JPH05256637A - 寸法測定装置及び三次元寸法測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被寸法測定物の寸法測定を簡易に行なえかつ
構成が簡単で安価な寸法測定装置を提供すること。 【構成】 テコ式電気マイクロ１３と、該テコ式電気マ
イクロ１３自体を該マイクロの接触子１３ａの移動幅よ
り広い範囲で移動するための移動機構１５と、入力部よ
り入力された信号及びテコ式電気マイクロの接触子１３
ａが被寸法測定物１１に接触した際に得られる距離情報
に基づいて移動機構１５の駆動・停止を制御する移動機
構制御部１９と、移動機構１５によってテコ式電気マイ
クロを移動させた際の、該マイクロ自体のある特定位置
（例えばホームポジション）からの移動距離を、距離情
報として検出し出力する第２の距離情報検出部２１と、
テコ式電気マイクロ１３及び第２の距離情報検出部２１
から出力された各距離情報に基づいて、被寸法測定物１
１の寸法を算出する演算部２３とを具える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、被寸法測定物（例え
ば完成品や部品）の寸法検査などに用いて好適な寸法測
定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】工作機械や成形機などを用いて作製され
た製品や部品が規格寸法を満足しているものであるか否
かを検査するため、従来から例えば下記のような種々の
寸法測定方法が用いられている。

【０００３】（ａ）人間がマイクロメータ、ノギス、ダ
イアルゲージなどの好適な測定器具を用いて部品の寸法
を測定する方法。

【０００４】（ｂ）光学的な手段によって部品の寸法を
測定する方法。

【０００５】（ｃ）ロボットなどで構成した自動寸法測
定装置によって部品の寸法を測定する方法。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
（ａ）の方法では、測定器具を部品に接触させる際の圧
力（例えばマイクロメータのつまみを回してスピンドル
を被寸法測定物に接触させる際のつまみの回し具合）や
測定器具の目盛りの読み方などに個人差があるため、満
足のゆく測定ができない場合が生じるという問題点があ
った。

【０００７】また、上述の（ｂ）の方法及び（ｃ）の方
法はいずれも（ａ）の方法の問題点を軽減又は除去でき
るが、何れの場合もそれらの方法を実施するための装置
が高価であるという問題点があった。

【０００８】この出願はこのような点に鑑みなされたも
のであり、従ってこの出願の第一発明の目的は、上述の
問題点を解決できる寸法測定装置を提供することにあ
る。また、この出願の第二発明の目的は、第一発明の寸
法測定装置を用いより簡易な三次元寸法測定装置を提供
することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的の達成を図るた
め、この出願の第一発明の寸法測定装置は、図１に示す
ように、被寸法測定物１１に接触した際に接触圧の下に
移動する接触子１３ａを有し、かつ、所定の距離の範囲
において前述の接触子１３ａの移動距離に応じた距離情
報を出力する第１の距離情報検出部１３と、該第１の距
離情報検出部１３自体を前述の所定の距離の範囲より広
い範囲で移動するための移動機構１５と、入力部１７よ
り入力された信号及び前述の第１の距離情報検出部１３
の接触子１３ａが被寸法測定物１１に接触した際に得ら
れる距離情報に基づいて、前述の移動機構１５の駆動・
停止を制御する移動機構制御部１９と、前述の移動機構
１５によって前述の第１の距離情報検出部１３を移動さ
せた際の、該検出部１３自体のある特定位置からの移動
距離を、距離情報として検出し出力する第２の距離情報
検出部２１と、前述の第１の距離情報検出部１３及び第
２の距離情報検出部２１から出力された前記各距離情報
に基づいて、前記被寸法測定物１１の寸法を算出する演
算部２３とを具えたことを特徴とする。なお、図１にお
いて、２５は出力部であり、例えば、演算結果を表示す
るディスプレイ及び又は演算結果を印字するプリンタな
どである。

【００１０】また、この第一発明の実施に当たり、前述
の入力部１７、移動機構制御部１９及び移動機構１５を
用い第１の距離情報検出部１３を任意の複数の位置に順
次に移動させた際に第２の距離情報検出部２１で検出さ
れる距離情報を軌跡として記憶するための軌跡情報記憶
部２７と、該軌跡情報記憶部２７に記憶させた情報に基
づいて前記移動機構１５を駆動すると共に前述の第１の
距離情報検出部１３の接触子１３ａが被寸法測定物に接
触した際に得られる距離情報に応じ前述の移動機構１５
を停止する第２の移動機構制御部２９とをさらに具えた
構成とするのが好適である。

【００１１】さらにこの第一発明の実施に当たり、前述
の軌跡情報記憶部２７に記憶させた軌跡情報を所定量シ
フトさせ該シフトさせた軌跡情報を前述の第２の移動機
構制御部２９に出力する軌跡情報シフト部３１をさらに
具えた構成とするのが好適である。

【００１２】ここで、第１の距離情報検出部１３として
は、接触子１３ａの移動距離を差動トランスによって検
出し距離情報として電気的な信号を得るもの例えば、テ
コ式の電気マイクロ（詳細は図９を参照して後述す
る。）や、接触子に固定されたスリット板を有しこのス
リット板が接触子の移動により動くことを、スリット板
を挟んで設けた発光素子及び受光素子対により検出し、
接触子の移動に伴う距離情報を電気的な信号として得る
もの例えば、電気ダイヤルゲージ（詳細は図８を参照し
て後述する。）などが好適である。これら電気マイクロ
や電気ダイヤルゲージでは、接触子１３ａが接触圧の下
に例えば数ｍｍ〜１０数ｍｍ程度移動し、その移動量に
応じた電気信号が高精度（例えば１μｍオーダ等）で得
られ、また、得られた電気信号は演算処理が容易だから
である。

【００１３】また、移動機構１５は従来公知のもので構
成できる。ただし、この移動機構は第１の距離情報検出
部１３自体を、第１の距離情報検出部１３の接触子１３
ａの移動量（例えば上述の数ｍｍ〜１０ｍｍ）に比べ、
充分に広い範囲（被寸法測定物１１の寸法より長い距
離）で移動できることが必要である。また、この駆動機
構は第１の距離情報検出部１３の接触子１３ａの移動方
向と平行な方向に少なくとも駆動できるものであるのが
好適である。勿論駆動方向は１次元に限られず２次元以
上でも良い。

【００１４】また、第２の距離情報検出部２１は、移動
機構１５の設計に応じ従来公知の種々のもので構成でき
る。第２の距離情報検出部２１の具体例としては、駆動
機構１５において第１の距離情報検出部１３を移動させ
る駆動源としてモータを使用する場合なら、モータの回
転数をエンコーダでパルス数として検出しこのパルス数
から距離情報を検出するシステム、駆動源としてステッ
ピングモータを用いる場合ならステッピングモータの駆
動パルス数から距離情報を検出するシステムなどを挙げ
ることができる。なお、第２の距離情報検出部２１の構
成においてある特定位置とは、当該寸法測定装置の駆動
機構１５上での予め定めた原点（例えば寸法測定装置初
期化時の駆動機構のホームポジションなど。）とか、実
際の寸法測定において被寸法測定物の寸法開始のために
最初に指定した位置など、設計に応じた任意の位置をい
うものとする。

【００１５】また、移動機構制御部１９は、個別電子部
品を組み立てた電気回路またはマイクロコンピュータで
構成できる。この移動機構制御部１９の構成において、
第１の距離情報検出部１３が被寸法測定物１１に接触し
た際に得られる距離情報に基づいてとは、例えば、第１
の距離情報検出部１３から現在出力されている距離情報
と比較して所定量だけ該距離情報が変化した場合は第１
の距離情報検出部１３の接触子１３ａが被寸法測定物に
接触したと判断しこれにより駆動機構１５を停止する、
というようなことである。なお、駆動機構１５を停止さ
せるに当たり、上記のように距離情報が所定量変化した
場合に駆動機構をすぐに停止させても良いし、または、
上記のように距離情報が所定量変化したことを検出した
後に駆動機構１５により第１の距離情報検出部を予め定
めた距離だけさらに移動させるように、すなわち第１の
距離情報検出部１３の接触子１３ａを被寸法測定物に押
しつけ接触子１３ａを所定距離だけ移動させて、そこを
停止位置としても良い。後の実施例では第２の駆動機構
制御部において、接触子１３ａを押しつけるという後者
の動作を行なわせている。またここで、所定量だけ距離
情報が変化しての「所定量」とは、第１の距離情報検出
部１３の感度（敏感さ）や当該寸法測定装置の使用環境
や寸法測定に要求される精度などを考慮して任意な値に
できる。

【００１６】また、演算部２３は個別電子部品を組み立
てた演算回路またはマイクロコンピュータで構成でき
る。

【００１７】また、この出願の第二発明の三次元寸法測
定装置は、基本的には第一発明の寸法測定装置をｘ，
ｙ，ｚの各方向それぞれで用意すれば構成できる。しか
し、この第二発明ではより構成の簡略化、装置の小型化
を図るため、前述の第１の距離情報検出部を、ｘ方向及
びｙ方向に共通のｘ−ｙ用第１の距離情報検出部と、ｚ
方向用第１の距離情報検出部とで構成し、前述の移動機
構をｘ方向用移動機構、ｙ方向用移動機構及びｚ方向用
移動機構で構成し、前述の第２の距離情報検出部をｘ方
向用第２の距離情報検出部、ｙ方向用第２の距離情報検
出部及びｚ方向用第２の距離情報検出部で構成し、前述
のｘ−ｙ用第１の距離情報検出部の接触子の移動方向が
ｘ方向に平行になるように又はｙ方向に平行になるよう
に該ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部の位置を変更するた
めのｘ−ｙ位置変更機構を具え、前述のｘ−ｙ用第１の
距離情報検出部及びｘ−ｙ位置変更機構を前記ｘ方向用
移動機構及びｙ方向用移動機構の一方に設置し、該一方
の移動機構は他方の移動機構に設置してあることを特徴
とする。

【００１８】

【作用】この出願の第一発明の構成によれば、被寸法測
定物の寸法を以下に図２（Ａ）〜（Ｃ）を参照して説明
するように測定することができる。なお、図２はこの発
明の作用の説明に供する図であり、当該寸法測定装置の
測定台３３上に置かれた被寸法測定物１１のＸ方向の寸
法Ｌx を測定する手順を示したものである。勿論被寸法
測定物の形状寸法測定位置は作用の説明のための一例に
すぎない。

【００１９】先ず、図２（Ａ）に示すように、Ｘ座標上
のＸ0 の位置にある第１の距離情報検出部１３が移動機
構１５により移動されその接触子１３ａが被寸法測定物
の一方の面に接触すると、第１の距離情報検出部１３の
距離情報が変化する。移動機構制御部（図示せず）は、
第１の距離情報検出部１３の距離情報が所定量変化した
場合に接触子１３ａが被寸法測定物１１に接触したと判
断する構成とできるので、この判断で得た信号により移
動機構１５を停止する。移動機構１５の停止に応じ第２
の距離情報検出部２１はこのときの第１の距離情報検出
部１３の距離情報Ｘ1 を演算部２３に出力する。一方、
第１の距離情報検出部１３は接触子１３ａが被寸法測定
物１１の一方の面に接触してから移動機構１５が停止さ
れるまでに接触子１３ａが移動した距離に応じた距離情
報Δｘ1 を演算部２３に出力する。そして、演算部２３
では接触子１３ａが被寸法測定物１１の一方の面に真に
接触したときの第１の距離情報検出部１３の距離情報Ｘ
A を、ＸA ＝Ｘ1 −ΔＸ1として算出する。

【００２０】次に、図２（Ｂ）に示すように、移動機構
１５により第１の距離情報検出部１３を被寸法測定物１
１の他方の面側に移動させる。

【００２１】次に、図２（Ｃ）に示すように、移動機構
１５により第１の距離情報検出部１３をその接触子１３
ａが被寸法測定物１１の他方の面に接触するように移動
させる。この動作においては、図２（Ａ）を用いて説明
したと同様な原理で第１の距離情報検出部１３の距離情
報Ｘ2 と接触子１３ａの移動量に対応する距離情報Δｘ
2 とが得られ、演算部２１はこれらから接触子１５ａが
被寸法測定物１３の他方の面に真に接触したときの第１
の距離情報検出部の距離情報ＸB を、ＸB ＝Ｘ2 ＋ΔＸ
2 として算出する。さらに、演算部２１は、被寸法測定
物のＸ方向の寸法Ｌx をＬx ＝ＸB −ＸA として算出す
る。

【００２２】このように、この第一発明の寸法測定装置
では、駆動機構１５自体の第１の距離情報検出部１３を
停止させる位置の精度は問題とならず、第１の距離情報
検出部１３が現在どこで停止されているかの距離情報
と、第１の距離情報検出部１３の接触子１３ａの移動量
に対応する距離情報とを求めれば良い。したがって、移
動機構は移動量の信頼性が得られるものであれば安価な
もので良くなり、そして、この移動機構とテコ式電気マ
イクロや電気ダイヤルゲージ（図８、図９に示したよう
なもの。）等の従来の微小変位検出手段とを用いるのみ
で装置を構成できる。

【００２３】また、この第一発明において、軌跡情報記
憶部と、第２の移動機構制御部とをさらに具える構成で
は、入力部等で被寸法測定物の測定動作を一度覚え込ま
せこの動作に従い同種の被寸法測定物の寸法測定を自動
的に行なえる。いわゆる倣い方式による寸法測定が行な
える。

【００２４】さらに、この第一発明において、軌跡情報
シフト部をさらに具える構成では、測定台に同種の被寸
法測定物を複数個所定ピッチで並べておきこれらの寸法
を自動的に連続的に測定できる。

【００２５】また、この出願の第二発明の構成によれ
ば、ｘ方向用及びｙ方向用の第１の距離情報検出部をｘ
−ｙ用第１の距離情報検出部で共用し被寸法測定物の寸
法測定の際にこの検出部をｘ−ｙ位置変更機構で切り換
える。そして、このｘ−ｙ用第１の距離情報検出部及び
ｘ−ｙ位置変更機構をｘ方向用移動機構及びｙ方向用移
動機構の一方に設置し、該一方の移動機構は他方の移動
機構に設置してある。このため、第一発明の寸法測定装
置を用いたことによる作用に加え、第一発明の寸法測定
装置を三次元方向それぞれで用意する場合に比べ簡易か
つ小型な三次元寸法装置が構成できる。

【００２６】

【実施例】以下、この出願の第一発明及び第二発明を適
用した三次元寸法測定装置の実施例の説明を行なう。な
お、この説明をいくつかの図面を参照して行なう。しか
しながら、これらの図は発明が理解できる程度に各構成
成分の寸法、形状及び配置関係を概略的に示してある。
また、各図において同様な構成成分については同一の番
号を付して示してある。

【００２７】図３は、実施例の三次元寸法測定装置の全
体構成を示した斜視図である。また、図４は、ｘ−ｙ用
第１の距離情報検出部９９及びｚ方向用第１の距離情報
検出部８９（詳細は後述する。）などが搭載された部分
（図３にＳを付して示した部分。以下、「センサブロッ
クＳ」と称することもある。）を示した斜視図である。
また、図５はこの実施例の三次元寸法測定装置の機能ブ
ロック図である。

【００２８】この実施例の三次元測定装置は、図３に示
したように、被寸法測定物の寸法測定を実際に行なう機
械本体部５０と、機械本体部５０の制御及び機械本体部
５０からの情報を処理するための制御装置部１２０と、
入力部１３０と、出力部１４０とを具える。制御装置部
１２０は詳細は後述するがこの実施例の場合マイクロコ
ンピユータにより構成してある。また、入力部１３０は
この場合トラックボール（マウスでも良い。）で構成し
てある。また、出力部１４０はこの場合プリンタで構成
してある。なお、図５の機械本体部５０において、各構
成成分を積層構造的に示した理由は、各移動機構、変更
機構、第１の距離情報検出部などが、この実施例では、
図５のような状態で搭載されていることを理解し易く示
そうとしたからである。ただし、ｘ方向用移動機構とｙ
方向用移動機構と搭載状態を逆転させても良い。

【００２９】先ず、図３及び図４を主に参照して機械本
体部５０の構成について説明する。

【００３０】機械本体部５０は枠体５１を具えている。
そして、この枠体５１の所定位置に、モータ５２、プー
リ５３ａ〜５３ｆ、互いに平行な２本の丸棒５４ａ，５
４ｂをそれぞれ取りつけてある。また、モータ５２のス
ピンドルにはプーリ５３ｇを、またモータ５２の後部に
はこの発明でいうｙ方向用第２の距離情報検出部（後述
する）の構成成分の一つになるエンコーダ７１をそれぞ
れ取りつけてある。そして、図６に模式的に示したよう
に、これらプーリ５３ａ〜５３ｇにワイヤ５５（図３中
２点鎖線で示すもの。）を、モータ５２に取り付けたプ
ーリ５３ｇに対しては所定回からめてかけ、それ以外の
プーリ５３ａ〜５３ｆに対しては単にかけて、ワイヤル
ープを構成してある。

【００３１】さらに、機械本体部５０は、２つの柱状体
５６ａ，５６ｂであって互いが所定距離だけ離れるよう
に２本の平行な丸棒５７ａ，５７ｂの端部に固定された
柱状体５６ａ，５６ｂを具えている。これら柱状体５６
ａ，５６ｂ各々の底面には、枠体５１に設けられた丸棒
５４ａ（５４ｂ）をその直径方向から挟むことができる
ような配置で２個のプーリ５８ａ，５８ｂを２組設けて
ある。そして、柱状体５６ａ，５６ｂ各々の所定部分５
６ｘにて、柱状体５６ａ，５６ｂを前記ワイヤ５５のル
ープにそれぞれ接続してある。図７は、これら柱状体５
６ａ（５６ｂ）底部のプーリ５７ａ，５７ｂと丸棒５４
ａ（５４ｂ）とワイヤ５５との配置関係を、柱状体５６
ａの底側から見て示した図である。図７から分かるよう
に、柱状体５６ａは丸棒５４ａを滑り軸としてワイヤ５
５の動きに応じ丸棒５４ａに沿って移動できる。なお、
枠体５１の所定位置には柱状体５６ａ，５６ｂが枠体５
１に衝突するのを防止するための位置検出手段例えばリ
ミットスイッチ５９ａ，５９ｂをそれぞれ設けてある。

【００３２】この実施例では、これらモータ５２、プー
リ５３ａ〜５３ｇ、枠体に取り付けた２本の丸棒５４
ａ，５４ｂ、ワイヤ５５、柱状体５６ａ，５６ｂ、これ
ら柱状体５６ａ，５６ｂを固定している２本の丸棒５７
ａ，５７ｂ、プーリ５８ａ，５８ｂ及びリミットスイッ
チ５９ａ，５９ｂにより、ｙ方向用移動機構を構成でき
る。このｙ方向用移動機構では、図６に示したように、
モータ５２をａ方向に回転させた場合ワイヤ５５は図６
に矢印を付したように動くので、位置５６ｘでこのワイ
ヤ５５に接続されている柱状体５６ａ，５６ｂ（したが
ってセンサブロックＳ）を丸棒５４ａ，５４ｂに沿って
＋ｙ方向に移動させることができ、また、モータ５２の
回転方向を逆転させることにより柱状体５６ａ，５６ｂ
を−ｙ方向に移動させることができる。なお、柱状体５
６ａ，５６ｂをどちら方向にどの程度の距離移動させる
かは制御装置部１２０により制御される（詳細は後述す
る。）。

【００３３】さらに、この機械本体部５０では、上述の
柱状体５６ａ，５６ｂの一方の所定位置にモータ６１を
取りつけてある。そして、このモータ６１のスピンドル
にプーリ６２をとりつけてあり、またモータ６１後部に
この発明でいうｘ方向用第２の距離情報検出部（後述す
る。）の構成成分の一つになるエンコーダ７２を取りつ
けてある。また、柱状体５６ａ，５６ｂの他方の所定位
置にプーリ６３を取りつけてある。そして、プーリ６２
とプーリ６３との間にワイヤ６４をかけてワイヤループ
を構成し、このワイヤ６４の所定位置６４ｘでセンサブ
ロックＳとワイヤ６４とを接続してある。なお、柱状体
５６ａ，５６ｂ各々の所定位置にセンサブロックＳが柱
状体５６ａ，５６ｂに衝突するのを防止するための位置
検出手段例えばリミットスイッチ６５ａ，６５ｂをそれ
ぞれ設けてある。

【００３４】この実施例では、モータ６１、プーリ６
２、プーリ６３、ワイヤ６４、リミットスイッチ６５
ａ，６５ｂ及びセンサブロックＳによりｘ方向用移動機
構を構成できる。このｘ方向用移動機構では、モータ６
１回転させる際にその回転方向を選択することによりセ
ンサブロックＳを丸棒５７ａ，５７ｂに沿って＋ｘ方向
または−ｘ方向に任意に移動させることができる。な
お、センサブロックＳをどちら方向にどの程度の距離移
動させるかは制御装置部６０により制御される（詳細は
後述する。）。

【００３５】次に、機械本体部５０のセンサブロックＳ
について主に図４を参照して説明する。

【００３６】センサブロックＳは、この実施例の場合、
略「コの字」形の支持体８１を具えている。この支持体
８１の所定位置には、前述の丸棒５７ａ，５７ｂ（図３
参照）に対応するように、図７を用いて説明したと同様
なプーリを用いた滑り機構８２ａ，８２ｂ（図４参
照。）がそれぞれ設けてある。センサブロックＳはこれ
らの滑り機構８２ａ，８２ｂを介し丸棒５７ａ，５７ｂ
に取りつけられ、この丸棒５７ａ，５７ｂに沿って即ち
ｘ方向に沿って上述のｘ方向移動機構により移動され
る。さらに、この支持体８１の所定位置には、モータ８
３，プーリ８４ａ，８４ｂ、互いに平行な２本の丸棒８
５ａ，８５ｂを取りつけてある。モータ８３のスピンド
ルにはプーリ８６を取りつけてあり、またモータ８３の
後部にはこの発明でいうｚ方向用第２の距離情報検出部
（後述する）の構成成分の一つであるエンコーダ７３を
取り付けてある。そして、これらプーリ８４ａ，８４
ｂ，８６にワイヤ８７を、モータ８３に取り付けたプー
リ８６に対しては所定回転からめてかけ、それ以外のプ
ーリ８４ａ，８４ｂに対しては単にかけて、ワイヤルー
プを構成してある。

【００３７】さらに、このセンサブロックＳは、ｚ方向
用の第１の距離情報検出部８９としてこの場合ミツトヨ
製の電気式ダイヤルゲージ（コード番号５４２２２２）
８９を具える。図８はこの電気式ダイヤルゲージ８９を
一部切り欠いて示した斜視図である。この電気式ダイヤ
ルゲージ８９では、その接触子８９ａにスリット板８９
ｂが固定してある。さらに、発光素子８９ｃを具える基
板８９ｄと受光素子８９ｅを具える基板８９ｆとがスリ
ット板８９ｂを挟むように設けてある。接触子８９ａの
移動に伴いスリット板８９ｂが移動するので、受光素子
８９ｅでは移動時のスリットの数に応じた光信号を電気
信号に変換する。この電気信号は図示しない回路から距
離情報として出力される。このｚ方向用第１の距離情報
検出部８９は検出部固定板９０に固定してある。この検
出部固定板９０の所定位置には、センサブロックＳの支
持体８１に設けた丸棒８５ａ，８５ｂそれぞれに対応さ
せて、図７を用いて説明したと同様なプーリによる滑り
機構９１（図４参照）を設けてある。この検出部固定板
９０は滑り機構９１を丸棒８５ａ，８５ｂに組み合わせ
ることにより支持体８１に組み込んである。そして、検
出部固定板９０の所定位置９０ｘにてこの検出部固定板
９０とワイヤ８７とを接続してある。また、支持体８１
の所定位置に検出部固定板９０が支持体８１に衝突する
のを防止するための位置検出手段例えばリミットスイッ
チ９２ａ，９２ｂをそれぞれ設けてある。

【００３８】この実施例では、これらモータ８３、プー
リ８４ａ、８４ｂ，８６、ワイヤ８７、２本の丸棒８５
ａ，８５ｂ、検出部固定板９０、滑り機構９１及びリミ
ットスイッチ９２ａ，９２ｂにより、ｚ方向移動機構を
構成できる。なお、このｚ方向移動機構は被寸法測定物
（図示せず）のＸ方向及びｙ方向の寸法を後述のｘ−ｙ
方向用第１の距離情報検出部を用いて測定するときにｚ
方向用第１の距離情報検出部８９を寸法測定に支障のな
い位置に退避するための退避機構としても使用できる。
このｚ方向用移動機構では、モータ８３を回転させる際
にその回転方向を選択することにより検出部固板９０
（即ちｚ方向用第１の距離情報検出部８９）を丸棒８５
ａ，８５ｂに沿って＋ｚ方向または−ｚ方向に任意に移
動させることができる。なお、検出部固定板９０をどち
ら方向にどの程度の距離移動させるかは制御装置部１２
０により制御される（詳細は後述する。）。

【００３９】さらに、このセンサブロックＳの支持体８
１のｚ方向移動機構を設けた領域以外の領域の所定位置
に、モータ９３，プーリ９４ａ，９４ｂ、互いに平行な
２本の丸棒９５ａ，９５ｂを取りつけてある。モータ９
３のスピンドルにはプーリ９６を取りつけてある。そし
て、これらプーリ９４ａ，９４ｂ，９６にワイヤ９７
を、モータ９３に取り付けたプーリ９６に対しては所定
回からめてかけ、それ以外のプーリ９４ａ，９４ｂに対
しては単にかけて、ワイヤループを構成してある。

【００４０】さらに、このセンサブロックＳは、ｘ方向
及びｙ方向兼用のｘ−ｙ方向用の第１の距離情報検出部
９９（以下、「ｘ−ｙ用検出部」と略称することもあ
る。）としてこの場合ミツトヨ製のテコ式電気マイクロ
（コード番号９５７８４１）９９を具える。図９はこの
テコ式電気式マイクロ９９の構造を示した図である。こ
のテコ式電気マイクロ９９は、その接触子９９ａの一部
を支点９９ｂに固定してあり、接触子９９ａのｘ方向
（後に説明するｘ−ｙ位置変更機構を駆動した場合ｙ方
向）の移動量を差動トランス９９ｃにより電気量として
検出し内蔵の或いは外付けのＡ／Ｄ変換器９９ｄにより
ディジタル信号（ｘ方向又はｙ方向の第１の距離情報）
に変換し外部に出力するものである。このｘ−ｙ用検出
部９９は検出部固定板１００に回転軸１０１を介し固定
してある。この検出部固定板１００の所定位置には、セ
ンサブロックＳの支持体８１に設けた丸棒９５ａ，９５
ｂそれぞれに対応させて、図７を用いて説明したと同様
なプーリによる滑り機構９１（図４参照）を設けてあ
る。また、検出部固定板１００に設けた回転軸１０１の
一端に歯車１０２を取りつけてある。そして、検出部固
定板１００の前記歯車１０２から所定距離だけ離れた位
置にモータ１０３を取りつけてあり、さらに、このモー
タ１０３のスピドルに歯車１０４を取りつけてあり、さ
らに、これら歯車１０２、１０４間にタイミングベルト
１０５をかけてある。また、このタイミングベルト１０
５の所定位置には突起部１０５ａを取りつけてあり、ま
た、検出部固定板１００のタイミングベルト１０５近傍
に位置検出のためのセンサ例えばフォトカプラ１０６を
取りつけてある。このフォトカプラ１０６は突起部１０
５ａが接近した際にモータ１０３の停止信号を生成す
る。この検出部固定板１００は滑り機構９１を丸棒９５
ａ，９５ｂに組み合わせることにより支持体８１に組み
込んである。そして、検出部固定板１００の所定位置１
００ｘにてこの検出部固定板１００とワイヤ９７とを接
続してある。また、支持体８１の所定位置に検査部固定
板１００が支持体８１に衝突するのを防止するための位
置検出手段例えばリミットスイッチ１０７ａ，１０７ｂ
をそれぞれ設けてある。

【００４１】この実施例では、これらモータ９３、プー
リ９４ａ、９４ｂ，９６、ワイヤ９７、２本の丸棒９５
ａ，９５ｂ、検出部固定板１００、滑り機構９１及びリ
ミットスイッチ１０７ａ，１０７ｂにより、ｘ−ｙ用検
出部９９のｚ方向の移動機構を構成できる。また、検出
部固定板１００、回転軸１０１、歯車１０２、モータ１
０３、歯車１０４、タイミングベルト１０５、その突起
部１０５ａ及びフォトカプラ１０６により、ｘ−ｙ位置
変更機構を構成できる。このｘ−ｙ位置変更機構によれ
ば、モータ１０３を駆動することにより、ｘ−ｙ用第１
の距離情報検出部９９の接触子９９ａの移動方向がｘ方
向に平行になるよう又はｙ方向に平行になるように，ｘ
−ｙ用第１の距離情報検出部９９の位置を変更すること
ができる。図４では、ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部９
９の接触子９９ａの移動方向がｘ方向に平行になる状態
を示し、図１０ではｘ−ｙ用第１の距離情報検出部９９
の接触子９９ａの移動方向がｙ方向に平行になる状態を
示してある。なお、ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部９９
を図４や図１０に示したような位置で停止させること
は、この実施例では、検出部固定板１００の一部に停止
用突起１００ａ（図４にｙ方向用を示してある。）を設
け、タイミングベルト１０５の張力によって−ｙ用検出
部９９をこの停止用突起に押し当てることによって行な
っている。停止用突起１００ａは高さ調整が可能なもの
としてある。

【００４２】次に、制御装置部１２０の構成についてこ
の実施例の三次元寸法測定装置の動作と併せて説明す
る。

【００４３】図５に示したように、この実施例の制御装
置部１２０は、第２の距離情報検出部１２１、移動機制
御部１２２、第２の移動機構制御部１２３、演算部１２
４、キーボード１２５、軌跡情報格納部１２６、軌跡情
報シフト部１２７を具える。

【００４４】この実施例の第２の距離情報検出部１２１
は、当該寸法測定装置の初期化時の各移動機構の位置
（以下、ホームポジション」）から各移動機構のモータ
５２，６１，８３を駆動した際にこれらモータに付属の
個別のエンコーダ７１，７２，７３からのパルス数をカ
ウントしホームポジションからの距離情報として検出す
るものである。ｘ，ｙ，ｚのどの方向の距離情報を検出
するかは、この場合、キーボード１２５からの指示によ
り、及び又は、制御装置部１２０に予め用意したプログ
ラムに従い制御装置部１２０のディスプレイに表示され
るモード選択画面のうちの所望のモードをトラックボー
ル１３０によってクリックする（これを以下、「トラッ
クボールによる指示」と略称する。）ことにより、決定
できる構成としてある。

【００４５】また、移動機構制御部１２２は、この場
合、ｘ，ｙ，ｚ各方向用移動機構のモータ５２、６１、
８３、やｘ−ｙ用第１の距離情報検出部９９の上下動用
モータ９３に駆動信号を出力すること、ｘ−ｙ用第１の
距離情報検出部９９或いはｚ方向用の第１の距離情報検
出部８９が被寸法測定物に接触した場合に得られる距離
情報に基づいて（この場合距離情報が所定量変化したと
いう信号に基づいて）ｘ，ｙ，ｚ各方向用移動機構のモ
ータ５２、６１、８３に停止信号を出力すること、各リ
ミットスイッチ（図３、図４参照）からの信号に応じ各
モータに停止信号を出力することを主に行なうものであ
る。どのモータを駆動するかはこの場合キーボード１２
５からの指示により及び又はトラックボール１３０から
の指示により決定できるように構成してある。また、選
択されたモータはトラックボール１３０が操作されてい
る限りは上記停止信号が出力されない限り駆動され、そ
して、トラックボール１３０の操作方向によって右回転
または左回転に任意に駆動される構成としてある。図１
１に、この実施例の移動機構制御部１２２の機能の理解
を深めるためのフローチャートを示した。なお、この図
において、キーボードなどとは、キーボード及び又はト
ラックボールからの指示を意味する（以下の、各フロー
チャートにおいて同じ。）。

【００４６】また、軌跡情報記憶部１２６は、第２の距
離情報検出部１２１で各モーター毎の移動に伴って検出
された距離情報をモータ別に然も時系列順に移動機構の
軌跡情報として記憶するものである。この軌跡情報記憶
部１２６はこの場合キーボード１２５及び又はトラック
ボールからの指示により記憶動作を開始する構成として
ある。また、各距離情報のサンプリングについても、キ
ーボード１２５及び又はトラックボールからサンプリン
グ信号が入力される度に、駆動しようとする或いは駆動
されたモータがどのモータかという情報及び駆動時の距
離情報を順次格納する構成としてある。図１２にこの実
施例の軌跡情報記憶部１２６の機能の理解を深めるため
のフローチャートを示した。

【００４７】また、軌跡情報シフト部１２７は、キーボ
ード１２５及び又はトラックボールからの信号により動
作を開始するもので、上記軌跡情報記憶部１２６に格納
されている軌跡情報を所定量シフトするものである。な
お、この軌跡情報をシフトさせる値（この値は測定台に
複数個の被寸法測定物を予め置く際のｘ方向、ｙ方向の
ピッチに相当する情報とする。）、シフト処理回数（こ
の値は被寸法測定物を所定ピッチで測定台に置く際の測
定物の個数に相当する情報とする。）はキーボード１２
５より入力できるものとしてある。そして、１回のシフ
ト処理により作成された軌跡情報により第２の移動機構
制御装置が各移動機構や変更機構を駆動した後に、当該
シフトされている軌跡情報を累積的にさらにシフトさせ
このシフト軌跡情報で寸法測定を行なえる構成としてあ
る。このようにすると、所定ピッチで複数個配置された
被寸法測定物各々の寸法を連続的に測定できるからであ
る。図１３にこの実施例の軌跡情報シフト部１２７の機
能の理解を深めるためのフローチャートを示した。

【００４８】また、第２の移動機構制御部１２３は、キ
ーボード１２５及び又はトラックボールからの信号によ
り動作を開始するもので、軌跡情報記憶部１２６若しく
は軌跡情報シフト部１２７から出力される軌跡情報に従
いｘ，ｙ，ｚ各移動機構のモータ５２、６１、８３、ｘ
−ｙ位置変更機構のモータ１０３、ｘ−ｙ用第１の距離
情報検出部９９の上下動用モータ９３を駆動するもので
ある。ただし、ｘ，ｙ，ｚの各移動機構の停止位置は、
ｘ−ｙ用の第１の距離情報検出部９９やｚ方向用の第１
の位置情報検出部８９の接触子が被寸法測定物に接触し
た際に該検出部で検出される距離情報に基づいて決定さ
れる。この実施例の場合は、ｘ−ｙ用の第１の距離情報
検出部９９やｚ方向用の第１の位置情報検出部８９の接
触子が被寸法測定物に接触し距離情報が所定量変化した
ときの位置を検出部９９または８９で検出し、この検出
された位置からさらにモータをエンコーダのパルス数換
算で所定量駆動した位置を、停止位置としている。図１
４にこの実施例の第２の移動機構制御部１２３の機能の
理解を深めるためのフローチャートを示した。

【００４９】また、演算部１２４は、ｘ−ｙ用の第１の
距離情報検出部９９で検出した距離情報、ｚ方向用の第
１の位置情報検出部８９で検出した距離情報及び第２の
距離情報検出部１２１で検出した距離情報に基づいて、
被寸法測定物の各部の寸法を図２を用いて説明した原理
により算出する。算出された寸法は例えばプリンタ１４
０により出力したり、制御装置部１２０のディスプレイ
に表示させ活用できる。なお、この実施例の演算部１２
４には、被寸法測定物の規格寸法を予め記憶させること
ができ、測定した各被寸法測定物の各部寸法を規格寸法
とそれぞれ比較しその誤差を算出したり、規格に合格し
ているか否かを判定する機能を持たせてある。また、演
算部１２４を、寸法測定データから被寸法測定物の曲率
や直径などを求めることができる様な構成としても勿論
良い。

【００５０】このような実施例の三次元寸法測定装置に
よれば、例えば、図１５に示したように、この寸法測定
装置の測定台２００上に置かれた被寸法測定物の例えば
寸法ｘa 、寸法ｘb 、寸法ｙa 、寸法ｙb 、寸法ｚa 、
寸法ｚb を、ｘa,ｘb についてはｘ−ｙ用の第１の距離
情報検出部９９、ｘ方向用移動機構及びｘ方向用第２の
距離情報検出部によって測定でき、ｙa,ｙb については
ｘ−ｙ位置変更機構、ｘ−ｙ用の第１の距離情報検出部
９９、ｙ方向用移動機構及びｙ方向用第２の距離情報検
出部によって測定でき、ｚa,ｚb についてはｚ方向用の
第１の距離情報検出部８９、ｚ方向用移動機構及びｚ方
向用第２の距離情報検出部によって測定できる。この
際、軌跡情報記憶部１２６及び第２の移動機構制御部１
２３（図５参照）を用いた状態で、例えば、図１５の測
定台２００の被寸法測定物２０１が置かれていた位置に
新たな同種の被寸法測定物を次々置くと、これらの寸法
を本装置は自動的に測定する。また、軌跡情報シフト部
１２７及び第２の移動機構制御部１２３を用いた状態
で、図１５の測定台２００に多数の被寸法測定物２０１
〜２０４を所定ピッチで置いておくと、これらの寸法を
本装置は自動的にかつ連続的に測定する。

【００５１】上述においてはこの出願の第一発明及び第
二発明の実施例について併せて説明したがこれら発明は
上述の実施例に限られずない。

【００５２】例えば、機械本体部５０の枠体５１、柱状
体５６ａ，５６ｂの形状、センサブロックＳの各部の形
状は実施例のものに限られず設計に応じた任意のものと
できる。また。第１の距離情報検出部、ｘ，ｙ，ｚの各
移動機構、ｘ−ｙ位置変更機構、第２の距離情報検出
部、入力部の構成などは実施例のものに限られず同様な
目的を達成できるものであれば他の物でも勿論良い。例
えば、ｘ−ｙ用の第１の距離情報検出部として図８を用
いて説明したような構成に準ずる構成の電気式ダイヤル
ゲージを用い、ｚ方向用の第１の距離情報検出部として
図９を用いて説明したような構成に準ずる構成のテコ式
電気マイクロを用いることもできる。また、実施例では
ｘ−ｙ位置変更機構は接触子の移動方向がｘ方向に平行
になるように又はｙ方向に平行になるようにｘ−ｙ用第
１の距離情報検出部を移動するものであったが、必要に
よってｘ−ｙの中間の任意の角度でもｘ−ｙ用第１の距
離情報検出部を停止できるようなものとしても良い。

【００５３】また、上述の実施例では詳細な説明を省略
したが、この寸法測定装置には、測定台に多数の被寸法
測定物を置いた状態で連続的な寸法検査をした後規格寸
法を満足しなかったものに自動的にマーキングするよう
な機構を設けることができる。これは、例えば、センサ
ブロックＳ（図３、図４参照）の好適位置にマーキング
用ペンを設置しておき、このセンサブロックＳをｘ，
ｙ，ｚ移動機構によって不良品近傍に移動し該不良品に
マーキングする構成とすれば良い。さらに、被寸法測定
物を照明するための照明手段をセンサブロックＳの好適
な位置に設けるようにしても良い。

【００５４】

【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の出願の第一発明の寸法測定装置によれば、第２の距離
情報検出部から得た距離情報を第１の距離情報検出部か
ら得た距離情報により補正して被寸法測定物の寸法を算
出できる。このため、駆動機構自体の第１の距離情報検
出部を停止させる位置精度は問題とならず、第１の距離
情報検出部が現在どこで停止されているかの距離情報
と、第１の距離情報検出部の接触子の移動量に対応する
距離情報とを求めれば良い。したがって、移動機構は移
動量の信頼性が得られるものであれば安価なもので良く
なり、また、この移動機構と電気式マイクロメータ等の
従来の微小変位検出手段とを用いるのみで装置を構成で
きる。したがって、人間が寸法測定する場合より精度良
く測定ができ然も安価な寸法測定装置を提供できる。

【００５５】また、この第一発明において、軌跡情報記
憶部と、第２の移動機構制御部とをさらに具える構成で
は、入力部等で被寸法測定物の測定動作を一度覚え込ま
せこの動作に従い同種の被寸法測定物の寸法測定を自動
的に行なえる。

【００５６】さらに、この第一発明において、軌跡情報
シフト部をさらに具える構成では、測定台に同種の被寸
法測定物を複数個所定ピッチで並べておきこれらの寸法
を自動的に連続的に測定できる。

【００５７】また、この出願の第二発明の構成によれ
ば、第１の距離情報検出部をｘ−ｙ用第１の距離情報検
出部で共用し使用の際にこの検出部をｘ−ｙ位置変更機
構で切り換える。そして、このｘ−ｙ用第１の距離情報
検出部及びｘ−ｙ位置変更機構をｘ方向用移動機構及び
ｙ方向用移動機構の一方に設置し、該一方の移動機構は
他方の移動機構に設置してある。このため、第一発明の
寸法測定装置を用いたことによる効果に加え、第一発明
の寸法測定装置を三次元方向それぞれで用意する場合に
比べ簡易かつ小型な三次元寸法装置が構成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一発明の寸法測定装置の機能ブロック図であ
る。

【図２】（Ａ）〜（Ｃ）はこの発明の作用の説明に供す
る図である。

【図３】実施例の三次元寸法測定装置の全体構成を示し
た図である。

【図４】実施例の三次元寸法測定装置のセンサブロック
Ｓを示した斜視図である。

【図５】実施例の三次元寸法測定装置の機能ブロック図
である。

【図６】実施例の三次元寸法測定装置のｙ方向移動機構
の説明に供する図である。

【図７】実施例の三次元寸法測定装置で多用した滑り機
構の説明に供する図である。

【図８】実施例の三次元寸法測定装置でｚ方向用第１の
距離情報検出部として使用した電気式マイクロゲージの
説明図である。

【図９】実施例の三次元寸法測定装置でｘ−ｙ用第１の
距離情報検出部として使用したテコ式電気マイクロの説
明図である。

【図１０】実施例の三次元寸法測定装置のｘ−ｙ一変更
機構の説明図である。

【図１１】実施例の移動機構制御部の機能説明に供する
フローチャートである。

【図１２】実施例の軌跡情報記憶部の機能説明に供する
フローチャートである。

【図１３】実施例の軌跡情報シフト部の機能説明に供す
るフローチャートである。

【図１４】実施例の第２の移動機構制御部の機能説明に
供するフローチャートである。

【図１５】実施例の三次元寸法測定装置による寸法測定
例の説明図である。

【符号の説明】

５１：枠体 ５２：ｙ方向用移
動機構のモータ ５３ａ〜５３ｇ：ｙ方向用移動機構のプーリ ５４ａ，５４ｂ：ｙ方向用移動機構の丸棒（滑り軸） ５５：ｙ方向用移動機構のワイヤ ５６ａ，５６ｂ：
柱状体 ５６ｘ：ワイヤと柱状体との接続個所 ５７ａ，５７ｂ：ｘ方向用移動機構の丸棒（滑り軸） ５８ａ，５８ｂ：滑り機構のプーリ ５９ａ，５９ｂ：リミットスイッチ ６１：ｘ方向用移動機構のモータ ６２，６３：ｘ方向用移動機構のプーリ ６４：ｘ方向用移動機構のワイヤ ６４ｘ：ワイヤとセンサブロックＳとの接続点 ７１：ｙ方向用エンコーダ ７２：ｘ方向用エンコーダ ７３：ｚ方向用エンコーダ ８１：センサブロックの支持体 ８２ａ，８２ｂ：穴 ８３：ｚ方向用移動機構のモータ ８４ａ，８４ｂ，８６：ｚ方向用移動機構のプーリ ８５ａ，８５ｂ：ｚ方向用移動機構の丸棒（滑り軸） ８７：ｚ方向用移動機構のワイヤ ８９：ｚ方向用の第１の距離情報検出部（電気式マイク
ロゲージ） ９０：ｚ方向用の第１の距離情報検出部固定板 ９１：滑り機構 ９２ａ，９２ｂ：
リミットスイッチ ９３：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部上下動用のモータ ９４ａ，９４ｂ，９６：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部
上下動用のプーリ ９５ａ，９５ｂ：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部上下動
用の丸棒（滑り軸） ９７：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部上下動用のワイヤ ９９：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部（テコ式電気マイ
クロ） １００：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部固定板 １０１：ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部のｘ−ｙ位置変
更機構の回転軸 １０２，１０４：ｘ−ｙ位置変更機構の回転軸の歯車 １０３：ｘ−ｙ位置変更機構のモータ １０５：ｘ−ｙ位置変更機構のタイミングベルト １０５ａ：ｘ−ｙ位置変更機構のタイミベルトの突起部 １０６：ｘ−ｙ位置変更機構のフォトカプラ １０７ａ，１０７ｂ：リミットスイッチ

【手続補正書】

【提出日】平成４年１０月２３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被寸法測定物に接触した際に接触圧の下
   に移動する接触子を有し、かつ、所定の距離の範囲にお
   いて前記接触子の移動距離に応じた距離情報を出力する
   第１の距離情報検出部と、 該第１の距離情報検出部自体を前記所定の距離の範囲よ
   り広い範囲で移動するための移動機構と、 入力部より入力された信号及び前記第１の距離情報検出
   部の接触子が被寸法測定物に接触した際に得られる距離
   情報に基づいて、前記移動機構の駆動・停止を制御する
   移動機構制御部と、 前記移動機構によって前記第１の距離情報検出部を移動
   させた際の、該検出部自体のある特定位置からの移動距
   離を、距離情報として検出し出力する第２の距離情報検
   出部と、 前記第１の距離情報検出部及び第２の距離情報検出部か
   ら出力された各距離情報に基づいて、前記被寸法測定物
   の寸法を算出する演算部とを具えたことを特徴とする寸
   法測定装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の寸法測定装置におい
   て、 前記入力部、移動機構制御部及び移動機構を用い前記第
   １の距離情報検出部を任意の複数の位置に順次に移動さ
   せた際に前記第２の距離情報検出部で検出される距離情
   報を軌跡として記憶するための軌跡情報記憶部と、 該軌跡情報記憶部に記憶させた情報に基づいて前記移動
   機構を駆動すると共に前記第１の距離情報検出部の接触
   子が被寸法測定物に接触した際に得られる距離情報に応
   じ前記移動機構を停止する第２の移動機構制御部とをさ
   らに具えたことを特徴とする寸法測定装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の寸法測定装置におい
   て、 前記軌跡情報記憶部に記憶させた軌跡情報を所定量シフ
   トさせ該シフトさせた軌跡情報を前記第２の移動機構制
   御部に出力する軌跡情報シフト部をさらに具えたことを
   特徴とする寸法測定装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項に記載の寸
   法測定装置を用いて構成される三次元寸法測定装置であ
   って、 前記第１の距離情報検出部を、ｘ方向及びｙ方向に共通
   のｘ−ｙ用第１の距離情報検出部と、ｚ方向用第１の距
   離情報検出部とで構成し、 前記移動機構をｘ方向用移動機構、ｙ方向用移動機構及
   びｚ方向用移動機構で構成し、 前記第２の距離情報検出部をｘ方向用第２の距離情報検
   出部、ｙ方向用第２の距離情報検出部及びｚ方向用第２
   の距離情報検出部で構成し、 前記ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部の接触子の移動方向
   がｘ方向に平行になるよう又はｙ方向に平行になるよう
   に該ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部の位置を変更するた
   めのｘ−ｙ位置変更機構を具え、 前記ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部及びｘ−ｙ位置変更
   機構を前記ｘ方向用移動機構及びｙ方向用移動機構の一
   方に設置し、該一方の移動機構は他方の移動機構に設置
   してあることを特徴とする三次元寸法測定装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の三次元寸法測定装置に
   おいて、 前記ｘ−ｙ用第１の距離情報検出部及び前記ｚ方向用第
   １の距離情報検出部のうちのいずれか一方を被寸法測定
   物に接触させるとき他方の検出部を一方の検出部の動作
   に支障のない位置に移動させるための退避機構を具えた
   ことを特徴とする三次元寸法測定装置。