JPH05245480A - 排水処理装置 - Google Patents
排水処理装置Info
- Publication number
- JPH05245480A JPH05245480A JP8493292A JP8493292A JPH05245480A JP H05245480 A JPH05245480 A JP H05245480A JP 8493292 A JP8493292 A JP 8493292A JP 8493292 A JP8493292 A JP 8493292A JP H05245480 A JPH05245480 A JP H05245480A
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- JP
- Japan
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- calcium carbonate
- fluoride
- calcium
- fluorine
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Abstract
(57)【要約】
【目的】フッ化水素、又はこれとフッ化アンモニウムを
主成分とするエッチング剤から、フッ素をフッ化カルシ
ウムとして回収する際に、生ずる排水の純化を確実にす
る装置を開発すること。 【構成】上記エッチング剤を炭酸カルシウムにより、フ
ッ素をフッ化カルシウムとして分離する方法に用いる装
置として、炭酸カルシウム撹拌反応槽に並列または（お
よび）直列に炭酸カルシウム固定床を接続すること。
主成分とするエッチング剤から、フッ素をフッ化カルシ
ウムとして回収する際に、生ずる排水の純化を確実にす
る装置を開発すること。 【構成】上記エッチング剤を炭酸カルシウムにより、フ
ッ素をフッ化カルシウムとして分離する方法に用いる装
置として、炭酸カルシウム撹拌反応槽に並列または（お
よび）直列に炭酸カルシウム固定床を接続すること。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】フッ化水素、又はこれとフッ化ア
ンモニウムを主成分とし、これに種々の化学的機能促進
の添加成分を含有するエッチング剤は、半導体製造分野
とその関連分野のエッチング工程のみならず、諸金属材
料、単結晶材料、光学系材料等の表面処理分野にも広く
用いられ、その需要の増大と共に、環境浄化と、資源回
収の観点から、その回収技術および排水処理技術の必要
性が高まってきた。
ンモニウムを主成分とし、これに種々の化学的機能促進
の添加成分を含有するエッチング剤は、半導体製造分野
とその関連分野のエッチング工程のみならず、諸金属材
料、単結晶材料、光学系材料等の表面処理分野にも広く
用いられ、その需要の増大と共に、環境浄化と、資源回
収の観点から、その回収技術および排水処理技術の必要
性が高まってきた。
【０００２】従って本発明の目的は、上記エッチング剤
から、フッ素をフッ化カルシウムとして回収するに際し
ての、排水純化の確実性を保持しようとするものであ
る。
から、フッ素をフッ化カルシウムとして回収するに際し
ての、排水純化の確実性を保持しようとするものであ
る。
【０００３】炭酸カルシウムを用いて、フッ素成分含有
水を排水処理する技術として、粒状炭酸カルシウム固定
床による方式は既に諸特許が提示されている（特開昭４
８−６３２１４号、特開昭６１−１４６３８８号）。
水を排水処理する技術として、粒状炭酸カルシウム固定
床による方式は既に諸特許が提示されている（特開昭４
８−６３２１４号、特開昭６１−１４６３８８号）。
【０００４】しかしながら、上記方式の利点を更に効果
的とし、欠点を補完する方式については未だ開発されて
いなかった。
的とし、欠点を補完する方式については未だ開発されて
いなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】フッ素を含有する溶液
使用後の処理において、溶液中フッ素濃度が、その溶液
を使用する工程の変動、例えば作業の一時点中断や誤作
業によって定常状態からはずれることが避けられない。
また、使用工程が年間無停止で稼働し、廃液処理設備の
事故、修理、誤動作による停止が許されない場合が多
い。本発明は、この様な使用工程の変動と処理設備の処
理機能停止の二つの課題を解決しようとするものであ
る。
使用後の処理において、溶液中フッ素濃度が、その溶液
を使用する工程の変動、例えば作業の一時点中断や誤作
業によって定常状態からはずれることが避けられない。
また、使用工程が年間無停止で稼働し、廃液処理設備の
事故、修理、誤動作による停止が許されない場合が多
い。本発明は、この様な使用工程の変動と処理設備の処
理機能停止の二つの課題を解決しようとするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】炭酸カルシウムとフッ素
含有液を撹拌反応させて、フッ化カルシウムを回収する
と共に、液中のフッ素濃度を排水しうる濃度に低減する
反応槽からの流出液のフッ素濃度が、何等かの工程変動
で増加したとき、下流に炭酸カルシウム固定相を配置し
てその濃度を低減する。また、反応槽、あるいは反応槽
運転設備、例えば撹拌機、加温機、バルブ、ポンプ、配
管等の故障あるいは修理により、運転が停止するとき、
並列に炭酸カルシウム固定床を設置する。
含有液を撹拌反応させて、フッ化カルシウムを回収する
と共に、液中のフッ素濃度を排水しうる濃度に低減する
反応槽からの流出液のフッ素濃度が、何等かの工程変動
で増加したとき、下流に炭酸カルシウム固定相を配置し
てその濃度を低減する。また、反応槽、あるいは反応槽
運転設備、例えば撹拌機、加温機、バルブ、ポンプ、配
管等の故障あるいは修理により、運転が停止するとき、
並列に炭酸カルシウム固定床を設置する。
【０００７】
【発明の構成及び作用】図１に、炭酸カルシウムを用い
る撹拌反応槽に、並列および直列に粒状炭酸カルシウム
の固定床を結合した処理装置を示した。フッ素含有液の
使用工程と使用済み溶液の処理装置が連続的に稼働する
場合は、図１の直列系のみを作動する。撹拌反応槽の運
転が故障などの原因で停止したとき、あるいは停止を必
要とするときは、並列の固定床に流路を切替える。並列
固定床流路を直列固定床に結合するか否かは、変動・停
止の事情により可変とする。この場合は、フッ化カルシ
ウムの回収は中断される。以下に、この処理装置の構成
並びに効果を具体的に実施例によって述べる。
る撹拌反応槽に、並列および直列に粒状炭酸カルシウム
の固定床を結合した処理装置を示した。フッ素含有液の
使用工程と使用済み溶液の処理装置が連続的に稼働する
場合は、図１の直列系のみを作動する。撹拌反応槽の運
転が故障などの原因で停止したとき、あるいは停止を必
要とするときは、並列の固定床に流路を切替える。並列
固定床流路を直列固定床に結合するか否かは、変動・停
止の事情により可変とする。この場合は、フッ化カルシ
ウムの回収は中断される。以下に、この処理装置の構成
並びに効果を具体的に実施例によって述べる。
【０００８】
【実施例１】使用済みフッ化水素酸溶液を連続的に炭酸
カルシウムによる撹拌反応槽で処理し、処理後の液中フ
ッ素濃度が一時的に１００〜３００ppmに上昇したと
き、直列の炭酸カルシウム固定床からの流出液は１０pp
m以下であった。また撹拌反応槽を３日間停止し、並列
の炭酸カルシウム固定床によって処理したときの流出液
は、３日間１０ppm以下に保持し得た。
カルシウムによる撹拌反応槽で処理し、処理後の液中フ
ッ素濃度が一時的に１００〜３００ppmに上昇したと
き、直列の炭酸カルシウム固定床からの流出液は１０pp
m以下であった。また撹拌反応槽を３日間停止し、並列
の炭酸カルシウム固定床によって処理したときの流出液
は、３日間１０ppm以下に保持し得た。
【０００９】炭酸カルシウム固定床は比表面積２００cm
2／gの粒状炭酸カルシウム３.５Ｔを２Ｍ3の充填槽に充
填したものである。
2／gの粒状炭酸カルシウム３.５Ｔを２Ｍ3の充填槽に充
填したものである。
【００１０】
【表１】
【００１１】但し［表１］の１は撹拌反応槽−直列固定
床の接続運転の場合を、また［表１］の２は並列固定床
のみの運転の場合の結果を示す。
床の接続運転の場合を、また［表１］の２は並列固定床
のみの運転の場合の結果を示す。
【００１２】
【実施例２】使用済みバッフアードフッ酸溶液と、連続
的に炭酸カルシウムによる撹拌反応槽で８０℃で処理し
ている際に、反応温度の変動により処理後の液中フッ素
濃度が一時的に１００〜３００ppmに上昇したとき、直
列の炭酸カルシウム固定床からの流出液は１０ppm以下
であった。また撹拌反応槽と３日間停止し、並列の炭酸
カルシウム固定床のみによって処理したときの流出液は
処理原液フッ素濃度を約１／５０〜１／１００に低減し
得た。炭酸カルシウム固定床は実施例１と同じものであ
る。
的に炭酸カルシウムによる撹拌反応槽で８０℃で処理し
ている際に、反応温度の変動により処理後の液中フッ素
濃度が一時的に１００〜３００ppmに上昇したとき、直
列の炭酸カルシウム固定床からの流出液は１０ppm以下
であった。また撹拌反応槽と３日間停止し、並列の炭酸
カルシウム固定床のみによって処理したときの流出液は
処理原液フッ素濃度を約１／５０〜１／１００に低減し
得た。炭酸カルシウム固定床は実施例１と同じものであ
る。
【００１３】
【表２】
【００１４】また［表２］の１及び［表２］の２につい
ても、［表１］の１及び［表１］の２と同様の場合を示
す。
ても、［表１］の１及び［表１］の２と同様の場合を示
す。
【００１５】
【図１】
【００１６】図１は本発明装置をフローシートで説明し
た説明図である。
た説明図である。
【表１】
【表１】
【表２】
【表２】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市青葉区米ヶ袋２丁目１番17− 301 (72)発明者 原田 宙幸 東京都練馬区西大泉２−25−43 (72)発明者 三木 正博 大阪府大阪市阿倍野区帝塚山一丁目23番14 −521 (72)発明者 福留 敏郎 大阪府南河内郡千早赤阪村大字小吹68− 335 (72)発明者 前野 又五郎 大阪府和泉市光明台２−42−６ (72)発明者 寺沢 則男 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 恵藤 良弘 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内 (72)発明者 阪田 正博 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】フッ化水素、又はフッ化水素およびフッ化
アンモニウムを主成分とする溶液から、フッ素を炭酸カ
ルシウムによりフッ化カルシウムとして分離する装置に
おいて、フッ化カルシウムの回収を目的とする炭酸カル
シウム撹拌反応槽に、並列または（および）直列に炭酸
カルシウム固定床を接続することを特徴とする排水処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8493292A JPH05245480A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 排水処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8493292A JPH05245480A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 排水処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05245480A true JPH05245480A (ja) | 1993-09-24 |
Family
ID=13844463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8493292A Pending JPH05245480A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 排水処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05245480A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5928481A (en) * | 1994-05-13 | 1999-07-27 | Austech Limited | Apparatus for sterilising water by the process of heavy metal sterilisation using silver |
| US6267885B1 (en) | 1995-11-28 | 2001-07-31 | Austech Pty., Ltd. | Liquid sterilization apparatus |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP8493292A patent/JPH05245480A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5928481A (en) * | 1994-05-13 | 1999-07-27 | Austech Limited | Apparatus for sterilising water by the process of heavy metal sterilisation using silver |
| US6267885B1 (en) | 1995-11-28 | 2001-07-31 | Austech Pty., Ltd. | Liquid sterilization apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000111 |