JP2785565B2 - Manufacturing method of capacitor - Google Patents

Manufacturing method of capacitor

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JP2785565B2
JP2785565B2 JP3461492A JP3461492A JP2785565B2 JP 2785565 B2 JP2785565 B2 JP 2785565B2 JP 3461492 A JP3461492 A JP 3461492A JP 3461492 A JP3461492 A JP 3461492A JP 2785565 B2 JP2785565 B2 JP 2785565B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は誘電体皮膜を介して対向
している電極の、少なくとも一方の電極に導電性高分子
膜を用いるコンデンサの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a capacitor using a conductive polymer film for at least one of electrodes facing each other via a dielectric film.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、電気機器のディジタル化にともな
って、そこに使用されるコンデンサも高周波領域におい
てインピーダンスが低く、小型大容量化への要求が高ま
っている。従来、高周波用のコンデンサとしてはプラス
チックフィルムコンデンサ、マイカコンデンサ、積層セ
ラミックコンデンサなどが用いられている。またその他
にアルミニウム乾式電解コンデンサやアルミニウムまた
はタンタル固体電解コンデンサなどがある。
2. Description of the Related Art Recently, with the digitization of electrical equipment, the capacitors used therein have low impedance in the high frequency range, and there is an increasing demand for smaller and larger capacitors. Conventionally, plastic film capacitors, mica capacitors, multilayer ceramic capacitors, and the like have been used as high-frequency capacitors. Other examples include an aluminum dry electrolytic capacitor and an aluminum or tantalum solid electrolytic capacitor.

【0003】アルミニウム乾式電解コンデンサでは、エ
ッチングを施した陽、陰極アルミニウム箔を紙のセパレ
ータを介して巻取り、液状の電解質を用いている。ま
た、アルミニウムやタンタル固体電解コンデンサでは前
記アルミニウム電解コンデンサの特性改良のため電解質
の固体化がなされている。この固体電解質形成には硝酸
マンガン液に陽極箔を浸漬し、350℃前後の高温炉中
にて熱分解し、二酸化マンガン層を作る。このコンデン
サの場合、電解質が固体のために高温における電解液の
揮散、低温域での凝固から生ずる機能低下などの欠点が
なく、液状電解質と比べて良好な周波数特性、温度特性
を示す。又、アルミ電解コンデンサはタンタル電解コン
デンサと同様誘電体となる酸化皮膜を非常に薄くできる
ために大容量を実現できる。
In an aluminum dry electrolytic capacitor, an etched positive and negative electrode aluminum foil is wound through a paper separator, and a liquid electrolyte is used. Further, in an aluminum or tantalum solid electrolytic capacitor, the electrolyte is solidified to improve the characteristics of the aluminum electrolytic capacitor. To form the solid electrolyte, the anode foil is immersed in a manganese nitrate solution and thermally decomposed in a high-temperature furnace at about 350 ° C. to form a manganese dioxide layer. In the case of this capacitor, since the electrolyte is solid, there are no drawbacks such as volatilization of the electrolyte at a high temperature and functional deterioration caused by solidification in a low temperature range, and the capacitor exhibits better frequency characteristics and temperature characteristics than a liquid electrolyte. Also, the aluminum electrolytic capacitor can realize a large capacity because the oxide film serving as a dielectric can be made very thin like the tantalum electrolytic capacitor.

【0004】また、近年では7,7,8,8−テトラシ
アノキノジメタン(TCNQ)塩等の有機半導体を固体
電解質として用いた固体電解コンデンサ(特開昭58−
17609号公報参照)が開発されている。
In recent years, a solid electrolytic capacitor using an organic semiconductor such as 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane (TCNQ) salt as a solid electrolyte (Japanese Patent Laid-Open No.
17609) has been developed.

【0005】さらにピロール、チオフェン、フランなど
の重合性モノマーを電解重合させて導電性高分子とし、
これをコンデンサの電極の少なくとも一方に用いる方法
もあり、電極表面に誘電体となるポリイミド薄膜を電着
法によって形成し、化学重合導電性高分子膜を積層して
さらに電解重合導電性高分子膜を積層してなるコンデン
サが開示されている(1991年春の電気化学協会第5
8回大会講演要旨集、P251及びP252参照)
Further, a polymerizable monomer such as pyrrole, thiophene or furan is electrolytically polymerized into a conductive polymer,
There is also a method of using this for at least one of the electrodes of a capacitor.A polyimide thin film serving as a dielectric is formed on the electrode surface by an electrodeposition method, a chemically polymerized conductive polymer film is laminated, and an electrolytic polymerized conductive polymer film is further formed. Are disclosed (Electrochemical Society of Japan, Spring 1991, No. 5).
8th Annual Meeting Abstracts, P251 and P252)

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように種々のコン
デンサが使用されているが、フィルムコンデンサおよび
マイカコンデンサでは形状が大きくなってしまうために
大容量化が難しく、また積層セラミックコンデンサは小
型大容量の要望から生まれたものであるが価格が非常に
高くなるということと、温度特性が悪いことなどの欠点
を有している。
As described above, various types of capacitors are used. However, film capacitors and mica capacitors have large shapes because of their large shapes. However, it has disadvantages such as extremely high price and poor temperature characteristics.

【0007】また、アルミ電解コンデンサは酸化皮膜の
損傷が起き易いために酸化皮膜と陰極の間に電解質を施
し随時損傷を修復する必要がある。このため電解質に液
状のものを使用しているものは、電解質の液漏れやイオ
ン伝導性などの理由から経時的に静電容量の減少や損失
の増大をもたらす事と高周波特性、低温領域での損失が
大きいなどの欠点を有している。
[0007] Further, since the aluminum electrolytic capacitor is easily damaged by the oxide film, it is necessary to repair the damage as needed by applying an electrolyte between the oxide film and the cathode. For this reason, those that use a liquid electrolyte as the electrolyte may cause a decrease in capacitance or an increase in loss over time due to electrolyte leakage or ionic conductivity, etc. It has disadvantages such as a large loss.

【0008】次に固体電解質のものについて述べると、
高温で数回熱分解することによる酸化皮膜の損傷及び二
酸化マンガンの比抵抗が高いことなどの理由から高周波
域での損失は十分に小さいとはいえない。又、TCNQ
塩などの有機半導体を用いた固体電解コンデンサは、二
酸化マンガンを用いたものに比して優れた高周波特性を
示すが、有機半導体を塗布する際の比抵抗の上昇、陽極
箔への接着性が弱いことなどが原因で理想的な特性を示
すとはいえない。
Next, the solid electrolyte will be described.
The loss in the high frequency range is not sufficiently small due to the damage of the oxide film due to thermal decomposition several times at a high temperature and the high specific resistance of manganese dioxide. Also, TCNQ
Solid electrolytic capacitors using organic semiconductors such as salt show superior high-frequency characteristics compared to those using manganese dioxide.However, the increase in specific resistance when applying organic semiconductors and the adhesion to anode foil It cannot be said that it exhibits ideal characteristics due to its weakness.

【0009】さらに導電性高分子薄膜をコンデンサの電
極として用いると、周波数特性,温度特性、高温寿命特
性などが優れている。しかし、誘電体皮膜が水分に侵さ
れ易いので高温高湿寿命特性に欠点を有している。
Further, when a conductive polymer thin film is used as an electrode of a capacitor, frequency characteristics, temperature characteristics, high temperature life characteristics and the like are excellent. However, since the dielectric film is easily attacked by moisture, it has a drawback in high-temperature and high-humidity life characteristics.

【0010】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、高温高湿寿命特性に優れ、信頼性の高いコンデンサ
を効率よく作製する製造方法の提供を目的とする。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a manufacturing method for efficiently manufacturing a highly reliable capacitor having excellent high-temperature and high-humidity life characteristics.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するもので、本発明によるコンデンサの製造方法は、少
なくとも誘電体皮膜を形成させた電極を、珪酸あるいは
珪酸塩から選ばれる少なくとも一つとリン酸あるいはリ
ン酸塩から選ばれる少なくとも一つとからなる電極処理
水溶液で浸漬処理した後、重合性モノマ−と支持電解質
とを少なくとも含有する電解液を用いて電解重合により
導電性高分子を形成し電極として使用するものである。
Means for Solving the Problems The present invention attains the above object, and a method of manufacturing a capacitor according to the present invention comprises forming at least an electrode having a dielectric film formed on at least one electrode selected from silicic acid or silicate. After immersion in an electrode treatment aqueous solution comprising at least one selected from phosphoric acid or phosphate, a conductive polymer is formed by electrolytic polymerization using an electrolytic solution containing at least a polymerizable monomer and a supporting electrolyte. It is used as an electrode.

【0012】なお、本発明の珪酸あるいは珪酸塩は単独
で用いても、複数種を混合して用いてもよい。また珪酸
あるいは珪酸塩の電解液中の濃度は微量でも効果がある
が、1×10-4mol/l以上が好ましく、1×10-3
mol/l以上で特に大きな効果がある。
The silicic acid or silicate of the present invention may be used alone or in combination of two or more. Although the concentration of silicic acid or silicate in the electrolytic solution is effective even in a very small amount, it is preferably 1 × 10 −4 mol / l or more, and more preferably 1 × 10 −3 mol / l.
The effect is particularly large at mol / l or more.

【0013】なお、本発明のリン酸あるいはリン酸塩は
単独で用いても、複数種を混合して用いてもよい。また
リン酸あるいはリン酸塩の電解液中の濃度は微量でも効
果があるが、1×10-5mol/l以上が好ましく、1
×10-4mol/l以上で特に大きな効果がある。
The phosphoric acid or phosphate of the present invention may be used alone or in combination of two or more. Although the concentration of phosphoric acid or phosphate in the electrolytic solution is effective even in a very small amount, it is preferably 1 × 10 −5 mol / l or more,
At least 10 -4 mol / l is particularly effective.

【0014】なお、本発明の珪酸あるいは珪酸塩から選
ばれる少なくとも一つとリン酸あるいはリン酸塩から選
ばれる少なくとも一つからなる電極処理水溶液に、誘電
体皮膜を形成した電極を浸漬している時間は1時間でも
効果はあるが、12時間以上が好ましく、24時間以上
で特に大きな効果がある。
The time during which the electrode on which the dielectric film is formed is immersed in an electrode treatment aqueous solution comprising at least one selected from silicic acid or silicate and at least one selected from phosphoric acid or phosphate of the present invention. Is effective for 1 hour, but is preferably 12 hours or more, and is especially effective for 24 hours or more.

【0015】なお、本発明の重合性モノマ−としては、
請求項5記載の発明のように、ピロ−ル、チオフェンま
たは、それらの誘導体(例えば、N−メチルピロ−ル)
の少なくとも一つが挙げられるが、例えば、フラン等で
もよい。そして、支持電解質としては過塩素酸塩、スル
フォン酸塩、カルボン酸塩、リン酸塩等の一般に用いら
れるものであればどのようなものでもよいが、請求項3
の発明のようなアルキル置換基を有するナフタレンスル
フォン酸塩もしくはアルキルリン酸エステルが好適であ
る。さらに具体的には、モノメチルナフタレンスルフォ
ン酸ナトリウム、トリイソプロピルナフタレンスルフォ
ン酸ナトリウム、モノイソプロピルナフタレンスルフォ
ン酸ナトリウム、ジブチルナフタレンスルフォン酸ナト
リウム、プロピルリン酸エステル、ブチルリン酸エステ
ル、ヘキシルリン酸エステル等が挙げられる。
The polymerizable monomers of the present invention include:
As in the invention according to claim 5, pyrrole, thiophene or a derivative thereof (for example, N-methylpyrrol)
Or at least one of the following, but for example, may be furan or the like. The supporting electrolyte may be any generally used one such as perchlorate, sulfonate, carboxylate, phosphate and the like.
Naphthalene sulfonates or alkyl phosphates having an alkyl substituent as in the invention of the above are preferred. More specifically, there may be mentioned sodium monomethylnaphthalenesulfonate, sodium triisopropylnaphthalenesulfonate, sodium monoisopropylnaphthalenesulfonate, sodium dibutylnaphthalenesulfonate, propyl phosphate, butyl phosphate, hexyl phosphate, and the like.

【0016】また、上記モノマ−や支持電解質をそれぞ
れ単独で用いず、支持電解質を複数種混合して用いた
り、ピロ−ル、チオフェンをそれぞれの誘導体と混合し
て用いるなど上記モノマ−も複数種併用してもよい。さ
らに、導電性高分子層を複合化するために、電解液に適
当な添加剤を入れてもよい。なおこの発明は、上記例示
の化合物や処理工程に限定されるものではない。例示以
外の代替可能な化合物や処理工程を用いてもよいことは
いうまでもない。
Also, the above-mentioned monomers and supporting electrolytes are not used alone, but a plurality of kinds of supporting electrolytes are used in combination, such as a mixture of plural kinds of supporting electrolytes, or a mixture of pyrrole and thiophene with their derivatives. You may use together. Further, an appropriate additive may be added to the electrolytic solution in order to composite the conductive polymer layer. Note that the present invention is not limited to the compounds and treatment steps exemplified above. It goes without saying that alternative compounds and processing steps other than those exemplified may be used.

【0017】[0017]

【作用】本発明は上記構成のように、少なくとも誘電体
皮膜を形成させた電極を、電解重合導電性高分子膜を形
成する前に、珪酸あるいは珪酸塩から選ばれる少なくと
も一つとリン酸あるいはリン酸塩から選ばれる少なくと
も一つからなる電極処理水溶液で浸漬処理しているた
め、作製されたコンデンサは、誘電体皮膜の水和が抑制
され、さらに熱安定性の優れた電解重合導電性高分子膜
を積層させ対極とするので、高温高湿下に放置しても特
性の劣化が小さいコンデンサができる。
According to the present invention, as described above, at least one electrode selected from silicic acid or silicate is added to at least one electrode selected from silicic acid or silicate before forming an electropolymerized conductive polymer film. Since the immersion treatment is performed with an aqueous solution of an electrode treatment consisting of at least one selected from the group consisting of acid salts, the hydrated dielectric film is suppressed and the resulting polymerized conductive polymer has excellent thermal stability. Since the film is laminated and used as a counter electrode, a capacitor with little deterioration in characteristics even when left under high temperature and high humidity can be obtained.

【0018】[0018]

【実施例】(実施例1)以下第1の実施例として、本発
明をアルミ電解コンデンサへ応用したことについて、図
面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1) As a first embodiment, application of the present invention to an aluminum electrolytic capacitor will be described with reference to the drawings.

【0019】弁作用金属2の表面に耐熱絶縁テープ8を
貼り、面積の小さい方を陽極リード取り付け面にし、面
積の大きい方(4mm×5mm)を誘電体皮膜形成面とし
た。弁作用金属箔2(アルミニウムエッチド箔)を7%
アジピン酸アンモニウム水溶液を用い、約70℃、40
分間、印加電圧42Vの条件で陽極酸化し誘電体皮膜3
を形成し、つぎに硝酸マンガン水溶液を塗布し300
℃、20分の条件で熱分解しマンガン酸化物膜4からな
る導電層を形成し、図1に示すごとく誘電体皮膜3、マ
ンガン酸化物膜4を形成した面を、珪酸ナトリウム
(0.01mol/l)とリン酸(0.001mol/
l)からなる25℃の電極処理水溶液9に24時間浸漬
した。
A heat-resistant insulating tape 8 was applied to the surface of the valve action metal 2, and the smaller one was used as the anode lead mounting surface, and the larger one (4 mm × 5 mm) was used as the dielectric film forming surface. 7% of valve action metal foil 2 (aluminum etched foil)
Using an aqueous solution of ammonium adipate, about 70 ° C, 40
Anodic oxidation under the condition of an applied voltage of 42 V for 3 minutes.
And then apply manganese nitrate aqueous solution
Thermal decomposition at 20 ° C. for 20 minutes to form a conductive layer composed of a manganese oxide film 4, and as shown in FIG. 1, the surface on which the dielectric film 3 and the manganese oxide film 4 were formed was treated with sodium silicate (0.01 mol). / L) and phosphoric acid (0.001 mol /
The electrode was immersed in the electrode treatment aqueous solution 9 at 25 ° C. for 24 hours.

【0020】次に図2に示すごとくピロール(0.25
mol/l)、トリイソプロピルナフタレンスルフォネ
ート(0.1mol/l)、水からなる電解重合溶液1
0に弁金属箔2を浸し、重合開始用電極7をマンガン酸
化物膜4に近接させ、陰極13との間に2.5Vの定電
圧を30分印加し、マンガン酸化物4上に対極用の導電
性高分子膜5(ポリピロール膜)を形成し、図3に示す
ようにカーボンペイント層11、銀ペイント層12を積
層し、図4に示すように陽極リード1と陰極リード6を
設けてコンデンサを得た。試料数は10個である。
Next, as shown in FIG. 2, pyrrole (0.25
mol / l), triisopropylnaphthalenesulfonate (0.1 mol / l), water
0, the polymerization start electrode 7 is brought close to the manganese oxide film 4, and a constant voltage of 2.5 V is applied between the electrode 13 and the cathode 13 for 30 minutes. Is formed, a carbon paint layer 11 and a silver paint layer 12 are laminated as shown in FIG. 3, and an anode lead 1 and a cathode lead 6 are provided as shown in FIG. A capacitor was obtained. The number of samples is 10.

【0021】得られたコンデンサの120Hzでの初期
の容量と損失係数を測定した。その後、高温高湿下に5
00時間暴露し、再度120Hzでの容量と損失係数を
測定した。測定値の平均値を(表1)に示す。
The initial capacity and loss factor of the obtained capacitor at 120 Hz were measured. After that, 5 under high temperature and high humidity
After exposure for 00 hours, the capacity and the loss factor at 120 Hz were measured again. The average of the measured values is shown in (Table 1).

【0022】比較例1として、電極処理を行わないこと
以外は上記と同条件でコンデンサを10個作製し同様の
測定を行った。測定値の平均を(表1)に示している。
これら(表1)から明らかなように、本実施例によるコ
ンデンサは、寿命加速試験後の特性と初期特性の差が比
較例1に比べ著しく小さく優れた効果が得られる。
As Comparative Example 1, ten capacitors were manufactured under the same conditions as above except that the electrode treatment was not performed, and the same measurement was performed. The average of the measured values is shown in (Table 1).
As is clear from these (Table 1), in the capacitor according to the present example, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics is significantly smaller than that in Comparative Example 1, and an excellent effect is obtained.

【0023】以上のように本実施例によれば、誘電体皮
膜の水和を抑制し、電極に用いる電解重合導電性高分子
膜が熱安定性に優れているので、寿命特性の優れた高性
能のコンデンサを実現させることができる。
As described above, according to the present embodiment, the hydration of the dielectric film is suppressed, and the electropolymerized conductive polymer film used for the electrode has excellent thermal stability. High performance capacitors can be realized.

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】(実施例2)誘電体皮膜を形成した電極
を、電極処理液に浸漬する時間が1時間であること以外
は(実施例1)と同様にしてコンデンサを作製した。試
料数は10個である。得られたコンデンサは(実施例
1)と同様の測定を行った。その特性を(表1)に示し
ている。
(Example 2) A capacitor was produced in the same manner as in (Example 1) except that the electrode on which the dielectric film was formed was immersed in an electrode treatment solution for 1 hour. The number of samples is 10. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1).

【0026】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is apparent from Table 1, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present embodiment is remarkably small as compared with Comparative Example 1, and excellent effects are obtained as in Example 1. Can be

【0027】(実施例3)リン酸の濃度を0.01mo
l/lにしたこと以外は(実施例1)と同様にしてコン
デンサを作製した。試料数は10個である。得られたコ
ンデンサは(実施例1)と同様の測定を行った。その特
性を(表1)に示している。
(Example 3) The concentration of phosphoric acid was set to 0.01 mol.
A capacitor was produced in the same manner as in (Example 1) except that 1 / l was set. The number of samples is 10. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1).

【0028】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is clear from Table 1, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present embodiment is remarkably small as compared with Comparative Example 1, and excellent effects are obtained as in Example 1. Can be

【0029】(実施例4)リン酸に代えてリン酸二水素
アンモニウムを用いること以外は(実施例1)と同様に
してコンデンサを作製した。試料数は10個である。得
られたコンデンサは(実施例1)と同様の測定を行っ
た。その特性を(表1)に示している。
Example 4 A capacitor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that ammonium dihydrogen phosphate was used instead of phosphoric acid. The number of samples is 10. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1).

【0030】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is apparent from Table 1, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present embodiment is remarkably small as compared with Comparative Example 1, and excellent effects are obtained as in the first embodiment. Can be

【0031】(実施例5)リン酸に代えてリン酸二水素
ナトリウムを用いること以外は(実施例1)と同様にし
てコンデンサを作製した。試料数は10個である。得ら
れたコンデンサは(実施例1)と同様の測定を行った。
その特性を(表1)に示している。
Example 5 A capacitor was manufactured in the same manner as in (Example 1) except that sodium dihydrogen phosphate was used instead of phosphoric acid. The number of samples is 10. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1).
The characteristics are shown in (Table 1).

【0032】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is clear from Table 1, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present embodiment is remarkably small compared to Comparative Example 1, and excellent effects can be obtained as in Example 1. Can be

【0033】(実施例6)リン酸に代えてリン酸水素二
アンモニウムを用いること以外は(実施例1)と同様に
してコンデンサを作製した。試料数は10個である。得
られたコンデンサは(実施例1)と同様の測定を行っ
た。その特性を(表1)に示している。
Example 6 A capacitor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that diammonium hydrogen phosphate was used instead of phosphoric acid. The number of samples is 10. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1).

【0034】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is clear from Table 1, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present embodiment is significantly smaller than that of Comparative Example 1, and excellent effects are obtained as in the first embodiment. Can be

【0035】(実施例7)珪酸ナトリウムに代えて珪酸
カリウム(0.01mol/l)を用いること以外は
(実施例1)と同様にしてコンデンサを作製した。試料
数は10個である。得られたコンデンサは(実施例1)
と同様の測定を行った。その特性を(表1)に示してい
るこれら(表1)から明らかなように、本実施例による
コンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試験後の特性
と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様優れた効果
が得られる。
(Example 7) A capacitor was manufactured in the same manner as in (Example 1) except that potassium silicate (0.01 mol / l) was used instead of sodium silicate. The number of samples is 10. The obtained capacitor was (Example 1)
The same measurement was performed. As is clear from Table 1 which shows the characteristics, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present example is significantly smaller than that of Comparative Example 1. As in Example 1, excellent effects can be obtained.

【0036】(実施例8)珪酸ナトリウムに代えて珪酸
(0.01mol/l)を用いること以外は(実施例
1)と同様にしてコンデンサを作製した。試料数は10
個である。得られたコンデンサは(実施例1)と同様の
測定を行った。その特性を(表1)に示している。
Example 8 A capacitor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that silicic acid (0.01 mol / l) was used instead of sodium silicate. 10 samples
Individual. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1).

【0037】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例1と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is clear from Table 1 above, the capacitor according to the present embodiment has a remarkably small difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics as compared with Comparative Example 1, and excellent effects are obtained as in Example 1. Can be

【0038】(実施例9)ピロ−ルおよび水に代えて、
チオフェンおよびアセトニトリルを用いた以外は(実施
例1)と同様にしてコンデンサを作製した。試料数は1
0個である。得られたコンデンサは(実施例1)と同様
の測定を行った。その特性を(表1)に示している。比
較例2として、電極処理を行わないこと以外は上記と同
条件でコンデンサを10個作製し同様の測定を行った。
測定値の平均を(表1)に示している。
Example 9 Instead of pyrrole and water,
A capacitor was manufactured in the same manner as in (Example 1) except that thiophene and acetonitrile were used. 1 sample
There are zero. The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1). As Comparative Example 2, 10 capacitors were manufactured under the same conditions as above except that the electrode treatment was not performed, and the same measurement was performed.
The average of the measured values is shown in (Table 1).

【0039】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例2と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is apparent from Table 1 above, the capacitor according to the present embodiment has a remarkably small difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics, as compared with Comparative Example 2, and provides excellent effects as in Example 1. Can be

【0040】(実施例10)トリイソプロピルナフタレ
ンスルフォン酸ナトリウムに代えてジブチルナフタレン
スルフォン酸ナトリウムを電解重合液に添加する以外は
(実施例1)と同様にしてコンデンサを作製した。試料
数は10個である。得られたコンデンサは(実施例1)
と同様の測定を行った。その特性を(表1)に示してい
る。比較例3として、電極処理を行わないこと以外は上
記と同条件でコンデンサを10個作製し同様の測定を行
った。測定値の平均を(表1)に示している。
Example 10 A capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that sodium dibutylnaphthalenesulfonate was added to the electrolytic polymerization solution instead of sodium triisopropylnaphthalenesulfonate. The number of samples is 10. The obtained capacitor was (Example 1)
The same measurement was performed. The characteristics are shown in (Table 1). As Comparative Example 3, 10 capacitors were manufactured under the same conditions as above except that the electrode treatment was not performed, and the same measurement was performed. The average of the measured values is shown in (Table 1).

【0041】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例3と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is apparent from Table 1, the difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics of the capacitor according to the present embodiment is remarkably small as compared with Comparative Example 3, and excellent effects are obtained as in the first embodiment. Can be

【0042】(実施例11)トリイソプロピルナフタレ
ンスルフォン酸ナトリウムに代えてnブチルリン酸エス
テルを電解重合液に添加する以外は(実施例1)と同様
にしてコンデンサを作製した。試料数は10個である。
得られたコンデンサは(実施例1)と同様の測定を行っ
た。その特性を(表1)に示している。比較例4とし
て、電極処理を行わないこと以外は上記と同条件でコン
デンサを10個作製し同様の測定を行った。測定値の平
均を(表1)に示している。
Example 11 A capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that n-butyl phosphate was added to the electrolytic polymerization solution instead of sodium triisopropylnaphthalenesulfonate. The number of samples is 10.
The obtained capacitor was measured in the same manner as in (Example 1). The characteristics are shown in (Table 1). As Comparative Example 4, ten capacitors were manufactured under the same conditions as above except that the electrode treatment was not performed, and the same measurement was performed. The average of the measured values is shown in (Table 1).

【0043】これら(表1)から明らかなように、本実
施例によるコンデンサは比較例3と比べて、寿命加速試
験後の特性と初期特性の差が著しく小さく実施例1同様
優れた効果が得られる。
As is apparent from Table 1 above, the capacitor according to the present embodiment has a remarkably small difference between the characteristics after the accelerated life test and the initial characteristics as compared with Comparative Example 3 and achieves excellent effects as in Example 1. Can be

【0044】なお、実施例では珪酸塩として珪酸ナトリ
ウム、珪酸カリウムを使用した場合についてのみ述べた
が、微量でも水中で陽イオンと陰イオンに解離するもの
であれば、他の珪酸塩でも使用可能である。
In the examples, only the case where sodium silicate or potassium silicate is used as the silicate has been described, but other silicates can be used as long as they dissociate into cations and anions in water even in a small amount. It is.

【0045】なお、実施例ではリン酸塩としてリン酸二
水素アンモニウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸水
素二アンモニウムを使用した場合についてのみ述べた
が、微量でも水中で陽イオンと陰イオンに解離するもの
であれば、他のリン酸塩でも使用可能である。
In the examples, only the case where ammonium dihydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate or diammonium hydrogen phosphate was used as the phosphate was described. Other phosphates can be used as long as they do.

【0046】なお、実施例では重合性モノマ−としてピ
ロ−ルのほかにチオフェンを使用した場合についてのみ
述べたが、他の重合性モノマ−も使用することができ
る。
In the examples, only the case where thiophene was used in addition to pyrrole as the polymerizable monomer was described, but other polymerizable monomers can also be used.

【0047】なお、実施例では支持電解質としてトリイ
ソプロピルナフタレンスルフォン酸塩、ジブチルナフタ
レンスルフォン酸塩、nブチルリン酸エステルを使用し
た場合についてのみ述べたが、電解重合液が必要な電気
伝導度を有し、イオンがド−パントとして導電性高分子
に含まれれば、本発明の効果は、支持電解質の陽イオン
と陰イオンの種類によって限定されるものではない。
In the examples, only the case where triisopropylnaphthalenesulfonate, dibutylnaphthalenesulfonate, and nbutylphosphate were used as the supporting electrolyte was described. However, the electrolytic polymerization solution has a necessary electric conductivity. If the ions are included in the conductive polymer as a dopant, the effect of the present invention is not limited by the types of cations and anions of the supporting electrolyte.

【0048】なお、実施例では硝酸マンガンを用いてマ
ンガン酸化物を形成した場合についてのみ述べたが、硝
酸マンガンに限らず、マンガン酸化物を形成できるもの
であれば他の物でも使用可能である。
In the embodiment, only the case where manganese oxide was formed using manganese nitrate was described. However, the present invention is not limited to manganese nitrate, and other materials that can form manganese oxide can be used. .

【0049】なお、実施例では陽極として弁金属のアル
ミニウムを使用した固体電解コンデンサについてのみ述
べたが、本発明の主旨から明らかなように、電極として
使用できる電気伝導度を有すれば他の物質も使用可能で
ある。
In the embodiment, only a solid electrolytic capacitor using aluminum as a valve metal as an anode has been described. However, as is clear from the gist of the present invention, other materials having electric conductivity usable as an electrode can be used. Can also be used.

【0050】なお、実施例では誘電体としてアルミニウ
ム酸化物を使用した場合についてのみ述べたが、従来の
技術でふれた電着ポリイミドなどコンデンサの誘電体と
して使用できる他の物質を使用しても本発明の効果は妨
げられるものではない。
In the embodiment, only the case where aluminum oxide is used as the dielectric has been described. However, the present invention can be applied to the case where other materials which can be used as the dielectric of the capacitor, such as electrodeposited polyimide, used in the prior art, are used. The effect of the invention is not hindered.

【0051】なお、実施例では極性を持ったコンデンサ
についてのみ述べたが、本発明の主旨から明らかなよう
に、無極性のコンデンサでも同様の効果がある。
In the embodiment, only the capacitor having polarity has been described. However, as is clear from the gist of the present invention, the same effect can be obtained with a non-polar capacitor.

【0052】なお、実施例では一つの電極に導電性高分
子を用いた場合についてのみ述べたが、さらに別の電極
に導電性高分子を用いることも可能であり、本発明は導
電性高分子を用いる電極の数によって制限を受けるもの
ではない。
In the embodiment, only the case where a conductive polymer is used for one electrode has been described. However, it is also possible to use a conductive polymer for another electrode. It is not limited by the number of electrodes using.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上のように本発明は、誘電体皮膜を形
成させた電極を、珪酸あるいは珪酸塩から選ばれる少な
くとも一つと、リン酸あるいはリン酸塩から選ばれる少
なくとも一つからなる電極処理水溶液で浸漬処理した
後、重合性モノマ−と支持電解質とを少なくとも含有す
る電解液を用いて電解重合導電性高分子を形成し電極と
して使用するので、高温高湿寿命特性の優れたコンデン
サを効率よく作製できるものである。
As described above, according to the present invention, an electrode on which a dielectric film is formed is treated with an electrode comprising at least one selected from silicic acid or silicate and at least one selected from phosphoric acid or phosphate. After being immersed in an aqueous solution, an electrolytic polymerized conductive polymer is formed using an electrolytic solution containing at least a polymerizable monomer and a supporting electrolyte and used as an electrode. It can be manufactured well.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例における誘電体皮膜を形成し
た電極を、電極処理水溶液に浸漬した図
FIG. 1 is a diagram in which an electrode on which a dielectric film is formed according to one embodiment of the present invention is immersed in an electrode treatment aqueous solution.

【図2】同実施例における電解重合導電性高分子膜を形
成する図
FIG. 2 is a view showing formation of an electropolymerized conductive polymer film in the embodiment.

【図3】同実施例で作製したコンデンサの断面図FIG. 3 is a cross-sectional view of the capacitor manufactured in the same example.

【図4】同実施例で作製したコンデンサの平面図FIG. 4 is a plan view of the capacitor manufactured in the same example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 陽極リード 2 弁作用金属 3 誘電体皮膜 4 マンガン酸化物膜 5 電解重合導電性高分子膜 6 陰極リード 7 重合開始用電極 8 耐熱絶縁テープ 9 電極処理水溶液 10 重合溶液 11 カーボンペイント膜 12 銀ペイント膜 13 陰極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Anode lead 2 Valve metal 3 Dielectric film 4 Manganese oxide film 5 Electropolymerized conductive polymer film 6 Cathode lead 7 Polymerization initiation electrode 8 Heat resistant insulating tape 9 Electrode treatment aqueous solution 10 Polymerization solution 11 Carbon paint film 12 Silver paint Membrane 13 cathode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 浩一 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番 1号 松下技研株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−90080(JP,A) 特開 平4−307914(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01G 9/028──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Koichi Yoshida 3-1-1, Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Matsushita Giken Co., Ltd. (56) References JP-A-5-90080 (JP, A) Kaihei 4-307914 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H01G 9/028

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 少なくとも誘電体皮膜を形成させた電極
を、珪酸あるいは珪酸塩から選ばれる少なくとも一つ
と、リン酸あるいはリン酸塩から選ばれる少なくとも一
つからなる電極処理水溶液に浸漬処理した後、重合性モ
ノマ−と支持電解質とを少なくとも含有する電解液を用
いて電解重合により導電性高分子を形成することを特徴
とするコンデンサの製造方法。
Claims 1. An electrode on which at least a dielectric film is formed is immersed in an electrode treatment aqueous solution comprising at least one selected from silicic acid or silicate and at least one selected from phosphoric acid or phosphate, A method for producing a capacitor, comprising forming a conductive polymer by electrolytic polymerization using an electrolytic solution containing at least a polymerizable monomer and a supporting electrolyte.
【請求項2】 珪酸あるいは珪酸塩が珪酸エチル、珪酸
カリウム、珪酸カルシウム、珪酸テトラエチル、珪酸テ
トラフェニル、珪酸テトラメチル、珪酸ナトリウムから
選ばれる少なくとも一つであることを特徴とする請求項
1記載のコンデンサの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the silicic acid or silicate is at least one selected from ethyl silicate, potassium silicate, calcium silicate, tetraethyl silicate, tetraphenyl silicate, tetramethyl silicate and sodium silicate. Manufacturing method of capacitor.
【請求項3】 リン酸あるいはリン酸塩がリン酸水素二
アンモニウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸水素二
カリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素ナ
トリウム、リン酸二水素カリウムから選ばれる少なくと
も一つであることを特徴とする請求項1記載のコンデン
サの製造方法。
3. The phosphoric acid or phosphate is selected from diammonium hydrogen phosphate, disodium hydrogen phosphate, dipotassium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, and potassium dihydrogen phosphate. The method for manufacturing a capacitor according to claim 1, wherein at least one is provided.
【請求項4】 支持電解質がアルキル置換基を有するナ
フタレンスルフォン酸塩もしくはアルキルリン酸エステ
ルから選ばれるものである請求項1記載のコンデンサの
製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein the supporting electrolyte is selected from a naphthalene sulfonate or an alkyl phosphate having an alkyl substituent.
【請求項5】 重合性モノマ−がピロール、チオフェン
あるいはそれらの誘導体の少なくとも一つから選ばれる
ものである請求項1記載のコンデンサの製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein the polymerizable monomer is selected from at least one of pyrrole, thiophene, and derivatives thereof.
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