JPH05251322A - 電子ビ―ム描画用カセット及びそれへのウエハ固定法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 平らな基準面を有する外側面と平らな上面と
を有する環板状のカセット本体と、上記カセット本体内
にそれと並置して配され且つ平らなウエハ載置用面と、
そのウエハ載置用面上に植立された位置決め用ピンを有
する板状のウエハステ―ジとを有する電子ビ―ム描画用
カセットにおいて、ウエハを、電子ビ―ム描画用カセッ
トに、カセット本体の基準面による位置決めをしている
状態に装架するのを、容易ならしめるようにする。 【構成】 上記電子ビ―ム描画用カセットにおいて、上
記カセット本体に、上記ウエハステ―ジが、上記位置決
め用ピンを上記カセット本体に対して上記基準面による
位置決めをし且つ上記ウエハ載置用面上に載置されるウ
エハの上面を上記カセット本体の上面より高い高さ位置
にあらしめる状態に、板ばねを介して、固定して取付け
られ、上記カセット本体の上面上に、ウエハ固定用板
が、上記ウエハステ―ジのウエハ載置用面上に載置され
るウエハを上記板ばねに抗して押下げている状態で、着
脱自在に取付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハを電子ビ―ム描
画装置に装架するための電子ビ―ム描画用カセット、及
びそれへのウエハ固定法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウエハを電子ビ―ム描画用カセッ
トを用いて電子ビ―ム描画装置に装架し、そして、その
電子ビ―ム描画装置を用いてウエハへの電子ビ―ムの描
画を行う、という工程をとって、ウエハから、半導体集
積回路などを製造するのに用いる露光用マスクを形成す
ることが行われている。

【０００３】ところで、従来、上述した、ウエハを電子
ビ―ム描画装置に装架するための電子ビ―ム描画用カセ
ットとして、図８及び図９を伴って次に述べる構成を有
するものが提案されている。

【０００４】すなわち、平らな基準面１Ｓを有する外側
面１と平らな上面２と円筒面でなる内側面３とを有する
環板状のカセット本体４と、そのカセット本体４内にそ
れと並置して配され且つ平らなウエハ載置用面５とその
ウエハ載置用面５上に植立されている２つのウエハ前後
位置決め用ピン６及び７と１つのウエハ左右位置決め用
ピン８とを有するウエハステ―ジ９とを有する。

【０００５】また、カセット本体４の内側面３上に回動
自在に保持された筒部１０と、その下部に筒部１０内を
一部閉塞するように下方から着脱自在に取付けられてい
るストライプ状の板ばね１１と、筒部１０の上端面から
内方に延長している環状の鍔部１２とを有するステ―ジ
ホルダ１３とを有する。この場合、ステ―ジホルダ１３
は、連結機構１５を介して、それに連結している回転機
構（図示せず）によって、回動されるようになされてい
る。

【０００６】そして、ウエハステ―ジ９が、ステ―ジホ
ルダ１３の板ばね１１上に、ウエハステ―ジ９のウエハ
載置用面５上に載置されるウエハ１４の上面が鍔部１２
の下面に圧接するように、取付けられている。

【０００７】以上が、従来提案されている電子ビ―ム描
画用カセットの構成である。

【０００８】このような構成を有する電子ビ―ム描画用
カセットによれば、まず、カセット本体４に保持されて
いるステ―ジホルダ１３の板ばね１１を、筒部１０から
外して、カセット本体４外に外方に取出すことによっ
て、ウエハステ―ジ９をカセット本体４外に取出し、次
に、ウエハステ―ジ９のウエハ載置用面５上に、ウエハ
１４を、ウエハ前後位置決め用ピン６及び７とウエハ左
右位置決め用ピン８とを用いて位置決めして配し、次
に、ステ―ジホルダ１３の板ばね１１を、筒部１０に取
付けて、ウエハ１４の上面が鍔部１２の下面によって圧
接している状態を得る、というウエハ装架手順によっ
て、ウエハ１４を電子ビ―ム描画用カセットに装架させ
ている状態にさせることができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の電子ビ―ム描画用カセットの場合、ウエハ１４
が、電子ビ―ム描画用カセットに、上述したウエハ装架
手順によって装架されただけの状態においては、ウエハ
１４は、ステ―ジホルダ１３に対しては位置決め用ピン
６及び７、及び８による位置決めがなされているとして
も、カセット本体４に対しては基準面１Ｓによる位置決
めがなされていない。

【００１０】このため、とくに図８に示すように、ウエ
ハ１４上に予め位置決め用マ―ク１６を付しておき、そ
して、ステ―ジホルダ１３を、連結機構１５を介して、
回転機構によって、位置決め用マ―ク１６がカセット本
体４の基準面１Ｓと予定の位置及び向きになるまで回動
させることによって、カセット本体４に対する基準面１
Ｓによる位置決めを行う必要がある。

【００１１】以上のことから、上述した従来の電子ビ―
ム描画用カセットの場合、ウエハ１４を、それに予め位
置決め用マ―ク１６を付しておかない限り、電子ビ―ム
描画用カセットに、カセット本体４の基準面１Ｓによる
位置決めがされている状態に、装架させることができな
い、という欠点を有していた。

【００１２】よって、本発明は、上述した欠点のない、
新規な、電子ビ―ム描画用カセット、及びそれへのウエ
ハ固定法を提案せんとするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願第１番目の発明によ
る電子ビ―ム描画用カセットは、図８及び図９で前述し
た従来の電子ビ―ム描画用カセットの場合と同様に、平
らな基準面を有する外側面と平らな上面とを有する環板
状のカセット本体と、上記カセット本体内にそれと並置
して配され且つ平らなウエハ載置用面と、そのウエハ載
置用面上に植立された位置決め用ピンを有する板状のウ
エハステ―ジとを有する。

【００１４】しかしながら、本願第１番目の発明による
電子ビ―ム描画用カセットは、上記カセット本体に、上
記ウエハステ―ジが、上記位置決め用ピンを上記カセッ
ト本体に対して上記基準面による位置決めをし且つ上記
ウエハ載置用面上に載置されるウエハの上面を上記カセ
ット本体の上面より高い高さ位置にあらしめる状態に、
板ばねを介して、固定して取付けられ、上記カセット本
体の上面上に、ウエハ固定用板が、上記ウエハステ―ジ
のウエハ載置用面上に載置されるウエハを上記板ばねに
抗して押下げている状態で、着脱自在に取付けられてい
る。

【００１５】本願第２番目の発明による電子ビ―ム描画
用カセットは、本願第１番目の発明による電子ビ―ム描
画用カセットにおいて、上記ウエハステ―ジが、その厚
さを横切って延長しているウエハ吸着用貫通孔と、それ
に連通して上面に延長しているウエハ吸着用溝とを有す
る。

【００１６】本願第３番目の発明による電子ビ―ム描画
用カセットへのウエハ固定法は、ウエハを、本願第２番
目の発明による電子ビ―ム描画用カセットの上記ウエハ
ステ―ジのウエハ載置用面上に、上記ウエハ固定用板が
上記カセット本体から取外されている状態で、上記位置
決め用ピンを用いて位置決めして配し、次に、その状態
で、上記ウエハを、上記ウエハステ―ジのウエハ載置用
面上に、上記ウエハ吸着用貫通孔及びウエハ吸着用溝を
含んで構成された真空吸着手段を用いて、吸着固定さ
せ、次に、その状態で、上記ウエハ固定用板を、上記カ
セット本体に、上記ウエハを上記板ばねに抗して押下げ
ている状態で取付ける。

【００１７】

【作用・効果】本願第１番目の発明による電子ビ―ム描
画用カセットによれば、ウエハステ―ジが、カセット本
体に、位置決め用ピンをカセット本体に対してその基準
面による位置決めをして取付けられているので、ウエハ
を、ウエハステ―ジのウエハ載置用面上に、位置決め用
ピンによる位置決めを行って配するだけで、ウエハを、
電子ビ―ム描画用カセットに、カセット本体の基準面に
よる位置決めがされている状態に、容易に装架させるこ
とができる。

【００１８】このため、図８及び図９を伴って前述した
従来の電子ビ―ム描画用カセットの欠点を有効に回避さ
せることができる。

【００１９】また、本願第２番目の発明による電子ビ―
ム描画用カセットによれば、ウエハ吸着用貫通孔及びウ
エハ吸着用溝を含んで本願第３番目の発明による電子ビ
―ム描画用カセットへのウエハ固定法に用いる真空吸着
手段を構成することができるので、本願第３番目の発明
による電子ビ―ム描画用カセットへのウエハ固定法によ
って、ウエハを、カセット本体上に、カセット本体の基
準面による位置決めしている状態からずれることなし
に、確実に固定させることができるので、ウエハを、電
子ビ―ム描画用カセットに、カセット本体の基準面によ
る位置決めがなされている状態に、装架させるのを、容
易に行うことができる。

【００２０】さらに、本願第３番目の発明による電子ビ
―ム描画用カセットへのウエハ固定法によれば、本願第
２番目の発明による電子ビ―ム描画用カセットの場合で
述べたところから明らかなように、ウエハを、電子ビ―
ム描画用カセットに、カセット本体の基準面による位置
決めがなされている状態に、装架させるのを、容易に行
うことができる。

【００２１】

【実施例１】次に、図１〜図３を伴って、本発明による
電子ビ―ム描画用カセットの第１の実施例を述べよう。

【００２２】図１〜図３において、図８及び図９との対
応部分には同一符号を付して示す。

【００２３】図１〜図３に示す本発明による電子ビ―ム
描画用カセットは、図８及び図９で前述した従来の電子
ビ―ム描画用カセットの場合と同様に、平らな基準面１
Ｓを有する外側面１と平らな上面２と円筒面でなる内側
面３（ただし、その内側面３は必ずしも円筒面である必
要はない）とを有する環板状のカセット本体４と、その
カセット本体４内にそれと並置して配され且つ平らなウ
エハ載置用面５とそのウエハ載置用面５上に植立されて
いる２つのウエハ前後位置決め用ピン６及び７と１つの
ウエハ左右位置決め用ピン８とを有するウエハステ―ジ
９とを有する。

【００２４】しかしながら、本発明による電子ビ―ム描
画用カセットの場合、カセット本体４に、ウエハステ―
ジ９が、例えば２つのウエハ前後位置決め用ピン６及び
７を結ぶ線をカセット本体４の基準面１Ｓと平行にした
関係で位置決め用ピン６及び７をカセット本体４に対し
て基準面１Ｓによる位置決めをし、且つウエハステ―ジ
９のウエハ載置用面５上に載置されるウエハ１４の上面
をカセット本体４の上面２より高い高さ位置にあらしめ
る状態に、とくに、図３に示されているような、板ばね
１７を介して、固定して取付けられている構成を有す
る。

【００２５】また、カセット本体４の上面２上に、例え
ば円環状のウエハ固定用板１８が、ウエハステ―ジ９の
ウエハ載置用面５上に載置されるウエハ１４を板ばね１
７に抗して押下げている状態で、螺子１９を用いて、着
脱自在に取付けられている構成を有する。

【００２６】以上が、本発明による電子ビ―ム描画用カ
セットの第１の実施例の構成である。

【００２７】このような構成を有する本発明による電子
ビ―ム描画用カセットによれば、ウエハ固定用板１８
を、カセット本体４から予め取外すだけで、ウエハ１４
を、ウエハステ―ジ９のウエハ載置用面５上に、位置決
め用ピン６及び７、及び８によって位置決めして載置さ
せることができ、また、次で、ウエハ固定用板１８を、
カセット本体４に、螺子１９を用いて取付けるだけで、
ウエハ１４を、カセット本体４に固定させることがで
き、よって、ウエハ１４を、電子ビ―ム描画用カセット
に固定した状態に装架させることができる。

【００２８】そして、そのように電子ビ―ム描画用カセ
ットに装架されている状態でのウエハ１４は、ウエハス
テ―ジが、カセット本体に、位置決め用ピン６及び７を
カセット本体４に対してその基準面１Ｓによる位置決め
をして取付けられているので、ウエハを、ウエハステ―
ジ９のウエハ載置用面５上に位置決め用ピン６及び７に
よる位置決めを行って配するだけで、ウエハ１４を、電
子ビ―ム描画用カセットに、カセット本体４の基準面１
Ｓによる位置決めがされている状態に、容易に装架させ
ることができる。

【００２９】このため、図８及び図９を伴って前述した
従来の電子ビ―ム描画用カセットの欠点を有効に回避さ
せることができる。

【００３０】

【実施例２】次に、図４及び図５を伴って、本発明によ
る電子ビ―ム描画用カセットの第２の実施例を、本発明
による電子ビ―ム描画用カセットへのウエハ固定法の実
施例及びそれに用いるウエハセット用治具の実施例とと
もに述べよう。

【００３１】図４及び図５において、図１〜図３との対
応部分には同一符号を付し詳細説明を省略する。

【００３２】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの
第２の実施例は、とくに、図５に示すように、図１〜図
３で上述した本発明による電子ビ―ム描画用カセットに
おいて、そのウエハステ―ジ９が、その厚さを横切って
延長しているウエハ吸着用貫通孔２０と、それに連通し
て上面に延長しているウエハ吸着用溝２１とを有するこ
とを除いて、図１〜図３で上述した本発明による電子ビ
―ム描画用カセットと同様の構成を有する。

【００３３】次に、本発明による電子ビ―ム描画用カセ
ットへのウエハ固定法を述べると、その電子ビ―ム描画
用カセットへのウエハ固定法には、ウエハセット用治具
２２を用いる。

【００３４】このウエハセット用治具２２は、上述した
本発明による電子ビ―ム描画用カセットの第２の実施例
である電子ビ―ム描画用カセットを載置するカセット載
置台２３を有する。このカセット載置台２３は、それに
載置された電子ビ―ム描画用カセットのウエハステ―ジ
９に設けられているウエハ吸着用貫通孔２０及びウエハ
吸着用溝２１を含んだ真空吸着手段２４を構成するよう
にも用いられている。

【００３５】この真空吸着手段２４は、ウエハステ―ジ
９に設けられているウエハ吸着用貫通孔２０と連通する
ようにカセット載置台２３に設けられたエアチャック機
構２５を介して、真空ポンプ３５を用いて、ウエハ吸着
用溝２１内を排気させることによって、ウエハ１４をウ
エハステ―ジ９のウエハ載置用面５上に吸収固定させる
構成を有する。

【００３６】なお、図５において、３６は位置決め用ピ
ン、２６はエアチャック機構２５を構成するエアチャッ
ク本体、２７はＯリング、２８は排気口、２９はエアチ
ャック取付用螺子、３０は排気路をそれぞれ示す。ま
た、３１は、エアチャック機構２５の排気路３０から真
空ポンプに到る排気管３２に設けたリ―ク弁である。

【００３７】本発明による電子ビ―ム描画用カセットへ
のウエハ固定法の実施例においては、ウエハ１４を、図
１〜図３で上述した本発明による電子ビ―ム描画用カセ
ットについて述べたと同様に、上述した本発明による電
子ビ―ム描画用カセットの第２の実施例である電子ビ―
ム描画用カセットのウエハステ―ジ９のウエハ載置用面
５上に、ウエハ固定用板１８がカセット本体４から取外
されている状態で、ウエハ前後位置決め用ピン６及び７
及びウエハ左右位置決め用ピン８を用いて位置決めして
配し、次に、その状態で、ウエハ１４を、ウエハステ―
ジ９のウエハ載置用面５上に、ウエハ吸着用貫通孔２０
及びウエハ吸着用溝２１を含んで構成された上述した真
空吸着手段２４を用いて、吸着固定させ、次に、その状
態で、ウエハ固定用板１８を、図１〜図３で上述した本
発明による電子ビ―ム描画用カセットについて述べたと
同様に、カセット本体４に、ウエハ１４を板ばね１７に
抗して押下げている状態で取付ける。

【００３８】以上で、本発明による電子ビ―ム描画用カ
セットの第２の実施例の構成、及び本発明による電子ビ
―ム描画用カセットへのウエハ固定法の実施例が明らか
となった。

【００３９】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの
第２の実施例によれば、ウエハステ―ジ９に設けたウエ
ハ吸着用貫通孔２０及びウエハ吸着用溝２１を含んで、
上述した本発明による電子ビ―ム描画用カセットへのウ
エハ固定法の実施例に用いる真空吸着手段２４を構成す
ることができるので、上述した本発明による電子ビ―ム
描画用カセットへのウエハ固定法の実施例によって、ウ
エハ１４を、カセット本体４上に、その基準面１Ｓによ
る位置決めをした状態からずれることなしに、確実に固
定させることができるので、ウエハ１４を、電子ビ―ム
描画用カセットに、カセット本体４の基準面１Ｓによる
位置決めがなされている状態に、装架させるのを、容易
に行うことができる。

【００４０】また、上述した本発明による電子ビ―ム描
画用カセットへのウエハ固定法の実施例によれば、上述
した本発明による電子ビ―ム描画用カセットの場合で述
べたところから明らかなように、ウエハ１９を、電子ビ
―ム描画用カセットに、カセット本体４の基準面１Ｓに
よる位置決めがなされている状態に、装架させるのを、
容易に行うことができる。

【００４１】なお、上述においては、本発明による電子
ビ―ム描画用カセット、及び電子ビ―ム描画用カセット
へのウエハ固定法のわずかな例を述べたに留まり、譬え
ず図４及び図５に示すウエハセット用治具２２を構成し
ている吸着手段２４に、エアチャック機構２５を用いた
が、それに代え、図６に示すように弾褥環３３を用いて
も、また図７に示すようにベロ―ス３４を用いることも
でき、その他、本発明の精神を脱することなしに、種々
の変型、変更をなし得るであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの第１
の実施例を示す、一部を切欠している略線的平面図であ
る。

【図２】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの第１
の実施例を示す、図１の横断面図である。

【図３】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの第１
の実施例を示す、一部の底面図である。

【図４】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの第２
の実施例を、本発明による電子ビ―ム描画用カセットへ
のウエハ固定法及びそれに用いるウエハセット用治具と
ともに示す、一部を切欠している略線的平面図である。

【図５】本発明による電子ビ―ム描画用カセットの第２
の実施例を、本発明による電子ビ―ム描画用カセットへ
のウエハ固定法及びそれに用いるウエハセット用治具と
ともに示す、図４の横断面図である。

【図６】本発明による電子ビ―ム描画用カセットへのウ
エハ固定法に用いるウエハセット用治具の他の例を示す
一部の横断面図である。

【図７】本発明による電子ビ―ム描画用カセットへのウ
エハ固定法に用いるウエハセット用治具のさらに他の例
を示す一部の横断面図である。

【図８】従来の電子ビ―ム描画用カセットを示す、一部
を切欠している略線的平面図である。

【図９】従来の電子ビ―ム描画用カセットを示す、図８
の横断面図である。

【符号の説明】

１ 外側面 １Ｓ 平らな基準面 ２ 平らな上面 ３ 内側面 ４ カセット本体 ５ ウエハ載置用面 ６、７ ウエハ前後位置決め用ピン ８ ウエハ左右位置決め用ピン ９ ウエハステ―ジ １０ 筒部 １１ 板ばね １２ 鍔部 １３ ステ―ジホルダ １４ ウエハ １５ 連結機構 １６ 位置決め用マ―ク １７ 板ばね １８ ウエハ固定用板 １９ 螺子 ２０ ウエハ吸着用貫通孔 ２１ ウエハ吸着用溝 ２２ ウエハセット用治具 ２３ カセット載置台 ２４ 真空吸着手段 ２５ エアチャック機構 ２６ エアチャック本体 ２７ Ｏリング ２８ 排気口 ２９ エアチャック取付用螺子 ３０ 排気路 ３１ リ―ク弁 ３２ 排気管 ３３ 弾褥環 ３４ ベロ―ズ ３５ 真空ポンプ ３６ 位置決め用ピン

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平らな基準面を有する外側面と平らな上
   面とを有する環板状のカセット本体と、 上記カセット本体内にそれと並置して配され且つ平らな
   ウエハ載置用面と、そのウエハ載置用面上に植立された
   位置決め用ピンを有する板状のウエハステ―ジとを有す
   る電子ビ―ム描画用カセットにおいて、 上記カセット本体に、上記ウエハステ―ジが、上記位置
   決め用ピンを上記カセット本体に対して上記基準面によ
   る位置決めをし且つ上記ウエハ載置用面上に載置される
   ウエハの上面を上記カセット本体の上面より高い高さ位
   置にあらしめる状態に、板ばねを介して、固定して取付
   けられ、 上記カセット本体の上面上に、ウエハ固定用板が、上記
   ウエハステ―ジのウエハ載置用面上に載置されるウエハ
   を上記板ばねに抗して押下げている状態で、着脱自在に
   取付けられていることを特徴とする電子ビ―ム描画用カ
   セット。
2. 【請求項２】 請求項１記載の電子ビ―ム描画用カセッ
   トにおいて、 上記ウエハステ―ジが、その厚さを横切って延長してい
   るウエハ吸着用貫通孔と、それに連通して上面に延長し
   ているウエハ吸着用溝とを有することを特徴とする電子
   ビ―ム描画用カセット。
3. 【請求項３】 ウエハを、請求項２記載の電子ビ―ム描
   画用カセットの上記ウエハステ―ジのウエハ載置用面上
   に、上記ウエハ固定用板が上記カセット本体から取外さ
   れている状態で、上記位置決め用ピンを用いて位置決め
   して配し、次に、その状態で、上記ウエハを、上記ウエ
   ハステ―ジのウエハ載置用面上に、上記ウエハ吸着用貫
   通孔及びウエハ吸着用溝を含んで構成された真空吸着手
   段を用いて、吸着固定させ、次に、その状態で、上記ウ
   エハ固定用板を、上記カセット本体に、上記ウエハを上
   記板ばねに抗して押下げている状態で取付けることを特
   徴とする電子ビ―ム描画用カセットへのウエハ固定法。