬送の仕組を示す側面
図。第8図は、本発明のハンドラの環境槽におけ
る被測定物の搬送の仕組を示す正面図。第9図、
第10図は、本発明のハンドラの測定選別部にお
いて、被測定物の搬送、ソケツト挿入、ソケツト
抜取り、搬送を示す正面図。第11図は、本発明
のハンドラの測定選別部における選別機構を示す
平面図。第12図は、本発明のハンドラのアンロ
ーダにおけるマガジン蓄積機構を示す側面図。第
13図、第14図は、第12図におけるマガジン
の動きを示す部分図である。 1……ローダ、2……環境槽、3……測定部、
4……選別部、5……アンローダ、6……制御
部、7……操作部、8……テスタ、9……接続
線、10……ローダ、11……強制送り機構、1
2……搬送部、13……マガジン搬送部、14…
…環境槽、15……測定選別部、16……テス
タ、17……接続線、18……アンローダ、19
……マガジン、20……ツメ、21……ツメ、2
2……回転軸、23……カム、24……カム、2
5……回転軸、26……軸受、27……傘歯歯
車、28……カム、29……クランパ、30……
支点軸、31……回転軸、32……傘歯歯車、3
3……上下動用回転ねじ、34……軸受、35…
…上下動ねじ、36……レール、37……送りツ
メ、38……弾性ベルト、39……弾性ベルト、
40……ローラ、41……ローラ、42……ロー
ラ、43……ガイド板、44……ガイドブロツ
ク、45……ガイドブロツク、46……ブロツ
ク、47……ロボツトアーム、48……ロボツト
アーム、49……ガイドレール、50……支持ブ
ロツク、51……ソケツト、52……プツシヤ
ー、53……ばね、54……レール、55……送
りツメ、56……揺動アーム、57……回転軸、
58……送りツメ、59……プツシヤー、60…
…プツシヤー、61……揺動アーム、62……回
転軸、63……回転ガイド板、64……ガイド
板、65……エレベータ、66……コンテナ。
FIG. 1 is a front view showing the general appearance of a conventional handler. FIG. 2 is a front view showing the general appearance of the handler of the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing the magazine supply mechanism in the loader of the handler of the present invention. FIG. 4 is a front view showing the mechanism for supplying the object to be measured in the loader of the handler of the present invention. FIG. 5 is a front view showing the mechanism for transferring the object in the transfer section of the handler of the present invention. FIG. 6 is a side view showing the empty magazine transfer mechanism in the empty magazine transfer section of the handler of the present invention. FIG. 7 is a side view showing a mechanism for transporting objects to be measured in the environmental tank of the handler of the present invention. FIG. 8 is a front view showing a mechanism for transporting objects to be measured in the environmental tank of the handler of the present invention. Figure 9,
FIG. 10 is a front view showing the conveyance of the object to be measured, socket insertion, socket extraction, and conveyance in the measurement and sorting section of the handler of the present invention. FIG. 11 is a plan view showing the sorting mechanism in the measurement sorting section of the handler of the present invention. FIG. 12 is a side view showing the magazine storage mechanism in the unloader of the handler of the present invention. 13 and 14 are partial views showing the movement of the magazine in FIG. 12. 1...Loader, 2...Environmental tank, 3...Measuring section,
4... Sorting unit, 5... Unloader, 6... Control unit, 7... Operating unit, 8... Tester, 9... Connection line, 10... Loader, 11... Forced feed mechanism, 1
2... Conveyance section, 13... Magazine conveyance section, 14...
...Environmental tank, 15...Measurement sorting section, 16...Tester, 17...Connection line, 18...Unloader, 19
... Magazine, 20 ... Claw, 21 ... Claw, 2
2... Rotating shaft, 23... Cam, 24... Cam, 2
5... Rotating shaft, 26... Bearing, 27... Bevel gear, 28... Cam, 29... Clamper, 30...
Fulcrum shaft, 31... Rotating shaft, 32... Bevel gear, 3
3... Rotating screw for vertical movement, 34... Bearing, 35...
... Vertical screw, 36 ... Rail, 37 ... Feed claw, 38 ... Elastic belt, 39 ... Elastic belt,
40...roller, 41...roller, 42...roller, 43...guide plate, 44...guide block, 45...guide block, 46...block, 47...robot arm, 48...robot arm, 49... Guide rail, 50... Support block, 51... Socket, 52... Pusher, 53... Spring, 54... Rail, 55... Feed claw, 56... Swing arm, 57... Rotating shaft ,
58... feed claw, 59... pusher, 60...
... Pusher, 61 ... Swing arm, 62 ... Rotation shaft, 63 ... Rotation guide plate, 64 ... Guide plate, 65 ... Elevator, 66 ... Container.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 装置設置面に対して水平に設けられ、複数の
被測定物を長手方向に一列に収納した複数のマガ
ジンを水平な姿勢で積層収載するローダと、 このローダの直下に平行かつ一体に配置され、
前記ローダから供給される前記被測定物を当該ロ
ーダ直下の水平な経路を移動させる間に測定目的
に応じた処理を施す環境槽と、 この環境槽の一端に一体に配置され、当該環境
槽において処理された前記被測定物を測定及び選
別する測定選別部と、 前記環境槽の直下に平行かつ一体に配置され、
前記測定選別部から取り出された前記被測定物を
前記環境槽の直下に水平に位置するマガジン内に
回収するアンローダと、 前記ローダ内の最下端に位置する前記マガジン
の一端に配置され、当該マガジン内の前記被測定
物を他端側に水平に強制的に移動させる巻き尺型
の第1の強制送り機構と、 この第1の強制送り機構によつて前記マガジン
の他端部に排出される前記被測定物が個別に載置
されるレール、及び当該レールを前記環境槽の高
さ位置まで昇降動作を行なう上下動用回転ねじ、
及び前記レール上の前記被測定物を前記環境槽内
に水平方向に強制的に送り込む送りツメからなる
第2の強制送り機構と、 前記測定選別部内に設けられ、測定済の前記被
測定物の振り分けを行なう揺動アーム及び前記ア
ンローダ内の前記マガジン内に前記揺動アーム上
の前記被測定物を水平方向に強制的に送り込むプ
ツシヤからなる第3の強制送り機構と、 前記ローダと前記アンローダとの間に前記環境
槽の壁面に沿つて配置され、前記マガジンを水平
な姿勢を保持しつつ挟持して搬送する一対の弾性
ベルトにより前記ローダ内のマガジンを前記アン
ローダに搬送するマガジン搬送部と、 を備えていることを特徴とするハンドラ。 2 前記ローダにおいて複数列の一本ずつの前記
マガジンの供給を、複数列の当該マガジン長手方
向両端に設けられ、カムによつて交互スライド可
能な上下2本のツメによつて行なうことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のハンドラ。 3 前記ローダにおいて複数列一本ずつの供給さ
れた前記マガジンの搬送を、当該マガジン長手方
向両端に設けられ、矩形動作可能なツメによつて
行なうことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載のハンドラ。 4 前記ローダにおいて前記被測定物を前記マガ
ジンから取り出す際に、当該マガジン長手方向両
端に設けられ、カムによつて揺動可能なクランパ
によつて前記マガジンをクランプすることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載のハンドラ。 5 前記環境槽において、前記被測定物を搭載案
内するガイドブロツクと、このガイドブロツクの
下方から突出し、矩形動作を行なうブロツクによ
つて前記被測定物を搬送することを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載のハンドラ。 6 前記測定選別部において、前記被測定物の搬
送、前記被測定物のソケツト挿入及び測定済の前
記被測定物のソケツト抜き取り、測定済の前記被
測定物の搬送を、上下動可能な二本のロボツトア
ームと、この二本のロボツトアームを支持し、ガ
イドレールに沿つて移動可動な支持ブロツクによ
つて行なうことを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載のハンドラ。 7 前記測定選別部において、選別部までの前記
被測定物の搬送を矩形動作可能な二本のツメによ
りレールに沿つて行なうことを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載のハンドラ。 8 前記アンローダにおいて、前記被測定物で満
杯になつた前記マガジンを、揺動アームとその先
端に設けられ、ストツパの役目も兼ね備えた回転
ガイド板、及び前記マガジンの落下をガイドする
ガイド板によつてエレベーター上に積み重ねた後
コンテナに蓄積することを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載のハンドラ。
[Scope of Claims] 1. A loader that is installed horizontally with respect to the device installation surface and stores a plurality of magazines storing a plurality of objects to be measured in a row in a longitudinal direction in a stacked manner in a horizontal position; arranged parallel and integrally,
an environmental tank in which the object to be measured supplied from the loader is subjected to processing according to the purpose of measurement while moving along a horizontal path directly under the loader; a measurement and sorting unit that measures and sorts the processed object to be measured;
an unloader that collects the object to be measured taken out from the measurement sorting section into a magazine horizontally located directly below the environmental tank; a tape measure-shaped first forced feeding mechanism for forcibly moving the object to be measured horizontally to the other end of the magazine; a rail on which objects to be measured are individually placed, and a rotating screw for vertical movement that moves the rail up and down to the height of the environmental tank;
and a second forced feeding mechanism including a feed claw that forcibly feeds the object to be measured on the rail into the environmental tank in a horizontal direction; a third forced feeding mechanism comprising a swinging arm that performs sorting and a pusher that forcibly feeds the object to be measured on the swinging arm horizontally into the magazine in the unloader; the loader and the unloader; a magazine conveyance unit that conveys the magazine in the loader to the unloader by a pair of elastic belts that are arranged along the wall surface of the environmental tank between the two and convey the magazine while holding it in a horizontal position; A handler characterized by comprising: 2. In the loader, the magazines are fed one by one in a plurality of rows by means of two upper and lower claws that are provided at both longitudinal ends of the magazines in the plurality of rows and can be alternately slid by a cam. A handler according to claim 1. 3. In the loader, the magazines supplied one by one in a plurality of rows are transported by claws provided at both longitudinal ends of the magazines and capable of rectangular movement. handler. 4. When the object to be measured is taken out from the magazine in the loader, the magazine is clamped by clampers provided at both longitudinal ends of the magazine and swingable by a cam. Handler described in range 1. 5. In the environmental tank, the object to be measured is transported by a guide block for mounting and guiding the object to be measured, and a block that protrudes from below the guide block and performs a rectangular movement. The handler described in Section 1. 6. In the measurement sorting section, two vertically movable rods are used for transporting the object to be measured, inserting the object into a socket, removing the measured object from the socket, and transporting the measured object. The first aspect of the present invention is characterized in that the robot arm is supported by a support block that supports the two robot arms and is movable along a guide rail.
Handler described in section. 7. The handler according to claim 1, wherein in the measurement and sorting section, the object to be measured is transported to the sorting section along a rail by two claws capable of rectangular movement. 8 In the unloader, the magazine filled with the objects to be measured is moved by a swinging arm, a rotating guide plate provided at the tip thereof and serving as a stopper, and a guide plate for guiding the magazine to fall. 2. The handler according to claim 1, wherein the handler is stacked on an elevator and then stored in a container.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5857735A (en) * 1981-10-01 1983-04-06 Nec Corp Selecting device
JPS59231837A (en) * 1983-06-14 1984-12-26 Nec Kyushu Ltd Automatic selector at manufacture of semiconductor element

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS59231837A (en) * 1983-06-14 1984-12-26 Nec Kyushu Ltd Automatic selector at manufacture of semiconductor element

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