JPH05253475A - 脱臭剤 - Google Patents
脱臭剤Info
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- JPH05253475A JPH05253475A JP4087991A JP8799192A JPH05253475A JP H05253475 A JPH05253475 A JP H05253475A JP 4087991 A JP4087991 A JP 4087991A JP 8799192 A JP8799192 A JP 8799192A JP H05253475 A JPH05253475 A JP H05253475A
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- Japan
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- acid
- solid acid
- deodorant
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- Treating Waste Gases (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 悪臭物質、特にアンモニア、アミン類に対し
優れた吸着能を示し、使用後も容易に再生でき、繰返し
使用できる脱臭剤の提供。 【構成】 チタン、ジルコン、錫等の周期律表第IV族金
属またはアルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物を
硫酸等の硫酸根含有溶液にて処理し、硫黄として０．５
〜１５重量％の硫酸根が担持され、好ましくは−１０．
６よりも強い酸強度（Ｈ0 ）を有する固体酸から成る脱
臭剤。
優れた吸着能を示し、使用後も容易に再生でき、繰返し
使用できる脱臭剤の提供。 【構成】 チタン、ジルコン、錫等の周期律表第IV族金
属またはアルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物を
硫酸等の硫酸根含有溶液にて処理し、硫黄として０．５
〜１５重量％の硫酸根が担持され、好ましくは−１０．
６よりも強い酸強度（Ｈ0 ）を有する固体酸から成る脱
臭剤。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は悪臭物質、特にアンモニ
ア、アミン等窒素化合物を有効に除去する脱臭剤に関す
る。
ア、アミン等窒素化合物を有効に除去する脱臭剤に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】最近、水産、畜産、肥料、農薬、食品、
化学等の工場および下水処理などの工場、事業場の他、
都市内部の食堂、ビルピット等、さらには自動車内、ト
イレ等の生活圏内など悪臭源は極めて多く、多様化して
おり、悪臭公害が問題となっている。このため、悪臭防
止技術の開発および普及促進が急がれている。
化学等の工場および下水処理などの工場、事業場の他、
都市内部の食堂、ビルピット等、さらには自動車内、ト
イレ等の生活圏内など悪臭源は極めて多く、多様化して
おり、悪臭公害が問題となっている。このため、悪臭防
止技術の開発および普及促進が急がれている。
【０００３】悪臭防止技術の１つとして、悪臭物質を吸
着除去する吸着法が知られており、活性炭およびイオン
交換樹脂等が塗装工場、印刷工場、メッキ工場などで脱
臭剤として使用されている。活性炭はエチレン等のオレ
フィン類、アルコール類、ベンゼン等の有機溶剤、硫化
水素、メルカプタン等に対して優れた吸着効果を示すた
め、適用分野は広い。しかしながら、アンモニア、アミ
ン類に対しては吸着能力が劣る欠点がある。一方、イオ
ン交換樹脂も硫化水素やアンモニア等の広い範囲の臭気
物質に対して吸着効果を示すものの、高価であることお
よび再生に時間を要するなどの欠点がある（「ＰＰＭ」
１９９１／１，８頁）。
着除去する吸着法が知られており、活性炭およびイオン
交換樹脂等が塗装工場、印刷工場、メッキ工場などで脱
臭剤として使用されている。活性炭はエチレン等のオレ
フィン類、アルコール類、ベンゼン等の有機溶剤、硫化
水素、メルカプタン等に対して優れた吸着効果を示すた
め、適用分野は広い。しかしながら、アンモニア、アミ
ン類に対しては吸着能力が劣る欠点がある。一方、イオ
ン交換樹脂も硫化水素やアンモニア等の広い範囲の臭気
物質に対して吸着効果を示すものの、高価であることお
よび再生に時間を要するなどの欠点がある（「ＰＰＭ」
１９９１／１，８頁）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消したもので、本発明の目的は悪臭物質、特にアン
モニア等の窒素化合物の除去に優れた効果を示し、かつ
再生が容易で安価な脱臭剤を提供することにある。
を解消したもので、本発明の目的は悪臭物質、特にアン
モニア等の窒素化合物の除去に優れた効果を示し、かつ
再生が容易で安価な脱臭剤を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、窒素化合
物等の悪臭物質の除去効果が高く、再生が容易で安価な
脱臭方法を研究した結果、周期律表第IV族金属またはア
ルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物に硫酸根含有
溶液を担持処理して製造した固体酸がアンモニア、アミ
ン類等の窒素化合物に対し優れた吸着能を示し、かつ使
用後も空気中で焼成するだけで容易に再生できることを
見い出し本発明に至った。
物等の悪臭物質の除去効果が高く、再生が容易で安価な
脱臭方法を研究した結果、周期律表第IV族金属またはア
ルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物に硫酸根含有
溶液を担持処理して製造した固体酸がアンモニア、アミ
ン類等の窒素化合物に対し優れた吸着能を示し、かつ使
用後も空気中で焼成するだけで容易に再生できることを
見い出し本発明に至った。
【０００６】すなわち、本発明は、周期律表第IV族金属
またはアルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物から
なる担体を硫酸根含有溶液にて処理し、硫黄として０．
５〜１５重量％の硫酸根を担持した固体酸から成る脱臭
剤である。
またはアルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物から
なる担体を硫酸根含有溶液にて処理し、硫黄として０．
５〜１５重量％の硫酸根を担持した固体酸から成る脱臭
剤である。
【０００７】本発明で使用する固体酸の担体成分である
金属は具体的には周期律表第IV族金属であるＳｎ，Ｐ
ｂ，Ｔｉ，Ｚｒ，ＨｆおよびＡｌ，Ｆｅの少くとも１種
であるが、特に、Ｓｎ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｆｅが好ま
しい。また脱臭剤としての活性を損なわない限り、これ
らの金属の他に、少量のその他の金属との複合酸化物や
複合水酸化物として使用することもできるが、一般にそ
の他の金属との複合酸化物や複合水酸化物から固体酸を
製造した場合、固体酸の酸強度が弱くなる傾向があり、
そのため充分な活性が得られない場合が多い。例えばシ
リカ−アルミナあるいはシリカ−チタニア系担体に硫酸
根を担持させた固体酸では高い脱臭効果が得られない。
金属は具体的には周期律表第IV族金属であるＳｎ，Ｐ
ｂ，Ｔｉ，Ｚｒ，ＨｆおよびＡｌ，Ｆｅの少くとも１種
であるが、特に、Ｓｎ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｆｅが好ま
しい。また脱臭剤としての活性を損なわない限り、これ
らの金属の他に、少量のその他の金属との複合酸化物や
複合水酸化物として使用することもできるが、一般にそ
の他の金属との複合酸化物や複合水酸化物から固体酸を
製造した場合、固体酸の酸強度が弱くなる傾向があり、
そのため充分な活性が得られない場合が多い。例えばシ
リカ−アルミナあるいはシリカ−チタニア系担体に硫酸
根を担持させた固体酸では高い脱臭効果が得られない。
【０００８】これらの金属の水酸化物、酸化物は該金属
の化合物にアンモニア水等のアルカリを添加して水酸化
物の沈澱を生成させ、乾燥する方法、金属化合物の熱分
解による酸化物の生成など、通常用いられる方法によっ
て得ることができる。金属酸化物、水酸化物の原料とな
る金属化合物としては塩化物、酸塩化物、硫酸塩、硝酸
塩等の金属塩や金属アルコラート等を用いることができ
る。
の化合物にアンモニア水等のアルカリを添加して水酸化
物の沈澱を生成させ、乾燥する方法、金属化合物の熱分
解による酸化物の生成など、通常用いられる方法によっ
て得ることができる。金属酸化物、水酸化物の原料とな
る金属化合物としては塩化物、酸塩化物、硫酸塩、硝酸
塩等の金属塩や金属アルコラート等を用いることができ
る。
【０００９】本発明で用いる硫酸根含有溶液としては硫
酸、アミンの硫酸塩等を水あるいはアルコールやカルボ
ン酸等の有機溶媒に溶解したものを用いることができる
が、特に硫酸水溶液が好ましい。
酸、アミンの硫酸塩等を水あるいはアルコールやカルボ
ン酸等の有機溶媒に溶解したものを用いることができる
が、特に硫酸水溶液が好ましい。
【００１０】硫酸根は固体酸当たり、硫黄として０．５
〜１５重量％好ましくは１〜１２重量％担持させる。担
持量が０．５重量％以下では酸が不足して活性が得られ
ず、また１５重量％以上では比表面積が著しく小さくな
り活性を低下させる。担体である水酸化物もしくは酸化
物への硫酸根の担持は担体への硫酸根含有溶液の散布、
流下などの方法、あるいは適当な濃度、例えば０．１〜
５モル濃度の硫酸根含有溶液に浸漬する方法等が採用で
きる。
〜１５重量％好ましくは１〜１２重量％担持させる。担
持量が０．５重量％以下では酸が不足して活性が得られ
ず、また１５重量％以上では比表面積が著しく小さくな
り活性を低下させる。担体である水酸化物もしくは酸化
物への硫酸根の担持は担体への硫酸根含有溶液の散布、
流下などの方法、あるいは適当な濃度、例えば０．１〜
５モル濃度の硫酸根含有溶液に浸漬する方法等が採用で
きる。
【００１１】このようにして調製した硫酸根担持物は３
０〜１５０℃で乾燥処理して使用することができる。ま
た次いで、これをさらに焼成処理したものも脱臭剤とし
て使用することもできる。焼成処理したものは強度が増
し、取扱が便利である。焼成温度は８００℃以下の温度
であれば本発明の効果を損なわない。
０〜１５０℃で乾燥処理して使用することができる。ま
た次いで、これをさらに焼成処理したものも脱臭剤とし
て使用することもできる。焼成処理したものは強度が増
し、取扱が便利である。焼成温度は８００℃以下の温度
であれば本発明の効果を損なわない。
【００１２】また本発明の脱臭剤は使用目的に応じ、適
当な大きさおよび形状に造粒または錠剤化して使用する
ことができる。また脱臭効果を極端に低下させない限度
において造粒助剤、増量剤その他の添加剤を添加しても
差し支えない。
当な大きさおよび形状に造粒または錠剤化して使用する
ことができる。また脱臭効果を極端に低下させない限度
において造粒助剤、増量剤その他の添加剤を添加しても
差し支えない。
【００１３】本発明による硫酸根担持固体酸は強い酸強
度を有しており、このことが本発明の固体酸が優れた脱
臭効果を有する理由の１つとなっている。本発明で用い
る固体酸は濃硫酸の酸強度（−１１．９）よりも強い酸
強度を有する、いわゆる超強酸であることが望ましい。
このような強い酸強度は本発明で使用する特定の金属の
水酸化物もしくは酸化物に、特定量の硫酸根を担持する
ことにより達成することができる。なお固体酸における
酸強度は、例えば特公昭５９−６１８１号公報等に記載
されているような一般に用いられている方法で測定し
た。固体酸が白色の場合は固体酸をベンゼン溶媒中に浸
漬し、それに解離定数（ｐＫa ）が既知の酸塩基変換指
示薬のベンゼン溶液を添加し、触媒表面上の指示薬の酸
性色への変色を観察し、酸性色に変色するｐＫａの最も
小さい値を酸強度（Ｈ0 ）とする。なお使用した指示薬
は次のとおりである。
度を有しており、このことが本発明の固体酸が優れた脱
臭効果を有する理由の１つとなっている。本発明で用い
る固体酸は濃硫酸の酸強度（−１１．９）よりも強い酸
強度を有する、いわゆる超強酸であることが望ましい。
このような強い酸強度は本発明で使用する特定の金属の
水酸化物もしくは酸化物に、特定量の硫酸根を担持する
ことにより達成することができる。なお固体酸における
酸強度は、例えば特公昭５９−６１８１号公報等に記載
されているような一般に用いられている方法で測定し
た。固体酸が白色の場合は固体酸をベンゼン溶媒中に浸
漬し、それに解離定数（ｐＫa ）が既知の酸塩基変換指
示薬のベンゼン溶液を添加し、触媒表面上の指示薬の酸
性色への変色を観察し、酸性色に変色するｐＫａの最も
小さい値を酸強度（Ｈ0 ）とする。なお使用した指示薬
は次のとおりである。
【００１４】 指 示 薬 ｐＫａ値 塩基性色 酸性色 ジシナマルアセトン −3.0 黄 赤 アントラキノン −8.2 無色 黄 ｐ−ニトロベンゼン −11.4 無色 黄 ｍ−ニトロトルエン −12.0 無色 黄 ｐ−ニトロクロロベンゼン −12.7 無色 黄 ｍ−ニトロクロロベンゼン −13.2 無色 黄 ２、４ジニトロトルエン −13.7 無色 黄 ２、４ジニトロフルオロベンゼン −14.5 無色 黄
【００１５】又、固体酸が着色している場合は以下の方
法により行なった。まず、ガスの排気及び導入ラインを
有する容器（セル）に触媒を入れ、空気を充分に排気し
た後、アンモニアガスを導入してアンモニアを触媒に吸
着させる。次にこのアンモニアガスを排気しながら昇温
していき、各温度における排気されるアンモニアガスを
液体窒素でトラップし触媒重量あたりのトラップアンモ
ニア量を測定し、別に酸強度既知の触媒にて作成した検
量線との対比により酸強度（Ｈ0 ）を算出する。本発明
の脱臭剤は超強酸またはこれに近い強い酸性物質である
が固体酸であるため、腐食等のおそれがなく、取り扱い
はきわめて容易である。
法により行なった。まず、ガスの排気及び導入ラインを
有する容器（セル）に触媒を入れ、空気を充分に排気し
た後、アンモニアガスを導入してアンモニアを触媒に吸
着させる。次にこのアンモニアガスを排気しながら昇温
していき、各温度における排気されるアンモニアガスを
液体窒素でトラップし触媒重量あたりのトラップアンモ
ニア量を測定し、別に酸強度既知の触媒にて作成した検
量線との対比により酸強度（Ｈ0 ）を算出する。本発明
の脱臭剤は超強酸またはこれに近い強い酸性物質である
が固体酸であるため、腐食等のおそれがなく、取り扱い
はきわめて容易である。
【００１６】窒素化合物等の悪臭物質の吸着量が飽和量
に達した後の固体酸は再生して活性を復活させ、繰り返
し使用することができる。脱臭剤の再生は、単に空気中
１００℃〜８００℃、好ましくは４００〜６００℃の温
度で処理することにより容易に行なうことができ、吸着
された窒素化合物は固体酸から分解、脱離される。再生
温度が１００℃以下では吸着された窒素化合物が十分脱
離されず、また８００℃以上では担体上の硫酸根が脱離
されてしまう。
に達した後の固体酸は再生して活性を復活させ、繰り返
し使用することができる。脱臭剤の再生は、単に空気中
１００℃〜８００℃、好ましくは４００〜６００℃の温
度で処理することにより容易に行なうことができ、吸着
された窒素化合物は固体酸から分解、脱離される。再生
温度が１００℃以下では吸着された窒素化合物が十分脱
離されず、また８００℃以上では担体上の硫酸根が脱離
されてしまう。
【００１７】以上のようにして、本発明で得られる硫酸
根含有固体酸を使用することにより、窒素化合物等の悪
臭物質が有効に除去される。
根含有固体酸を使用することにより、窒素化合物等の悪
臭物質が有効に除去される。
【００１８】
【実施例】製造例１ 酸塩化ジルコニウム（ＺｒＯＣｌ2 ・８Ｈ2 Ｏ）０．５
モル（１６２ｇ）を室温下水１Ｌ中に撹拌しながら徐々
に加え全量溶解させた後、アンモニア水（２８％アンモ
ニア水３００ｍＬに１．５Ｌの水を加えて希釈したも
の）１．８Ｌを徐々に添加して水酸化ジルコニウムの沈
殿を生成させた。次に撹拌を止め一夜放置した後、生成
した水酸化ジルコニウムを濾過し、続いて純水で十分洗
浄した。得られた水酸化ジルコニウムを１００℃で２時
間乾燥し、結晶水がほぼ全量除去された約７０ｇの乾燥
物を得た。次いで、この乾燥物に９８ｗｔ％硫酸３２ｇ
を散布して硫黄として１０．０重量％の硫酸を担持含有
する固体酸触媒Ａを得た。
モル（１６２ｇ）を室温下水１Ｌ中に撹拌しながら徐々
に加え全量溶解させた後、アンモニア水（２８％アンモ
ニア水３００ｍＬに１．５Ｌの水を加えて希釈したも
の）１．８Ｌを徐々に添加して水酸化ジルコニウムの沈
殿を生成させた。次に撹拌を止め一夜放置した後、生成
した水酸化ジルコニウムを濾過し、続いて純水で十分洗
浄した。得られた水酸化ジルコニウムを１００℃で２時
間乾燥し、結晶水がほぼ全量除去された約７０ｇの乾燥
物を得た。次いで、この乾燥物に９８ｗｔ％硫酸３２ｇ
を散布して硫黄として１０．０重量％の硫酸を担持含有
する固体酸触媒Ａを得た。
【００１９】製造例２ 水酸化ジルコニウム（ＺｒＯ（ＯＨ）2 ・１１．８Ｈ2
Ｏ）粉末１００ｇを１００℃で３０分間乾燥し、結晶水
の一部１６ｇを揮発除去し、次いでこの乾燥物に７５ｗ
ｔ％硫酸１６ｇを散布して固体酸触媒Ｂを得た。
Ｏ）粉末１００ｇを１００℃で３０分間乾燥し、結晶水
の一部１６ｇを揮発除去し、次いでこの乾燥物に７５ｗ
ｔ％硫酸１６ｇを散布して固体酸触媒Ｂを得た。
【００２０】製造例３ 製造例２で用いた原料と同じ水酸化ジルコニウム粉末１
００ｇを８０℃で６時間乾燥し、水分を５４ｇ揮発除去
し、次いでこの乾燥物に１２ｗｔ％硫酸５０ｇを散布し
て固体酸触媒Ｃを得た。
００ｇを８０℃で６時間乾燥し、水分を５４ｇ揮発除去
し、次いでこの乾燥物に１２ｗｔ％硫酸５０ｇを散布し
て固体酸触媒Ｃを得た。
【００２１】製造例４〜７ 製造例２において水酸化ジルコニウムの代わりに表１に
記載の金属化合物を用い、製造例２と同様の方法で各種
の固体酸を製造し固体酸触媒Ｄ〜Ｇを得た。これらの固
体酸の酸強度を測定し、表１に示した。
記載の金属化合物を用い、製造例２と同様の方法で各種
の固体酸を製造し固体酸触媒Ｄ〜Ｇを得た。これらの固
体酸の酸強度を測定し、表１に示した。
【００２２】
【表１】
【００２３】実施例１〜７ 室温下、２８％アンモニア水１２０ｍｌを含有４する１
Ｌの空気中（空気中のＮＨ3 濃度２．２Ｖｏｌ％）に表
１の固体酸Ａ〜Ｇ（粉末状、平均粒径30μｍ）をそれぞ
れ１ｇ入れ１０分間良く混合した後、北川式検知管によ
りガス中のアンモニア濃度を測定した。結果を表２に示
す。
Ｌの空気中（空気中のＮＨ3 濃度２．２Ｖｏｌ％）に表
１の固体酸Ａ〜Ｇ（粉末状、平均粒径30μｍ）をそれぞ
れ１ｇ入れ１０分間良く混合した後、北川式検知管によ
りガス中のアンモニア濃度を測定した。結果を表２に示
す。
【００２４】実施例８ 実施例６で0.5 時間使用した後の固体酸を取出し、空気
中、５００℃で３時間焼成した後、実施例６と同様の条
件でアンモニアを吸着させた。再生を行なわなかったも
のによる結果とあわせて表３に示す。アンモニアの吸着
量が飽和量に達し、アンモニア吸着活性の低下したもの
でも再生により実施例６で使用した固体酸と同じレベル
の吸着活性を示した。
中、５００℃で３時間焼成した後、実施例６と同様の条
件でアンモニアを吸着させた。再生を行なわなかったも
のによる結果とあわせて表３に示す。アンモニアの吸着
量が飽和量に達し、アンモニア吸着活性の低下したもの
でも再生により実施例６で使用した固体酸と同じレベル
の吸着活性を示した。
【００２５】比較例１ 固体酸の代りに脱臭剤として活性炭（関東化学（株）
製、平均粒径20μｍ）を用い、実施例１〜７と同様にし
てアンモニア濃度の変化を調べた。結果を表２に示す。
製、平均粒径20μｍ）を用い、実施例１〜７と同様にし
てアンモニア濃度の変化を調べた。結果を表２に示す。
【００２６】比較例２ 表１のシリカ−アルミナを担体とする固体酸Ｈを使用
し、実施例１〜７と同様にしてアンモニア濃度の変化を
調べた。結果を表２に示す。
し、実施例１〜７と同様にしてアンモニア濃度の変化を
調べた。結果を表２に示す。
【００２７】
【表２】
【００２８】
【表３】
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、周期律表第IV族金属ま
たは、アルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物に硫
酸根含有溶液を特定量担持処理して得られた固体酸がア
ンモニア、アミン類等の悪臭物質に対し優れた吸着能を
示し、使用後も空気中で焼成することにより容易に再生
でき、繰返し使用できる。この脱臭剤は取り扱いも容易
であり、安価であるため、各種工場等での悪臭除去に広
く活用できる。
たは、アルミニウム、鉄の水酸化物もしくは酸化物に硫
酸根含有溶液を特定量担持処理して得られた固体酸がア
ンモニア、アミン類等の悪臭物質に対し優れた吸着能を
示し、使用後も空気中で焼成することにより容易に再生
でき、繰返し使用できる。この脱臭剤は取り扱いも容易
であり、安価であるため、各種工場等での悪臭除去に広
く活用できる。
Claims (2)
- 【請求項１】 周期律表第IV族金属またはアルミニウ
ム、鉄の水酸化物もしくは酸化物を硫酸根含有溶液にて
処理し、硫黄として０．５〜１５重量％の硫酸根が担持
された固体酸から成る脱臭剤。 - 【請求項２】 −１１．９よりも強い酸強度（Ｈ0 ）を
有する請求項１記載の固体酸から成る脱臭剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4087991A JPH05253475A (ja) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | 脱臭剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4087991A JPH05253475A (ja) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | 脱臭剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253475A true JPH05253475A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=13930283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4087991A Pending JPH05253475A (ja) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | 脱臭剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05253475A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007275467A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Sharp Corp | 気体清浄機 |
| JP2011504156A (ja) * | 2007-09-21 | 2011-02-03 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 四フッ化ケイ素の精製方法 |
-
1992
- 1992-03-12 JP JP4087991A patent/JPH05253475A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007275467A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Sharp Corp | 気体清浄機 |
| JP4668114B2 (ja) * | 2006-04-11 | 2011-04-13 | シャープ株式会社 | 気体清浄機 |
| JP2011504156A (ja) * | 2007-09-21 | 2011-02-03 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 四フッ化ケイ素の精製方法 |
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