JPH05242995A - 誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法 - Google Patents
誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法Info
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- JPH05242995A JPH05242995A JP3220173A JP22017391A JPH05242995A JP H05242995 A JPH05242995 A JP H05242995A JP 3220173 A JP3220173 A JP 3220173A JP 22017391 A JP22017391 A JP 22017391A JP H05242995 A JPH05242995 A JP H05242995A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 水冷構造であっても上下フランジの間に高電
圧を印加し、着実にプラズマの着火を行うことができる
誘導プラズマ装置を実現する。 【構成】 内管５内部にアルゴンガスを供給した上、制
御装置２１からの制御信号によってバルブ１６を閉じ、
バルブ１８を開く。この時、バルブ２０は開けられてい
る。この結果、内管５と外管６との間の冷却水は、圧縮
ガスによって短時間に冷却水排出孔９，排出管１９を通
って排出され、内管５と外管６との間の空間には、冷却
水がなくなる。この状態で高圧発生装置１１から上下フ
ランジ１，２の間に高電圧を印加し、更に、高周波電源
からＲＦコイル１０に高周波を印加し、内管５内部にプ
ラズマを発生させる。この時、フランジ１と２との間に
は、冷却水が存在していないので、上下フランジ間の絶
縁性は極めて優れた状態となっており、トーチ内部のア
ルゴンガスの励起を行い、プラズマの着火を行うことが
できる。
圧を印加し、着実にプラズマの着火を行うことができる
誘導プラズマ装置を実現する。 【構成】 内管５内部にアルゴンガスを供給した上、制
御装置２１からの制御信号によってバルブ１６を閉じ、
バルブ１８を開く。この時、バルブ２０は開けられてい
る。この結果、内管５と外管６との間の冷却水は、圧縮
ガスによって短時間に冷却水排出孔９，排出管１９を通
って排出され、内管５と外管６との間の空間には、冷却
水がなくなる。この状態で高圧発生装置１１から上下フ
ランジ１，２の間に高電圧を印加し、更に、高周波電源
からＲＦコイル１０に高周波を印加し、内管５内部にプ
ラズマを発生させる。この時、フランジ１と２との間に
は、冷却水が存在していないので、上下フランジ間の絶
縁性は極めて優れた状態となっており、トーチ内部のア
ルゴンガスの励起を行い、プラズマの着火を行うことが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、誘導プラズマ成膜装置
などに使用して好適な、誘導プラズマ装置におけるプラ
ズマ着火方法に関する。
などに使用して好適な、誘導プラズマ装置におけるプラ
ズマ着火方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】物体の表面の耐熱性を向上させる目的
で、耐熱性に優れた粉末などの物質を１万度以上の高温
プラズマ中に通して溶かし、この溶融した物質を基板に
導き、溶融物質を材料に溶射したり、材料上に粉末物質
の膜あるいは粉末物質とプラズマガス（反応ガス）と化
学反応させた物質の膜を形成することが行われている
が、このプラズマを発生させるために誘導プラズマ発生
装置が用いられている。
で、耐熱性に優れた粉末などの物質を１万度以上の高温
プラズマ中に通して溶かし、この溶融した物質を基板に
導き、溶融物質を材料に溶射したり、材料上に粉末物質
の膜あるいは粉末物質とプラズマガス（反応ガス）と化
学反応させた物質の膜を形成することが行われている
が、このプラズマを発生させるために誘導プラズマ発生
装置が用いられている。
【０００３】この装置では、絶縁性物質で形成された円
筒状の管の周囲に高周波電源により駆動される加熱用の
ＲＦコイルを配置するようにしている。この構成で、Ｒ
Ｆコイルに励磁電流を流すと、管の内部に誘導プラズマ
が発生するが、このプラズマの温度は、１万度から１万
５千度程度とかなりの高温になり、このプラズマ内に成
膜用の物質を流すことにより、この物質を溶解あるいは
蒸発することができる。溶解または蒸発された物質は、
管に連通したチャンバー内に配置された基板上に照射さ
れ、例えば、基板上に所望物質の膜が形成される。通
常、この管は、プラズマの輻射光により高温に加熱され
るため、二重構造とし、その内部に冷却水を流すように
している。
筒状の管の周囲に高周波電源により駆動される加熱用の
ＲＦコイルを配置するようにしている。この構成で、Ｒ
Ｆコイルに励磁電流を流すと、管の内部に誘導プラズマ
が発生するが、このプラズマの温度は、１万度から１万
５千度程度とかなりの高温になり、このプラズマ内に成
膜用の物質を流すことにより、この物質を溶解あるいは
蒸発することができる。溶解または蒸発された物質は、
管に連通したチャンバー内に配置された基板上に照射さ
れ、例えば、基板上に所望物質の膜が形成される。通
常、この管は、プラズマの輻射光により高温に加熱され
るため、二重構造とし、その内部に冷却水を流すように
している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この高周波
誘導プラズマを発生させるためには、必ず、着火という
作業が必要となる。従来、この着火の方法としては、次
の方法が一般的である。なお、これらの方法は、いずれ
も管の内部にアルゴンガスを流し、ＲＦコイルに所定の
高周波電流を流した上で行われる。 着火棒と称する金属棒を管内に挿入し、これを誘導加
熱して金属棒から熱電子を発生させ、この熱電子の発生
を引き金にしてプラズマを発生させる。 管内を排気し、例えば、１０−２Ｔｏｒｒ程度に減圧
した状態とすることにより、プラズマを着火する。 誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）などで使用されている手
法で、プラズマトーチへのガス供給系の、トーチに近い
ガス供給管の内部に電極を設け、これにインダクション
コイルを接続して高電圧放電を起こし、これを引き金と
してプラズマ着火を行う。
誘導プラズマを発生させるためには、必ず、着火という
作業が必要となる。従来、この着火の方法としては、次
の方法が一般的である。なお、これらの方法は、いずれ
も管の内部にアルゴンガスを流し、ＲＦコイルに所定の
高周波電流を流した上で行われる。 着火棒と称する金属棒を管内に挿入し、これを誘導加
熱して金属棒から熱電子を発生させ、この熱電子の発生
を引き金にしてプラズマを発生させる。 管内を排気し、例えば、１０−２Ｔｏｒｒ程度に減圧
した状態とすることにより、プラズマを着火する。 誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）などで使用されている手
法で、プラズマトーチへのガス供給系の、トーチに近い
ガス供給管の内部に電極を設け、これにインダクション
コイルを接続して高電圧放電を起こし、これを引き金と
してプラズマ着火を行う。
【０００５】しかしながら、の方法は、誘導加熱によ
り、金属棒から火花が散り、また、金属棒を管内に挿入
しているので、管内が汚染され、結果的に純粋な成膜や
微粉末の生成が行えない。の方法は、減圧装置が付属
しているプラズマ発生装置にしか適用することができ
ず、大気圧で使用するプラズマの発生装置では実現が不
可能である。また、減圧装置が付属していても、プラズ
マが着火できるまでに排気することには時間が掛り、作
業性が悪いことや、減圧下、プラズマを発生させると、
管の内壁にプラズマが触れ易くなり、管が破損する恐れ
がある。の方法では、トーチやガス供給管をはじめ全
ての部材を石英などの絶縁物で作る必要があり、製作が
面倒であると共に、水冷構造にするには大変複雑な構造
とせざるを得ない。
り、金属棒から火花が散り、また、金属棒を管内に挿入
しているので、管内が汚染され、結果的に純粋な成膜や
微粉末の生成が行えない。の方法は、減圧装置が付属
しているプラズマ発生装置にしか適用することができ
ず、大気圧で使用するプラズマの発生装置では実現が不
可能である。また、減圧装置が付属していても、プラズ
マが着火できるまでに排気することには時間が掛り、作
業性が悪いことや、減圧下、プラズマを発生させると、
管の内壁にプラズマが触れ易くなり、管が破損する恐れ
がある。の方法では、トーチやガス供給管をはじめ全
ての部材を石英などの絶縁物で作る必要があり、製作が
面倒であると共に、水冷構造にするには大変複雑な構造
とせざるを得ない。
【０００６】上記した点に注目し、図４に示したような
プラズマ発生装置が提案されている。図中、１は誘導プ
ラズマ発生装置（プラズマトーチ）の上部フランジ、２
は下部フランジであり、上部フランジ１、下部フランジ
２共に、中心に開口を有している。上部フランジ１の開
口には、ガス供給ノズル３が配置されている。ガス供給
ノズル３には、複数の孔４が穿たれており、孔４は、図
示していないが、ガス供給源や成膜物質供給源に接続さ
れている。上部フランジ１と下部フランジ２との間に
は、円筒状の内管５と同じく円筒状の外管６とより成る
に二重管が配置されている。内管５と各フランジとの
間、および、外管６と下部フランジとの間には、Ｏリン
グシール７が設けられ、内管５内部、内管５と外管６と
の間の空間の気密を保持するようにしている。内，外管
５，６の材質は、石英管などの耐熱絶縁性材料を用いて
いる。
プラズマ発生装置が提案されている。図中、１は誘導プ
ラズマ発生装置（プラズマトーチ）の上部フランジ、２
は下部フランジであり、上部フランジ１、下部フランジ
２共に、中心に開口を有している。上部フランジ１の開
口には、ガス供給ノズル３が配置されている。ガス供給
ノズル３には、複数の孔４が穿たれており、孔４は、図
示していないが、ガス供給源や成膜物質供給源に接続さ
れている。上部フランジ１と下部フランジ２との間に
は、円筒状の内管５と同じく円筒状の外管６とより成る
に二重管が配置されている。内管５と各フランジとの
間、および、外管６と下部フランジとの間には、Ｏリン
グシール７が設けられ、内管５内部、内管５と外管６と
の間の空間の気密を保持するようにしている。内，外管
５，６の材質は、石英管などの耐熱絶縁性材料を用いて
いる。
【０００７】下部フランジ２には、内管５と外管６との
間の空間に連通している冷却水導入孔８が穿たれてお
り、上部フランジ１には、内管５と外管６との間の空間
に連通している冷却水排出孔９が穿たれている。冷却水
導入孔８から冷却水を導入し、内管５と外管６との間の
空間を通って、冷却水を排出孔９から排出することによ
り、特に、内管５を冷却することができる。二重管の周
囲には、図示していない高周波電源に接続されているＲ
Ｆコイル１０が巻回されている。下部フランジ２の下側
には、図示していないが、成膜される基板が配置される
チャンバーが配置される。上部フランジ１と下部フラン
ジ２との間には、イグニションコイルの如き高圧発生装
置１１が接続されている。このように構成された装置の
動作を説明すれば次の通りである。
間の空間に連通している冷却水導入孔８が穿たれてお
り、上部フランジ１には、内管５と外管６との間の空間
に連通している冷却水排出孔９が穿たれている。冷却水
導入孔８から冷却水を導入し、内管５と外管６との間の
空間を通って、冷却水を排出孔９から排出することによ
り、特に、内管５を冷却することができる。二重管の周
囲には、図示していない高周波電源に接続されているＲ
Ｆコイル１０が巻回されている。下部フランジ２の下側
には、図示していないが、成膜される基板が配置される
チャンバーが配置される。上部フランジ１と下部フラン
ジ２との間には、イグニションコイルの如き高圧発生装
置１１が接続されている。このように構成された装置の
動作を説明すれば次の通りである。
【０００８】装置の初期状態においては、ガスノズル３
に穿たれた孔４から、例えば、アルゴンガスを供給する
と共に、ＲＦコイル１０に高周波を供給する。この状態
で、高圧発生装置１１から高電圧を上部フランジ１と下
部フランジ２との間に印加すると、二重管内部に供給し
たアルゴンガスが励起され、アーク放電が発生し、この
放電が引き金となって内管５内部にプラズマが発生す
る。その後、アルゴンガスに代えて酸素ガスや窒素ガス
を供給し、更に、キャリアーガスと共に、成膜用物質を
内管５内部に供給する。この結果、成膜用物質は、１万
度〜１万５千度に加熱されたプラズマによって溶融し、
下部フランジ２の下側に配置されたチャンバー内の材料
上に投射される。このように、この提案装置は、上記し
た，，の方法における欠点を改善することができ
るが、冷却水として使用される工業用水や水道水は、比
抵抗が３〜５ＫΩ・cm程度しかないため、上部フランジ
１と下部フランジ２との間は導通状態となり、高電圧を
印加してもトーチ内部のアルゴンガスは励起しずらいこ
とが判明した。
に穿たれた孔４から、例えば、アルゴンガスを供給する
と共に、ＲＦコイル１０に高周波を供給する。この状態
で、高圧発生装置１１から高電圧を上部フランジ１と下
部フランジ２との間に印加すると、二重管内部に供給し
たアルゴンガスが励起され、アーク放電が発生し、この
放電が引き金となって内管５内部にプラズマが発生す
る。その後、アルゴンガスに代えて酸素ガスや窒素ガス
を供給し、更に、キャリアーガスと共に、成膜用物質を
内管５内部に供給する。この結果、成膜用物質は、１万
度〜１万５千度に加熱されたプラズマによって溶融し、
下部フランジ２の下側に配置されたチャンバー内の材料
上に投射される。このように、この提案装置は、上記し
た，，の方法における欠点を改善することができ
るが、冷却水として使用される工業用水や水道水は、比
抵抗が３〜５ＫΩ・cm程度しかないため、上部フランジ
１と下部フランジ２との間は導通状態となり、高電圧を
印加してもトーチ内部のアルゴンガスは励起しずらいこ
とが判明した。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、水冷構造であっても上下フランジ
の間に高電圧を印加し、着実にプラズマの着火を行うこ
とができる誘導プラズマ装置におけるプラズマ着火方法
を実現することにある。
もので、その目的は、水冷構造であっても上下フランジ
の間に高電圧を印加し、着実にプラズマの着火を行うこ
とができる誘導プラズマ装置におけるプラズマ着火方法
を実現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく誘導プラ
ズマ装置におけるプラズマ着火方法は、絶縁性物質で形
成された二重管の周囲に巻回されたＲＦコイルに励磁電
流を流して該管内部に誘導プラズマを発生させると共
に、二重管の間に冷却水を流すようにした誘導プラズマ
発生装置において、前記二重管の両端部に配置されたフ
ランジ間に高電圧を印加する高圧発生装置を設け、前記
二重管の冷却水を排出した状態で前記高圧発生装置から
の高電圧を両フランジ間に印加し、プラズマの着火を行
うようにしたことを特徴としている。
ズマ装置におけるプラズマ着火方法は、絶縁性物質で形
成された二重管の周囲に巻回されたＲＦコイルに励磁電
流を流して該管内部に誘導プラズマを発生させると共
に、二重管の間に冷却水を流すようにした誘導プラズマ
発生装置において、前記二重管の両端部に配置されたフ
ランジ間に高電圧を印加する高圧発生装置を設け、前記
二重管の冷却水を排出した状態で前記高圧発生装置から
の高電圧を両フランジ間に印加し、プラズマの着火を行
うようにしたことを特徴としている。
【００１１】
【作用】本発明に基づく誘導プラズマ装置におけるプラ
ズマ着火方法は、二重管の冷却水を排出した状態で高圧
発生装置から、二重管の両端部に配置されたフランジ間
に、高電圧を印加し、プラズマの着火を行う。
ズマ着火方法は、二重管の冷却水を排出した状態で高圧
発生装置から、二重管の両端部に配置されたフランジ間
に、高電圧を印加し、プラズマの着火を行う。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は、本発明に基づく誘導プラズマ装置
におけるプラズマ着火方法を実施するための誘導プラズ
マ装置の一例を示しており、図４の提案装置と同一部分
は同一番号を付してその詳細な説明を省略する。この実
施例において、冷却水の導入口８には、冷却水源（図示
せず）に接続された冷却水導入管１５が接続されてお
り、この導入管１５には、バルブ１６が設けられてい
る。また、導入管１５には、枝管１７が接続され、この
枝管１７はバルブ１８を介して圧縮ガス源（図示せず）
に接続されている。また導入管１５のバルブ１６の手前
にはバルブ２４を有した排出管２５が接続されている。
冷却水排出孔９には、冷却水排出管１９が接続されてお
り、この排出管１９には、バルブ２０が設けられてい
る。各バルブ１６，１８，２０，２４の開閉は、制御回
路２１からの制御信号によって制御される。ＲＦコイル
１０は直流部２２と発振部２３から成る高周波電源に接
続されている。このような構成の動作を図２のフローチ
ャートを参考にして説明する。
に説明する。図１は、本発明に基づく誘導プラズマ装置
におけるプラズマ着火方法を実施するための誘導プラズ
マ装置の一例を示しており、図４の提案装置と同一部分
は同一番号を付してその詳細な説明を省略する。この実
施例において、冷却水の導入口８には、冷却水源（図示
せず）に接続された冷却水導入管１５が接続されてお
り、この導入管１５には、バルブ１６が設けられてい
る。また、導入管１５には、枝管１７が接続され、この
枝管１７はバルブ１８を介して圧縮ガス源（図示せず）
に接続されている。また導入管１５のバルブ１６の手前
にはバルブ２４を有した排出管２５が接続されている。
冷却水排出孔９には、冷却水排出管１９が接続されてお
り、この排出管１９には、バルブ２０が設けられてい
る。各バルブ１６，１８，２０，２４の開閉は、制御回
路２１からの制御信号によって制御される。ＲＦコイル
１０は直流部２２と発振部２３から成る高周波電源に接
続されている。このような構成の動作を図２のフローチ
ャートを参考にして説明する。
【００１３】プラズマの着火を行うため、内管５内部に
アルゴンガスを供給した上、制御装置２１からの制御信
号によってバルブ１６を閉じると同時にバルブ２４を開
ける。バルブ２４を開け、冷却水を排出側へバイパスす
る理由は、バルブ１６を閉じることで冷却水入口の圧力
を必要以上に加圧させないためである。数秒後にバルブ
１８を開く。この時、バルブ２０は開けられている。こ
の結果、内管５と外管６との間の冷却水は、圧縮ガスに
よって短時間に冷却水排出孔９，排出管１９を通って排
出され、内管５と外管６との間の空間には、冷却水がな
くなる。冷却水の排出を完全に行った後、バルブ１８を
閉じて圧縮ガスの供給を停止し、また、バルブ２０も併
せて閉じる。この状態で高圧発生装置１１から上下フラ
ンジ１，２の間に高電圧を印加し、更に、高周波電源か
らＲＦコイル１０に高周波を印加し、内管５内部にプラ
ズマを発生させる。この時、フランジ１と２との間に
は、冷却水が存在していないので、上下フランジ間の絶
縁性は極めて優れた状態となっており、効率良くトーチ
内部のアルゴンガスの励起を行い、プラズマの着火を行
うことができる。この時、注意すべき点は、プラズマが
着火した場合、プラズマは電磁流体であるがために通常
アースに対して数ＫＶの電位を持っている。このため上
部フランジ１は、このプラズマの電位に近い高周波電圧
がアースに対して存在しており、インダクションコイル
などの高圧発生装置１１の高圧電極を直接上部フランジ
１に接続すると、高圧発生装置１１の電源（通常ＡＣ１
００Ｖ）のラインに高周波電流が流れてしまい、高圧発
生装置１１を破損する原因となる。そこで通常図５のよ
うに、上部フランジ１と高圧発生電極１１の端子との間
にガイシなどの絶縁物質でなる部材３０を置き、上記問
題の発生を防いでいる。ただし、上部フランジ１と高圧
発生電極１１の端子との間隔Ｄは、インダクションコイ
ルなどで決められている放電距離以下にする必要があ
る。また、下部フランジ２との接続は図５のようにアー
スであるチャンバー３１（トーチの電位をアースに落と
さないように通常テフロンなどの部材３２を介して下部
フランジ２に結合されている）にしてもよい。ここで、
高周波電源の直流部２２の直流電圧Ｅpと直流電流Ｉp
は、プラズマの負荷において、図３に示すような特性を
有している。すなわち、プラズマが消火した状態ΔＰ1
と着火した状態ΔＰ2 とでは、Ｅp −Ｉp 特性の傾きが
相違している。この結果、直流電源部２２からの直流電
圧と直流電流の比に対応した信号を制御回路２１に供給
すれば、ΔＰ1 からΔＰ2の傾きの変化によってプラズ
マが着火したことを判断することができる。例えば、直
流電圧がＥn の状態で直流電圧値がＩ1 からＩ2 に変化
した場合、傾きの値が異なるためプラズマが着火したと
判断される。この傾きを使用することで発振器の制御を
Ｅp 一定制御とプラズマ負荷に適したＩp 一定制御の両
方に対応できる。このプラズマの着火の確認後、制御装
置２１からの制御により、高電圧発生装置１１からの高
電圧の印加は停止され、更に、バルブ１６と２０が開け
られ、冷却水が内管５と外管６との間に流される。
アルゴンガスを供給した上、制御装置２１からの制御信
号によってバルブ１６を閉じると同時にバルブ２４を開
ける。バルブ２４を開け、冷却水を排出側へバイパスす
る理由は、バルブ１６を閉じることで冷却水入口の圧力
を必要以上に加圧させないためである。数秒後にバルブ
１８を開く。この時、バルブ２０は開けられている。こ
の結果、内管５と外管６との間の冷却水は、圧縮ガスに
よって短時間に冷却水排出孔９，排出管１９を通って排
出され、内管５と外管６との間の空間には、冷却水がな
くなる。冷却水の排出を完全に行った後、バルブ１８を
閉じて圧縮ガスの供給を停止し、また、バルブ２０も併
せて閉じる。この状態で高圧発生装置１１から上下フラ
ンジ１，２の間に高電圧を印加し、更に、高周波電源か
らＲＦコイル１０に高周波を印加し、内管５内部にプラ
ズマを発生させる。この時、フランジ１と２との間に
は、冷却水が存在していないので、上下フランジ間の絶
縁性は極めて優れた状態となっており、効率良くトーチ
内部のアルゴンガスの励起を行い、プラズマの着火を行
うことができる。この時、注意すべき点は、プラズマが
着火した場合、プラズマは電磁流体であるがために通常
アースに対して数ＫＶの電位を持っている。このため上
部フランジ１は、このプラズマの電位に近い高周波電圧
がアースに対して存在しており、インダクションコイル
などの高圧発生装置１１の高圧電極を直接上部フランジ
１に接続すると、高圧発生装置１１の電源（通常ＡＣ１
００Ｖ）のラインに高周波電流が流れてしまい、高圧発
生装置１１を破損する原因となる。そこで通常図５のよ
うに、上部フランジ１と高圧発生電極１１の端子との間
にガイシなどの絶縁物質でなる部材３０を置き、上記問
題の発生を防いでいる。ただし、上部フランジ１と高圧
発生電極１１の端子との間隔Ｄは、インダクションコイ
ルなどで決められている放電距離以下にする必要があ
る。また、下部フランジ２との接続は図５のようにアー
スであるチャンバー３１（トーチの電位をアースに落と
さないように通常テフロンなどの部材３２を介して下部
フランジ２に結合されている）にしてもよい。ここで、
高周波電源の直流部２２の直流電圧Ｅpと直流電流Ｉp
は、プラズマの負荷において、図３に示すような特性を
有している。すなわち、プラズマが消火した状態ΔＰ1
と着火した状態ΔＰ2 とでは、Ｅp −Ｉp 特性の傾きが
相違している。この結果、直流電源部２２からの直流電
圧と直流電流の比に対応した信号を制御回路２１に供給
すれば、ΔＰ1 からΔＰ2の傾きの変化によってプラズ
マが着火したことを判断することができる。例えば、直
流電圧がＥn の状態で直流電圧値がＩ1 からＩ2 に変化
した場合、傾きの値が異なるためプラズマが着火したと
判断される。この傾きを使用することで発振器の制御を
Ｅp 一定制御とプラズマ負荷に適したＩp 一定制御の両
方に対応できる。このプラズマの着火の確認後、制御装
置２１からの制御により、高電圧発生装置１１からの高
電圧の印加は停止され、更に、バルブ１６と２０が開け
られ、冷却水が内管５と外管６との間に流される。
【００１４】以上本発明の一実施例を詳述したが、本発
明はこの実施例に限定されない。例えば、プラズマが着
火したことを確認するために、高周波電源の直流部２２
からの直流電圧と直流電流とを監視するようにしたが、
トーチ内のプラズマ着火による光を検出し、この光信号
に基づいて冷却水の導入などを行うようにしても良い。
また、二重管内の冷却水を圧縮エアーによって排出する
ようにしたが、二重管の冷却水通路の底部に水抜き用の
バルブを設け、このバルブをプラズマ着火時のみ開ける
ように構成しても良い。
明はこの実施例に限定されない。例えば、プラズマが着
火したことを確認するために、高周波電源の直流部２２
からの直流電圧と直流電流とを監視するようにしたが、
トーチ内のプラズマ着火による光を検出し、この光信号
に基づいて冷却水の導入などを行うようにしても良い。
また、二重管内の冷却水を圧縮エアーによって排出する
ようにしたが、二重管の冷却水通路の底部に水抜き用の
バルブを設け、このバルブをプラズマ着火時のみ開ける
ように構成しても良い。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく誘
導プラズマ装置におけるプラズマ着火方法は、二重管の
両端部に配置されたフランジ間に、二重管の冷却水を排
出した状態で高圧発生装置から、高電圧を印加し、プラ
ズマの着火を行うようにしたので、水冷構造であっても
上下フランジの間に高電圧を印加し、トーチ内圧力に関
係無く着実にプラズマの着火を行うことができる。
導プラズマ装置におけるプラズマ着火方法は、二重管の
両端部に配置されたフランジ間に、二重管の冷却水を排
出した状態で高圧発生装置から、高電圧を印加し、プラ
ズマの着火を行うようにしたので、水冷構造であっても
上下フランジの間に高電圧を印加し、トーチ内圧力に関
係無く着実にプラズマの着火を行うことができる。
【図１】本発明に基づく方法を実施するための誘導プラ
ズマ装置の一例を示す図である。
ズマ装置の一例を示す図である。
【図２】本発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】Ｅp −Ｉp 特性を示す図である。
【図４】上下フランジ間の高電圧印加によりプラズマの
着火を行うようにした提案装置を示す図である。
着火を行うようにした提案装置を示す図である。
【図５】高圧発生装置と上部フランジなどとの電気的接
続を示す図である。
続を示す図である。
１，２…フランジ ３…ガス供給ノズル ５…内管 ６…外管 ８…冷却水導入孔 ９…冷却水排出孔 １０…ＲＦコイル １１…高圧発生装置 １３…ステージ測長系 １５…冷却水導入管 １６，１８，２０…バルブ １７…枝管 １９…冷却水排出管 ２１…制御回路 ２２…直流部 ２３…発振部
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁性物質で形成された二重管の周囲に
巻回されたＲＦコイルに励磁電流を流して該管内部に誘
導プラズマを発生させると共に、二重管の間に冷却水を
流すようにした誘導プラズマ発生装置において、前記二
重管の両端部に配置されたフランジ間に高電圧を印加す
る高圧発生装置を設け、前記二重管の冷却水を排出した
状態で前記高圧発生装置からの高電圧を両フランジ間に
印加し、プラズマの着火を行うようにしたことを特徴と
する誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220173A JP2908912B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220173A JP2908912B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242995A true JPH05242995A (ja) | 1993-09-21 |
| JP2908912B2 JP2908912B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=16747032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3220173A Expired - Lifetime JP2908912B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 誘導プラズマ発生装置におけるプラズマ着火方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908912B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1991
- 1991-08-30 JP JP3220173A patent/JP2908912B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2908912B2 (ja) | 1999-06-23 |
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