JPH05248562A - 弁装置 - Google Patents
弁装置Info
- Publication number
- JPH05248562A JPH05248562A JP8614292A JP8614292A JPH05248562A JP H05248562 A JPH05248562 A JP H05248562A JP 8614292 A JP8614292 A JP 8614292A JP 8614292 A JP8614292 A JP 8614292A JP H05248562 A JPH05248562 A JP H05248562A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- rotor
- shaft
- valve body
- valve plug
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インライン型の弁装置を、必要最小限の部品
点数によって構成し、その動作上での信頼性と各部の耐
久性とを確保する。 【構成】 両端に配管接続用フランジ３，４を有する弁
本体２内に、電動機１１を構成するステータ１４とロー
タ１５とを同軸配置する。電動機を構成するロータに設
けられたシャフトに、弁本体のシートリング７を設けた
二次側開口部６を開閉制御するバルブプラグ１０を連設
する。前記シャフトの反バルブプラグ側に雄ねじ部２５
を形成する。この雄ねじ部に螺合する雌ねじ部３１を有
するシャフトガイド３０を、弁本体内に固定して設け
る。そして、電動機によるロータの回転に伴って、バル
ブプラグを回転させながら弁本体内で軸線方向に移動変
位させる。
点数によって構成し、その動作上での信頼性と各部の耐
久性とを確保する。 【構成】 両端に配管接続用フランジ３，４を有する弁
本体２内に、電動機１１を構成するステータ１４とロー
タ１５とを同軸配置する。電動機を構成するロータに設
けられたシャフトに、弁本体のシートリング７を設けた
二次側開口部６を開閉制御するバルブプラグ１０を連設
する。前記シャフトの反バルブプラグ側に雄ねじ部２５
を形成する。この雄ねじ部に螺合する雌ねじ部３１を有
するシャフトガイド３０を、弁本体内に固定して設け
る。そして、電動機によるロータの回転に伴って、バル
ブプラグを回転させながら弁本体内で軸線方向に移動変
位させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弁軸のアクチュエータ
を弁本体内に組み込んでなる、いわゆるインライン型の
弁装置に関する。
を弁本体内に組み込んでなる、いわゆるインライン型の
弁装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、弁軸のアクチュエータ自体もしく
はその一部を弁本体内に組込むことにより、弁外部に突
出配置されていた構成部品を削減し、装置の小型化を図
るようにしたこの種の弁装置として、たとえば特開昭６
３−４７５７９号公報などに示されているような構造の
ものが知られている。
はその一部を弁本体内に組込むことにより、弁外部に突
出配置されていた構成部品を削減し、装置の小型化を図
るようにしたこの種の弁装置として、たとえば特開昭６
３−４７５７９号公報などに示されているような構造の
ものが知られている。
【０００３】すなわち、この種従来の弁装置では、アク
チュエータとして電動機を用い、その回転磁界発生用コ
イルを管本体の外周に配置し、これに対応して回転子を
管本体内に配設するか、もしくは電動機全体を管本体内
に組込み、回転子の回転をねじによりバルブプラグの直
線運動に変換し、弁を開閉制御するような構成が採用さ
れていた。
チュエータとして電動機を用い、その回転磁界発生用コ
イルを管本体の外周に配置し、これに対応して回転子を
管本体内に配設するか、もしくは電動機全体を管本体内
に組込み、回転子の回転をねじによりバルブプラグの直
線運動に変換し、弁を開閉制御するような構成が採用さ
れていた。
【０００４】そして、このような構成による従来の弁装
置によれば、バルブプラグの変位をねじを利用して行な
っているため、バルブプラグを強力に動作させることが
でき、弁の締切性能を高めることができるとともに、バ
ルブプラグの流量特性部形状によって流量特性を自由に
決定することができるという利点を有している。
置によれば、バルブプラグの変位をねじを利用して行な
っているため、バルブプラグを強力に動作させることが
でき、弁の締切性能を高めることができるとともに、バ
ルブプラグの流量特性部形状によって流量特性を自由に
決定することができるという利点を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の弁装置にあっては、弁本体内への電動機の組込
み、この電動機の回転子と弁体とのねじ結合、弁体の弁
本体内での軸線方向へのガイド、各構成部分のシール等
というように、装置全体の構造が複雑で、構成部品点
数、さらに各部をシールするシール部品の数が多くな
り、しかもこれらのシール部品によるフリクションの可
動側部品に対しての影響が大きいことから、可動側部品
の動きが害されるといった動作上での信頼性の面などで
の問題を生じる虞れがあった。
従来の弁装置にあっては、弁本体内への電動機の組込
み、この電動機の回転子と弁体とのねじ結合、弁体の弁
本体内での軸線方向へのガイド、各構成部分のシール等
というように、装置全体の構造が複雑で、構成部品点
数、さらに各部をシールするシール部品の数が多くな
り、しかもこれらのシール部品によるフリクションの可
動側部品に対しての影響が大きいことから、可動側部品
の動きが害されるといった動作上での信頼性の面などで
の問題を生じる虞れがあった。
【０００６】また、バルブプラグを軸線方向に移動させ
るにあたって、このバルブプラグを電動機の回転子等と
の間をねじ結合するとともに、このバルブプラグの回転
を阻止して直進移動させるために、バルブプラグと弁本
体側のガイド等との間に回り止め手段を介在させる等の
構造を必要とし、構造が複雑化するばかりでなく、バル
ブプラグと回転子とが独立であるために、軸回りにシー
ル部品を設ける必要があり、実用面でまだまだ不十分な
ものであった。
るにあたって、このバルブプラグを電動機の回転子等と
の間をねじ結合するとともに、このバルブプラグの回転
を阻止して直進移動させるために、バルブプラグと弁本
体側のガイド等との間に回り止め手段を介在させる等の
構造を必要とし、構造が複雑化するばかりでなく、バル
ブプラグと回転子とが独立であるために、軸回りにシー
ル部品を設ける必要があり、実用面でまだまだ不十分な
ものであった。
【０００７】本発明はこのような問題点を一掃するため
になされたものであって、各部の構造を簡素化し、シー
ル部品を始めとする構成部品点数の削減化を図り、さら
に弁本体側でのストレスの影響を受け難くし、機械的強
度を向上させ、バルブプラグによる弁の開閉制御という
動作上での信頼性を保ち、さらに各部の耐久性を向上さ
せ、インライン型としての効果を発揮し得る弁装置を得
ることを目的としている。
になされたものであって、各部の構造を簡素化し、シー
ル部品を始めとする構成部品点数の削減化を図り、さら
に弁本体側でのストレスの影響を受け難くし、機械的強
度を向上させ、バルブプラグによる弁の開閉制御という
動作上での信頼性を保ち、さらに各部の耐久性を向上さ
せ、インライン型としての効果を発揮し得る弁装置を得
ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような要請に応える
ために本発明に係る弁装置は、弁本体と、この弁本体に
同軸配置されたステータおよびロータからなる電動機
と、ロータに設けられたシャフトに連設され弁本体の一
方の開口を開閉制御するバルブプラグとを備えてなり、
前記シャフトの反バルブプラグ側とねじ結合されるシャ
フトガイドを、弁本体内に固定して設け、電動機による
ロータの回転に伴ってバルブプラグが回転しながら弁本
体内で軸線方向に変位可能に構成したものである。
ために本発明に係る弁装置は、弁本体と、この弁本体に
同軸配置されたステータおよびロータからなる電動機
と、ロータに設けられたシャフトに連設され弁本体の一
方の開口を開閉制御するバルブプラグとを備えてなり、
前記シャフトの反バルブプラグ側とねじ結合されるシャ
フトガイドを、弁本体内に固定して設け、電動機による
ロータの回転に伴ってバルブプラグが回転しながら弁本
体内で軸線方向に変位可能に構成したものである。
【０００９】
【作用】本発明によれば、電動機によりロータが回転さ
れることにより、このロータと一体的に構成されている
シャフトおよびバルブプラグが共に回転し、この回転に
よってシャフトとねじ結合されている弁本体側に設けた
シャフトガイドが、弁本体の一方の開口に設けられたシ
ートリングに対し進退動作し、これによって被制御流体
の流量制御が行なわれる。
れることにより、このロータと一体的に構成されている
シャフトおよびバルブプラグが共に回転し、この回転に
よってシャフトとねじ結合されている弁本体側に設けた
シャフトガイドが、弁本体の一方の開口に設けられたシ
ートリングに対し進退動作し、これによって被制御流体
の流量制御が行なわれる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明に係る弁装置の一実施例を示す
ものであり、本実施例ではバルブプラグを弁装置の二次
側開口に配置したＶポートプラグタイプの単座弁型の弁
装置に適用した場合を示している。
ものであり、本実施例ではバルブプラグを弁装置の二次
側開口に配置したＶポートプラグタイプの単座弁型の弁
装置に適用した場合を示している。
【００１１】図において、全体を符号１で示す弁装置
は、被制御流体を流通させる配管（図示せず）の途中に
介在して配置される弁本体２を備えている。この弁本体
２は、概略左右対称形状に分割形成されて同軸上で対向
配置された入口側弁本体２Ａおよび出口側弁本体２Ｂと
で構成され、入口側弁本体２Ａのフランジ部３が上流側
配管のフランジ部に複数個のボルトおよびナット（共に
図示せず）によって締結固定され、出口側弁本体２Ｂの
フランジ部４が下流側配管のフランジ部に同じくボルト
とナット（共に図示せず）によって締結固定されてい
る。また、出口側弁本体２Ｂの二次側開口６には、一次
側開口部５より小さい内径部を有する円筒形状をなすシ
ートリング７が上流側開口端よりねじ込みまたは圧入等
で固定されている。
は、被制御流体を流通させる配管（図示せず）の途中に
介在して配置される弁本体２を備えている。この弁本体
２は、概略左右対称形状に分割形成されて同軸上で対向
配置された入口側弁本体２Ａおよび出口側弁本体２Ｂと
で構成され、入口側弁本体２Ａのフランジ部３が上流側
配管のフランジ部に複数個のボルトおよびナット（共に
図示せず）によって締結固定され、出口側弁本体２Ｂの
フランジ部４が下流側配管のフランジ部に同じくボルト
とナット（共に図示せず）によって締結固定されてい
る。また、出口側弁本体２Ｂの二次側開口６には、一次
側開口部５より小さい内径部を有する円筒形状をなすシ
ートリング７が上流側開口端よりねじ込みまたは圧入等
で固定されている。
【００１２】前記入口側弁本体２Ａと出口側弁本体２Ｂ
との間には、バルブプラグ１０のアクチュエータを構成
する電動機としてのパルスモータ１１がＯリング１２を
介して配設されており、これら三者を複数個のボルト１
３によって一体に結合している。パルスモータ１１自体
は従来周知のもので、ステータ１４とロータ１５とで構
成されている。
との間には、バルブプラグ１０のアクチュエータを構成
する電動機としてのパルスモータ１１がＯリング１２を
介して配設されており、これら三者を複数個のボルト１
３によって一体に結合している。パルスモータ１１自体
は従来周知のもので、ステータ１４とロータ１５とで構
成されている。
【００１３】前記ステータ１４は、外筒体１６、外筒体
１６の両端開口部にＯリング１７を介して嵌合固定され
た左右一対のリングプレート１８Ａ、１８Ｂ、外筒体１
６の内面に周方向に並設された励磁コイル２０、リング
プレート１８Ａ、１８Ｂの内周面に両端部を溶接固定さ
れて配設され前記励磁コイル２０を被制御流体２１から
保護する非磁性材製の筒体２２等で構成されている。
１６の両端開口部にＯリング１７を介して嵌合固定され
た左右一対のリングプレート１８Ａ、１８Ｂ、外筒体１
６の内面に周方向に並設された励磁コイル２０、リング
プレート１８Ａ、１８Ｂの内周面に両端部を溶接固定さ
れて配設され前記励磁コイル２０を被制御流体２１から
保護する非磁性材製の筒体２２等で構成されている。
【００１４】一方、前記ロータ１５は、弁本体２内で被
制御流体２１が流れる通路を遮る状態で同軸配置される
略円板形状を呈するように磁性材によって形成され、そ
の一部には流体を流通させる切欠き２３（または流通
穴）が形成され、またその中央部には、前記バルブプラ
グ１０と、このバルブプラグ１０と反対側の端部に雄ね
じ部２５を有するシャフト２４が、ボルト２６等で一体
的に連設されている。
制御流体２１が流れる通路を遮る状態で同軸配置される
略円板形状を呈するように磁性材によって形成され、そ
の一部には流体を流通させる切欠き２３（または流通
穴）が形成され、またその中央部には、前記バルブプラ
グ１０と、このバルブプラグ１０と反対側の端部に雄ね
じ部２５を有するシャフト２４が、ボルト２６等で一体
的に連設されている。
【００１５】ここで、上述したシャフト２４は、図示は
省略したが、バルブプラグ１０に対し、このプラグ１０
をシートリング７に締切り時に圧接させて締切り特性を
向上させるとともに弁締切り時のクッション性を得るこ
とができるばね手段を介在させた状態で連設されてお
り、常時は一体的に動作するようになっている。なお、
図中１０ａはバルブプラグ１０に設けられたＶ型窓部で
ある。
省略したが、バルブプラグ１０に対し、このプラグ１０
をシートリング７に締切り時に圧接させて締切り特性を
向上させるとともに弁締切り時のクッション性を得るこ
とができるばね手段を介在させた状態で連設されてお
り、常時は一体的に動作するようになっている。なお、
図中１０ａはバルブプラグ１０に設けられたＶ型窓部で
ある。
【００１６】３０は前記シャフト２４の雄ねじ部２５に
螺合する雌ねじ部３１を中央部に有しかつ複数の流体流
通窓３２が穿設されている略円板形状を呈するシャフト
ガイドで、その外周部の一部が前記リングプレート１８
Ａの内周部にボルト３３にて固定され、前記シャフト２
４がロータ１５に伴って回転することで、ねじ結合によ
って相対的にシャフト２４を軸線方向に案内するように
なっている。
螺合する雌ねじ部３１を中央部に有しかつ複数の流体流
通窓３２が穿設されている略円板形状を呈するシャフト
ガイドで、その外周部の一部が前記リングプレート１８
Ａの内周部にボルト３３にて固定され、前記シャフト２
４がロータ１５に伴って回転することで、ねじ結合によ
って相対的にシャフト２４を軸線方向に案内するように
なっている。
【００１７】そして、このような構成において、パルス
モータ１１の駆動によりロータ１５が回転されると、こ
れと一体的に構成されているシャフト２４およびバルブ
プラグ１０も回転し、かつシャフト２４の雄ねじ部２５
とシャフトガイド３０の雌ねじ部３１との螺合によっ
て、これらのシャフト２４、ロータ１５およびバルブプ
ラグ１０は、回転しながら軸線方向に進退動作されるこ
とになる。この場合、ロータ１５は、コイル２０に加え
られる電流の位相を変えることにより正逆回転し、正方
向の回転時にシャフト２４をたとえば前進移動させると
すると、逆方向の回転時に後退移動させることになる。
モータ１１の駆動によりロータ１５が回転されると、こ
れと一体的に構成されているシャフト２４およびバルブ
プラグ１０も回転し、かつシャフト２４の雄ねじ部２５
とシャフトガイド３０の雌ねじ部３１との螺合によっ
て、これらのシャフト２４、ロータ１５およびバルブプ
ラグ１０は、回転しながら軸線方向に進退動作されるこ
とになる。この場合、ロータ１５は、コイル２０に加え
られる電流の位相を変えることにより正逆回転し、正方
向の回転時にシャフト２４をたとえば前進移動させると
すると、逆方向の回転時に後退移動させることになる。
【００１８】さて、本発明によれば、上述した構成によ
る弁装置１において、前記シャフト２４の反バルブプラ
グ１０側に雄ねじ部２５を形成するとともに、この雄ね
じ部２５に噛合う雌ねじ部３１を有するシャフトガイド
３０を、弁本体２内に固定して設け、パルスモータ１１
によるロータ１５の回転に伴ってバルブプラグ１０が回
転しながら弁本体２内で軸線方向に変位可能に構成して
いる。
る弁装置１において、前記シャフト２４の反バルブプラ
グ１０側に雄ねじ部２５を形成するとともに、この雄ね
じ部２５に噛合う雌ねじ部３１を有するシャフトガイド
３０を、弁本体２内に固定して設け、パルスモータ１１
によるロータ１５の回転に伴ってバルブプラグ１０が回
転しながら弁本体２内で軸線方向に変位可能に構成して
いる。
【００１９】すなわち、このような構成によれば、パル
スモータ１１によりロータ１５が回転することで、この
ロータ１５と一体的に構成されているシャフト２４およ
びバルブプラグ１０が共に回転し、この回転によってシ
ャフト２４の雄ねじ部２５が、弁本体２側に設けたシャ
フトガイド３０の雌ねじ部３１との螺合による螺進動作
によって、弁本体２の下流側開口端部に設けられたシー
トリング７に対し進退動作し、このシートリング７とバ
ルブプラグ１０との間の開口量によって被制御流体２１
の流量制御が行なわれる。
スモータ１１によりロータ１５が回転することで、この
ロータ１５と一体的に構成されているシャフト２４およ
びバルブプラグ１０が共に回転し、この回転によってシ
ャフト２４の雄ねじ部２５が、弁本体２側に設けたシャ
フトガイド３０の雌ねじ部３１との螺合による螺進動作
によって、弁本体２の下流側開口端部に設けられたシー
トリング７に対し進退動作し、このシートリング７とバ
ルブプラグ１０との間の開口量によって被制御流体２１
の流量制御が行なわれる。
【００２０】そして、このような構成では、ロータ１５
の回転に伴ってシャフト２４およびバルブプラグ１０が
回転しながら弁本体２内で軸線方向に変位するために、
バルブプラグ１０を直進動作させるためのキー結合とい
った回り止め手段や、シャフト２４やバルブプラグ１０
回りでのシール部品を削減でき、このようなシール部品
を始めとする各部の構成部品点数を削減し、構造を簡素
化するとともに、シール部品によるフリクションの影響
等を防ぎ、動作上での信頼性を向上させ、また耐久性を
向上させ得るものである。
の回転に伴ってシャフト２４およびバルブプラグ１０が
回転しながら弁本体２内で軸線方向に変位するために、
バルブプラグ１０を直進動作させるためのキー結合とい
った回り止め手段や、シャフト２４やバルブプラグ１０
回りでのシール部品を削減でき、このようなシール部品
を始めとする各部の構成部品点数を削減し、構造を簡素
化するとともに、シール部品によるフリクションの影響
等を防ぎ、動作上での信頼性を向上させ、また耐久性を
向上させ得るものである。
【００２１】なお、本発明は上述した実施例構造には限
定されず、各部の構造、形状等について適宜の変更、変
形等が考えられるものであり、種々の変形例が考えられ
よう。たとえば上述した実施例では、Ｖポートプラグ型
の弁装置１を例示したが、本発明はこれに限定されず、
アングルタイプのバルブプラグを有する単座弁やケージ
タイプの複座弁等といった適宜の弁装置に適用し得るも
のである。
定されず、各部の構造、形状等について適宜の変更、変
形等が考えられるものであり、種々の変形例が考えられ
よう。たとえば上述した実施例では、Ｖポートプラグ型
の弁装置１を例示したが、本発明はこれに限定されず、
アングルタイプのバルブプラグを有する単座弁やケージ
タイプの複座弁等といった適宜の弁装置に適用し得るも
のである。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る弁装置
によれば、弁本体に同軸配置されたステータおよびロー
タからなる電動機と、そのロータに設けられたシャフト
に連設され弁本体の一方の開口を開閉制御するバルブプ
ラグを備えてなり、シャフトの反バルブプラグ側とねじ
結合されるシャフトガイドを、弁本体内に固定して設け
るようにしたので、電動機によるロータの回転に伴って
シャフトおよびバルブプラグが回転しながら弁本体内で
軸線方向に変位するために、バルブプラグを直進動作さ
せるためのキー結合といった回り止め手段や、シャフト
やバルブプラグ回りでのシールが不要で、このシール部
品を始めとする各部の構成部品点数を削減し、構造を簡
素化するとともに、シール部品によるフリクションの影
響等を防ぎ、動作上での信頼性を向上させ、また耐久性
を向上させ得るという種々優れた効果がある。
によれば、弁本体に同軸配置されたステータおよびロー
タからなる電動機と、そのロータに設けられたシャフト
に連設され弁本体の一方の開口を開閉制御するバルブプ
ラグを備えてなり、シャフトの反バルブプラグ側とねじ
結合されるシャフトガイドを、弁本体内に固定して設け
るようにしたので、電動機によるロータの回転に伴って
シャフトおよびバルブプラグが回転しながら弁本体内で
軸線方向に変位するために、バルブプラグを直進動作さ
せるためのキー結合といった回り止め手段や、シャフト
やバルブプラグ回りでのシールが不要で、このシール部
品を始めとする各部の構成部品点数を削減し、構造を簡
素化するとともに、シール部品によるフリクションの影
響等を防ぎ、動作上での信頼性を向上させ、また耐久性
を向上させ得るという種々優れた効果がある。
【図１】本発明に係る弁装置の一実施例を示す概略断面
図である。
図である。
１ 弁装置 ２ 弁本体 ５ 一次側開口 ６ 二次側開口 ７ シートリング １０ バルブプラグ １１ パルスモータ（電動機） １４ ステータ １５ ロータ ２０ 励磁コイル ２１ 被制御流体 ２３ 切欠き（流体流通用） ２４ シャフト ２５ 雄ねじ部 ３０ シャフトガイド ３１ 雌ねじ部 ３２ 流体流通窓
Claims (1)
- 【請求項１】 弁本体と、この弁本体に同軸配置された
ステータおよびロータからなる電動機と、前記ロータに
設けられたシャフトに連設され前記弁本体の一方の開口
を開閉制御するバルブプラグとを備えてなる弁装置にお
いて、 前記シャフトの反バルブプラグ側とねじ結合されるシャ
フトガイドを、前記弁本体内に固定して設け、前記電動
機によるロータの回転に伴って前記バルブプラグが回転
しながら前記弁本体内で軸線方向に変位可能に構成され
ていることを特徴とする弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8614292A JPH05248562A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8614292A JPH05248562A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 弁装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05248562A true JPH05248562A (ja) | 1993-09-24 |
Family
ID=13878482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8614292A Pending JPH05248562A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | 弁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05248562A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015117833A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 流体循環用バルブ |
| JP2017072241A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | アルメックスコーセイ株式会社 | 流量制御弁、流量制御装置およびエアシリンダ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347579A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-02-29 | Toyo Eng Corp | 弁 |
-
1992
- 1992-03-10 JP JP8614292A patent/JPH05248562A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347579A (ja) * | 1986-08-14 | 1988-02-29 | Toyo Eng Corp | 弁 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015117833A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 流体循環用バルブ |
| JP2017072241A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | アルメックスコーセイ株式会社 | 流量制御弁、流量制御装置およびエアシリンダ装置 |
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