JPH05242425A - 薄膜磁気ヘッド構造体 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド構造体Info
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- JPH05242425A JPH05242425A JP4337273A JP33727392A JPH05242425A JP H05242425 A JPH05242425 A JP H05242425A JP 4337273 A JP4337273 A JP 4337273A JP 33727392 A JP33727392 A JP 33727392A JP H05242425 A JPH05242425 A JP H05242425A
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- flux guide
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
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- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/008—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires
- G11B5/00813—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes
- G11B5/00817—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes on longitudinal tracks only, e.g. for serpentine format recording
- G11B2005/00843—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires magnetic tapes on longitudinal tracks only, e.g. for serpentine format recording allowing digital compact cassette [DCC] format recording
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
- G11B5/4893—Disposition of heads relative to moving tape
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 少なくとも１つのデジタルヘッドと少なくと
も１つのアナログヘッドを単一の基板に集積した薄膜磁
気ヘッドのデジタル書込みギャップのオフセットを減少
するか、又は取り除く。 【構成】 薄膜磁気ヘッド構造体40は、単一の基板上に
集積された読取り部及び書込み部を有するデジタルヘッ
ド44と読取り部を有するアナログヘッド46とを具える。
いわゆる「ラップ アラウンド ポール効果」は、デジ
タルヘッド44の下側磁束ガイド48とアナログ読込みギャ
ップを決める絶縁層52との膜厚をほぼ等しくすることに
より減少されるか、又は取り除かれ、その結果デジタル
ヘッド44の読取り部からの信号出力が改善される。薄膜
磁気ヘッド構造体40は、デジタル及びアナログの両方の
コンパクトカセットを再生できるよう設計されたカセッ
トデッキにおいて役に立つ。
も１つのアナログヘッドを単一の基板に集積した薄膜磁
気ヘッドのデジタル書込みギャップのオフセットを減少
するか、又は取り除く。 【構成】 薄膜磁気ヘッド構造体40は、単一の基板上に
集積された読取り部及び書込み部を有するデジタルヘッ
ド44と読取り部を有するアナログヘッド46とを具える。
いわゆる「ラップ アラウンド ポール効果」は、デジ
タルヘッド44の下側磁束ガイド48とアナログ読込みギャ
ップを決める絶縁層52との膜厚をほぼ等しくすることに
より減少されるか、又は取り除かれ、その結果デジタル
ヘッド44の読取り部からの信号出力が改善される。薄膜
磁気ヘッド構造体40は、デジタル及びアナログの両方の
コンパクトカセットを再生できるよう設計されたカセッ
トデッキにおいて役に立つ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド構造体
に関するものであり、さらに詳しくはアナログヘッドと
デジタルヘッドのように二つ又はそれ以上の異なる種類
のヘッドが単一の基板上に集積された薄膜構造を有する
薄膜磁気ヘッド構造体に関するものである。
に関するものであり、さらに詳しくはアナログヘッドと
デジタルヘッドのように二つ又はそれ以上の異なる種類
のヘッドが単一の基板上に集積された薄膜構造を有する
薄膜磁気ヘッド構造体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品が小型化される傾向にあるが、
この小型化される電子部品の内にはテープのような磁気
媒体に対して情報の読み取り及び／又は書き込みを行う
磁気ヘッドも含まれる。例えば、近年デジタルコンパク
トカセット、すなわち「dcc 」として知られている圧縮
デジタルオーディオテープに対して提案されているフォ
ーマットでは、コンパクトカセットとして知られている
標準的なアナログフォーマットに対して使用されている
ものと同じ寸法のテープを採用している。しかしなが
ら、コンパクトカセットでは４つのトラックを持つ代わ
りに dccテープは８つのトラックを持つので、これらの
トラックの読み取り及び書き込みを行う磁気ヘッドには
厳密な条件が要求される。
この小型化される電子部品の内にはテープのような磁気
媒体に対して情報の読み取り及び／又は書き込みを行う
磁気ヘッドも含まれる。例えば、近年デジタルコンパク
トカセット、すなわち「dcc 」として知られている圧縮
デジタルオーディオテープに対して提案されているフォ
ーマットでは、コンパクトカセットとして知られている
標準的なアナログフォーマットに対して使用されている
ものと同じ寸法のテープを採用している。しかしなが
ら、コンパクトカセットでは４つのトラックを持つ代わ
りに dccテープは８つのトラックを持つので、これらの
トラックの読み取り及び書き込みを行う磁気ヘッドには
厳密な条件が要求される。
【０００３】例えば、dcc フォーマットの読取ヘッドお
よび書込ヘッドを設計するに際し、トラックに対してこ
れらの読取ヘッド及び書込ヘッドの位置合わせを行うこ
とは重大な問題である。テープの位置合わせの誤差によ
り、近接したトラックが読まれるのを防ぐために、この
ような構造の書込ヘッドは一般に読取ヘッドより幅が広
く、例えば読取ヘッドの２倍の広さになっている。さら
に、読取ヘッド及び書込ヘッドのテープに対する位置合
わせの誤差が生じないように、EP-A-0 514 976に記載さ
れているように単一の集積された薄膜構造体として読取
ヘッド及び書込ヘッドを構成することが提案されてい
る。
よび書込ヘッドを設計するに際し、トラックに対してこ
れらの読取ヘッド及び書込ヘッドの位置合わせを行うこ
とは重大な問題である。テープの位置合わせの誤差によ
り、近接したトラックが読まれるのを防ぐために、この
ような構造の書込ヘッドは一般に読取ヘッドより幅が広
く、例えば読取ヘッドの２倍の広さになっている。さら
に、読取ヘッド及び書込ヘッドのテープに対する位置合
わせの誤差が生じないように、EP-A-0 514 976に記載さ
れているように単一の集積された薄膜構造体として読取
ヘッド及び書込ヘッドを構成することが提案されてい
る。
【０００４】このように集積化すると、新しい問題が生
じる。例えば、デジタルヘッドを集積した薄膜構造体の
場合に生じる問題としては、読取ヘッドが完全にトラッ
クの領域内にあるときでさえ読取っている間に読取ヘッ
ドの中心がテープのトラックの中心から横方向にずれる
ときに生ずる信号損失という問題がある。ヨーロッパ特
許出願第92201706.6号（特願平４−159392) には、この
問題は薄膜構造体の読取ヘッドの幅を規定する相対的に
幅が狭い少なくとも１つの層の上の層が上記相対的に幅
の狭い層の「周りを包む」ことによって、上記相対的に
狭い幅の層の上にある書込みギャップの中央部に対して
書込みギャップの周辺部に縦方向のオフセットが生じる
いわゆる「ラップ アラウンド ポール効果」のためで
あると記載されている。上記特許出願には、この「ラッ
プ アラウンド ポール効果」を実質的に取り除く、読
取／書込ヘッドが一体的に設けられた薄膜デジタルヘッ
ド構造体が提案されている。
じる。例えば、デジタルヘッドを集積した薄膜構造体の
場合に生じる問題としては、読取ヘッドが完全にトラッ
クの領域内にあるときでさえ読取っている間に読取ヘッ
ドの中心がテープのトラックの中心から横方向にずれる
ときに生ずる信号損失という問題がある。ヨーロッパ特
許出願第92201706.6号（特願平４−159392) には、この
問題は薄膜構造体の読取ヘッドの幅を規定する相対的に
幅が狭い少なくとも１つの層の上の層が上記相対的に幅
の狭い層の「周りを包む」ことによって、上記相対的に
狭い幅の層の上にある書込みギャップの中央部に対して
書込みギャップの周辺部に縦方向のオフセットが生じる
いわゆる「ラップ アラウンド ポール効果」のためで
あると記載されている。上記特許出願には、この「ラッ
プ アラウンド ポール効果」を実質的に取り除く、読
取／書込ヘッドが一体的に設けられた薄膜デジタルヘッ
ド構造体が提案されている。
【０００５】コンパクトカセットに使用されているテー
プと同じ寸法のテープを使用する顕著な利点としては、
dcc カセット及びデッキを、このデッキを既存のコンパ
クトカセットとも適合するように設計することができる
点を挙げることができる。したがって消費者は、新しい
dccデッキで新しい dccカセットのみならず今まで収集
したコンパクトカセットを使用することができる。この
ようなコンパチビリティを実現するには dccデッキにア
ナログ読取ヘッドを取り付けなければならない。
プと同じ寸法のテープを使用する顕著な利点としては、
dcc カセット及びデッキを、このデッキを既存のコンパ
クトカセットとも適合するように設計することができる
点を挙げることができる。したがって消費者は、新しい
dccデッキで新しい dccカセットのみならず今まで収集
したコンパクトカセットを使用することができる。この
ようなコンパチビリティを実現するには dccデッキにア
ナログ読取ヘッドを取り付けなければならない。
【０００６】デジタルヘッドを集積化することによる上
述した利点を享受するために、デジタルヘッドとアナロ
グヘッドとを単一の基板に集積したものが数多く提案さ
れており、例えばEP-A-0 381 266にもそのようなものが
記載されている。
述した利点を享受するために、デジタルヘッドとアナロ
グヘッドとを単一の基板に集積したものが数多く提案さ
れており、例えばEP-A-0 381 266にもそのようなものが
記載されている。
【０００７】薄膜磁気ヘッドの一従来例としては、テー
プを一方向に走行する場合に、テープの走行方向に対し
てデジタルテープの片側にある９本のデジタルトラック
に対して読取り及び／又は書込みを行うための９つのデ
ジタルヘッドを基板の一方の面に一列に配置し、かつ、
アナログテープの片側の２本のトラックを読取る２つの
アナログヘッドを上記基板の他方の面に配置しているも
のがある。上記読取り及び／又は書込みデジタルトラッ
クを逆方向に走行させるときは、上記磁気ヘッドを 180
°回転する。
プを一方向に走行する場合に、テープの走行方向に対し
てデジタルテープの片側にある９本のデジタルトラック
に対して読取り及び／又は書込みを行うための９つのデ
ジタルヘッドを基板の一方の面に一列に配置し、かつ、
アナログテープの片側の２本のトラックを読取る２つの
アナログヘッドを上記基板の他方の面に配置しているも
のがある。上記読取り及び／又は書込みデジタルトラッ
クを逆方向に走行させるときは、上記磁気ヘッドを 180
°回転する。
【０００８】図１に、読取り部分及び書込み部分を有す
るデジタルヘッドと読取り部分を有するアナログヘッド
とが集積された従来の薄膜磁気ヘッド構造体10のヘッド
表面の一部を、ヘッド表面に対して垂直な方向から見た
正面図を示す。デジタルヘッド14とアナログヘッド16は
それぞれ非磁性体材料の基板12上に互いに近接して位置
する。デジタルヘッド14は、読取り部の下側磁束ガイド
18を含む読取り／書込みヘッドを具えており、下側磁束
ガイド18はテープからの磁束を内部に配置された磁気抵
抗エレメント（図示せず）に導く。下側磁束ガイド18
は、製造工程を簡略化するためには、一般に膜厚が約
0.4μm であるが、その結果としてその上に堆積してい
るテスト／バイアス導体に断線が生じる恐れがある。近
接するアナログヘッド16は下側磁束ガイド20を具える。
上記と同じ理由により、下側磁束ガイド20の膜厚は約
0.4μm である。下側磁束ガイド18, 20の上に電気的な
絶縁層22が形成されている。絶縁層22は、Al2O3 のよう
な酸化物で形成されており、膜厚はデジタルヘッド14の
読取りギャップ22Ａを形成するのに適するように一般に
約0.4μm である。絶縁層22はアナログ読取りギャップ
を形成するには薄すぎるため、絶縁層22の上に第２の電
気的な絶縁層23を形成する。絶縁層22, 23の膜厚の和が
アナログ読込みギャップ23Ａを決める。さらに、アナロ
グヘッド16の上側磁束ガイド24が形成される。デジタル
ヘッド14の読取り部分を完成するために上側磁束ガイド
28を形成する。上側磁束ガイド28はまた、デジタルヘッ
ド14の書込み部分の下側磁束ガイドとしての役割もす
る。したがって、上側磁束ガイド28は時々共通磁束ガイ
ドと言われている。書込みギャップを決定する酸化層30
と上側磁束ガイド32を配置して構造体の書込み部分が完
成される。
るデジタルヘッドと読取り部分を有するアナログヘッド
とが集積された従来の薄膜磁気ヘッド構造体10のヘッド
表面の一部を、ヘッド表面に対して垂直な方向から見た
正面図を示す。デジタルヘッド14とアナログヘッド16は
それぞれ非磁性体材料の基板12上に互いに近接して位置
する。デジタルヘッド14は、読取り部の下側磁束ガイド
18を含む読取り／書込みヘッドを具えており、下側磁束
ガイド18はテープからの磁束を内部に配置された磁気抵
抗エレメント（図示せず）に導く。下側磁束ガイド18
は、製造工程を簡略化するためには、一般に膜厚が約
0.4μm であるが、その結果としてその上に堆積してい
るテスト／バイアス導体に断線が生じる恐れがある。近
接するアナログヘッド16は下側磁束ガイド20を具える。
上記と同じ理由により、下側磁束ガイド20の膜厚は約
0.4μm である。下側磁束ガイド18, 20の上に電気的な
絶縁層22が形成されている。絶縁層22は、Al2O3 のよう
な酸化物で形成されており、膜厚はデジタルヘッド14の
読取りギャップ22Ａを形成するのに適するように一般に
約0.4μm である。絶縁層22はアナログ読取りギャップ
を形成するには薄すぎるため、絶縁層22の上に第２の電
気的な絶縁層23を形成する。絶縁層22, 23の膜厚の和が
アナログ読込みギャップ23Ａを決める。さらに、アナロ
グヘッド16の上側磁束ガイド24が形成される。デジタル
ヘッド14の読取り部分を完成するために上側磁束ガイド
28を形成する。上側磁束ガイド28はまた、デジタルヘッ
ド14の書込み部分の下側磁束ガイドとしての役割もす
る。したがって、上側磁束ガイド28は時々共通磁束ガイ
ドと言われている。書込みギャップを決定する酸化層30
と上側磁束ガイド32を配置して構造体の書込み部分が完
成される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
薄膜磁気ヘッドは、以下のような問題点を有する。書込
みギャップの幅は磁束ガイド28と32の幅により決まるの
で、絶縁層22, 23が下側磁束ガイド18の形状に倣うこと
により生じる中央部30Ａと周辺部30Ｂ又は30Ｃとの間に
段差すなわちオフセットΔが発生し、上記「ラップ ア
ラウンドポール効果」が生じる。したがって上述したヨ
ーロッパ特許出願第92 201 706.6号( 特願平４−159392
号) においては、このオフセットΔは、デジタルヘッド
14の下側磁束ガイド18の膜厚を絶縁層22, 23と同じ厚さ
にし、かつ、下側磁束ガイド18の上に堆積した絶縁層23
の一部を選択的にエッチングすることによって防ぐこと
ができ、デジタルヘッド14において次の層を形成する
際、ほぼ平面を得ることができる。しかしながらプロセ
スパラメータの変動による層の厚さの変化は実際には避
けられず、オフセットが生じる。約 0.3μm のオフセッ
トでさえ、ヘッドの出力に対して明らかに「ラップ ア
ラウンド ポール効果」の影響がある。
薄膜磁気ヘッドは、以下のような問題点を有する。書込
みギャップの幅は磁束ガイド28と32の幅により決まるの
で、絶縁層22, 23が下側磁束ガイド18の形状に倣うこと
により生じる中央部30Ａと周辺部30Ｂ又は30Ｃとの間に
段差すなわちオフセットΔが発生し、上記「ラップ ア
ラウンドポール効果」が生じる。したがって上述したヨ
ーロッパ特許出願第92 201 706.6号( 特願平４−159392
号) においては、このオフセットΔは、デジタルヘッド
14の下側磁束ガイド18の膜厚を絶縁層22, 23と同じ厚さ
にし、かつ、下側磁束ガイド18の上に堆積した絶縁層23
の一部を選択的にエッチングすることによって防ぐこと
ができ、デジタルヘッド14において次の層を形成する
際、ほぼ平面を得ることができる。しかしながらプロセ
スパラメータの変動による層の厚さの変化は実際には避
けられず、オフセットが生じる。約 0.3μm のオフセッ
トでさえ、ヘッドの出力に対して明らかに「ラップ ア
ラウンド ポール効果」の影響がある。
【００１０】本発明は以上の問題点を解決するものであ
り、読取り部及び書込み部を有する少なくとも１つのデ
ジタルヘッドと、読取り部を有する少なくとも１つのア
ナログヘッドとを単一の基板に集積した薄膜磁気ヘッド
構造体のデジタル書込みギャップのオフセットを減少す
るか、又は取り除くことを目的とするものである。ま
た、本発明は上記構造体を形成する際に他の層を付加し
たり余分な工程を追加することなしに上記オフセットを
減少するか、又は取り除くことを目的とするものであ
る。
り、読取り部及び書込み部を有する少なくとも１つのデ
ジタルヘッドと、読取り部を有する少なくとも１つのア
ナログヘッドとを単一の基板に集積した薄膜磁気ヘッド
構造体のデジタル書込みギャップのオフセットを減少す
るか、又は取り除くことを目的とするものである。ま
た、本発明は上記構造体を形成する際に他の層を付加し
たり余分な工程を追加することなしに上記オフセットを
減少するか、又は取り除くことを目的とするものであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明では、デジタルヘ
ッドの下側磁束ガイドの膜厚がアナログ読取りギャップ
の厚さに等しいものを選択する。したがって、アナログ
ヘッドの下側磁束ガイドの上及び上記デジタルヘッドの
下側磁束ガイドを取り囲んでいる基板の露出部分の上に
ある単一の絶縁膜によってアナログ読取りギャップが決
まり、次に堆積する層を形成するための平面又はほぼ平
面を与えることになる。以上より上記読取りギャップを
決める２つの隔てられた絶縁層を必要とせず、したがっ
てプロセスパラメータの変動による避けられない膜厚の
誤差が生じる可能性が減少し、また次に上へ堆積する層
を形成するためにより平面に近い面を与えることができ
る。
ッドの下側磁束ガイドの膜厚がアナログ読取りギャップ
の厚さに等しいものを選択する。したがって、アナログ
ヘッドの下側磁束ガイドの上及び上記デジタルヘッドの
下側磁束ガイドを取り囲んでいる基板の露出部分の上に
ある単一の絶縁膜によってアナログ読取りギャップが決
まり、次に堆積する層を形成するための平面又はほぼ平
面を与えることになる。以上より上記読取りギャップを
決める２つの隔てられた絶縁層を必要とせず、したがっ
てプロセスパラメータの変動による避けられない膜厚の
誤差が生じる可能性が減少し、また次に上へ堆積する層
を形成するためにより平面に近い面を与えることができ
る。
【００１２】さらに詳しく説明すると、本発明は読取り
部及び書込み部を有する少なくとも１つのデジタルヘッ
ドと読取り部を有する少なくとも１つのアナログヘッド
が単一の基板上に集積され、単一のヘッド表面を有し、
このヘッド表面に対して垂直な方向から見て、上記デジ
タルヘッド及び上記アナログヘッドそれぞれに設けら
れ、上記基板上に配置された下側磁束ガイドと、上記基
板の露出部分及び上記アナログヘッドの下側磁束ガイド
を被覆するが上記デジタルヘッドの下側磁束ガイドは露
出した状態にし、さらに上記アナログヘッドの読取りギ
ャップを決める第１の絶縁層と、この第１絶縁層及び上
記デジタルヘッドの下側磁束ガイドを被覆し、かつ、上
記デジタルヘッドの読取りギャップを決める第２の絶縁
層と、上記デジタルヘッド及び上記アナログヘッドそれ
ぞれに設けられ、前記下側磁束ガイドの上方において、
読取りギャップを決める絶縁層の上に配置された上側磁
束ガイドと、それぞれのデジタル読取りギャップの上に
あるデジタル書込みギャップを決める第３の絶縁層と、
上記デジタルヘッドそれぞれに対して設けられ、前記上
側磁束ガイドの上方において上記デジタル書込みギャッ
プを決める第３絶縁層上に配置された最上層磁束ガイド
とを具える薄膜磁気ヘッド構造体において、上記デジタ
ルヘッドの下側磁束ガイドと上記アナログヘッドの読取
りギャップを決める第１絶縁層との膜厚がほぼ等しいこ
とを特徴とするものであり、特にこの膜厚は約0.8 μm
とするのが好適である。
部及び書込み部を有する少なくとも１つのデジタルヘッ
ドと読取り部を有する少なくとも１つのアナログヘッド
が単一の基板上に集積され、単一のヘッド表面を有し、
このヘッド表面に対して垂直な方向から見て、上記デジ
タルヘッド及び上記アナログヘッドそれぞれに設けら
れ、上記基板上に配置された下側磁束ガイドと、上記基
板の露出部分及び上記アナログヘッドの下側磁束ガイド
を被覆するが上記デジタルヘッドの下側磁束ガイドは露
出した状態にし、さらに上記アナログヘッドの読取りギ
ャップを決める第１の絶縁層と、この第１絶縁層及び上
記デジタルヘッドの下側磁束ガイドを被覆し、かつ、上
記デジタルヘッドの読取りギャップを決める第２の絶縁
層と、上記デジタルヘッド及び上記アナログヘッドそれ
ぞれに設けられ、前記下側磁束ガイドの上方において、
読取りギャップを決める絶縁層の上に配置された上側磁
束ガイドと、それぞれのデジタル読取りギャップの上に
あるデジタル書込みギャップを決める第３の絶縁層と、
上記デジタルヘッドそれぞれに対して設けられ、前記上
側磁束ガイドの上方において上記デジタル書込みギャッ
プを決める第３絶縁層上に配置された最上層磁束ガイド
とを具える薄膜磁気ヘッド構造体において、上記デジタ
ルヘッドの下側磁束ガイドと上記アナログヘッドの読取
りギャップを決める第１絶縁層との膜厚がほぼ等しいこ
とを特徴とするものであり、特にこの膜厚は約0.8 μm
とするのが好適である。
【００１３】上記アナログ読取りギャップを決める単一
の絶縁層を用いることにより、「ラップ アラウンド
ポール効果」は減少するか、又は取り除かれ、その結果
デジタル読取りヘッドからの信号出力が改善される。上
記構造体は、デジタルコンパクトカセットとアナログコ
ンパクトカセットとの両方を再生するように設計された
カセットデッキに用いるのが好適である。
の絶縁層を用いることにより、「ラップ アラウンド
ポール効果」は減少するか、又は取り除かれ、その結果
デジタル読取りヘッドからの信号出力が改善される。上
記構造体は、デジタルコンパクトカセットとアナログコ
ンパクトカセットとの両方を再生するように設計された
カセットデッキに用いるのが好適である。
【００１４】本発明のさらに好ましい実施態様では、ア
ナログヘッドの下側磁束ガイドの膜厚をデジタルヘッド
の下側磁束ガイドの膜厚とほぼ等しくする。
ナログヘッドの下側磁束ガイドの膜厚をデジタルヘッド
の下側磁束ガイドの膜厚とほぼ等しくする。
【００１５】また、別の好ましい実施態様では、上記構
造体の基板の半部に９つのデジタルヘッドを一列に配置
し、基板の他方の半部に２つのアナログヘッドを一列に
配置する。
造体の基板の半部に９つのデジタルヘッドを一列に配置
し、基板の他方の半部に２つのアナログヘッドを一列に
配置する。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の薄膜磁気ヘッド構造体の一実
施例を図面を参照して詳細に説明する。図２は、読取り
部及び書込み部を有するデジタルヘッドと、読取り部を
有するアナログヘッドとを集積した本発明の薄膜磁気ヘ
ッド構造体40のヘッド表面の一部を、ヘッド表面に対し
て垂直な方向から見た正面図を示す。薄膜磁気ヘッド構
造体40は、一層の非磁性材料の基板42上に読取り部及び
書込み部を有するデジタルヘッド44と、読取り部を有す
るアナログヘッド46とを具える。下側磁束ガイド48はデ
ジタルヘッド44の読取り部分の幅を、下側磁束ガイド50
はアナログヘッド46の読取り部分の幅をそれぞれ決め
る。下側磁束ガイド48, 50は、パーマロイのような透磁
性材料の単一の層を基板表面の全体を被覆するように堆
積し、その後選択的にエッチング等を行って堆積した層
にパターンを形成することにより、従来公知の技術に従
って形成できる。一般的には Al2O3のような酸化膜の絶
縁層52を下側磁束ガイド48, 50と基板42の露出した部分
とを被覆し、その後、下側磁束ガイド48を被覆している
絶縁層52の一部を、例えば選択的にエッチングすること
により除去する。
施例を図面を参照して詳細に説明する。図２は、読取り
部及び書込み部を有するデジタルヘッドと、読取り部を
有するアナログヘッドとを集積した本発明の薄膜磁気ヘ
ッド構造体40のヘッド表面の一部を、ヘッド表面に対し
て垂直な方向から見た正面図を示す。薄膜磁気ヘッド構
造体40は、一層の非磁性材料の基板42上に読取り部及び
書込み部を有するデジタルヘッド44と、読取り部を有す
るアナログヘッド46とを具える。下側磁束ガイド48はデ
ジタルヘッド44の読取り部分の幅を、下側磁束ガイド50
はアナログヘッド46の読取り部分の幅をそれぞれ決め
る。下側磁束ガイド48, 50は、パーマロイのような透磁
性材料の単一の層を基板表面の全体を被覆するように堆
積し、その後選択的にエッチング等を行って堆積した層
にパターンを形成することにより、従来公知の技術に従
って形成できる。一般的には Al2O3のような酸化膜の絶
縁層52を下側磁束ガイド48, 50と基板42の露出した部分
とを被覆し、その後、下側磁束ガイド48を被覆している
絶縁層52の一部を、例えば選択的にエッチングすること
により除去する。
【００１７】本発明によれば、下側磁束ガイド48の膜厚
と絶縁層52の膜厚はほぼ等しい。下側磁束ガイド48の膜
厚と絶縁層52の膜厚との差異は、好ましくは 0.1μm 以
下であり、理想的には０であるのがよい。したがって、
他の層を堆積したり又は製造工程を他に追加する必要な
しに、後に堆積される層の形成に役立つ平面又はほぼ平
面が与えられる。
と絶縁層52の膜厚はほぼ等しい。下側磁束ガイド48の膜
厚と絶縁層52の膜厚との差異は、好ましくは 0.1μm 以
下であり、理想的には０であるのがよい。したがって、
他の層を堆積したり又は製造工程を他に追加する必要な
しに、後に堆積される層の形成に役立つ平面又はほぼ平
面が与えられる。
【００１８】絶縁層52はアナログ読取りギャップの厚さ
を決め、また下側磁束ガイド48, 50は上記ヘッド表面の
上にある磁気テープから上記ヘッド表面の内側にある磁
気抵抗エレメント (したがって図２には図示されない）
に渡って磁力線を導く。基板42は均一であるように図示
されているが、以下の説明からわかるように基板42の表
面は、磁気抵抗エレメントを支持する１層又は２層以上
の表面を滑らかにする層と、磁気抵抗エレメントの表面
上の絶縁層で被覆されている。この絶縁層はヘッド表面
まで延在しているが、簡単のために図１及び図２には図
示されていない。
を決め、また下側磁束ガイド48, 50は上記ヘッド表面の
上にある磁気テープから上記ヘッド表面の内側にある磁
気抵抗エレメント (したがって図２には図示されない）
に渡って磁力線を導く。基板42は均一であるように図示
されているが、以下の説明からわかるように基板42の表
面は、磁気抵抗エレメントを支持する１層又は２層以上
の表面を滑らかにする層と、磁気抵抗エレメントの表面
上の絶縁層で被覆されている。この絶縁層はヘッド表面
まで延在しているが、簡単のために図１及び図２には図
示されていない。
【００１９】次にアナログヘッド46の絶縁層52の上に上
側磁束ガイド54を形成し、その後絶縁層56を形成する。
この絶縁層56はデジタル読取りギャップの厚さを決め、
この厚さもまた望ましい出力特性を達成するためには厳
密なものとする必要がある。この実施例では上記デジタ
ル読取りギャップの厚さは絶縁層52の膜厚が 0.8μmの
とき 0.4μm である。この絶縁層56を形成する前にこの
絶縁層の下に堆積した多くの層によって形成される構造
体を、後に行うパターニング工程から保護するために、
この絶縁層によって構造体の表面全体を被覆する。
側磁束ガイド54を形成し、その後絶縁層56を形成する。
この絶縁層56はデジタル読取りギャップの厚さを決め、
この厚さもまた望ましい出力特性を達成するためには厳
密なものとする必要がある。この実施例では上記デジタ
ル読取りギャップの厚さは絶縁層52の膜厚が 0.8μmの
とき 0.4μm である。この絶縁層56を形成する前にこの
絶縁層の下に堆積した多くの層によって形成される構造
体を、後に行うパターニング工程から保護するために、
この絶縁層によって構造体の表面全体を被覆する。
【００２０】下側磁束ガイド48上に上側磁束ガイド58を
形成することによってデジタル読取/ 書込ヘッド44の読
込み部分を完成する。この実施例では、上側磁束ガイド
58もまたデジタルヘッド44の書込み部分に対する下側磁
束ガイドとしての役割をする。したがって上側磁束ガイ
ド58の幅は上記書込み部分の好ましい (より広い) 幅の
広さにより決定される。この実施例では、上記デジタル
読取りギャップの厚さが 0.4μm に対して下側磁束ガイ
ド48の幅が70μm であり、また上側磁束ガイド58の幅は
185μm である。
形成することによってデジタル読取/ 書込ヘッド44の読
込み部分を完成する。この実施例では、上側磁束ガイド
58もまたデジタルヘッド44の書込み部分に対する下側磁
束ガイドとしての役割をする。したがって上側磁束ガイ
ド58の幅は上記書込み部分の好ましい (より広い) 幅の
広さにより決定される。この実施例では、上記デジタル
読取りギャップの厚さが 0.4μm に対して下側磁束ガイ
ド48の幅が70μm であり、また上側磁束ガイド58の幅は
185μm である。
【００２１】次に表面全体に絶縁層60を形成する。絶縁
層60はデジタル書込みギャップの厚さを決める役割をす
る。上述した他の層に与えられた典型的な寸法に対し
て、絶縁層60の厚さは約 0.7μm である。上側（共通）
磁束ガイド58とほぼ同じ幅の最上層磁束ガイド62を堆積
して薄膜磁気ヘッド構造体を完成する。
層60はデジタル書込みギャップの厚さを決める役割をす
る。上述した他の層に与えられた典型的な寸法に対し
て、絶縁層60の厚さは約 0.7μm である。上側（共通）
磁束ガイド58とほぼ同じ幅の最上層磁束ガイド62を堆積
して薄膜磁気ヘッド構造体を完成する。
【００２２】基板42上の下側磁束ガイド48, 50の平坦性
が改善されるので、デジタル書込みギャップの中央部60
Ａと周辺部60Ｂ又は60Ｃとの間のオフセットΔは、図２
では実質的にゼロまで減少される。デジタルヘッド44の
読取り部分の出力信号のレベルに対するオフセットΔの
影響を図４及び図５に示す。図１及び図２に示す型のデ
ジタルヘッド44のテープトラックの中心からのトラック
オフセットδ（単位はmm) に対して出力信号 (単位は任
意) の変化をプロットしてグラフ化している。デジタル
ヘッド44の下側磁束ガイド48の膜厚が約 0.8μm に対し
て、オフセットΔは図４では約 0.3μm で、図５では
0.1μm 未満である。
が改善されるので、デジタル書込みギャップの中央部60
Ａと周辺部60Ｂ又は60Ｃとの間のオフセットΔは、図２
では実質的にゼロまで減少される。デジタルヘッド44の
読取り部分の出力信号のレベルに対するオフセットΔの
影響を図４及び図５に示す。図１及び図２に示す型のデ
ジタルヘッド44のテープトラックの中心からのトラック
オフセットδ（単位はmm) に対して出力信号 (単位は任
意) の変化をプロットしてグラフ化している。デジタル
ヘッド44の下側磁束ガイド48の膜厚が約 0.8μm に対し
て、オフセットΔは図４では約 0.3μm で、図５では
0.1μm 未満である。
【００２３】トラックオフセットδは、デジタル書込み
ギャップの中心と読み取られるテープトラックの中心線
との間の横方向の距離として定義される。したがってデ
ジタル書込みギャップの縦方向のオフセットΔとは異な
る。図４と図５を比べると、オフセット（Δ）が減少す
ると、トラックオフセットδの増加に伴う出力（ｘ）の
減少がかなり補償されていることがわかる。つまり図５
では、＋0.03mm付近から−0.07mm付近の間のトラックオ
フセットに対して出力は実質的にピーク値から減少して
いないことがわかる。一方図４では、正方向と負方向の
両方で急速かつ顕著な減少があり、トラックオフセット
が＋0.06mm付近と−0.08mm付近で出力は急速な減少から
回復してピーク値の約80％まで回復する。
ギャップの中心と読み取られるテープトラックの中心線
との間の横方向の距離として定義される。したがってデ
ジタル書込みギャップの縦方向のオフセットΔとは異な
る。図４と図５を比べると、オフセット（Δ）が減少す
ると、トラックオフセットδの増加に伴う出力（ｘ）の
減少がかなり補償されていることがわかる。つまり図５
では、＋0.03mm付近から−0.07mm付近の間のトラックオ
フセットに対して出力は実質的にピーク値から減少して
いないことがわかる。一方図４では、正方向と負方向の
両方で急速かつ顕著な減少があり、トラックオフセット
が＋0.06mm付近と−0.08mm付近で出力は急速な減少から
回復してピーク値の約80％まで回復する。
【００２４】図３は、本発明の集積化された薄膜磁気ヘ
ッド構造体の一実施例の平面図を示す。図３において薄
膜磁気ヘッド構造体は、短い線分で表された９個の読取
り部及び書込み部を有するデジタルヘッドを一列にして
構造体の一方の半部に、長い線分で表された２個の読取
り部を有するアナログヘッドを一列にして他方の半部に
配置している。
ッド構造体の一実施例の平面図を示す。図３において薄
膜磁気ヘッド構造体は、短い線分で表された９個の読取
り部及び書込み部を有するデジタルヘッドを一列にして
構造体の一方の半部に、長い線分で表された２個の読取
り部を有するアナログヘッドを一列にして他方の半部に
配置している。
【００２５】本発明を少数の実施例について説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されず、本発明の範
囲内において種々の変形や変更を加えることができる。
が、本発明はこれらの実施例に限定されず、本発明の範
囲内において種々の変形や変更を加えることができる。
【図１】従来の薄膜磁気ヘッド構造体をヘッド表面に対
して垂直な方向から見た構造を示す正面図である。
して垂直な方向から見た構造を示す正面図である。
【図２】本発明の薄膜磁気ヘッド構造体をヘッド表面に
対して垂直な方向から見た構造を示す正面図である。
対して垂直な方向から見た構造を示す正面図である。
【図３】９個のデジタルヘッドと２個のアナログヘッド
を具えた本発明の薄膜磁気ヘッド構造体の構成を示す平
面図である。
を具えた本発明の薄膜磁気ヘッド構造体の構成を示す平
面図である。
【図４】図１の従来の薄膜磁気ヘッド構造体におけるト
ラックオフセットに対する出力の変化を示すグラフであ
る。
ラックオフセットに対する出力の変化を示すグラフであ
る。
【図５】図２の本発明の薄膜磁気ヘッド構造体における
トラックオフセットに対する出力の変化を示すグラフで
ある。
トラックオフセットに対する出力の変化を示すグラフで
ある。
10, 40 薄膜磁気ヘッド構造体 12, 42 基板 14, 44 デジタルヘッド 16, 46 アナログヘッド 18, 20, 48, 50 下側磁束ガイド 22, 23, 52, 56, 60 絶縁層 22Ａ 読取りギャップ 23Ａ アナログ読取りギャップ 24, 28, 32, 54, 58 上側磁束ガイド 30 酸化層 30A, 60A 中央部 30B, 30C, 60B, 60C 周辺部 62 最上層磁束ガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウィリアム ウッド アメリカ合衆国 ミネソタ州 55436 エ ディナ バレー ビュー ロード 5101 (72)発明者 ポール マイケレク アメリカ合衆国 ミネソタ州 55420 ブ ルーミントン スプリング ヴァレー ド ライブ 166
Claims (5)
- 【請求項１】 読取り部及び書込み部を有する少なくと
も１つのデジタルヘッドと読取り部を有する少なくとも
１つのアナログヘッドが単一の基板上に集積され、単一
のヘッド表面を有し、このヘッド表面に対して垂直な方
向から見て、上記デジタルヘッド及び上記アナログヘッ
ドそれぞれに設けられ、上記基板上に配置された下側磁
束ガイドと、上記基板の露出部分及び上記アナログヘッ
ドの下側磁束ガイドを被覆するが上記デジタルヘッドの
下側磁束ガイドは露出した状態にし、さらに上記アナロ
グヘッドの読取りギャップを決める第１の絶縁層と、こ
の第１絶縁層及び上記デジタルヘッドの下側磁束ガイド
を被覆し、かつ、上記デジタルヘッドの読取りギャップ
を決める第２の絶縁層と、上記デジタルヘッド及び上記
アナログヘッドそれぞれに設けられ、前記下側磁束ガイ
ドの上方において、読取りギャップを決める絶縁層の上
に配置された上側磁束ガイドと、それぞれのデジタル読
取りギャップの上にあるデジタル書込みギャップを決め
る第３の絶縁層と、上記デジタルヘッドそれぞれに対し
て設けられ、前記上側磁束ガイドの上方において上記デ
ジタル書込みギャップを決める第３絶縁層上に配置され
た最上層磁束ガイドとを具える薄膜磁気ヘッド構造体に
おいて、 上記デジタルヘッドの下側磁束ガイドと上記アナログヘ
ッドの読取りギャップを決める第１絶縁層との膜厚がほ
ぼ等しいことを特徴とする薄膜磁気ヘッド構造体。 - 【請求項２】 上記デジタルヘッドの読取り部分の下側
磁束ガイドと上記アナログ読取りヘッドのギャップを決
める第１絶縁層との膜厚差が 0.1μm 以下である請求項
１記載の薄膜磁気ヘッド構造体。 - 【請求項３】 上記アナログヘッドの下側磁束ガイドの
膜厚が上記デジタルヘッドの下側磁束ガイドの膜厚とほ
ぼ等しい請求項１記載の薄膜磁気ヘッド構造体。 - 【請求項４】 ９個のデジタルヘッドが一列に配置さ
れ、かつ、２個のアナログヘッドが一列に配置されてい
る請求項１記載の薄膜磁気ヘッド構造体。 - 【請求項５】 上記デジタルヘッドの下側磁束ガイドの
膜厚及び上記アナログヘッドの読取りギャップを決める
第１絶縁層の膜厚がともに約 0.8μm である請求項２記
載の薄膜磁気ヘッド構造体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/811,559 US5247414A (en) | 1991-06-18 | 1991-12-20 | Integrated thin film magnetic head with planar structure |
| US07/811559 | 1991-12-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242425A true JPH05242425A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=25206885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4337273A Pending JPH05242425A (ja) | 1991-12-20 | 1992-12-17 | 薄膜磁気ヘッド構造体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5247414A (ja) |
| EP (1) | EP0549035B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05242425A (ja) |
| DE (1) | DE69219092T2 (ja) |
| SG (1) | SG48405A1 (ja) |
| TW (1) | TW284882B (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6600631B1 (en) * | 1989-11-27 | 2003-07-29 | Censtor Corp. | Transducer/flexure/conductor structure for electromagnetic read/write system |
| US20020176210A1 (en) * | 1989-11-27 | 2002-11-28 | Hamilton Harold J. | Durable, low-vibration, dynamic-contact hard disk drive system |
| US6166880A (en) * | 1991-08-13 | 2000-12-26 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head which prevents errors due to electric discharge |
| US5596647A (en) * | 1993-06-01 | 1997-01-21 | Matsushita Avionics Development Corporation | Integrated video and audio signal distribution system and method for use on commercial aircraft and other vehicles |
| DE69517106T2 (de) * | 1994-08-26 | 2000-09-21 | Aiwa Co., Ltd. | Dünnfilmmagnetkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US6958885B1 (en) | 2000-12-21 | 2005-10-25 | Western Digital (Fremont), Inc. | Insulation layer structure for inductive write heads and method of fabrication |
| US8509990B2 (en) | 2008-12-15 | 2013-08-13 | Panasonic Avionics Corporation | System and method for performing real-time data analysis |
| WO2010144815A2 (en) | 2009-06-11 | 2010-12-16 | Panasonic Avionics Corporation | System and method for providing security aboard a moving platform |
| US8504217B2 (en) | 2009-12-14 | 2013-08-06 | Panasonic Avionics Corporation | System and method for providing dynamic power management |
| US8704960B2 (en) | 2010-04-27 | 2014-04-22 | Panasonic Avionics Corporation | Deployment system and method for user interface devices |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4517616A (en) * | 1982-04-12 | 1985-05-14 | Memorex Corporation | Thin film magnetic recording transducer having embedded pole piece design |
| US4872079A (en) * | 1987-07-28 | 1989-10-03 | Applied Magnetics Corporation | Thin film magnetic head with a leveler layer |
| JPS6457413A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin film magnetic head |
| JPH01260611A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-17 | Ngk Insulators Ltd | 磁気ヘッド用コアの製造法及びそれによって得られた磁気ヘッド用コア |
| JPH025217A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-10 | Sharp Corp | 薄膜磁気ヘッドチップ |
| NL8901712A (nl) * | 1989-01-30 | 1990-08-16 | Philips Nv | Longitudinaal magneetband recording systeem alsmede een magneetbandapparaat geschikt voor toepassing in het systeem alsmede een magneetkop geschikt voor toepassing in het magneetbandapparaat. |
| FR2646001B1 (fr) * | 1989-04-14 | 1995-09-01 | Europ Composants Electron | Procede de realisation d'un dispositif utilisant une structure de films a couches minces |
-
1991
- 1991-12-20 US US07/811,559 patent/US5247414A/en not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-12-14 EP EP92203888A patent/EP0549035B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-14 SG SG1996009421A patent/SG48405A1/en unknown
- 1992-12-14 DE DE69219092T patent/DE69219092T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-12-17 JP JP4337273A patent/JPH05242425A/ja active Pending
-
1993
- 1993-03-18 TW TW082101999A patent/TW284882B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69219092T2 (de) | 1997-10-30 |
| DE69219092D1 (de) | 1997-05-22 |
| EP0549035A1 (en) | 1993-06-30 |
| EP0549035B1 (en) | 1997-04-16 |
| US5247414A (en) | 1993-09-21 |
| TW284882B (ja) | 1996-09-01 |
| SG48405A1 (en) | 1998-04-17 |
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