JPH0525179B2 - - Google Patents
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- JPH0525179B2 JPH0525179B2 JP14249585A JP14249585A JPH0525179B2 JP H0525179 B2 JPH0525179 B2 JP H0525179B2 JP 14249585 A JP14249585 A JP 14249585A JP 14249585 A JP14249585 A JP 14249585A JP H0525179 B2 JPH0525179 B2 JP H0525179B2
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- JP
- Japan
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- wafer boat
- arm
- support part
- process tube
- support
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、半導体製造工程中ウエーハの不純
物拡散処理や酸化処理等をする場合に、プロセス
チユーブの内部へウエーハボートをプロセスチユ
ーブ内壁に接触させずにプロセスチユーブ内の空
間を移動して搬入するためのいわゆるソフトラン
デイング方式のウエーハボート搬送用具の改良に
関するものである。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention is applicable to a semiconductor manufacturing process in which a wafer boat is not brought into contact with the inner wall of the process tube when performing impurity diffusion treatment, oxidation treatment, etc. on a wafer. The present invention relates to an improvement of a so-called soft landing type wafer boat transport tool for moving and loading a wafer through a space within a process tube.
従来技術
この種のウエーハボート搬送用具は種々の形式
のものが提案されてきており、たとえば石英ガラ
スやSiCにより作られている。Prior Art Various types of wafer boat transport tools of this type have been proposed, and are made of quartz glass or SiC, for example.
従来の長尺の搬送用具では、先端側にあるウエ
ーハボートの支持部が最も熱的に損傷を受ける。 In conventional long conveyance tools, the support portion of the wafer boat at the leading end is most thermally damaged.
発明が解決しようとする問題点
したがつて、従来の搬送用具では支持部が損傷
すると搬送用具全体が使用できなくなり、経済的
に問題がある。Problems to be Solved by the Invention Accordingly, in conventional conveyance tools, if the support section is damaged, the entire conveyance tool becomes unusable, which poses an economical problem.
発明の目的
この発明は、上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、支持部が損傷しても搬送用具全
体が使用できなくなることはなく、経済的に使う
ことができるウエーハボート搬送用具を提供する
ことを目的とする。Purpose of the Invention The present invention was made to solve the above problems, and provides a wafer boat transport tool that can be used economically without making the entire transport tool unusable even if the support part is damaged. The purpose is to provide
発明の要旨
この目的を達成するためにこの発明は、プロセ
スチユーブ内へウエーハボートを搬入する際に使
用するウエーハボート搬送用具において、ウエー
ハボート用支持部と、この支持部に接続されるア
ームとを有し、支持部はアームに着脱自在である
ことを特徴とするウエーハボート搬送用具を要旨
としている。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve this object, the present invention provides a wafer boat transport tool used when carrying a wafer boat into a process tube, which includes a wafer boat support part and an arm connected to the support part. The gist of the present invention is a wafer boat transport tool, which has a support section that is detachably attached to an arm.
問題点を解決するための手段
ウエーハボート２をプロセスチユーブ８内へ搬
入する際に使用するウエーハボート搬送用具は、
ウエーハボート用支持部３とこの支持部３に接続
されるアーム１を有する。そして支持部３はアー
ム１に対して着脱自在である。Means for solving the problem The wafer boat transport tool used when carrying the wafer boat 2 into the process tube 8 is as follows:
It has a wafer boat support part 3 and an arm 1 connected to this support part 3. The support portion 3 is detachably attached to the arm 1.
作 用
最も熱的に損傷を受ける支持部３は、アーム１
より取り外して定期的に交換ができる。Effect The support part 3 that is most thermally damaged is the arm 1.
It can be removed and replaced periodically.
実施例 以下、この発明を実施例に基づいて説明する。Example Hereinafter, the present invention will be explained based on examples.
第１図は、この発明のウエーハボート搬送用具
の１実施例を示している。ウエーハボート搬送用
具は、フオーク状のアーム１と、ウエーハボート
２の支持部３を有している。この支持部３の一端
４には、アーム１の一端５が着脱自在に嵌め込ま
れている。 FIG. 1 shows one embodiment of the wafer boat conveyance tool of the present invention. The wafer boat transport tool has a fork-shaped arm 1 and a support part 3 for a wafer boat 2. One end 5 of the arm 1 is removably fitted into one end 4 of the support portion 3.
アーム１は石英材質たとえば石英ガラス材質あ
るいはSiC材質などにより作られている。アーム
１は、管状もしくは棒状であり、実施例では円管
状のものである。なおアーム１は管状や棒状に限
らず断面が多角形状の中実あるいは中空のもので
あつてもよい。 The arm 1 is made of quartz material, such as quartz glass material or SiC material. The arm 1 is tubular or rod-shaped, and in the embodiment is circular. Note that the arm 1 is not limited to a tubular or rod shape, but may be solid or hollow with a polygonal cross section.
支持部３は、石英材質たとえば石英ガラス材質
あるいはSiC材質などにより作られている。支持
部３の一端４は、アーム１の一端５に合う形状と
なつている。すなわち一端４は、円管状あるいは
中空部を有する多角形状となつている。 The support portion 3 is made of a quartz material, such as a quartz glass material or a SiC material. One end 4 of the support portion 3 is shaped to match one end 5 of the arm 1. That is, one end 4 has a circular tubular shape or a polygonal shape having a hollow portion.
支持部３のボート設置部分６は、ウエーハボー
ト２を支持できるようになつている。ウエーハボ
ート２は、従来から使われているものと同じで、
たとえば石英ガラス材質やSiC材質などにより作
られている。このウエーハボート２は脚９を四隅
に有しており、中にはたとえばSiの多数のウエー
ハ２ａが配置されている。 The boat installation portion 6 of the support portion 3 is adapted to support the wafer boat 2. Wafer Boat 2 is the same as the one used conventionally,
For example, they are made of quartz glass or SiC materials. This wafer boat 2 has legs 9 at the four corners, and a large number of wafers 2a of Si, for example, are placed therein.
アーム１の他端７は、搬送用具の搬送装置に固
定されている。従来公知の搬送装置としては、た
とえばオートローデイング装置が採用できる。こ
のオートローデイング装置は、ウエーハボート２
を支持部３に載せて、ウエーハボート２をプロセ
スチユーブ８の内壁に接触しないようにプロセス
チユーブ８内に出し入れできるいわゆるソフトラ
ンデイング機能を有しているものである。このオ
ートローデイング装置は、この発明には直接関係
しないので、ここでは図示およびその詳細な説明
を省略する。 The other end 7 of the arm 1 is fixed to a transport device of a transport tool. As a conventionally known conveyance device, for example, an autoloading device can be employed. This autoloading device is compatible with wafer boat 2.
The wafer boat 2 has a so-called soft landing function that allows the wafer boat 2 to be placed on the support section 3 and taken in and out of the process tube 8 without coming into contact with the inner wall of the process tube 8. Since this autoloading device is not directly related to the present invention, illustration and detailed description thereof will be omitted here.
プロセスチユーブ８は、石英ガラス材質あるい
はSi−SiC材質などからなる。プロセスチユーブ
８の外側には図示しないヒーターが設けられてお
り、このヒーターによりプロセスチユーブ８内を
加熱できるようになつている。このプロセスチユ
ーブ８内には、ウエーハ２ａを載せたウエーハボ
ート２を入れて、たとえばウエーハ２ａの不純物
拡散処理や酸化処理などを行なえるものである。 The process tube 8 is made of quartz glass material, Si-SiC material, or the like. A heater (not shown) is provided outside the process tube 8, and the inside of the process tube 8 can be heated by this heater. A wafer boat 2 carrying wafers 2a is placed in the process tube 8, and the wafers 2a can be subjected to impurity diffusion treatment, oxidation treatment, etc., for example.
実際に作業する際には、オートローデイング装
置により第１図で示すように一体となつたアーム
１および支持部３をプロセスチユーブ８内に挿入
する。このとき好ましくはアーム１および支持部
３の中心が、ほぼプロセスチユーブ８の中心に位
置するようにしてアーム１および支持部３を挿入
するのが望ましい。所定位置まで挿入されたウエ
ーハボート２は、支持部３から降ろされたプロセ
スチユーブ８内に置かれる。そして、ウエーハボ
ート２の各ウエーハ２ａは、種々の処理を受け
る。 During actual work, the arm 1 and the supporting part 3, which are integrated as shown in FIG. 1, are inserted into the process tube 8 using an autoloading device. At this time, it is preferable to insert the arm 1 and the support part 3 so that the centers of the arm 1 and the support part 3 are located approximately at the center of the process tube 8 . The wafer boat 2 inserted to a predetermined position is lowered from the support section 3 and placed in the process tube 8 . Each wafer 2a of the wafer boat 2 is then subjected to various treatments.
この作業が繰り返されると、ウエーハボート搬
送用具のうちで、支持部３が最も熱的に損傷を受
ける。そこで、オペレータは支持部３の損傷度合
を定期的に検査して、所定の損傷度合まで達した
場合に支持部３をアーム１から取り外して、新し
い支持部３をアーム１に取り付けて再び作業を続
けることができる。 If this operation is repeated, the support section 3 will be the most thermally damaged among the wafer boat transport tools. Therefore, the operator periodically inspects the degree of damage to the support part 3, and when the damage reaches a predetermined level, removes the support part 3 from the arm 1, attaches a new support part 3 to the arm 1, and restarts the operation. I can continue.
ところでこの発明は、第１図に示す実施例に限
定されるものではない。たとえば、支持部３に対
してウエーハボート２を固定するようにしてもよ
い。また、アーム１と支持部３の一端の断面は、
任意形状にできる。 However, the present invention is not limited to the embodiment shown in FIG. For example, the wafer boat 2 may be fixed to the support section 3. In addition, the cross section of the arm 1 and one end of the support part 3 is
Can be made into any shape.
発明の効果
以上説明したことから明らかなように、支持部
３の洗浄処理を容易に行えるばかりでなく、支持
部３をガラスにすると高純度であり、ウエハーの
汚染がほとんどなく、SiC材質は高純度処理をし
ても不純物が抜けにくい。しかも、最も損傷を受
ける支持部をアームから取り外して定期的に交換
することにより、アームをくり返して使用するこ
とができるので、従来のように２〜３ｍの長さの
搬送用具全体が使用できなくなるということはな
く、より経済的に使用（ランニング）できる。Effects of the Invention As is clear from the above explanation, not only can the cleaning treatment of the support part 3 be easily performed, but also the support part 3 made of glass has high purity, causing almost no contamination of the wafer, and the SiC material is of high purity. Even after purification treatment, impurities are difficult to remove. Moreover, by removing the support part that is most damaged from the arm and replacing it regularly, the arm can be used repeatedly, making it no longer possible to use the entire 2-3 meter long transport device as in the past. This is not the case, and it can be used (running) more economically.
第１図はこの発明のウエーハボート搬送用具を
使つてウエーハボートをプロセスチユーブ内に入
れる状態を示す断面図である。
１……アーム、２……ウエーハボート、３……
支持部、８……プロセスチユーブ。
FIG. 1 is a sectional view showing a state in which a wafer boat is inserted into a process tube using the wafer boat transport tool of the present invention. 1...Arm, 2...Wafer boat, 3...
Support part, 8...process tube.
Claims (1)
する際に使用するウエーハボート搬送用具におい
て、ウエーハボート用支持部と、この支持部に接
続されるアームとを有し、支持部はアームに着脱
自在であることを特徴とするウエーハボート搬送
用具。 ２ 前記支持部は、石英材質である特許請求の範
囲第１項記載のウエーハボート搬送用具。 ３ 前記支持部は、SiC材質である特許請求の範
囲第１項記載のウエーハボート搬送用具。[Scope of Claims] 1. A wafer boat transport tool used when carrying a wafer boat into a process tube, which has a wafer boat support part and an arm connected to the support part, and the support part has an arm connected to the support part. A wafer boat transport tool characterized by being detachable from the wafer boat. 2. The wafer boat transport tool according to claim 1, wherein the support portion is made of quartz material. 3. The wafer boat transport tool according to claim 1, wherein the support portion is made of SiC material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14249585A JPS624336A (en) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | Wafer boat transporting jig |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14249585A JPS624336A (en) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | Wafer boat transporting jig |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624336A JPS624336A (en) | 1987-01-10 |
| JPH0525179B2 true JPH0525179B2 (en) | 1993-04-12 |
Family
ID=15316655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14249585A Granted JPS624336A (en) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | Wafer boat transporting jig |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS624336A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63132299U (en) * | 1987-02-20 | 1988-08-30 |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP14249585A patent/JPS624336A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS624336A (en) | 1987-01-10 |
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