JPH05240648A - 回転角速度検出装置 - Google Patents

回転角速度検出装置

Info

Publication number
JPH05240648A
JPH05240648A JP4041547A JP4154792A JPH05240648A JP H05240648 A JPH05240648 A JP H05240648A JP 4041547 A JP4041547 A JP 4041547A JP 4154792 A JP4154792 A JP 4154792A JP H05240648 A JPH05240648 A JP H05240648A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
angular velocity
detection
rotational angular
elements
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4041547A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuyoshi Mizumoto
元 克 芳 水
Akihiro Kobayashi
林 聡 宏 小
Masayuki Sato
藤 雅 之 佐
Toru Watanabe
邉 徹 渡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP4041547A priority Critical patent/JPH05240648A/ja
Publication of JPH05240648A publication Critical patent/JPH05240648A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 〔目的〕 回転角速度検出装置の検出感度の向上、検出
範囲の拡大ができるようにする。 〔構成〕 一端が開口する円筒状の共振体の壁面に圧電
素子から成る駆動素子を配設して、該駆動素子によって
前記共振体を励振して該共振体に印加される回転角速度
を前記共振体に配設した圧電素子から成る検出素子によ
って検出する回転角速度検出装置であって、共振体の開
口縁部に共振体の軸線方向に長手方向を有するように駆
動素子を等間隔に配設すると共に、駆動素子の間に円周
方向に長手方向を有する検出素子を配設したことであ
り、さらに、共振体の開口縁部に円周方向に長手方向を
有する検出素子を配設し、さらに駆動素子は円筒状の共
振体の閉口端側の共振体の壁面に配設したことである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の目的】
【0002】
【産業上の利用分野】本発明は自動車、航空機、あるい
は船舶等の運動体に搭載されてその運動、特に回転角速
度を検出する装置に関するものである。
【0003】
【従来の技術】公知の角速度検出装置として、光ファイ
バジャイロ、振動式ジャイロ等が知られているが、光フ
ァイバジャイロは高い精度で回転角速度が検出できる利
点があるにもかかわらず非常に高価なものであり、その
利用分野も限らてしまうものであった。一方、振動式ジ
ャイロはこれに比較して安価なものではあるが外部から
の振動や衝撃に対する対策が必要であり実用に供するに
は種々の問題を解決しなければならなかった。上記角速
度検出装置のほか、円筒形あるいはワイングラスシェイ
プと一般的に呼ばれる共振体を有する振動型ジャイロが
知られている。そして、振動型ジャイロの一例として、
例えば、英国特許公開第2061502号公報に示され
た回転運動検出センサに関するものがある。
【0004】この従来技術による回転運動検出センサ
は、第4図に示したように、円筒形状の共振体50に所
定の間隔で配設した駆動用圧電素子51に交流電圧を印
加して共振体50を振動させた状態で角速度を検出する
ものであった。すなわち、駆動用圧電素子によって励振
状態にある共振体50に第4図中Ωで示した回転角速度
が印加されると駆動用圧電素子51と共に共振体に配設
された検出用圧電素子52,53に圧電現象が生じてこ
れが回転角速度に応じた電圧が出力されることを利用し
て回転角速度を検出するものであった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述した従
来技術によると検出用圧電素子は円周方向に分割された
状態で配設されており、各検出用圧電素子は充分な感度
が得られる長さに設定されていないため、励振状態にあ
る共振体に印加された回転角速度を高感度で検出するこ
とができないという問題があった。さらに、駆動用圧電
素子が共振体を充分に励振するように配設されていない
ため、励振効率を充分に得ることができず、これによっ
ても回転角速度を高い感度で検出できないという問題も
あった。
【0006】本発明は、上記した従来技術が抱えた問題
点を解決するために成されたものであり、高い感度で回
転角速度検出装置の出力信号が得られるようにすること
を技術的課題とする。
【0007】
【発明の構成】
【0008】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために講じた第1の技術的な手段は、一端が開口する
円筒状の共振体の壁面に圧電素子から成る駆動素子を配
設して、該駆動素子によって前記共振体を励振して該共
振体に印加される回転角速度を前記共振体に配設した圧
電素子から成る検出素子によって検出する回転角速度検
出装置において、共振体の開口縁部に共振体の軸線方向
に長手方向を有するように駆動素子を等間隔に配設する
と共に、駆動素子の間に円周方向に長手方向を有する前
記検出素子を配設したことである。
【0009】さらに上記技術的課題を解決するために講
じた第2の技術的手段は、一端が開口する円筒状の共振
体の壁面に圧電素子から成る駆動素子を配設して、該駆
動素子によって前記共振体を励振して該共振体に印加さ
れる回転角速度を前記共振体に配設した圧電素子から成
る検出素子によって検出する回転角速度検出装置におい
て、共振体の開口縁部に円周方向に長手方向を有する検
出素子を配設し、さらに駆動素子は円筒状の共振体の閉
口端側の共振体の壁面に配設したことである。
【0010】
【作用】上記技術的手段を講じたことによって、励振状
態にある共振体に印加される角速度を効率的に検出でき
るため、高い感度で回転角速度が検出できるようになっ
た。さらに、駆動素子による共振体の励振効率も高める
ことがきるため、これによっても高い感度で回転角速度
が検出できるようになった。
【0011】
【実施例】次に、本発明の好ましい実施例について図面
を参照して説明する。
【0012】第1図は第1の発明による回転角速度検出
装置1の斜視図である。回転角速度検出装置1は一端が
開口する円筒状の共振体2を基本構成としている。開口
部とは対向する閉口部は円筒ベース部2aとなってお
り、円筒ベース部2aには支持棒3の一端が固定され、
さらに支持棒3の他端は被測定物への結合部となるベー
スプレート4に固定されている。
【0013】共振体2は円柱部材から切削加工によって
壁面2bが均一な厚さになるようにカップ状に加工され
ている。共振体2はその中心部を通る中心軸Oを中心と
して軸対象となるように形成されている。なお、本実施
例では直径20ミリの円柱部材から壁面2bの厚さが1
ミリとなるように切削加工された共振体2を用いてい
る。共振体2の開口縁部には駆動素子5a、5b、5
c、5d、および検出素子6a、6b、6c、6dが互
いに等間隔に接着固定されている。駆動素子5a、5
b、5c、5dは共振体2の中心軸O周りに90度の角
度を以て、開口縁部に4箇所配設されている。一方、検
出素子6a、6b、6c、6dも隣接する駆動素子の中
間点にその中間点が位置するように開口縁部に配設され
ている。駆動素子5a、5b、5c、5d、および検出
素子6a、6b、6c、6dは圧電素子から成り、形状
は長方形のものを使用している。そして、駆動素子5
a、5b、5c、5dについては共振体2の開口縁部に
て長手方向が中心軸Oに沿うように固定され、検出素子
6a、6b、6c、6dについては開口縁部にて短手方
向が中心軸Oに沿うように固定されている。そして、駆
動素子、および検出素子は図示しない駆動・制御回路に
電気的に結線され駆動信号の供給、検出信号の処理が成
されるようになっている。本実施例にて用いた駆動素
子、および検出素子は長手方向の長さが5ミリ、短手方
向の長さが2ミリの平板状のものを使用した。なお、駆
動素子、および検出素子は曲率を有する共振体2の壁面
2bに固定することになるため両者の間には間隙が生じ
るが、壁面2bと素子との間は接着剤を充填することに
よってその間隙が埋められている。
【0014】次に第2図を用いて回転角速度検出装置1
の動作について説明する。第2図は第1図に示した回転
角速度検出装置1を上方から観た図面である。破線αに
て示した楕円は駆動素子5a、5cによって共振体2が
励振された状態を示し、破線βにて示した楕円は駆動素
子5b、5dによって共振体2が励振された状態を示し
たものである。駆動素子には交流電圧が印加され、共振
体2は交流電圧の印加状態に応じて破線αと破線βで示
した励振状態を順次繰り返す。図面からも明らかなよう
に、各駆動素子は共振体2の最大変形部に固定され、一
方各検出素子は最小変形部(節部)に固定されている。
励振状態において、共振体2に図中Ωで示した回転角速
度が印加されると、検出素子6a、6b、6c、6dに
圧電現象が生じる。すなわち、中心軸Oの周りに回転角
速度が生じると前出の節部に変位量が生じて、検出素子
6a、6b、6c、6dに圧電現象を生じさせるように
なる。その結果、検出装置に印加された回転角速度に応
じた電圧が検出素子に励起される。励振状態にある共振
体2の節部を含むように検出素子6a、6b、6c、6
dを配設したことによって回転角速度の検出感度を向上
することができるようになった。
【0015】検出素子6a、6b、6c、6dは中心部
を励振状態にある共振体2の節部に正確に位置決めする
ことによって回転角速度の検出範囲を拡大することがで
きるが、検出素子の中心部を正確に節部に対応するよう
に位置決めすることは難しい。ところが、本発明装置の
ように検出素子6a、6b、6c、6dが節部を跨ぐよ
うに配設したことによって、中点部が節部の位置から多
少位置ずれしたとしても長手方向全体量に占める節部か
らのずれ量の割合を小さくすることができる。
【0016】したがって、回転角速度の検出範囲を拡大
することができるようになる。
【0017】第3図は第2の発明に関連する実施例を示
したものである。この発明においては駆動素子5a、5
b、5c、5dを共振体2の閉口端側の円筒ベース部2
aの近傍の壁面2b上に配設したことが第1図に示した
ものと異なりの他の構成は同一である。第3図に示した
回転角速度検出装置によると、駆動素子5a、5b、5
c、5dによって共振体2を効率的に励振することがで
きるようになるため検出感度を格段に向上することがで
きるようになった。すなわち、駆動素子によって共振体
2を同じ励振状態としても、駆動素子から開口端縁部ま
での距離を大きくすることによって開口端縁部の振動を
大きくすることができるようになるためである。
【0018】
【発明の効果】本発明の第1の発明によれば、回転角速
度検出装置に角速度が印加されていない状態においても
検出素子が出力する信号(零点ドリフト)を小さく抑え
ることができるようになるという効果が得られる。ま
た、検出素子の長手方向が円周方向となるように共振体
の開口縁部に固定したことで検出感度の向上と検出範囲
の拡大ができるようにもなる。
【0019】さらに本発明による第2の発明により共振
体の効果的な励振が可能となったため、検出感度の向
上、および検出範囲の拡大ができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1図は第1の発明による回転角速度検出装置
の斜視図。
【図2】第2図は第1図に示した回転角速度検出装置を
上方から観た装置の作動状態を説明する図面。
【図3】第3図は第2の発明による回転角速度検出装置
の斜視図。
【図4】第4図は従来技術による回転運動検出センサの
斜視図。
【符号の説明】
2 共振体 5a、5b、5c、5d 駆動素子 6a、6b、6c、6d 検出素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡 邉 徹 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイシ ン精機株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一端が開口する円筒状の共振体の壁面に
    圧電素子から成る駆動素子を配設して、該駆動素子によ
    って前記共振体を励振して該共振体に印加される回転角
    速度を前記共振体に配設した圧電素子から成る検出素子
    によって検出する回転角速度検出装置において、 前記共振体の開口縁部に共振体の軸線方向に長手方向を
    有するように駆動素子を等間隔に配設すると共に、前記
    駆動素子の間に円周方向に長手方向を有する前記検出素
    子を配設したことを特徴とする回転角速度検出装置。
  2. 【請求項2】 一端が開口する円筒状の共振体の壁面に
    圧電素子から成る駆動素子を配設して、該駆動素子によ
    って前記共振体を励振して該共振体に印加される回転角
    速度を前記共振体に配設した圧電素子から成る検出素子
    によって検出する回転角速度検出装置において、 前記共振体の開口縁部に円周方向に長手方向を有する検
    出素子を配設し、さらに駆動素子は円筒状の共振体の閉
    口端側の前記共振体の壁面に配設したことを特徴とする
    回転角速度検出装置。
JP4041547A 1992-02-27 1992-02-27 回転角速度検出装置 Pending JPH05240648A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4041547A JPH05240648A (ja) 1992-02-27 1992-02-27 回転角速度検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4041547A JPH05240648A (ja) 1992-02-27 1992-02-27 回転角速度検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05240648A true JPH05240648A (ja) 1993-09-17

Family

ID=12611455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4041547A Pending JPH05240648A (ja) 1992-02-27 1992-02-27 回転角速度検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05240648A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6561029B2 (en) Rotational rate gyroscope with decoupled orthogonal primary and secondary oscillations
EP1744121B1 (en) Microfabricated tuning fork gyroscope for sensing out-of-plane rotation
KR101641066B1 (ko) 진동 마이크로-기계식 각속도 센서
JPH08327650A (ja) 回転率センサ
JPH08220125A (ja) 回転角速度センサ
JP2006153798A (ja) 回転振動型角速度センサ
US20030159510A1 (en) Phase insensitive quadrature nulling method and apparatus for coriolis angular rate sensors
JP2000136929A (ja) マイクロ傾斜センサ
EP0597338B1 (en) Vibrating gyroscope
JPH05240648A (ja) 回転角速度検出装置
US5996410A (en) Tuning fork type vibration gyro
JPH05240647A (ja) 回転角速度検出装置
JPH0854242A (ja) 振動ジャイロ
JPH11325905A (ja) 振動ジャイロ
EP0732566B1 (en) Vibrating gyroscope
JP3306965B2 (ja) 振動型角速度センサ
EP0684450B1 (en) Supporting structure of vibrator
KR100258173B1 (ko) 공진형 마이크로 자이로스코프 및 그 제조 방법과 이를 이용한 각속도 측정 방법
JPH07167890A (ja) 容量形加速度センサ
JPH0455714A (ja) 振動ジャイロ
JPH0762617B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH02228518A (ja) 振動子の支持構造
JPH06174474A (ja) 振動子の支持構造
JPH02228519A (ja) 振動子の支持構造
JPH06117862A (ja) 振動子