JPH05251185A - Organic electroluminescence element - Google Patents

Organic electroluminescence element

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JPH05251185A
JPH05251185A JP4049423A JP4942392A JPH05251185A JP H05251185 A JPH05251185 A JP H05251185A JP 4049423 A JP4049423 A JP 4049423A JP 4942392 A JP4942392 A JP 4942392A JP H05251185 A JPH05251185 A JP H05251185A
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JP
Japan
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negative electrode
organic
work function
earth metal
less
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP4049423A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Nakamura
浩昭 中村
Tadashi Kusumoto
正 楠本
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Idemitsu Kosan Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Kosan Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Idemitsu Kosan Co Ltd filed Critical Idemitsu Kosan Co Ltd
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Publication of JPH05251185A publication Critical patent/JPH05251185A/en
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/82Cathodes
    • H10K50/826Multilayers, e.g. opaque multilayers

Abstract

PURPOSE:To provide an element provided with a cathode having high chemical stability and having high electric power converting efficiency by forming this cathode of a deposition film including Zn, alkaline earth metal having a work function of 3eV or less and/or rare earth metal having a work function of 3eV or less. CONSTITUTION:A cathode is formed of a deposition film including Zn, alkaline earth metal having a work function of 3eV or less and/or rare earth metal having a work function of 3eV or less. Ca, Sr or Ba is used as alkaline earth metal having a work function of 3eV or less, and Ce, Sm, Eu, Er, Yb or the like is used as a rare earth metal having a work function of 3eV or less. A composition ratio of Zn in the cathode is preferably 30-96at% and, more preferably, 90-94at%. A deposition speed for Zn and second metal is 50nm/sec and, more preferably, 1.2-10nm/sec. Although a film forming method is not specifically limited, a resistance heating deposition method, an electron beam deposition method, a high frequency induction heating method, a molecular beam epitaxy method, a hot wall deposition method, an ion plating method and the like can be adopted.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、表示素子や発光素子等
として利用される有機エレクトロルミネッセンス素子
(以下、有機EL素子と略記する)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence device (hereinafter abbreviated as an organic EL device) used as a display device, a light emitting device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機EL素子は、互いに対向する一対の
電極の間に有機発光体の薄膜(発光層)を少なくとも介
在させることにより構成される。この有機EL素子にお
いては、陰電極から直接または電子注入層を介して発光
層へ注入された電子と、陽電極から直接または正孔注入
層を介して発光層へ注入された正孔とが発光層内で再結
合することにより発光が生じる。
2. Description of the Related Art An organic EL element is constructed by interposing at least a thin film (light emitting layer) of an organic light emitting element between a pair of electrodes facing each other. In this organic EL device, electrons injected from the negative electrode directly into the light emitting layer via the electron injection layer and holes injected directly from the positive electrode into the light emitting layer via the hole injection layer emit light. Recombination within the layer causes emission of light.

【0003】このような発光機構に基づく有機EL素子
の発光特性を向上させるための手段としては、有機発光
体材料の選択あるいは改良、発光層の膜質の改良、陰極
材料の選択あるいは改良等が知られている。これらのう
ち、陰電極材料の選択あるいは改良によるものは、一般
には発光層への電子注入効率を高めて発光特性を向上さ
せようとするものである。そして、このために、仕事関
数の小さい電気伝導性の種々の金属、合金あるいは金属
間化合物等を陰電極材料として用いることが試みられて
いる。
As means for improving the light emitting characteristics of an organic EL device based on such a light emitting mechanism, selection or improvement of organic light emitting material, improvement of film quality of light emitting layer, selection or improvement of cathode material, etc. are known. Has been. Among these, the selection or improvement of the negative electrode material is generally intended to enhance the efficiency of electron injection into the light emitting layer to improve the light emitting characteristics. For this reason, it has been attempted to use various electrically conductive metals, alloys, intermetallic compounds, and the like having a low work function as negative electrode materials.

【0004】例えば、米国特許第3,173,050号
明細書や同第3,382,394号明細書には、アルカ
リ金属、例えばNa−K合金を陰電極に用いた有機EL
素子が開示されている。これらの明細書に開示されてい
る有機EL素子は、量子効率が高い(RCA Review vol.3
0,P322)という点では好ましいものであるが、アルカリ
金属やアルカリ金属同士の合金は活性が高く化学的に不
安定であるために実用的でない。
For example, in US Pat. Nos. 3,173,050 and 3,382,394, an organic EL using an alkali metal, for example, a Na--K alloy as a negative electrode is disclosed.
A device is disclosed. The organic EL devices disclosed in these specifications have high quantum efficiency (RCA Review vol.3
0, P322), but alkali metals and alloys of alkali metals are not practical because they are highly active and chemically unstable.

【0005】このため、アルカリ金属以外の金属を用い
て陰電極を形成する種々の提案がなされている。例え
ば、米国特許第4,539,507号明細書には陰電極
にInを用いた有機EL素子が開示されており、特開平
3−231970号公報にはMg−In合金を陰電極に
用いた有機EL素子が開示されている。また、欧州特許
第0278757号明細書には、アルカリ金属以外の複
数の金属を含有する層からなり、かつこれらの金属のう
ちの少なくとも1種の金属の仕事関数が4eV以下であ
る層からなる陰電極(具体的には、Mg−Ag電極のよ
うに、Mgと、Ag、In、Sn、Sb、Te、Mnの
いずれかとからなるMg系電極等)を備えた有機EL素
子が開示されている。
Therefore, various proposals have been made to form the negative electrode by using a metal other than the alkali metal. For example, U.S. Pat. No. 4,539,507 discloses an organic EL element using In for a negative electrode, and JP-A-3-231970 discloses a Mg-In alloy for a negative electrode. An organic EL device is disclosed. Further, European Patent No. 0278757 describes a negative electrode having a layer containing a plurality of metals other than alkali metals and having a work function of at least one metal of these metals of 4 eV or less. An organic EL element provided with an electrode (specifically, a Mg-based electrode made of Mg and any of Ag, In, Sn, Sb, Te, and Mn, such as a Mg-Ag electrode) is disclosed. ..

【0006】さらに、Mg、Al、In、Sn等の比較
的安定な金属に、電子注入性の良いLi、Na、Ca、
Sr等の金属を混ぜて陰電極を形成した種々の有機EL
素子が1991年秋の高分子討論会において発表されて
いる(高分子学会予稿集40巻10号P.3582)。
しかし、ここで発表された有機EL素子の効率(電力変
換効率)は、いずれもMg−Ag電極を陰電極として備
えた有機EL素子に及ばなかった。
Furthermore, Li, Na, Ca, which have a good electron injection property, can be added to relatively stable metals such as Mg, Al, In and Sn.
Various organic ELs with negative electrodes formed by mixing metals such as Sr
The device was presented at the polymer debate in the fall of 1991 (Proceedings of the Polymer Society, Vol. 40, No. 10, P. 3582).
However, the efficiency (power conversion efficiency) of the organic EL element announced here was not as high as that of the organic EL element provided with the Mg-Ag electrode as the negative electrode.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、電子
注入性の金属を用いて陰電極を形成する種々の提案がな
されているが、これらの有機EL素子の電力変換効率は
未だ不十分であった。
As described above, various proposals have been made for forming a negative electrode by using an electron injecting metal, but the power conversion efficiency of these organic EL elements is still insufficient. there were.

【0008】したがって本発明の目的は、化学的安定性
の高い陰電極を備え、かつ電力変換効率の向上した新た
な有機EL素子を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a new organic EL element having a negative electrode having high chemical stability and having improved power conversion efficiency.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の有機EL素子は、Znと、仕事関数3eV以下のア
ルカリ土類金属および/または仕事関数3eV以下の希
土類金属とを含む蒸着膜を陰電極として備えたことを特
徴とするものである。
An organic EL device of the present invention which achieves the above object is a vapor deposition film containing Zn and an alkaline earth metal having a work function of 3 eV or less and / or a rare earth metal having a work function of 3 eV or less. It is characterized by being provided as a negative electrode.

【0010】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
有機EL素子における陰電極は、上述したように、Zn
と、仕事関数3eV以下のアルカリ土類金属および/ま
たは仕事関数3eV以下の希土類金属とを含む蒸着膜か
らなる。ここで、仕事関数3eV以下のアルカリ土類金
属の具体例としては、Ca、SrおよびBaが挙げられ
る。また、仕事関数3eV以下の希土類金属の具体例と
しては、Ce、Sm、Eu、Er、Yb等が挙げられ
る。
The present invention will be described in detail below. As described above, the negative electrode in the organic EL element of the present invention is Zn
And an alkaline earth metal having a work function of 3 eV or less and / or a rare earth metal having a work function of 3 eV or less. Here, specific examples of the alkaline earth metal having a work function of 3 eV or less include Ca, Sr, and Ba. Further, specific examples of the rare earth metal having a work function of 3 eV or less include Ce, Sm, Eu, Er, Yb and the like.

【0011】Znと、上述したアルカリ土類金属および
/または希土類金属(以下、これらのアルカリ土類金属
および希土類金属を第2金属と総称することがある)と
を含む蒸着膜の成膜方法は特に限定されるものではない
が、具体例としては、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着
法、高周波誘導加熱法、分子線エピタキシー法、ホット
ウォール蒸着法、イオンプレーティング法、クラスター
イオンビーム法、2極スパッタ法、2極マグネトロンス
パッタ法、3極および4極プラズマスパッタ法、イオン
ビームスパッタ法等の方法を用いた合金の直接蒸着法や
多元同時蒸着法が挙げられる。所望の組成の陰電極を効
率良く製造するうえからは、多元同時蒸着法を適用する
ことが特に好ましい。
A method for forming a vapor deposition film containing Zn and the above-mentioned alkaline earth metal and / or rare earth metal (hereinafter, these alkaline earth metal and rare earth metal may be collectively referred to as a second metal) is described below. Specific examples thereof include, but are not limited to, resistance heating vapor deposition method, electron beam vapor deposition method, high frequency induction heating method, molecular beam epitaxy method, hot wall vapor deposition method, ion plating method, cluster ion beam method, and 2 Examples thereof include a direct vapor deposition method for alloys and a multi-source simultaneous vapor deposition method using methods such as a polar sputtering method, a bipolar magnetron sputtering method, a tripolar and quadrupole plasma sputtering method, and an ion beam sputtering method. From the viewpoint of efficiently producing a negative electrode having a desired composition, it is particularly preferable to apply the multi-source simultaneous vapor deposition method.

【0012】上述のようにして成膜される陰電極は、Z
nの他に少なくとも1種の第2金属を含有していればよ
いが、陰電極におけるZnの組成比は30〜96 at.%
であることが好ましい。さらに好ましくは、90〜94
at.%である。陰電極の組成の制御は、例えば多元同時
蒸着法により成膜する場合は、Znの蒸着速度と第2金
属の蒸着速度との比を適宜設定することにより行なうこ
とができる。好ましい蒸着速度は、Znおよび第2金属
ともに、50nm/sec である。更に好ましくは、1.
2〜10nm/sec である。このようにしてZnと第2
金属の少なくとも1種とを組合わせることにより、電子
注入性に優れた陰電極を得ることができる。
The negative electrode formed as described above is Z
It suffices that at least one second metal is contained in addition to n, but the composition ratio of Zn in the negative electrode is 30 to 96 at.%.
Is preferred. More preferably 90 to 94
at.%. The composition of the negative electrode can be controlled by appropriately setting the ratio between the vapor deposition rate of Zn and the vapor deposition rate of the second metal when the film is formed by the multi-source simultaneous vapor deposition method, for example. A preferable vapor deposition rate is 50 nm / sec for both Zn and the second metal. More preferably, 1.
2 to 10 nm / sec. In this way Zn and the second
By combining at least one kind of metal, a negative electrode excellent in electron injection property can be obtained.

【0013】本発明の有機EL素子の構成は、上述した
陰電極を備えた点以外は特に限定されるものではない。
例えば、有機EL素子の構成としては、陽極/発光層
/陰電極、陽極/正孔注入層/発光層/陰電極、陽
極/発光層/電子注入層/陰電極、陽極/正孔注入層
/発光層/電子注入層/陰電極、などがあるが、本発明
の有機EL素子はいかなる構成であってもよい。また、
本発明の有機EL素子を製造する場合、陰電極以外の材
料は特に限定されるものではなく、種々の材料を用いて
種々の方法により形成することができる。
The structure of the organic EL device of the present invention is not particularly limited except that the above-mentioned negative electrode is provided.
For example, as the constitution of the organic EL element, anode / light emitting layer / negative electrode, anode / hole injection layer / light emitting layer / negative electrode, anode / light emitting layer / electron injection layer / negative electrode, anode / hole injection layer / Although there are a light emitting layer / electron injection layer / cathode, etc., the organic EL element of the present invention may have any configuration. Also,
When manufacturing the organic EL element of the present invention, the material other than the negative electrode is not particularly limited, and it can be formed by various methods using various materials.

【0014】例えば、発光層の材料として使用可能な有
機化合物としては、特に限定はないが、ベンゾチアゾー
ル系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系等
の蛍光増白剤、金属キレート化オキシノイド化合物、ス
チリルベンゼン系化合物等を挙げることができる。
For example, the organic compound that can be used as the material of the light emitting layer is not particularly limited, but a fluorescent brightening agent such as a benzothiazole type, a benzimidazole type, a benzoxazole type, a metal chelated oxinoid compound, or a styrylbenzene is used. Examples thereof include system compounds.

【0015】具体的に化合物名を示せば、例えば、特開
昭59−194393号公報に開示されているものが挙
げられる。その代表例としては、2,5−ビス(5,7
−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)−1,
3,4−チアジアゾール、4,4′−ビス(5,7−t
−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)スチルベン、
4,4′−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチ
ル)−2−ベンゾオキサゾリル]スチルベン、2,5−
ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾ
リル)チオフェン、2,5−ビス[5−α,α−ジメチ
ルベンジル−2−ベンゾオキサゾリル]チオフェン、
2,5−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチ
ル)−2−ベンゾオキサゾリル]−3,4−ジフェニル
チオフェン、2,5−ビス(5−メチル−2−ベンゾオ
キサゾリル)チオフェン、4,4′−ビス(2−ベンゾ
オキサゾリル)ビフェニル、5−メチル−2−[2−
[4−(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)フェニ
ル]ビニル]ベンゾオキサゾール、2−[2−(4−ク
ロロフェニル)ビニル]ナフト[1,2−d]オキサゾ
ール等のベンゾオキサゾール系、2,2′−(p−フェ
ニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾール等のベンゾ
チアゾール系、2−[2−[4−(2−ベンゾイミダゾ
リル)フェニル]ビニル]ベンゾイミダゾール、2−
[2−(4−カルボキシフェニル)ビニル]ベンゾイミ
ダゾール等のベンゾイミダゾール系等の蛍光増白剤が挙
げられる。さらに、他の有用な化合物は、ケミストリー
・オブ・シンセティック・ダイズ1971,628〜6
37頁および640頁に列挙されている。
Specific examples of the compound name include those disclosed in JP-A-59-194393. A typical example is 2,5-bis (5,7
-Di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) -1,
3,4-thiadiazole, 4,4'-bis (5,7-t
-Pentyl-2-benzoxazolyl) stilbene,
4,4'-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] stilbene, 2,5-
Bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) thiophene, 2,5-bis [5-α, α-dimethylbenzyl-2-benzoxazolyl] thiophene,
2,5-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] -3,4-diphenylthiophene, 2,5-bis (5-methyl-2-benzo) Oxazolyl) thiophene, 4,4'-bis (2-benzoxazolyl) biphenyl, 5-methyl-2- [2-
Benzoxazole-based compounds such as [4- (5-methyl-2-benzoxazolyl) phenyl] vinyl] benzoxazole and 2- [2- (4-chlorophenyl) vinyl] naphtho [1,2-d] oxazole, 2 , 2 '-(p-phenylenedivinylene) -bisbenzothiazole and other benzothiazoles, 2- [2- [4- (2-benzimidazolyl) phenyl] vinyl] benzimidazole, 2-
Examples include fluorescent whitening agents such as benzimidazole series such as [2- (4-carboxyphenyl) vinyl] benzimidazole. In addition, other useful compounds are Chemistry of Synthetic Soybean 1971, 628-6.
They are listed on pages 37 and 640.

【0016】前記キレート化オキシノイド化合物として
は、例えば特開昭63−295695号公報に開示され
ているものを用いることができる。その代表例として
は、トリス(8−キノリノール)アルミニウム、ビス
(8−キノリノール)マグネシウム、ビス(ベンゾ
[f]−8−キノリノール)亜鉛、ビス(2−メチル−
8−キノリノラート)アルミニウムオキシド、トリス
(8−キノリノール)インジウム、トリス(5−メチル
−8−キノリノール)アルミニウム、8−キノリノール
リチウム、、トリス(5−クロロ−8−キノリノール)
ガリウム、ビス(5−クロロ−8−キノリノール)カル
シウム、ポリ[亜鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5
−キノリノニル)メタン]等の8−ヒドロキシキノリン
系金属錯体やジリチウムエピントリジオン等が挙げられ
る。
As the chelated oxinoid compound, for example, those disclosed in JP-A-63-295695 can be used. Typical examples are tris (8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) magnesium, bis (benzo [f] -8-quinolinol) zinc, bis (2-methyl-).
8-quinolinolate) aluminum oxide, tris (8-quinolinol) indium, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, 8-quinolinol lithium, tris (5-chloro-8-quinolinol)
Gallium, bis (5-chloro-8-quinolinol) calcium, poly [zinc (II) -bis (8-hydroxy-5)
-Quinolinonyl) methane] and other 8-hydroxyquinoline-based metal complexes, dilithium epinetridione, and the like.

【0017】また、前記スチリルベンゼン系化合物とし
ては、例えば欧州特許第0319881号明細書や欧州
特許第0373582号明細書に開示されているものを
用いることができる。その代表例としては、1,4−ビ
ス(2−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3
−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(4−メチ
ルスチリル)ベンゼン、ジスチリルベンゼン、1,4−
ビス(2−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス
(3−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(2−
メチルスチリル)−2−メチルベンゼン、1,4−ビス
(2−メチルスチリル)−2−エチルベンゼン等が挙げ
られる。
As the styrylbenzene compound, for example, those disclosed in European Patent No. 0319881 and European Patent No. 0373582 can be used. Typical examples thereof are 1,4-bis (2-methylstyryl) benzene and 1,4-bis (3
-Methylstyryl) benzene, 1,4-bis (4-methylstyryl) benzene, distyrylbenzene, 1,4-
Bis (2-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (2-
Methylstyryl) -2-methylbenzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-ethylbenzene and the like can be mentioned.

【0018】また、特開平2−252793号公報に開
示されているジスチリルピラジン誘導体も発光層の材料
として用いることができる。その代表例としては、2,
5−ビス(4−メチルスチリル)ピラジン、2,5−ビ
ス(4−エチルスチリル)ピラジン、2,5−ビス[2
−(1−ナフチル)ビニル]ピラジン、2,5−ビス
(4−メトキシスチリル)ピラジン、2,5−ビス[2
−(4−ビフェニル)ビニル]ピラジン、2,5−ビス
[2−(1−ピレニル)ビニル]ピラジン等が挙げられ
る。その他のものとして、例えば欧州特許第03877
15号明細書に開示されているポリフェニル系化合物も
発光層の材料として用いることもできる。
The distyrylpyrazine derivative disclosed in JP-A-2-252793 can also be used as a material for the light emitting layer. Typical examples are 2,
5-bis (4-methylstyryl) pyrazine, 2,5-bis (4-ethylstyryl) pyrazine, 2,5-bis [2
-(1-naphthyl) vinyl] pyrazine, 2,5-bis (4-methoxystyryl) pyrazine, 2,5-bis [2
Examples thereof include-(4-biphenyl) vinyl] pyrazine and 2,5-bis [2- (1-pyrenyl) vinyl] pyrazine. Others include, for example, European Patent No. 03877.
The polyphenyl compound disclosed in Japanese Patent No. 15 can also be used as a material for the light emitting layer.

【0019】さらに、上述した蛍光増白剤、金属キレー
ト化オキシノイド化合物、およびスチリルベンゼン系化
合物等以外に、例えば12−フタロペリノン(J.Appl.P
hys., 第27巻,L713(1988年))、1,4−
ジフェニル−1,3−ブタジエン、1,1,4,4−テ
トラフェニル−1,3−ブタジエン(以上、Appl.Phys.
Lett.,第56巻,L799(1990年))、ナフタル
イミド誘導体(特開平2−305886号公報)、ペリ
レン誘導体(特開平2−189890号公報)、オキサ
ジアゾール誘導体(特開平2−216791号公報、ま
たは第38回応用物理学関係連合講演会で浜田らによっ
て開示されたオキサジアゾール誘導体)、アルダジン誘
導体(特開平2−220393号公報)、ピラジリン誘
導体(特開平2−220394号公報)、シクロペンタ
ジエン誘導体(特開平2−289675号公報)、ピロ
ロピロール誘導体(特開平2−296891号公報)、
スチリルアミン誘導体(Appl.Phys.Lett.,第56巻,L
799(1990年))、クマリン系化合物(特開平2
−191694号公報)、国際公開公報WO90/13
148やAppl.Phys.Lett.,vol 58,18,P1982(1991) に記
載されているような高分子化合物等も、発光層の材料と
して用いることができる。
Further, in addition to the above-mentioned optical brightener, metal chelated oxinoid compound, styrylbenzene compound, etc., for example, 12-phthaloperinone (J.Appl.P).
hys., 27, L713 (1988)), 1,4-
Diphenyl-1,3-butadiene, 1,1,4,4-tetraphenyl-1,3-butadiene (above, Appl. Phys.
Lett., Vol. 56, L799 (1990)), naphthalimide derivative (JP-A-2-305886), perylene derivative (JP-A-2-189890), oxadiazole derivative (JP-A-2-216791). Publication, or the oxadiazole derivative disclosed by Hamada et al. In the 38th Joint Lecture on Applied Physics), the aldazine derivative (JP-A-2-220393), the pyrazine derivative (JP-A-2-220394), A cyclopentadiene derivative (JP-A-2-289675), a pyrrolopyrrole derivative (JP-A-2-296891),
Styrylamine derivatives (Appl. Phys. Lett., Volume 56, L
799 (1990)), coumarin-based compounds (JP-A-2
-191694), International Publication WO90 / 13.
148 and polymer compounds such as those described in Appl. Phys. Lett., Vol 58, 18, P1982 (1991) can also be used as the material of the light emitting layer.

【0020】本発明では、特に発光層の材料として、芳
香族ジメチリディン系化合物(欧州特許第038876
8号明細書や特開平3−231970号公報に開示のも
の)を用いることが好ましい。具体例としては、1,4
−フェニレンジメチリディン、4,4′−フェニレンジ
メチリディン、2,5−キシリレンジメチリディン、
2,6−ナフチレンジメチリディン、1,4−ビフェニ
レンジメチリディン、1,4−p−テレフェニレンジメ
チリディン、9,10−アントラセンジイルジメチリデ
ィン、4,4′−(2,2−ジ−t−ブチルフェニルビ
ニル)ビフェニル(以下、DTBPVBiと略記す
る)、4,4′−(2,2−ジフェニルビニル)ビフェ
ニル(以下、DPVBiと略記する)等、およびそれら
の誘導体が挙げられる。
In the present invention, an aromatic dimethylidyne compound (European Patent No. 0388876) is used as a material for the light emitting layer.
No. 8 and those disclosed in JP-A-3-231970) are preferably used. As a specific example, 1,4
-Phenylenedimethytilidine, 4,4'-Phenylenedimethylidene, 2,5-Xylylenedimethylidene,
2,6-naphthylene dimethylidene, 1,4-biphenylene dimethylidene, 1,4-p-terephenylene dimethylidene, 9,10-anthracene diyl dimethylidene, 4,4 ′-(2,2 -Di-t-butylphenylvinyl) biphenyl (hereinafter abbreviated as DTBPVBi), 4,4 '-(2,2-diphenylvinyl) biphenyl (hereinafter abbreviated as DPVBi), and the like, and derivatives thereof. ..

【0021】上記材料を用いて発光層を形成する方法と
しては、例えば蒸着法、スピンコート法、キャスト法、
LB法等の公知の方法を適用することができる。発光層
は、特に分子堆積膜であることが好ましい。ここで分子
堆積膜とは、気相状態の材料化合物から沈着され形成さ
れた薄膜や、溶液状態または液相状態の材料化合物から
固体化され形成された膜のことであり、通常この分子堆
積膜は、LB法により形成された薄膜(分子累積膜)と
は凝集構造、高次構造の相違や、それに起因する機能的
な相違により区分することができる。また、特開昭57
−51781号公報等に開示されているように、樹脂等
の結着剤と材料化合物とを溶剤に溶かして溶液とした
後、これをスピンコート法等により薄膜化することによ
っても、発光層を形成することができる。
As a method for forming a light emitting layer using the above materials, for example, a vapor deposition method, a spin coating method, a casting method,
A known method such as the LB method can be applied. The light emitting layer is preferably a molecular deposition film. Here, the molecular deposition film is a thin film formed by depositing a material compound in a vapor phase state, or a film formed by solidifying a material compound in a solution state or a liquid phase state. Can be distinguished from the thin film (molecular cumulative film) formed by the LB method based on the difference in the aggregation structure and the higher order structure and the functional difference caused by the difference. In addition, JP-A-57
As disclosed in Japanese Patent No. 51781, etc., a light emitting layer can also be formed by dissolving a binder such as a resin and a material compound in a solvent to form a solution, and then thinning the solution by a spin coating method or the like. Can be formed.

【0022】このようにして形成される発光層の膜厚に
ついては特に制限はなく、状況に応じて適宜選択するこ
とができるが、通常5nm〜5μmの範囲が好ましい。
有機EL素子における発光層は、電界印加時に、陽極ま
たは正孔注入層から正孔を注入することができ、かつ陰
電極または電子注入層から電子を注入することができる
注入機能、注入された電荷(電子と正孔)を電界の力で
移動させる輸送機能、電子と正孔の再結合の場を提供
し、これを発光につなげる発光機能等を有している。な
お、正孔の注入されやすさと電子の注入されやすさとの
間には違いがあっても構わない。また、正孔と電子の移
動度で表される輸送機能に大小があってもよいが、少な
くともどちらか一方を移動させることが好ましい。
The thickness of the light emitting layer thus formed is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the situation, but is usually preferably in the range of 5 nm to 5 μm.
The light emitting layer in the organic EL device has an injection function capable of injecting holes from the anode or the hole injection layer and electrons from the negative electrode or the electron injection layer when an electric field is applied. It has a transport function of moving (electrons and holes) by the force of an electric field, a field of recombination of electrons and holes, and a light emitting function of connecting this to light emission. Note that there may be a difference between the ease with which holes are injected and the ease with which electrons are injected. The transport function represented by the mobilities of holes and electrons may have different sizes, but it is preferable to move at least one of them.

【0023】陽極の材料としては、仕事関数の大きい
(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物またはこ
れらの混合物が好ましく用いられる。具体例としてはA
u等の金属、CuI、ITO、SnO2 、ZnO等の誘
電性透明材料が挙げられる。陽極は、蒸着法やスパッタ
法等の方法で上記材料の薄膜を形成することにより作製
することができる。発光層からの発光を陽極より取り出
す場合、陽極の透過率は10%より大きいことが望まし
い。また、陽極のシート抵抗は数百Ω/□以下が好まし
い。陽極の膜厚は材料にもよるが、通常10nm〜1μ
m、好ましくは10〜200nmの範囲で選択される。
As the material of the anode, a metal, an alloy, an electrically conductive compound having a large work function (4 eV or more) or a mixture thereof is preferably used. As a specific example, A
Examples thereof include metals such as u and dielectric transparent materials such as CuI, ITO, SnO 2 , and ZnO. The anode can be manufactured by forming a thin film of the above material by a method such as a vapor deposition method or a sputtering method. When the light emitted from the light emitting layer is taken out from the anode, the transmittance of the anode is preferably higher than 10%. The sheet resistance of the anode is preferably several hundreds Ω / □ or less. The thickness of the anode depends on the material, but is usually 10 nm to 1 μm.
m, preferably in the range of 10 to 200 nm.

【0024】必要に応じて設けられる正孔注入層の材料
としては、従来より光導伝材料の正孔注入材料として慣
用されているものや有機EL素子の正孔注入層に使用さ
れている公知のものの中から任意のものを選択して用い
ることができる。正孔注入層の材料は、正孔の注入、電
子の障壁性のいづれかを有するものであり、有機物ある
いは無機物のどちらでもよい。
As a material for the hole injection layer provided as necessary, known materials conventionally used as a hole injection material for an optical transmission material or used for a hole injection layer for an organic EL element are known. Any one can be selected and used from the things. The material for the hole injection layer has either hole injection or electron barrier properties, and may be either an organic substance or an inorganic substance.

【0025】具体例としては、例えばトリアゾール誘導
体(米国特許第3,112,197号明細書等参照)、
オキサジアゾール誘導体(米国特許第3,189,44
7号明細書等参照)、イミダゾール誘導体(特公昭37
−16096号公報等参照)、ポリアリールアルカン誘
導体(米国特許第3,615,402号明細書、同第
3,820,989号明細書、同第3,542,544
号明細書、特公昭45−555号公報、同51−109
83号公報、特開昭51−93224号公報、同55−
17105号公報、同56−4148号公報、同55−
108667号公報、同55−156953号公報、同
56−36656号公報等参照)、ピラゾリン誘導体お
よびピラゾロン誘導体(米国特許第3,180,729
号明細書、同第4,278,746号明細書、特開昭5
5−88064号公報、同55−88065号公報、同
49−105537号公報、同55−51086号公
報、同56−80051号公報、同56−88141号
公報、同57−45545号公報、同54−11263
7号公報、同55−74546号公報等参照)、フェニ
レンジアミン誘導体(米国特許第3,615,404号
明細書、特公昭51−10105号公報、同46−37
12号公報、同47−25336号公報、特開昭54−
53435号公報、同54−110536号公報、同5
4−119925号公報等参照)、アリールアミン誘導
体(米国特許第3,567,450号明細書、同第3,
180,703号明細書、同第3,240,597号明
細書、同第3,658,520号明細書、同第4,23
2,103号明細書、同第4,175,961号明細
書、同第4,012,376号明細書、特公昭49−3
5702号公報、同39−27577号公報、特開昭5
5−144250号公報、同56−119132号公
報、同56−22437号公報、西独特許第1,11
0,518号明細書等参照)、アミノ置換カルコン誘導
体(米国特許第3,526,501号明細書等参照)、
オキサゾール誘導体(米国特許第3,257,203号
明細書等に開示のもの)、スチリルアントラセン誘導体
(特開昭56−46234号公報等参照)、フルオレノ
ン誘導体(特開昭54−110837号公報等参照)、
ヒドラゾン誘導体(米国特許第3,717,462号明
細書、特開昭54−59143号公報、同55−520
63号公報、同55−52064号公報、同55−46
760号公報、同55−85495号公報、同57−1
1350号公報、同57−148749号公報、特開平
2−311591号公報等参照)、スチルベン誘導体
(特開昭61−210363号公報、同61−2284
51号公報、同61−14642号公報、同61−72
255号公報、同62−47646号公報、同62−3
6674号公報、同62−10652号公報、同62−
30255号公報、同60−93445号公報、同60
−94462号公報、同60−174749号公報、同
60−175052号公報等参照)、シラザン誘導体
(米国特許第4,950,950号明細書)、ポリシラ
ン系(特開平2−204996号公報)、アニリン系共
重合体(特開平2−282263号公報)、特開平1−
211399号公報に開示されている導電性高分子オリ
ゴマー(特にチオフェンオリゴマー)等を挙げることが
できる。
Specific examples include, for example, triazole derivatives (see US Pat. No. 3,112,197),
Oxadiazole derivatives (US Pat. No. 3,189,44
No. 7, etc.), imidazole derivatives (Japanese Patent Publication No. 37)
-16096, etc.), polyarylalkane derivatives (US Pat. Nos. 3,615,402, 3,820,989, and 3,542,544).
Specification, Japanese Patent Publication No. 45-555, 51-109
83, JP-A-51-93224, 55-
No. 17105, No. 56-4148, No. 55-
108667, 55-156953, 56-36656, etc.), pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives (US Pat. No. 3,180,729).
No. 4,278,746, JP-A-5
No. 5-88064, No. 55-88065, No. 49-105537, No. 55-51086, No. 56-80051, No. 56-88141, No. 57-45545, No. 54. -11263
No. 7, JP-A-55-74546, etc.), phenylenediamine derivatives (US Pat. No. 3,615,404, JP-B-51-10105, JP-A-46-37).
12, JP-A-47-25336, JP-A-54-
No. 53435, No. 54-110536, No. 5
No. 4,119,925), arylamine derivatives (U.S. Pat. No. 3,567,450, U.S. Pat.
180,703, 3,240,597, 3,658,520, 4,23.
2,103, 4,175,961, 4,012,376, and JP-B-49-3.
5702, 39-27577 and JP-A-5
No. 5-144250, No. 56-119132, No. 56-22437, West German Patent No. 1,11.
0518, etc.), amino-substituted chalcone derivatives (see US Pat. No. 3,526,501, etc.),
Oxazole derivatives (disclosed in US Pat. No. 3,257,203, etc.), styrylanthracene derivatives (see JP-A-56-46234, etc.), fluorenone derivatives (see JP-A-54-110837, etc.) ),
Hydrazone derivatives (U.S. Pat. Nos. 3,717,462, JP-A-54-59143 and JP-A-55-520)
63, 55-52064, 55-46.
No. 760, No. 55-85495, No. 57-1.
No. 1350, No. 57-148749, and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-311591, and stilbene derivatives (Japanese Unexamined Patent Publication Nos. 61-210363 and 61-2284).
No. 51, No. 61-14642, No. 61-72
No. 255, No. 62-47646, No. 62-3.
6674, 62-10652, and 62-
No. 30255, No. 60-93445, No. 60
-94462, 60-174749, 60-175052, etc.), silazane derivatives (U.S. Pat. No. 4,950,950), polysilanes (Japanese Patent Laid-Open No. 2-204996), Aniline-based copolymer (JP-A-2-28263), JP-A-1-
Examples thereof include conductive polymer oligomers (particularly thiophene oligomers) disclosed in Japanese Patent Publication No. 211399.

【0026】正孔注入層の材料としては上記のものを使
用することができるが、ポルフィリン化合物(特開昭6
3−2956965号公報等に開示のもの)、芳香族第
三級アミン化合物およびスチリルアミン化合物(米国特
許第4,127,412号明細書、特開昭53−270
33号公報、同54−58445号公報、同54−14
9634号公報、同54−64299号公報、同55−
79450号公報、同55−144250号公報、同5
6−119132号公報、同61−295558号公
報、同61−98353号公報、同63−295695
号公報等参照)、特に芳香族第三級アミン化合物を用い
ることが好ましい。
As the material of the hole injection layer, the above-mentioned materials can be used.
No. 3,295,965), aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds (US Pat. No. 4,127,412, JP-A-53-270).
No. 33, No. 54-58445, No. 54-14
No. 9634, No. 54-64299, No. 55-
79450, 55-144250, and 5
6-119132, 61-295558, 61-98353, 63-295695.
It is preferable to use aromatic tertiary amine compounds.

【0027】上記ポルフィリン化合物の代表例として
は、ポルフィン、1,10,15,20−テトラフェニ
ル−21H,23H−ポルフィン銅(II)、1,10,
15,20−テトラフェニル−21H,23H−ポルフ
ィン亜鉛(II)、5,10,15,20−テトラキス
(ペンタフルオロフェニル)−21H,23H−ポルフ
ィン、シリコンフタロシアニンオキシド、アルミニウム
フタロシアニンクロリド、フタロシアニン(無金属)、
ジリチウムフタロシアニン、銅テトラメチルフタロシア
ニン、銅フタロシアニン、クロムフタロシアニン、亜鉛
フタロシアニン、鉛フタロシアニン、チタニウムフタロ
シアニンオキシド、Mgフタロシアニン、銅オクタメチ
ルフタロシアニン等があげられる。
Typical examples of the porphyrin compound include porphine, 1,10,15,20-tetraphenyl-21H, 23H-porphine copper (II), 1,10,
15,20-Tetraphenyl-21H, 23H-porphine zinc (II), 5,10,15,20-tetrakis (pentafluorophenyl) -21H, 23H-porphine, silicon phthalocyanine oxide, aluminum phthalocyanine chloride, phthalocyanine (metal free) ),
Examples thereof include dilithium phthalocyanine, copper tetramethylphthalocyanine, copper phthalocyanine, chromium phthalocyanine, zinc phthalocyanine, lead phthalocyanine, titanium phthalocyanine oxide, Mg phthalocyanine and copper octamethylphthalocyanine.

【0028】また、前記芳香族第三級アミン化合物およ
びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,
N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェ
ニル、N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス−(3−
メチルフェニル)−[1,1′−ビフェニル]−4,
4′−ジアミン(以下、TPDAと略記する)、2,2
−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパ
ン、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニ
ル)シクロヘキサン、N,N,N′,N′−テトラ−p
−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル、1,1−ビ
ス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニ
ルシクロヘキサン、ビス(4−ジメチルアミノ−2−メ
チルフェニル)フェニルメタン、ビス(4−ジ−p−ト
リルアミノフェニル)フェニルメタン、N,N′−ジフ
ェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,
4′−ジアミノビフェニル、N,N,N′,N′−テト
ラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、
4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニ
ル、N,N,N−トリ(p−トリル)アミン、4−(ジ
−p−トリルアミノ)−4′−[4(ジ−p−トリルア
ミノ)スチリル]スチルベン、4−N,N−ジフェニル
アミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン、3−メト
キシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼ
ン、N−フェニルカルバゾール等が挙げられる。また、
発光層の材料として示した前述の芳香族ジメチリディン
系化合物も、正孔注入層の材料として使用することがで
きる。
Typical examples of the aromatic tertiary amine compound and the styrylamine compound are N, N,
N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl, N, N'-diphenyl-N, N'-bis- (3-
Methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,
4'-diamine (hereinafter abbreviated as TPDA), 2,2
-Bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane, 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N, N ', N'-tetra-p
-Tolyl-4,4'-diaminobiphenyl, 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) -4-phenylcyclohexane, bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane, bis ( 4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane, N, N'-diphenyl-N, N'-di (4-methoxyphenyl) -4,
4'-diaminobiphenyl, N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether,
4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl, N, N, N-tri (p-tolyl) amine, 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4 (di-p-tolylamino) Examples include styryl] stilbene, 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene, 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene, N-phenylcarbazole and the like. Also,
The above-mentioned aromatic dimethylidyne compound shown as the material for the light emitting layer can also be used as the material for the hole injection layer.

【0029】正孔注入層は、上述した化合物を、例えば
真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の
公知の方法により薄膜化することにより形成することが
できる。正孔注入層としての膜厚は特に制限されない
が、通常は5nm〜5μmである。この正孔注入層は、
上述した材料の1種または2種以上からなる一層構造で
あってもよいし、同一組成または異種組成の複数層から
なる複層構造であってもよい。
The hole injecting layer can be formed by thinning the above compound by a known method such as a vacuum vapor deposition method, a spin coating method, a casting method and an LB method. The thickness of the hole injection layer is not particularly limited, but is usually 5 nm to 5 μm. This hole injection layer is
It may have a single-layer structure composed of one or more of the above-mentioned materials, or may have a multi-layer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

【0030】必要に応じて設けられる電子注入層は、陰
電極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有し
ていればよく、その材料としては従来公知の化合物の中
から任意のものを選択して用いることができる。
The electron-injection layer, which is provided as necessary, may have a function of transmitting the electrons injected from the negative electrode to the light-emitting layer, and its material is any one of the conventionally known compounds. Can be selected and used.

【0031】具体例としては、ニトロ置換フルオレノン
誘導体、特開昭57−149259号公報、同58−5
5450号公報、同63−104061号公報等に開示
されているアントラキノジメタン誘導体、Polymer Prep
rints,Japan Vol.37,No.3(1988)p.681等に記載されてい
るジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導
体、ナフタレンペリレン等の複素環テトラカルボン酸無
水物、カルボジイミド、Japanese Journal of Applied
Physics,27,L 269(1988)、特開昭60−69657号公
報、同61−143764号公報、同61−14815
9号公報等に開示されているフレオレニリデンメタン誘
導体、特開昭61−225151号公報、同61−23
3750号公報等に開示されているアントラキノジメタ
ン誘導体およびアントロン誘導体、Appl.Phys.Lett.,5
5,15,1489や前述の第38回応用物理学関係連合講演会
で浜田らによって開示されたオキサジアゾール誘導体、
特開昭59−194393号公報に開示されている一連
の電子伝達性化合物等が挙げられる。なお、特開昭59
−194393号公報では前記電子伝達性化合物を発光
層の材料として開示しているが、本発明者らの検討によ
れば、電子注入層の材料としても用いることができるこ
とが明らかとなった。
Specific examples include nitro-substituted fluorenone derivatives, JP-A-57-149259 and JP-A-58-5.
5450, 63-104061 and the like, anthraquinodimethane derivative disclosed in Polymer Prep
rints, Japan Vol.37, No. 3 (1988) p.681 etc., diphenylquinone derivative, thiopyran dioxide derivative, heterocyclic tetracarboxylic acid anhydride such as naphthaleneperylene, carbodiimide, Japanese Journal of Applied
Physics, 27, L 269 (1988), JP-A-60-69657, JP-A-61-143764, JP-A-61-114815.
Fluorenylidene methane derivatives disclosed in, for example, JP-A-61-225151 and JP-A-61-23.
Anthraquinodimethane derivatives and anthrone derivatives disclosed in Japanese Patent No. 3750, Appl. Phys. Lett., 5
5,15,1489 and oxadiazole derivatives disclosed by Hamada et al. At the 38th Joint Lecture Meeting on Applied Physics,
A series of electron-transporting compounds disclosed in JP-A-59-194393 can be mentioned. Incidentally, JP-A-59
Although the above-mentioned electron-transporting compound is disclosed as a material for the light-emitting layer in Japanese Patent Laid-Open No. 194393, it has been clarified by the study by the present inventors that it can be used as a material for the electron-injecting layer.

【0032】また、8−キノリノール誘導体の金属錯
体、具体的にはトリス(8−キノリノール)アルミニウ
ム、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)ア
ルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノ
ール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリ
ノール)アルミニウム等や、これらの金属錯体の中心金
属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、またはPbに置き
代わった金属錯体等も電子注入層の材料として用いるこ
とができる。その他に、メタルフリーあるいはメタルフ
タロシアニン、またはそれらの末端がアルキル基、スル
ホン基等で置換されているものも望ましい。また、発光
層の材料として例示したジスチリルピラジン誘導体も、
電子注入層の材料として用いることができる。
A metal complex of an 8-quinolinol derivative, specifically, tris (8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol). ) Aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, and the like, and metal complexes in which the central metal of these metal complexes is replaced with In, Mg, Cu, Ca, Sn, or Pb, etc. are also materials for the electron injection layer. Can be used as In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those whose terminal is substituted with an alkyl group, a sulfone group or the like is also desirable. In addition, the distyrylpyrazine derivatives exemplified as the material for the light emitting layer are also
It can be used as a material for the electron injection layer.

【0033】電子注入層は、上述した化合物を、例えば
真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の
公知の方法により薄膜化することにより形成することが
できる。電子注入層としての膜厚は特に制限されない
が、通常は5nm〜5μmである。この電子注入層は、
上述した材料の1種または2種以上からなる一層構造で
あってもよいし、同一組成または異種組成の複数層から
なる複層構造であってもよい。
The electron injection layer can be formed by thinning the above compound by a known method such as a vacuum vapor deposition method, a spin coating method, a casting method and an LB method. The thickness of the electron injection layer is not particularly limited, but is usually 5 nm to 5 μm. This electron injection layer is
It may have a single-layer structure composed of one or more of the above-mentioned materials, or may have a multi-layer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.

【0034】なお正孔注入層の材料としては、p型−S
i、p型−SiC等の無機化合物からなる正孔注入輸送
材料を用いることもでき、電子注入層の材料としては、
n型−Si、n型−SiC等の無機化合物からなる電子
注入輸送材料を用いることもできる。正孔注入層用の無
機材料および電子注入層用の無機材料の具体例として
は、国際公開公報WO90/05998に開示されてい
る無機半導体が挙げられる。
The material of the hole injection layer is p-type-S.
A hole injecting and transporting material composed of an inorganic compound such as i, p-type-SiC can also be used, and as a material for the electron injecting layer,
An electron injecting and transporting material made of an inorganic compound such as n-type-Si or n-type-SiC can also be used. Specific examples of the inorganic material for the hole injection layer and the inorganic material for the electron injection layer include the inorganic semiconductors disclosed in International Publication WO90 / 05998.

【0035】以上例示した材料および方法により発光
層、陽極、必要に応じての正孔注入層、および必要に応
じての電子注入層を形成し、前述した方法により陰電極
を形成することにより製造することができる本発明の有
機EL素子は、前述したようにいかなる構成であっても
よいが、以下に、基板上に陽極/正孔注入層/発光層/
陰電極が順次設けられた構成の有機EL素子を製造する
場合の一例を簡単に説明する。
A light emitting layer, an anode, a hole injecting layer if necessary, and an electron injecting layer if necessary are formed by the materials and methods exemplified above, and a cathode is formed by the method described above. The organic EL device of the present invention which can be formed may have any structure as described above. The following will be described below on the substrate: anode / hole injection layer / light emitting layer /
An example of manufacturing an organic EL element having a structure in which negative electrodes are sequentially provided will be briefly described.

【0036】まず適当な基板上に、陽極材料からなる薄
膜を1μm以下、好ましくは10〜200nmの範囲の
膜厚になるように蒸着やスパッタリング等の方法により
形成して、陽極を作製する。次に、この陽極上に正孔注
入層を設ける。正孔注入層の形成は、前述したように真
空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の方
法により行うことができるが、均質な膜が得られやす
く、かつピンホールが生成しにくい等の点から、真空蒸
着法により形成することが好ましい。真空蒸着法により
正孔注入層を形成する場合、その蒸着条件は、使用する
化合物(正孔注入層の材料)、目的とする正孔注入層の
結晶構造や再結合構造等により異なるが、一般に蒸着源
温度50〜450℃、真空度10-5〜10-3Pa、蒸着
速度0.01〜50nm/sec 、基板温度−50〜30
0℃、膜厚5nm〜5μmの範囲で適宜選択することが
好ましい。
First, a thin film made of an anode material is formed on a suitable substrate by a method such as vapor deposition or sputtering so as to have a film thickness of 1 μm or less, preferably 10 to 200 nm, to prepare an anode. Next, a hole injection layer is provided on this anode. The hole injection layer can be formed by a method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, an LB method as described above, but a uniform film is easily obtained and pinholes are not easily generated. From the viewpoints of the above, it is preferable to form by the vacuum deposition method. When the hole injection layer is formed by a vacuum deposition method, the deposition conditions vary depending on the compound used (the material of the hole injection layer), the crystal structure or recombination structure of the target hole injection layer, etc. Deposition source temperature 50 to 450 ° C., vacuum degree 10 −5 to 10 −3 Pa, deposition rate 0.01 to 50 nm / sec, substrate temperature −50 to 30.
It is preferable to select appropriately in the range of 0 ° C. and the film thickness of 5 nm to 5 μm.

【0037】次に発光層を形成した後、この発光層上に
Znと少なくとも1種の第2金属とを多元蒸着して、陰
電極を形成する。これにより目的とする有機EL素子が
得られる。Znと少なくとも1種の第2金属とを共に真
空蒸着法により多元蒸着して陰電極を形成する場合の蒸
着条件は、使用する第2金属の種類等により異なるが、
一般に蒸着源温度100〜5000℃、真空度1×10
-2Pa以下、蒸着速度0.001〜100nm/秒、基
板温度−200〜500℃の範囲で適宜選択することが
好ましい。なお、この有機EL素子の製造においては、
製造順を逆にして、基板上に陰電極/発光層/正孔注入
層/陽極の順に製造することも可能である。
Next, after forming a light emitting layer, Zn and at least one second metal are vapor-deposited on the light emitting layer to form a negative electrode. As a result, the target organic EL device is obtained. The vapor deposition conditions in the case of forming a negative electrode by multi-source vapor deposition of Zn and at least one second metal together by a vacuum vapor deposition method vary depending on the type of the second metal used, etc.
Generally, the vapor deposition source temperature is 100 to 5000 ° C, and the degree of vacuum is 1 x 10
It is preferable to appropriately select −2 Pa or less, a deposition rate of 0.001 to 100 nm / sec, and a substrate temperature of −200 to 500 ° C. In the production of this organic EL element,
It is also possible to reverse the manufacturing order and manufacture on the substrate in the order of negative electrode / light emitting layer / hole injection layer / anode.

【0038】このようにして得ることができる本発明の
有機EL素子の電力変換効率は、Znと少なくとも1種
の第2金属とを含む蒸着膜を陰電極として備えているこ
とから、従来の有機EL素子の電力変換効率よりも向上
している。また、陰電極の化学的安定性も高い。なお、
本発明の有機EL素子に直流電圧を印加する場合、陽電
極を+、陰電極を−の極性にして5〜40Vの電圧を印
加すると、発光が観測できる。また、逆の極性で電圧を
印加しても電流は流れず、発光は全く生じない。さら
に、交流電圧を印加した場合には、陽極が+、陰電極が
−の極性になったときにのみ均一な発光が観測される。
印加する交流の波形は任意でよい。
The power conversion efficiency of the organic EL element of the present invention obtained in this manner is as high as that of a conventional organic EL element because it is provided with a deposited film containing Zn and at least one second metal as a negative electrode. This is higher than the power conversion efficiency of the EL element. Moreover, the chemical stability of the negative electrode is also high. In addition,
When a direct current voltage is applied to the organic EL device of the present invention, light emission can be observed by applying a voltage of 5 to 40 V with the positive electrode having a positive polarity and the negative electrode having a negative polarity. Moreover, even if a voltage is applied with the opposite polarity, no current flows and no light emission occurs. Furthermore, when an AC voltage is applied, uniform light emission is observed only when the anode has a positive polarity and the negative electrode has a negative polarity.
The waveform of the alternating current applied may be arbitrary.

【0039】[0039]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 実施例1 25×75×1.1mmのサイズのガラス基板上にIT
O膜(陽極に相当)を100nmの厚さで成膜したもの
を透明支持基板とした。この透明支持基板をイソプロピ
ルアルコールで30分間超音波洗浄した後、純水で30
分間洗浄し、最後に再びイソプロピルアルコールで30
分間超音波洗浄した。洗浄後の透明支持基板を市販の真
空蒸着装置[日本真空技術(株)製]の基板ホルダーに
固定し、モリブデン製抵抗加熱ボートにN,N′−ジフ
ェニル−N,N′−ビス−(3−メチルフェニル)−
(1,1′−ビフェニル)−4,4′−ジアミン(以
下、TPDAという)を200mg入れ、また別のモリ
ブデン製抵抗加熱ボートにトリス−(8−キノリノー
ル)アルミニウム(以下、Alq.という)を200m
g入れて、真空チャンバー内を1×10-4Paまで減圧
した。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Example 1 IT on a glass substrate having a size of 25 × 75 × 1.1 mm
A 100-nm thick O film (corresponding to the anode) was used as a transparent support substrate. The transparent support substrate is ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol for 30 minutes, and then with pure water.
Wash for 30 minutes, and then again with isopropyl alcohol for 30 minutes.
Ultrasonic cleaning was performed for a minute. The transparent supporting substrate after cleaning was fixed to a substrate holder of a commercially available vacuum deposition apparatus [manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.], and N, N'-diphenyl-N, N'-bis- (3 -Methylphenyl)-
200 mg of (1,1′-biphenyl) -4,4′-diamine (hereinafter referred to as TPDA) was put, and tris- (8-quinolinol) aluminum (hereinafter referred to as Alq.) Was placed in another molybdenum resistance heating boat. 200m
Then, the inside of the vacuum chamber was depressurized to 1 × 10 −4 Pa.

【0040】次に、TPDAを入れた前記抵抗加熱ボー
トを215〜220℃まで加熱して、TPDAを蒸着速
度0.1〜0.3nm/sec で透明支持基板のITO膜
上に堆積させて、膜厚60nmの正孔注入層を成膜し
た。このときの基板温度は室温であった。これを真空チ
ャンバーから取り出すことなく、Alq.を入れた前述
のモリブデン製抵抗加熱ボートを315℃に加熱し、A
lq.を0.1〜0.2nm/sec の蒸着速度で正孔注
入層上に堆積させて、膜厚60nmの発光層を成膜し
た。このときの基板温度も室温であった。
Next, the resistance heating boat containing TPDA is heated to 215 to 220 ° C. to deposit TPDA on the ITO film of the transparent support substrate at a vapor deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / sec. A hole injection layer having a film thickness of 60 nm was formed. The substrate temperature at this time was room temperature. Without removing this from the vacuum chamber, Alq. The molybdenum resistance heating boat containing the above is heated to 315 ° C.
lq. Was deposited on the hole injection layer at a vapor deposition rate of 0.1 to 0.2 nm / sec to form a light emitting layer having a film thickness of 60 nm. The substrate temperature at this time was also room temperature.

【0041】この後、以下の要領で陰電極を成膜した。
まず、モリブデン製抵抗加熱ボートにZn 1gを入
れ、別のモリブデン製抵抗加熱ボートに第2金属として
Ca 1gを入れて、真空チャンバー内を2×10-4
aまで減圧した。減圧後、Caを入れたモリブデン製抵
抗加熱ボートを加熱して3.2nm/sec の蒸着速度で
Caを発光層上に蒸着させ、同時に、Znを入れたモリ
ブデン製抵抗加熱ボートを800℃に加熱して3.2n
m/sec の蒸着速度でZnを発光層上に蒸着させて、Z
nとCaとの混合金属からなる膜厚150nmの陰電極
を成膜した。上述のようにガラス基板上にITO膜(陽
電極)、正孔注入層、発光層、および陰電極を設けたこ
とにより、有機EL素子が得られた。
After that, a negative electrode was formed by the following procedure.
First, 1 g of Zn was put in a resistance heating boat made of molybdenum, and 1 g of Ca as a second metal was put in another resistance heating boat made of molybdenum, and the inside of the vacuum chamber was set to 2 × 10 −4 P.
The pressure was reduced to a. After depressurization, the molybdenum resistance heating boat containing Ca was heated to deposit Ca on the light emitting layer at a deposition rate of 3.2 nm / sec, and at the same time, the molybdenum resistance heating boat containing Zn was heated to 800 ° C. And then 3.2n
Zn is deposited on the light emitting layer at a deposition rate of m / sec to give Z.
A 150 nm-thick negative electrode made of a mixed metal of n and Ca was formed. By providing the ITO film (positive electrode), the hole injection layer, the light emitting layer, and the negative electrode on the glass substrate as described above, an organic EL device was obtained.

【0042】このようにして得られた有機EL素子にお
ける陰電極の組成をX線光電子分光法(XPS)により
分析したところ、この陰電極におけるCaの組成は25
at.%であり、Znの組成は75at. %であることが確
認された。なお、このZnとCaの組成比は、蒸着速度
の比から下式
When the composition of the negative electrode in the thus obtained organic EL device was analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), the composition of Ca in the negative electrode was 25.
It was confirmed that the composition of Zn was 75 at.%. The composition ratio of Zn and Ca can be calculated by the following equation from the ratio of vapor deposition rates.

【数1】 により算出される値と一致した。[Equation 1] It agreed with the value calculated by.

【0043】また、得られた有機EL素子の陰電極を−
の極性に、陽電極(ITO膜)を+の極性にして5Vの
直流電圧(電流密度:8.0mA/cm2 )を印加した
ところ、190cd/m2 の緑色の均一発光が観測され
た。このときの電力変換効率は、表1に示すように1.
5lm/Wと高効率であった。
Further, the negative electrode of the obtained organic EL device was
When a direct current voltage (current density: 8.0 mA / cm 2 ) of 5 V was applied with the positive electrode (ITO film) having a positive polarity, the uniform green emission of 190 cd / m 2 was observed. As shown in Table 1, the power conversion efficiency at this time is 1.
The efficiency was as high as 5 lm / W.

【0044】実施例2 Caの蒸着速度を0.8nm/sec とした以外は実施例
1と全く同様にして、有機EL素子を得た。得られた有
機EL素子における陰電極の組成を実施例1と同様にし
て分析したところ、この陰電極におけるCaの組成は8
at.%であり、Znの組成は92at. %であることが確
認された。なお、この組成比は蒸着速度の比から算出さ
れる値と一致した。また、得られた有機EL素子の陰電
極を−の極性に、陽電極(ITO膜)を+の極性にして
5Vの直流電圧(電流密度:6.0mA/cm2 )を印
加したところ、180cd/m2 の緑色の均一発光が観
測された。このときの電力変換効率は、表1に示すよう
に1.9lm/Wと高効率であった。
Example 2 An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that the vapor deposition rate of Ca was 0.8 nm / sec. When the composition of the negative electrode in the obtained organic EL device was analyzed in the same manner as in Example 1, the composition of Ca in the negative electrode was 8
It was confirmed that the composition of Zn was 92 at.%. The composition ratio was in agreement with the value calculated from the ratio of vapor deposition rates. Further, when a negative electrode of the obtained organic EL device was made to have a negative polarity and a positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity and a DC voltage of 5 V (current density: 6.0 mA / cm 2 ) was applied, 180 cd was obtained. A uniform green emission of / m 2 was observed. The power conversion efficiency at this time was as high as 1.9 lm / W as shown in Table 1.

【0045】実施例3 第2金属としてBaを用い、かつBaの蒸着速度を0.
8nm/sec とした以外は実施例1と全く同様にして、
有機EL素子を得た。得られた有機EL素子における陰
電極の組成を実施例1と同様にして分析したところ、こ
の陰電極におけるBaの組成は5.5 at.%であり、Z
nの組成は94.5at. %であることが確認された。な
お、この組成比は蒸着速度の比から算出される値と一致
した。また、得られた有機EL素子の陰電極を−の極性
に、陽電極(ITO膜)を+の極性にして5Vの直流電
圧(電流密度:4.0mA/cm2 )を印加したとこ
ろ、200cd/m2 の緑色の均一発光が観測された。
このときの電力変換効率は、表1に示すように1.3lm
/Wと高効率であった。
Example 3 Ba was used as the second metal, and the deposition rate of Ba was set to 0.
Except for 8 nm / sec, the same procedure as in Example 1 was performed.
An organic EL device was obtained. When the composition of the negative electrode in the obtained organic EL device was analyzed in the same manner as in Example 1, the composition of Ba in this negative electrode was 5.5 at.
It was confirmed that the composition of n was 94.5 at.%. The composition ratio was in agreement with the value calculated from the ratio of vapor deposition rates. Further, when a negative electrode of the obtained organic EL device was made to have a negative polarity and a positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity and a DC voltage of 5 V (current density: 4.0 mA / cm 2 ) was applied, it was 200 cd. A uniform green emission of / m 2 was observed.
The power conversion efficiency at this time is 1.3 lm as shown in Table 1.
The efficiency was as high as / W.

【0046】実施例4 第2金属としてYbを用い、かつYbの蒸着速度を1n
m/sec とした以外は実施例1と全く同様にして、有機
EL素子を得た。得られた有機EL素子における陰電極
の組成を実施例1と同様にして分析したところ、この陰
電極におけるYbの組成は26 at.%であり、Znの組
成は74at. %であることが確認された。なお、この組
成比は蒸着速度の比から算出される値と一致した。ま
た、得られた有機EL素子の陰電極を−の極性に、陽電
極(ITO膜)を+の極性にして5Vの直流電圧(電流
密度:4.9mA/cm2 )を印加したところ、180
cd/m2 の緑色の均一発光が観測された。このときの
電力変換効率は2.3lm/Wと高効率であった。
Example 4 Yb was used as the second metal, and the deposition rate of Yb was 1 n.
An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that m / sec was set. When the composition of the negative electrode in the obtained organic EL device was analyzed in the same manner as in Example 1, it was confirmed that the composition of Yb in this negative electrode was 26 at.% And the composition of Zn was 74 at.%. Was done. The composition ratio was in agreement with the value calculated from the ratio of vapor deposition rates. Further, when the negative electrode of the obtained organic EL device was made to have a negative polarity and the positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity and a DC voltage of 5 V (current density: 4.9 mA / cm 2 ) was applied, 180
A uniform green emission of cd / m 2 was observed. The power conversion efficiency at this time was as high as 2.3 lm / W.

【0047】実施例5 Ybの蒸着速度を1nm/sec とし、かつZnの蒸着速
度を0.5nm/secとし以外は実施例1と全く同様に
して、有機EL素子を得た。得られた有機EL素子にお
ける陰電極の組成を実施例1と同様にして分析したとこ
ろ、この陰電極におけるYbの組成は58 at.%であ
り、Znの組成は42at. %であることが確認された。
なお、この組成比は蒸着速度の比から算出される値と一
致した。また、得られた有機EL素子の陰電極を−の極
性に、陽電極(ITO膜)を+の極性にして5Vの直流
電圧(電流密度:8.0mA/cm2 )を印加したとこ
ろ、260cd/m2 の緑色の均一発光が観測された。
このときの電力変換効率は2.0lm/Wと高効率であっ
た。
Example 5 An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1 except that the deposition rate of Yb was 1 nm / sec and the deposition rate of Zn was 0.5 nm / sec. When the composition of the negative electrode in the obtained organic EL device was analyzed in the same manner as in Example 1, it was confirmed that the composition of Yb in this negative electrode was 58 at.% And the composition of Zn was 42 at.%. Was done.
The composition ratio was in agreement with the value calculated from the ratio of vapor deposition rates. Further, when a negative electrode of the obtained organic EL device was made to have a negative polarity and a positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity and a DC voltage of 5 V (current density: 8.0 mA / cm 2 ) was applied, 260 cd was obtained. A uniform green emission of / m 2 was observed.
The power conversion efficiency at this time was as high as 2.0 lm / W.

【0048】実施例6 第2金属としてEuを用い、かつEuの蒸着速度を1.
2nm/sec とした以外は実施例1と全く同様にして、
有機EL素子を得た。得られた有機EL素子における陰
電極の組成を実施例1と同様にして分析したところ、こ
の陰電極におけるEuの組成は10.6 at.%であり、
Znの組成は89.4at. %であることが確認された。
なお、この組成比は蒸着速度の比から算出される値と一
致した。また、得られた有機EL素子の陰電極を−の極
性に、陽電極(ITO膜)を+の極性にして5Vの直流
電圧(電流密度:5.3mA/cm2 )を印加したとこ
ろ、160cd/m2 の緑色の均一発光が観測された。
このときの電力変換効率は1.9lm/Wと高効率であっ
た。
Example 6 Eu was used as the second metal, and the deposition rate of Eu was 1.
Except for 2 nm / sec, the same procedure as in Example 1 was performed.
An organic EL device was obtained. When the composition of the negative electrode in the obtained organic EL device was analyzed in the same manner as in Example 1, the composition of Eu in this negative electrode was 10.6 at.
It was confirmed that the composition of Zn was 89.4 at.%.
The composition ratio was in agreement with the value calculated from the ratio of vapor deposition rates. Further, when a negative electrode of the obtained organic EL device was made to have a negative polarity and a positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity and a DC voltage of 5 V (current density: 5.3 mA / cm 2 ) was applied, 160 cd was obtained. A uniform green emission of / m 2 was observed.
The power conversion efficiency at this time was as high as 1.9 lm / W.

【0049】比較例1〜比較例15 陰電極材料として表1に示す金属を用い、各材料を表1
に示す蒸着速度で蒸着させた以外は実施例1と全く同様
にして、それぞれ有機EL素子を得た。各有機EL素子
について、陰電極を−の極性に、陽電極(ITO膜)を
+の極性にして表1に示す値の直流電圧を印加して、発
光を観測した。こときの電流密度、輝度、および電力変
換効率を表1に示す。
Comparative Examples 1 to 15 The metals shown in Table 1 were used as the negative electrode materials, and the respective materials were listed in Table 1.
Organic EL devices were obtained in the same manner as in Example 1 except that the vapor deposition was performed at the vapor deposition rate shown in. For each organic EL device, the negative electrode was made to have a negative polarity, the positive electrode (ITO film) was made to have a positive polarity, and a DC voltage having a value shown in Table 1 was applied to observe light emission. Table 1 shows the current density, luminance, and power conversion efficiency of Kotoki.

【0050】[0050]

【表1】 [Table 1]

【0051】表1から明らかなように、実施例1〜実施
例6で得られた各有機EL素子の電力変換効率は、いず
れの比較例の有機EL素子よりも高効率であった。
As is clear from Table 1, the power conversion efficiencies of the organic EL elements obtained in Examples 1 to 6 were higher than those of any of the comparative organic EL elements.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機EL
素子の電力変換効率は高い。また、陰電極の化学的安定
性も高い。したがって本発明によれば、化学的安定性の
高い陰電極を備え、かつ電力変換効率の向上した新たな
有機EL素子を提供することが可能になる。
As described above, the organic EL device of the present invention
The power conversion efficiency of the device is high. Moreover, the chemical stability of the negative electrode is also high. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a new organic EL element including a negative electrode having high chemical stability and having improved power conversion efficiency.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】Znと、仕事関数3eV以下のアルカリ土
類金属および/または仕事関数3eV以下の希土類金属
とを含む蒸着膜を陰電極として備えたことを特徴とする
有機EL素子。
1. An organic EL device comprising a vapor deposition film containing Zn and an alkaline earth metal having a work function of 3 eV or less and / or a rare earth metal having a work function of 3 eV or less as a negative electrode.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH10149884A (en) * 1996-11-19 1998-06-02 Nec Corp Electrode for light emitting element, manufacture thereof, and manufacture of element having this electrode
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