JPH05234826A - Manufacture of capacitor - Google Patents

Manufacture of capacitor

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JPH05234826A
JPH05234826A JP3460692A JP3460692A JPH05234826A JP H05234826 A JPH05234826 A JP H05234826A JP 3460692 A JP3460692 A JP 3460692A JP 3460692 A JP3460692 A JP 3460692A JP H05234826 A JPH05234826 A JP H05234826A
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JP
Japan
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capacitor
coating
film
dielectric
polypyrrole
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JP3460692A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Kudo
康夫 工藤
Masao Fukuyama
正雄 福山
Toshikuni Kojima
利邦 小島
Koichi Yoshida
浩一 吉田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a manufacturing method which easily obtains a capacitor whose impedance characteristic in a high-frequency region has been enhanced further regarding the manufacturing method of the capacitor wherein it is excellent in a frequency characteristic, a temperature characteristic and a loss characteristic, it is small-sized and its capacitance large. CONSTITUTION:When an electrode for a capacitor using an electrolytically polymerized conductive polymer as the electrode at least on one side is formed, the surface of a dielectric is made hydrophobic in advance and an electrolytically polymerized polymer film is formed. Thereby, a growth speed in a face direction can be made large. As a result, it is possible to restrain the undesirable growth in a film-thickness direction. Consequently, it is possible to easily obtain the capacitor whose impedance characteristic in a high-frequency region has been enhanced further.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、コンデンサ特性とりわ
け周波数特性に優れ、少なくとも一方の電極に導電性高
分子を用いるコンデンサの製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a capacitor which has excellent capacitor characteristics, particularly frequency characteristics, and which uses a conductive polymer for at least one electrode.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電気機器のデジタル化に伴って、
コンデンサも小型大容量で高周波領域でのインピーダン
スの低いものが要求されている。従来、高周波領域で使
用されるコンデンサにはプラスチックコンデンサ、マイ
カコンデンサ、積層セラミックコンデンサがあるが、こ
れらのコンデンサでは形状が大きくなり大容量化が難し
い。
2. Description of the Related Art In recent years, with the digitization of electrical equipment,
The capacitors are also required to be small in size, large in capacity, and low in impedance in the high frequency range. Conventionally, capacitors used in the high frequency region include plastic capacitors, mica capacitors, and laminated ceramic capacitors, but it is difficult to increase the capacity of these capacitors due to their large size.

【0003】一方、大容量コンデンサとしてはアルミニ
ウム乾式電解コンデンサあるいはアルミニウムまたはタ
ンタル固体電解コンデンサ等の電解コンデンサがある。
これらのコンデンサでは誘電体となる酸化皮膜は極めて
薄いために大容量が実現できるのであるが、一方酸化皮
膜の損傷が起こり易いためにそれを修復するための電解
質を陰極との間に設ける必要がある。
On the other hand, as a large-capacity capacitor, there is an electrolytic capacitor such as an aluminum dry electrolytic capacitor or an aluminum or tantalum solid electrolytic capacitor.
In these capacitors, the oxide film that serves as a dielectric is extremely thin, so a large capacity can be realized.However, since the oxide film is easily damaged, it is necessary to provide an electrolyte between it and the cathode to repair it. is there.

【0004】アルミニウム乾式コンデンサでは、エッチ
ングを施した陽、陰極アルミニウム箔をセパレータを介
して巻取り、液状の電解質をセパレータに含浸して用い
ている。この液状電解質はイオン伝導性で比抵抗が大き
いため、損失が大きくインピーダンスの周波数特性、温
度特性が著しく劣る、さらに加えて液漏れ、蒸発等が避
けられず、時間経過と共に容量の減少及び損失の増加が
起こるといった問題を抱えていた。
In an aluminum dry type capacitor, an etched positive and negative aluminum foil is wound around a separator and a liquid electrolyte is impregnated into the separator for use. Since this liquid electrolyte is ionic conductive and has a large specific resistance, the loss is large and the impedance frequency characteristic and temperature characteristic are significantly inferior.In addition, liquid leakage, evaporation, etc. are unavoidable, and the capacity decreases and the loss with the passage of time. I had a problem with an increase.

【0005】またタンタル固体電解コンデンサでは二酸
化マンガンを電解質として用いているため、温度特性お
よび容量、損失等の経時変化の問題は改善されるが、二
酸化マンガンの比抵抗が比較的高いため損失、インピー
ダンスの周波数特性が積層セラミックコンデンサあるい
はフィルムコンデンサと比較して劣っていた。
Further, since the manganese dioxide is used as the electrolyte in the tantalum solid electrolytic capacitor, the problems of temperature characteristics and changes with time such as capacity and loss are improved, but since the specific resistance of manganese dioxide is relatively high, the loss and impedance are relatively high. Was inferior in frequency characteristics to the monolithic ceramic capacitor or film capacitor.

【0006】近年、ピロール、チオフェンなどの複素環
式のモノマーを支持電解質を用い電解酸化重合すること
により、支持電解質のアニオンをドーパントとして含む
導電性高分子を電解質(真の陰極)として用いる周波数
特性及び温度特性の優れた固体電解コンデンサが提案さ
れている(特開昭60-37114号公報、特開昭60-244017号
公報)。
In recent years, a frequency characteristic using a conductive polymer containing anion of a supporting electrolyte as a dopant by electrolytically oxidatively polymerizing a heterocyclic monomer such as pyrrole or thiophene using a supporting electrolyte as an electrolyte (true cathode). Also, solid electrolytic capacitors having excellent temperature characteristics have been proposed (JP-A-60-37114 and JP-A-60-244017).

【0007】さらにまた、エッチドアルミ箔上に電着ポ
リイミド薄膜からなる誘電体を形成した後電解重合導電
性高分子層を形成して電極とする大容量フィルムコンデ
ンサが提案されている(電気化学会第58会大会講演要
旨集251〜252頁、1991年)。
Furthermore, a large-capacity film capacitor has been proposed in which a dielectric made of an electrodeposited polyimide thin film is formed on an etched aluminum foil and then an electrolytically polymerized conductive polymer layer is formed to serve as an electrode (electrochemistry. Annual Meeting of the 58th Annual Meeting, pp. 251-252, 1991).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の方法では、誘電体層を介して電流を流すことができ
ないため、電解重合高分子膜形成用の外部電極を使用す
ることが必要であった。このため電解重合膜の成長が誘
電体と外部電極の接触部分から開始され、誘電体全表面
を被覆し終えるまで比較的長時間を要し、かつまた電解
重合膜厚もその開始点において必要以上に厚くなり等価
直列抵抗の増加を来し易いという課題を有していた。
However, in the above-mentioned conventional method, it is necessary to use the external electrode for forming the electrolytically polymerized polymer film because the current cannot flow through the dielectric layer. .. Therefore, the growth of the electropolymerized film starts from the contact portion between the dielectric and the external electrode, and it takes a relatively long time to finish covering the entire surface of the dielectric. However, it has a problem that it becomes thicker and the equivalent series resistance tends to increase.

【0009】本発明は上記従来技術の課題を解決するも
ので、電解重合高分子の被覆速度を大きくすることによ
り被覆膜厚の不均一性を緩和し、特に高周波域のインピ
ーダンス特性の優れたコンデンサを効率的に提供するこ
とを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art. By increasing the coating speed of the electropolymerized polymer, the nonuniformity of the coating film thickness is alleviated, and particularly the impedance characteristics in the high frequency range are excellent. The purpose is to efficiently provide a capacitor.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、誘電体層表面を疎水化した後電解重合を行
うことにより、電極となる電解重合高分子膜の面方向の
成長速度を大きくするようにしたものである。
In order to achieve this object, the present invention is directed to a surface growth rate of an electrolytically polymerized polymer film to be an electrode by hydrophobizing the surface of a dielectric layer and then performing electrolytic polymerization. Is designed to be large.

【0011】誘電体表面の疎水化処理の一例としては、
疎水性の大きい物質すなわち疎水化剤をその表面に吸着
させることにより行うことが挙げられる。疎水化剤とし
ては誘電体を形成する物質表面に吸着され、疎水性を増
加させる物質であればどのような物質でも使用可能であ
るが、特に高い効果を与えるケイ素化合物のシランが好
適である。このようなシランとしては例えば無機シラ
ン、メチル系シラン、フェニル系シラン、ビニル系シラ
ン、アルコキシシラン等が挙げられる。
As an example of the hydrophobic treatment of the dielectric surface,
A method of adsorbing a highly hydrophobic substance, that is, a hydrophobizing agent on the surface can be mentioned. As the hydrophobizing agent, any substance can be used as long as it is a substance that is adsorbed on the surface of a substance forming a dielectric and increases the hydrophobicity, but a silane of a silicon compound that gives a particularly high effect is suitable. Examples of such silanes include inorganic silanes, methyl silanes, phenyl silanes, vinyl silanes, and alkoxy silanes.

【0012】吸着層の厚さはコンデンサの容量を実質的
に低下させない範囲であれば制限はないが、薄い方が望
ましく、特に望ましくは単分子膜の厚さである。
The thickness of the adsorption layer is not limited as long as it does not substantially reduce the capacitance of the capacitor, but is preferably thin, and particularly preferably the thickness of the monomolecular film.

【0013】重合性モノマーとしては、電解重合により
実質的に電極となり得る程度の電気伝導度を有する導電
性高分子を生成するものであればどのようなものでも使
用できるが、好適にはピロールまたはその誘導体が単独
または混合して用いられる。
As the polymerizable monomer, any one can be used as long as it produces a conductive polymer having an electric conductivity such that it can substantially become an electrode by electrolytic polymerization, but it is preferably pyrrole or The derivatives may be used alone or as a mixture.

【0014】誘電体は実質的にコンデンサが構成される
ような材料であればどのようなものでも使用できるが、
アルミニウム、タンタル等の弁金属の陽極酸化皮膜の
他、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド等の高分
子薄膜あるいはチタン酸バリウム等強誘電体が好適に使
用される。
Any material can be used as the dielectric as long as it is a material that substantially constitutes a capacitor.
In addition to anodized films of valve metals such as aluminum and tantalum, polymer thin films such as polyimide and polyphenylene sulfide, or ferroelectrics such as barium titanate are preferably used.

【0015】電解重合溶媒としては、重合性モノマー及
び支持電解質を溶解または分散できるものであればどの
ようなものでも使用できるが、特に安全性及びコストの
観点から水が望ましい。また水を主成分とした相溶する
有機溶媒を含む混合溶媒も好適に用いられる。また支持
電解質としては、皮膜性が良く、アルミニウムの化成性
に優れ、耐熱・耐湿性に優れた導電性高分子を与えるド
ーパントとなるものであればどんなものでも使用できる
が、前述の観点から好適には少なくても1個の、炭素数
1ないし6のアルキル基を有するナフタレンスルフォン
酸塩が単独または混合して用いられる。
As the electrolytic polymerization solvent, any solvent can be used as long as it can dissolve or disperse the polymerizable monomer and the supporting electrolyte, but water is preferable from the viewpoint of safety and cost. Further, a mixed solvent containing a compatible organic solvent containing water as a main component is also preferably used. Further, as the supporting electrolyte, any one can be used as long as it is a dopant that gives a conductive polymer having good film forming property, excellent chemical conversion property of aluminum, and excellent heat resistance and humidity resistance. For this purpose, naphthalene sulfonate having at least one alkyl group having 1 to 6 carbon atoms may be used alone or in combination.

【0016】なお、誘電体表面の疎水化処理に先立ち、
例えば二酸化マンガンのような電解重合用導電性下地層
を設けることもできる。これにより、疎水化処理の効果
の一層の向上が期待できる。
Prior to the hydrophobic treatment of the dielectric surface,
A conductive underlayer for electrolytic polymerization, such as manganese dioxide, can also be provided. This can be expected to further improve the effect of the hydrophobic treatment.

【0017】[0017]

【作用】本発明において、電解重合高分子膜によって被
覆しようとする誘電体表面を予め疎水化しておくことに
より、重合により疎水性の増加した導電性高分子がその
表面に吸着または配向し易くなり、面方向の成長速度が
大きくなる。この結果電解重合高分子の被覆に要する時
間が短縮され、外部電極接触部付近の望ましくない膜厚
方向の成長も抑制されるため、特性中でも高周波域のイ
ンピーダンス特性の優れたコンデンサが得られる。
In the present invention, by pre-hydrophobizing the surface of the dielectric substance to be coated with the electropolymerized polymer film, the conductive polymer having increased hydrophobicity due to polymerization is easily adsorbed or oriented on the surface. , The growth rate in the plane direction increases. As a result, the time required for coating with the electrolytically polymerized polymer is shortened, and undesired growth in the film thickness direction in the vicinity of the external electrode contact portion is suppressed, so that a capacitor having excellent impedance characteristics in the high frequency range can be obtained.

【0018】[0018]

【実施例】(実施例1)以下、本発明の第1の実施例に
ついて説明する。
(Embodiment 1) A first embodiment of the present invention will be described below.

【0019】8×10mmのアルミニウムエッチド箔に
陽極リードを取り付け、3%アジピン酸アンモニウム水
溶液を用い、約70℃で35V印加して陽極酸化により
誘電体被膜を形成後、硝酸マンガン30%水溶液に浸し
さらに250℃で10分加熱し熱分解マンガン酸化物を
表面に付着させて陽極を作製した。この陽極箔をオクタ
デシルトリエトキシシラン(OTES)の0.1%n−
ヘキサン溶液に浸漬し、125℃で1時間風乾した。
The anode lead was attached to an 8 × 10 mm aluminum etched foil, and a 3% ammonium adipate aqueous solution was used to apply a voltage of 35 V at about 70 ° C. to form a dielectric film by anodic oxidation. The anode was prepared by immersing and further heating at 250 ° C. for 10 minutes to deposit pyrolytic manganese oxide on the surface. This anode foil was coated with 0.1% n- of octadecyltriethoxysilane (OTES).
It was immersed in a hexane solution and air dried at 125 ° C. for 1 hour.

【0020】これに前もってポリピロールで被覆したス
テンレス製の電解重合用電極を接触させ、ピロール
(0.3mol/l)、モノnーブチルナフタレンスル
フォン酸ナトリウム(SMnBNS)(0.1mol/
l)水からなる電解液に浸し、電解重合電極と離隔して
設けた電解重合用第二の電極の間に3Vの電圧を印加し
てポリピロールからなる電解重合膜を形成した。ポリピ
ロールの被覆に要した時間は15〜20分であった。電
解重合電極を取り外し水を用いて洗浄し乾燥後、電解重
合膜上にカーボンペーストと銀ペーストを塗布して陰極
リードを取り出し、コンデンサ素子を10個完成させ
た。13Vでエージングを行った後の、120Hz にお
ける容量及び損失と400kHzにおけるインピーダン
スを(表1)に示した。
This was brought into contact with a stainless steel electrolytic polymerization electrode previously coated with polypyrrole, and pyrrole (0.3 mol / l), sodium mono-n-butylnaphthalene sulfonate (SMnBNS) (0.1 mol / l)
l) A voltage of 3 V was applied between the electrolytic polymerization electrode and the second electrode for electrolytic polymerization, which was separated from the electrolytic polymerization electrode, to form an electrolytic polymerization film made of polypyrrole. The time required for coating the polypyrrole was 15 to 20 minutes. After removing the electrolytically polymerized electrode, washing with water and drying, carbon paste and silver paste were applied on the electrolytically polymerized film, and the cathode lead was taken out to complete 10 capacitor elements. The capacitance and loss at 120 Hz and the impedance at 400 kHz after aging at 13 V are shown in (Table 1).

【0021】比較のため、比較例1として疎水化処理を
行わなかった以外実施例1と同様の条件でコンデンサを
完成させた。ポリピロールの被覆に要した時間は30〜
40分程度であった。また実施例1と同様の特性評価を
行い、その結果を(表1)に示した。
For comparison, as Comparative Example 1, a capacitor was completed under the same conditions as in Example 1 except that the hydrophobic treatment was not performed. The time required to coat polypyrrole is 30-
It took about 40 minutes. Further, the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed, and the results are shown in (Table 1).

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】上述のポリピロールの被覆に要する時間の
比較及びこの(表1)から明らかなように、本実施例に
よるコンデンサは、ポリピロールの被覆に要する時間が
短縮され、さらに400kHzのインピーダンスを小さ
くできるという点で優れた効果が得られる。
As is clear from the comparison of the time required for coating the polypyrrole and the result (Table 1), the capacitor according to this embodiment can shorten the time required for coating the polypyrrole and further reduce the impedance of 400 kHz. Excellent effect can be obtained.

【0024】以上のように本実施例によれば、誘電体表
面を疎水化処理することにより、電解重合膜の面方向の
成長を促進させ、その被覆時間を短縮させ、かつまた高
周波域のインピーダンスの小さいコンデンサを実現する
ことができる。
As described above, according to this embodiment, the surface of the dielectric material is hydrophobized to promote the growth of the electrolytically polymerized film in the surface direction, shorten the coating time, and reduce the impedance in the high frequency range. It is possible to realize a small capacitor.

【0025】(実施例2)実施例1のOTESの0.1
%nーヘキサン溶液に代えてn−プロピルトリクロロシ
ラン(nPTCS)、ジメトキシジフェニルシラン(D
MDPS)、メチルフェニルジクロロシラン(MPDC
S)のそれぞれ0.1%n−ヘキサン溶液を用いて疎水
化処理を行った以外実施例1と同様にして3種のコンデ
ンサを10個ずつ作製した。被覆に要した時間はいずれ
の場合も15〜20分であった。これらのコンデンサを
実施例1同様の評価を行った結果を(表1)に示す。
(Embodiment 2) 0.1 of OTES of Embodiment 1
% N-hexane solution, n-propyltrichlorosilane (nPTCS), dimethoxydiphenylsilane (D
MDPS), methylphenyldichlorosilane (MPDC)
Ten capacitors of each of three types were produced in the same manner as in Example 1 except that the hydrophobization treatment was performed using each 0.1% n-hexane solution of S). The time required for coating was 15 to 20 minutes in each case. The results of evaluation of these capacitors similar to those in Example 1 are shown in (Table 1).

【0026】上述のポリピロールの被覆に要する時間の
比較及びこの(表1)から明らかなように、本実施例に
よるコンデンサは、ポリピロールの被覆に要する時間が
短縮され、さらに400kHzのインピーダンスを小さ
くできるという点で優れた効果が得られる。
As is clear from the comparison of the time required for coating the polypyrrole and this (Table 1), the capacitor according to the present embodiment can shorten the time required for coating the polypyrrole and further reduce the impedance of 400 kHz. Excellent effect can be obtained.

【0027】以上のように本実施例によれば、誘電体表
面を疎水化処理することにより、電解重合膜の面方向の
成長を促進させ、その被覆時間を短縮させ、かつまた高
周波域のインピーダンスの小さいコンデンサを実現する
ことができる。
As described above, according to the present embodiment, the surface of the dielectric material is hydrophobized to accelerate the growth of the electropolymerized film in the plane direction, shorten the coating time, and reduce the impedance in the high frequency range. It is possible to realize a small capacitor.

【0028】(実施例3)水に代えてエタノール10重
量%を含む水溶液を溶媒に用いた以外、実施例1と同様
にしてコンデンサを10個作製した。ポリピロールの被
覆に要する時間は15〜20分であった。またこのコン
デンサの実施例1と同様の評価を行った結果を(表1)
に示す。
Example 3 Ten capacitors were produced in the same manner as in Example 1 except that an aqueous solution containing 10% by weight of ethanol was used as a solvent instead of water. The time required for coating with polypyrrole was 15 to 20 minutes. The results of the same evaluation as in Example 1 of this capacitor are shown (Table 1).
Shown in.

【0029】上述のポリピロールの被覆に要する時間の
比較及びこの(表1)から明らかなように、本実施例に
よるコンデンサは、ポリピロールの被覆に要する時間が
短縮され、さらに400kHzのインピーダンスを小さ
くできるという点で優れた効果が得られる。
As is clear from the comparison of the time required for coating the polypyrrole and this (Table 1), the capacitor according to the present embodiment can shorten the time required for coating the polypyrrole and further reduce the impedance of 400 kHz. Excellent effect can be obtained.

【0030】以上のように本実施例によれば、誘電体表
面を疎水化処理することにより、電解重合膜の面方向の
成長を促進させ、その被覆時間を短縮させ、かつまた高
周波域のインピーダンスの小さいコンデンサを実現する
ことができる。
As described above, according to the present embodiment, by making the surface of the dielectric material hydrophobic, the growth of the electropolymerized film in the surface direction is promoted, the coating time is shortened, and the impedance in the high frequency range is also increased. It is possible to realize a small capacitor.

【0031】(実施例4)ピロール(0.3mol/
l)に代えて、ピロール(0.21mol/l)とN−
メチルピロール(0.09mol/l)からなる混合モ
ノマーを用いた以外、実施例1と同様にしてコンデンサ
を10個作製した。ポリピロールの被覆に要する時間は
15〜20分であった。またこのコンデンサを実施例1
と同様の評価を行いその結果を(表1)に示した。
(Example 4) Pyrrole (0.3 mol /
1) instead of pyrrole (0.21 mol / l) and N-
Ten capacitors were produced in the same manner as in Example 1 except that a mixed monomer composed of methylpyrrole (0.09 mol / l) was used. The time required for coating with polypyrrole was 15 to 20 minutes. In addition, this capacitor is used in the first embodiment.
Evaluations similar to those were performed and the results are shown in (Table 1).

【0032】比較のため、比較例2として疎水化処理を
行わなかった以外実施例4と同様の条件でコンデンサを
完成させた。ポリピロールの被覆に要した時間は30〜
40分程度であった。また実施例1と同様の特性評価を
行い、その結果を(表1)に示した。
For comparison, as Comparative Example 2, a capacitor was completed under the same conditions as in Example 4 except that the hydrophobic treatment was not performed. The time required to coat polypyrrole is 30-
It took about 40 minutes. Further, the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed, and the results are shown in (Table 1).

【0033】上述のポリピロールの被覆に要する時間の
比較及びこの(表1)から明らかなように、本実施例に
よるコンデンサは、ポリピロールの被覆に要する時間が
短縮され、さらに400kHzのインピーダンスを小さ
くできるという点で優れた効果が得られる。
As is clear from the comparison of the time required for coating the polypyrrole and this (Table 1), the capacitor according to this embodiment can shorten the time required for coating the polypyrrole and further reduce the impedance of 400 kHz. Excellent effect can be obtained.

【0034】以上のように本実施例によれば、誘電体表
面を疎水化処理することにより、電解重合膜の面方向の
成長を促進させ、その被覆時間を短縮させ、かつまた高
周波域のインピーダンスの小さいコンデンサを実現する
ことができる。
As described above, according to this embodiment, the surface of the dielectric film is hydrophobized to promote the growth of the electropolymerized film in the surface direction, shorten the coating time, and reduce the impedance in the high frequency range. It is possible to realize a small capacitor.

【0035】(実施例5)アルミニウム箔に代えて10
%リン酸水溶液を用いて90℃で化成したタンタル箔を
用いた以外、実施例1と同様にしてコンデンサを10個
作製した。ポリピロールの被覆に要する時間は10〜1
5分であった。このコンデンサを実施例1と同様の評価
を行いその結果を(表1)に示した。
(Example 5) 10 instead of aluminum foil
% Ten phosphoric acid aqueous solution was used, and ten capacitors were prepared in the same manner as in Example 1 except that tantalum foil formed at 90 ° C. was used. The time required for coating polypyrrole is 10 to 1
It was 5 minutes. This capacitor was evaluated in the same manner as in Example 1 and the results are shown in (Table 1).

【0036】比較のため比較例3として疎水化処理を行
わなかった以外実施例5と同様の条件でコンデンサを完
成させた。ポリピロールの被覆に要した時間は20〜2
5分であった。また実施例1と同様の特性評価を行い、
その結果を(表1)に示した。
For comparison, as Comparative Example 3, a capacitor was completed under the same conditions as in Example 5 except that the hydrophobic treatment was not performed. The time required for coating polypyrrole is 20 to 2
It was 5 minutes. In addition, the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed,
The results are shown in (Table 1).

【0037】上述のポリピロールの被覆に要する時間の
比較及びこの(表1)から明らかなように、本実施例に
よるコンデンサは、ポリピロールの被覆に要する時間が
短縮され、さらに400kHzのインピーダンスを小さ
くできるという点で優れた効果が得られる。
As is clear from the comparison of the time required for coating with polypyrrole and this (Table 1), the capacitor according to the present embodiment can shorten the time required for coating with polypyrrole and further reduce the impedance of 400 kHz. Excellent effect can be obtained.

【0038】以上のように本実施例によれば、誘電体表
面を疎水化処理することにより、電解重合膜の面方向の
成長を促進させ、その被覆時間を短縮させ、かつまた高
周波域のインピーダンスの小さいコンデンサを実現する
ことができる。
As described above, according to the present embodiment, the surface of the dielectric material is hydrophobized to accelerate the growth of the electropolymerized film in the surface direction, shorten the coating time, and reduce the impedance in the high frequency range. It is possible to realize a small capacitor.

【0039】(実施例6)支持電解質のSMnBNSに
代えてp−トルエンスルフォン酸ナトリウムを用いた以
外、実施例1と同様にしてコンデンサを10個作製し
た。ポリピロールの被覆に要する時間は15〜20分で
あった。またこのコンデンサを実施例1と同様の評価を
行い、その結果を(表1)に示した。
Example 6 Ten capacitors were produced in the same manner as in Example 1 except that sodium p-toluenesulfonate was used instead of SMnBNS of the supporting electrolyte. The time required for coating with polypyrrole was 15 to 20 minutes. This capacitor was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in (Table 1).

【0040】比較のため、比較例4として疎水化処理を
行わなかった以外実施例6と同様の条件でコンデンサを
完成させた。ポリピロールの被覆に要した時間は30〜
40分であった。また実施例1と同様の特性評価を行
い、その結果を(表1)に示した。
For comparison, as Comparative Example 4, a capacitor was completed under the same conditions as in Example 6 except that the hydrophobic treatment was not performed. The time required to coat polypyrrole is 30-
It was 40 minutes. Further, the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed, and the results are shown in (Table 1).

【0041】上述のポリピロールの被覆に要する時間の
比較及びこの(表1)から明らかなように、本実施例に
よるコンデンサは、ポリピロールの被覆に要する時間が
短縮され、さらに400kHzのインピーダンスを小さ
くできるという点で優れた効果が得られる。
As is clear from the comparison of the time required for coating with polypyrrole and this (Table 1), the capacitor according to this embodiment can shorten the time required for coating with polypyrrole and further reduce the impedance of 400 kHz. Excellent effect can be obtained.

【0042】以上のように本実施例によれば、誘電体表
面を疎水化処理することにより、電解重合膜の面方向の
成長を促進させ、その被覆時間を短縮させ、かつまた高
周波域のインピーダンスの小さいコンデンサを実現する
ことができる。 なお実施例では疎水化処理のためにシ
ランを用いた場合についてのみ述べたが、例えばフッ素
化合物等から選ばれる他の疎水化剤を用いてもよく、本
発明はその種類に限定されない。
As described above, according to this embodiment, the surface of the dielectric film is hydrophobized to promote the growth of the electrolytically polymerized film in the plane direction, shorten the coating time, and reduce the impedance in the high frequency range. It is possible to realize a small capacitor. In the examples, only the case where silane is used for the hydrophobizing treatment is described, but other hydrophobizing agents selected from fluorine compounds and the like may be used, and the present invention is not limited to the kind.

【0043】なお実施例では誘電体として弁金属の酸化
皮膜を用いた場合についてのみ述べたが、本発明は金属
表面に例えば電着により形成されたポリイミドを誘電体
として用いたような場合でも適用でき、また強誘電体の
チタン酸バリウムを誘電体とした場合でも同様適用で
き、本発明は誘電体の種類に限定されない。
In the examples, only the case where the oxide film of the valve metal is used as the dielectric is described, but the present invention is also applied to the case where polyimide formed by electrodeposition on the metal surface is used as the dielectric. The present invention is not limited to the kind of the dielectric material, and can be similarly applied when the ferroelectric material barium titanate is used as the dielectric material.

【0044】なお実施例では電解重合高分子から成る電
極をコンデンサの一方の電極にのみ用いた場合について
のみ述べたが、両電極に用いることもできる。
In the examples, only the case where the electrode made of the electrolytically polymerized polymer is used for only one electrode of the capacitor has been described, but it is also possible to use for both electrodes.

【0045】なお実施例ではピロール及びその誘導体を
繰り返し単位とする電解重合高分子を用いる場合につい
てのみ述べたが、チオフェンまたはその誘導体あるいは
アニリン等を用いることもできる。
In the examples, only the case of using an electrolytically polymerized polymer having pyrrole and its derivative as a repeating unit was described, but thiophene or its derivative, aniline or the like can also be used.

【0046】なお実施例では水を主成分とした媒体中で
の場合についてのみ述べたが、有機溶媒もまた同様に用
いることができる。
In the examples, only the case of using a medium containing water as a main component has been described, but an organic solvent can be similarly used.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上のように本発明は、誘電体層を介し
て二つ電極を有するコンデンサの少なくとも一方の電極
の形成を、誘電体層表面を疎水化した後、前記誘電体表
面に電解重合により重合性モノマーを繰り返し単位とす
る導電性の高分子皮膜で被覆して行うようにしたもので
あり、その被覆に要する時間を短縮でき、さらに結果と
して望ましくない膜厚方向の成長が抑制されるため、高
周波域のインピーダンス特性の一層向上したコンデンサ
を得ることができる。
As described above, according to the present invention, the formation of at least one electrode of a capacitor having two electrodes via a dielectric layer is performed by hydrophobizing the surface of the dielectric layer and then electrolyzing the surface of the dielectric layer. The coating is performed by coating with a conductive polymer film having a polymerizable monomer as a repeating unit by polymerization, and the time required for the coating can be shortened, and as a result, undesirable growth in the film thickness direction is suppressed. Therefore, a capacitor having further improved impedance characteristics in the high frequency range can be obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 浩一 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Koichi Yoshida 3-10-1 Higashisanda, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Matsushita Giken Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 弁金属の表面に誘電体層を形成し、前記
誘電体層表面の少なくとも一方を疎水化し、しかる後前
記誘電体表面に電解重合により重合性モノマーを繰り返
し単位とする導電性の高分子皮膜を形成することを特徴
とするコンデンサの製造方法。
1. A dielectric layer is formed on the surface of a valve metal, and at least one of the surfaces of the dielectric layer is hydrophobized, and then a conductive monomer containing a polymerizable monomer as a repeating unit by electrolytic polymerization is formed on the dielectric surface. A method of manufacturing a capacitor, which comprises forming a polymer film.
【請求項2】 誘電体層が弁金属の酸化物である請求項
1記載のコンデンサの製造方法。
2. The method for manufacturing a capacitor according to claim 1, wherein the dielectric layer is an oxide of a valve metal.
【請求項3】 重合性モノマーがピロールまたはその誘
導体の少なくとも1種から構成されるものである請求項
1記載のコンデンサの製造方法。
3. The method for producing a capacitor according to claim 1, wherein the polymerizable monomer is composed of at least one kind of pyrrole or its derivative.
【請求項4】 弁金属がアルミニウムまたはタンタルか
ら選ばれる一種である請求項2記載のコンデンサの製造
方法。
4. The method for manufacturing a capacitor according to claim 2, wherein the valve metal is one selected from aluminum and tantalum.
【請求項5】 電解重合を水媒体中で行う請求項1記載
のコンデンサの製造方法。
5. The method for producing a capacitor according to claim 1, wherein the electrolytic polymerization is performed in an aqueous medium.
【請求項6】 疎水化処理をシランを用いて行なう請求
項1記載のコンデンサの製造方法。
6. The method for manufacturing a capacitor according to claim 1, wherein the hydrophobic treatment is performed using silane.
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