JPH05234716A - Zinc oxide varistor - Google Patents

Zinc oxide varistor

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JPH05234716A
JPH05234716A JP4039097A JP3909792A JPH05234716A JP H05234716 A JPH05234716 A JP H05234716A JP 4039097 A JP4039097 A JP 4039097A JP 3909792 A JP3909792 A JP 3909792A JP H05234716 A JPH05234716 A JP H05234716A
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JP
Japan
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oxide
mol
varistor
mole
added
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JP4039097A
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Japanese (ja)
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Naoki Muto
直樹 武藤
Kazushige Koyama
一茂 小山
Masaaki Katsumata
雅昭 勝又
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a zinc oxide varistor used at a stabilized varistor voltage and designed for a low voltage service lower than specific voltage having high surge resistance. CONSTITUTION:This zinc oxide varistor is mainly composed of zinc oxide to which 0.1 to 2.0 mode % of bismuth oxide, 0.1 to 1.0 mole % of cobalt oxide, 0.1 to 1.5 mole % of manganese oxide, 0.01 to 0.5 mole % of antimony oxide, 0.0005 to 0.0100 mole % of aluminum oxide and 0.1 to 3.0 mole % of zinc titanate (Zn2TiO4) are added. Or ZnO is adopted as its main component to which 1 to 2.0 mole % of Bi2O3, 0.1 to 1.0 mole % of Co2O3, 0.1 to 1.5 mole % of MnO2, 0.01 to 0.5 mol % of Sb2O3, 0.0005 to 0.0100 mole % of Al2O3, 0.1 to 3.0 mol % of TiO2 and 0.005 to 0.2 mole % Cr(NO3) in terms of Cr2O3 are added, thereby forming a ZnO varistor.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は安定したバリスタ電圧並
びに高サージ耐量を有する低電圧用の酸化亜鉛バリスタ
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a low voltage zinc oxide varistor having a stable varistor voltage and a high surge resistance.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、各種酸化亜鉛バリスタの開発には
めざましいものがあり、中でも酸化ビスマス(Bi
23)を含有した酸化亜鉛系の酸化亜鉛バリスタはその
優れた電圧非直線性、サージ吸収性が認められ、雷サー
ジ及び異常電圧に対する防護用のバリスタとして広く用
いられている。しかし、昨今の半導体素子の進歩に伴っ
て、電子機器の駆動電圧が低減化され、従って半導体素
子を保護するのに用いられるバリスタについてもより低
い駆動電圧に対応する、すなわち、バリスタ電圧の低い
ものが求められてきている。
2. Description of the Related Art In recent years, there have been remarkable developments of various zinc oxide varistors. Among them, bismuth oxide (Bi
Zinc oxide type zinc oxide varistor containing 2 O 3 ) has been widely used as a varistor for protection against lightning surge and abnormal voltage because of its excellent voltage non-linearity and surge absorption. However, with the recent progress of semiconductor devices, the drive voltage of electronic devices has been reduced, and therefore, the varistor used for protecting the semiconductor device also corresponds to a lower drive voltage, that is, one with a low varistor voltage. Is being sought after.

【0003】このような酸化亜鉛(ZnO)を主成分と
するバリスタでは、バリスタ電圧は焼結体中の酸化亜鉛
粒子の厚み方向に並んだ数に依存し、バリスタ電圧を低
下させるためには酸化亜鉛(ZnO)の粒子径を大きく
すればよく、このためには酸化チタン(TiO2)を含
有させることによってこの酸化チタン(TiO2)が酸
化亜鉛(ZnO)の粒成長に大きく寄与することが知ら
れており、このような要求に応える技術として特公昭5
6−3646号公報に開示されたものがあった。
In such a varistor containing zinc oxide (ZnO) as a main component, the varistor voltage depends on the number of zinc oxide particles in the sintered body, which are arranged in the thickness direction. It suffices to increase the particle size of zinc (ZnO). For this purpose, by containing titanium oxide (TiO 2 ), this titanium oxide (TiO 2 ) can contribute greatly to the grain growth of zinc oxide (ZnO). Known as a technology to meet such demands
There was a thing disclosed by 6-3646 gazette.

【0004】上記公報に開示された技術は、酸化亜鉛
(ZnO)に酸化ビスマス(Bi23)を0.1〜5モ
ル%、酸化コバルト(Co23)を0.1〜5モル%、
酸化マンガン(MnO2)を0.1〜5モル%、酸化ニ
ッケル(NiO)を0.1〜5モル%、酸化チタン(T
iO2)を0.1〜5モル%、及び酸化銀(Ag2O)を
5〜30重量%含むホウケイ酸ビスマスガラスフリット
を0.01〜0.25重量%添加して混合、粉砕、乾
燥、造粒及び成形を行い、前記成形体を焼成することに
より低電圧用のバリスタを得るというものである。
In the technique disclosed in the above publication, 0.1 to 5 mol% of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) and 0.1 to 5 mol of cobalt oxide (Co 2 O 3 ) are added to zinc oxide (ZnO). %,
0.1 to 5 mol% of manganese oxide (MnO 2 ), 0.1 to 5 mol% of nickel oxide (NiO), and titanium oxide (T
0.1 to 5 mol% of iO 2 ) and 0.01 to 0.25 wt% of bismuth borosilicate glass frit containing 5 to 30 wt% of silver oxide (Ag 2 O) are added, mixed, ground and dried. Then, granulation and molding are performed, and the molded body is fired to obtain a varistor for low voltage.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の低電圧用の酸化亜鉛バリスタでは、100V以下のバ
リスタ電圧を得るために酸化亜鉛粒子の粒径を20〜1
00μmまで粒成長させるため、局所的に異常粒成長が
発生し、バリスタ電圧にばらつきが生じていた。また、
酸化亜鉛粒子の異常粒成長は、サージ電流の電流集中を
引き起こすため、所望のサージ耐量を安定的に得ること
ができず、そのために、粒成長を抑制する効果のある酸
化クロム(Cr23)を微量添加して、バリスタ電圧の
ばらつきを低くしたり、サージ耐量を向上させるという
技術が知られているが、このような従来の低電圧用の酸
化亜鉛バリスタでは、酸化クロム(Cr23)を粉体と
して微量添加するため、均一に分散させることが困難で
あり、不均一なクロム(Cr)の分散は逆に酸化亜鉛粒
子の均一な粒成長を妨げ、そのためバリスタ電圧のばら
つき並びにサージ耐量の向上を全く図ることができない
という課題を有していた。
However, in the conventional zinc oxide varistor for low voltage, the particle size of the zinc oxide particles is 20 to 1 in order to obtain a varistor voltage of 100 V or less.
Since the grains are grown to 00 μm, abnormal grain growth occurs locally and the varistor voltage varies. Also,
Abnormal grain growth of zinc oxide particles causes current concentration of a surge current, and thus a desired surge withstand cannot be stably obtained. Therefore, chromium oxide (Cr 2 O 3) having an effect of suppressing grain growth is obtained. ) Is known to reduce variations in varistor voltage and to improve surge withstand capability. In such conventional zinc oxide varistors for low voltage, chromium oxide (Cr 2 O 3 ) is added as a powder in a trace amount, so it is difficult to disperse it uniformly, and uneven distribution of chromium (Cr) conversely hinders the uniform grain growth of zinc oxide particles. There was a problem that the surge resistance could not be improved at all.

【0006】また、酸化チタン(TiO2)が酸化亜鉛
粉末中に均一に分散されずに偏析した状態で焼結される
ため、酸化亜鉛粒子の異常粒成長が発生しバリスタ電圧
にばらつきが生じたり、局所的な電流集中が起き所望の
サージ耐量を安定的に得ることができないという課題を
も有したものであった。
Further, since titanium oxide (TiO 2 ) is not uniformly dispersed in the zinc oxide powder but is sintered in a segregated state, abnormal grain growth of zinc oxide particles occurs and variations in varistor voltage occur. However, there is also a problem that local current concentration occurs and a desired surge withstand cannot be stably obtained.

【0007】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、主に100V以下の低電圧用の酸化亜鉛バリスタに
関して、バリスタ電圧にばらつきが少なく、高サージ耐
量を有する低電圧用の酸化亜鉛バリスタを提供すること
を目的とするものである。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and mainly relates to a low-voltage zinc oxide varistor for a low voltage of 100 V or less, which has a small variation in the varistor voltage and has a high surge resistance. It is intended to be provided.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明による低電圧用の酸化亜鉛バリスタは、酸化亜
鉛(ZnO)を主成分とし、この成分に対して、酸化ビ
スマス(Bi23)を0.1〜2.0モル%、酸化コバ
ルト(Co23)を0.1〜1.0モル%、酸化マンガ
ン(MnO2)を0.1〜1.5モル%、酸化アンチモ
ン(Sb23)を0.01〜0.50モル%、酸化アル
ミニウム(Al23)を0.0005〜0.0100モ
ル%、チタン酸亜鉛(Zn2TiO4)を0.1〜3.0
モル%を添加含有した組成としたものである。
In order to solve the above problems, a zinc oxide varistor for low voltage according to the present invention contains zinc oxide (ZnO) as a main component, and bismuth oxide (Bi 2 O) is added to this component. 3 ) 0.1-2.0 mol%, cobalt oxide (Co 2 O 3 ) 0.1-1.0 mol%, manganese oxide (MnO 2 ) 0.1-1.5 mol%, oxidation Antimony (Sb 2 O 3 ) is 0.01 to 0.50 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) is 0.0005 to 0.0100 mol%, and zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ) is 0.1. ~ 3.0
It has a composition in which mol% is added.

【0009】あるいは、酸化亜鉛(ZnO)を主成分と
し、この成分に対して酸化ビスマス(Bi23)を0.
1〜2.0モル%、酸化コバルト(Co23)を0.1
〜1.0モル%、酸化マンガン(MnO2)を0.1〜
1.5モル%、酸化アンチモン(Sb23)を0.01
〜0.50モル%、酸化アルミニウム(Al23)を
0.0005〜0.0100モル%、酸化チタン(Ti
2)を0.1〜3.0モル%、及び硝酸クロム(Cr
(NO33)水溶液を酸化クロム(Cr23)に換算し
て0.005〜0.20モル%添加含有した組成とした
ものである。
Alternatively, zinc oxide (ZnO) is the main component, and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is added to this component in an amount of 0.
1 to 2.0 mol%, cobalt oxide (Co 2 O 3 ) 0.1
~ 1.0 mol%, manganese oxide (MnO 2 ) 0.1 ~
1.5 mol%, 0.01% antimony oxide (Sb 2 O 3 )
.About.0.50 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.0005 to 0.0100 mol%, titanium oxide (Ti
0.1 to 3.0 mol% of O 2 and chromium nitrate (Cr
(NO 3 ) 3 ) The aqueous solution was converted to chromium oxide (Cr 2 O 3 ) and added in an amount of 0.005 to 0.20 mol%.

【0010】[0010]

【作用】この構成により、チタン酸亜鉛(Zn2Ti
4)を予め酸化亜鉛(ZnO)に混合し粉砕ならびに
焼結するため、粒成長の核となるチタン酸亜鉛(Zn2
TiO4)が均一に分散され、従って焼結中の酸化亜鉛
粒子は均一な粒成長を図ることが可能となり、バリスタ
電圧のばらつき及びサージ耐量のばらつきを低減するこ
とができ、高サージ耐量を有する酸化亜鉛バリスタを得
ることができる。
With this configuration, zinc titanate (Zn 2 Ti
O 4 ) is mixed with zinc oxide (ZnO) in advance and pulverized and sintered, so that zinc titanate (Zn 2
TiO 4 ) is uniformly dispersed, so that the zinc oxide particles during sintering can achieve uniform grain growth, can reduce variations in varistor voltage and variations in surge resistance, and have high surge resistance. A zinc oxide varistor can be obtained.

【0011】また、酸化亜鉛粒子の異常粒成長を抑制す
る効果があるクロム(Cr)を硝酸クロム(Cr(NO
33)水溶液として液体で微量添加を行う場合には、ク
ロム(Cr)を均一に分散させることができ、それによ
り焼結体中の酸化亜鉛粒子の均一性を向上させ、異常粒
成長した酸化亜鉛粒子への電流集中を防止することがで
き、従ってバリスタ電圧ばらつきが低く、高サージ耐量
を有する酸化亜鉛バリスタを得ることができる。
Further, chromium (Cr), which has the effect of suppressing abnormal grain growth of zinc oxide particles, is replaced by chromium nitrate (Cr (NO
3 ) 3 ) Chromium (Cr) can be uniformly dispersed when a small amount of liquid is added as an aqueous solution, which improves the uniformity of zinc oxide particles in the sintered body and causes abnormal grain growth. It is possible to prevent current concentration on the zinc oxide particles, so that it is possible to obtain a zinc oxide varistor having a low varistor voltage variation and a high surge resistance.

【0012】[0012]

【実施例】(実施例1)以下、本発明の第1の実施例に
ついて説明する。
(Embodiment 1) A first embodiment of the present invention will be described below.

【0013】まず、酸化亜鉛(ZnO)と酸化チタン
(TiO2)を2モル%:1モル%の比率となるように
秤量し、ポットミルにて10時間湿式で混合、粉砕し、
脱水後900℃以上の温度で1時間熱処理し、チタン酸
亜鉛(Zn2TiO4)を得た。しかる後、主成分である
酸化亜鉛(ZnO)に対し、酸化ビスマス(Bi23
を0.05〜5.0モル%、酸化コバルト(Co23
を0.05〜3.0モル%、酸化マンガン(MnO2
を0.05〜5.0モル%、酸化アンチモン(Sb
23)を0.005〜3.0モル%、酸化アルミニウム
(Al23)を0.0001〜0.2モル%、チタン酸
亜鉛(Zn2TiO4)を0.05〜3.5モル%を添加
し、ポットミルにて湿式混合し、脱水後、バインダとし
てポリビニルアルコール5wt%を加えて造粒した。得
られた造粒粉末を1000kg/cm2の成形圧力のもと
で、直径13mm、厚み1.3mmの大きさに圧縮成形し、
1200℃で2時間焼成し焼結体を得た。この焼結体の
両面に、銀(Ag)を主成分とする電極を形成し、電極
にリード線を半田付けし、エポキシ樹脂で被覆して酸化
亜鉛バリスタを作成した。
First, zinc oxide (ZnO) and titanium oxide (TiO 2 ) were weighed so as to have a ratio of 2 mol%: 1 mol%, wet-mixed and ground in a pot mill for 10 hours,
After dehydration, heat treatment was performed at a temperature of 900 ° C. or higher for 1 hour to obtain zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ). After that, bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) was added to zinc oxide (ZnO) as the main component.
0.05 to 5.0 mol%, cobalt oxide (Co 2 O 3 )
0.05-3.0 mol%, manganese oxide (MnO 2 )
0.05-5.0 mol%, antimony oxide (Sb
2 O 3 ) 0.005 to 3.0 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.0001 to 0.2 mol%, and zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ) 0.05 to 3. 5 mol% was added, wet-mixed in a pot mill, dehydrated, and then polyvinyl alcohol 5 wt% was added as a binder to granulate. The obtained granulated powder is compression-molded under a molding pressure of 1000 kg / cm 2 to a size of 13 mm in diameter and 1.3 mm in thickness,
A sintered body was obtained by firing at 1200 ° C. for 2 hours. An electrode containing silver (Ag) as a main component was formed on both surfaces of this sintered body, a lead wire was soldered to the electrode, and the electrode was covered with an epoxy resin to form a zinc oxide varistor.

【0014】(表1),(表2)に、このようにして得
られた酸化亜鉛バリスタの単位厚み当りのバリスタ電圧
(V1mA/mm)及びそのばらつき(σn)、制限電圧比、
サージ耐量特性を評価した結果を示した。ここで、バリ
スタ電圧(V1mA)とはバリスタに1mAの電流が流れ
た時にバリスタの両端にかかる電圧であり、直流定電流
電源にて測定した。制限電圧比は8/20μs、10A
のインパルス電流にて測定し、V10A/V1mAの比で評価
した。サージ耐量特性は500A及び1500Aのサー
ジ電流を印加した時のバリスタ電圧変化率(ΔV1mA
で評価した。
Tables 1 and 2 show the varistor voltage (V 1mA / mm) per unit thickness of the zinc oxide varistor thus obtained and its variation (σ n ), the limiting voltage ratio,
The results of evaluation of surge withstand characteristics are shown. Here, the varistor voltage (V 1mA ) is the voltage applied to both ends of the varistor when a current of 1 mA flows through the varistor, and was measured with a DC constant current power supply. Limiting voltage ratio is 8 / 20μs, 10A
Was measured with an impulse current of 1 and evaluated by the ratio of V 10A / V 1mA . The surge withstand characteristic is the varistor voltage change rate (ΔV 1mA ) when a 500A or 1500A surge current is applied.
It was evaluated by.

【0015】なお、(表1),(表2)において、*が
付されている試料は比較例であることを示し、**が付
されている試料は従来例、すなわちチタン酸亜鉛(Zn
2TiO4)ではなく酸化チタン(TiO2)を添加して
得られた試料であることを示す。
In Tables 1 and 2, the samples marked with * are comparative examples, and the samples marked with ** are conventional examples, that is, zinc titanate (Zn).
2 indicates that the sample was obtained by adding titanium oxide (TiO 2 ) instead of 2 TiO 4 .

【0016】[0016]

【表1】 [Table 1]

【0017】[0017]

【表2】 [Table 2]

【0018】以下、上記実施例1の結果に基づき、各添
加物の範囲を限定した理由を述べる。
The reasons for limiting the range of each additive will be described below based on the results of Example 1 above.

【0019】まず、チタン酸亜鉛(Zn2TiO4)の添
加量が0.1モル%未満の場合、バリスタ電圧のばらつ
きが大きくなりサージ耐量特性が悪化した。また、3.
0モル%を越えるとバリスタ電圧が100Vを越えてし
まい、またサージ耐量特性が悪化した。従って、チタン
酸亜鉛(Zn2TiO4)の添加量を0.1〜3.0モル
%とした。
First, when the amount of zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ) added was less than 0.1 mol%, the varistor voltage varied greatly and the surge withstand characteristic deteriorated. Also, 3.
If it exceeds 0 mol%, the varistor voltage exceeds 100 V, and the surge withstand characteristic deteriorates. Therefore, the amount of zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ) added is set to 0.1 to 3.0 mol%.

【0020】次に、酸化ビスマス(Bi23)の添加量
が0.1モル%未満であるとサージ耐量特性が悪化し
た。
Next, if the amount of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) added is less than 0.1 mol%, the surge withstand characteristic deteriorates.

【0021】また、2.0モル%を越えるとバリスタ電
圧のばらつきが大きくなり、サージ耐量特性も悪化し
た。従って、酸化ビスマス(Bi23)の添加量を0.
1〜2.0モル%とした。
On the other hand, if it exceeds 2.0 mol%, the varistor voltage varies greatly and the surge withstand characteristic deteriorates. Therefore, the addition amount of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is set to 0.
It was set to 1 to 2.0 mol%.

【0022】次に、酸化コバルト(Co23)の添加量
が0.1モル%未満であるとサージ耐量特性が悪化し
た。また、1.0モル%を越えるとバリスタ電圧が上昇
するとともに、サージ耐量特性が悪化した。従って、酸
化コバルト(Co23)の添加量を0.1〜1.0モル
%とした。
Next, when the amount of cobalt oxide (Co 2 O 3 ) added was less than 0.1 mol%, the surge withstand characteristic deteriorated. Further, when it exceeds 1.0 mol%, the varistor voltage rises and the surge withstand characteristic deteriorates. Therefore, the amount of cobalt oxide (Co 2 O 3 ) added is set to 0.1 to 1.0 mol%.

【0023】次に、酸化マンガン(MnO2)の添加量
が0.1モル%未満であるとサージ耐量が悪化し、1.
5モル%を越えるとバリスタ電圧が上昇するとともに、
サージ耐量特性が悪化した。従って、酸化マンガン(M
nO2)の添加量を0.1〜1.5モル%とした。
Next, if the added amount of manganese oxide (MnO 2 ) is less than 0.1 mol%, the surge resistance deteriorates and 1.
If it exceeds 5 mol%, the varistor voltage rises and
The surge withstand characteristic deteriorated. Therefore, manganese oxide (M
The amount of nO 2 ) added was 0.1 to 1.5 mol%.

【0024】次に、酸化アンチモン(Sb23)の添加
量が0.01モル%未満の場合、サージ耐量特性が悪化
し、また、0.50モル%を越えるとバリスタ電圧が高
くなり、ばらつきがかなり大きくなった。従って、酸化
アンチモン(Sb23)の添加量を0.01〜0.50
モル%とした。
Next, when the amount of antimony oxide (Sb 2 O 3 ) added is less than 0.01 mol%, the surge withstand characteristic deteriorates, and when it exceeds 0.50 mol%, the varistor voltage increases. The variability has become quite large. Therefore, the addition amount of antimony oxide (Sb 2 O 3 ) is 0.01 to 0.50.
It was defined as mol%.

【0025】次に、酸化アルミニウム(Al23)の添
加量が0.0005モル%未満の場合、サージ耐量特性
が悪化し、また、0.010モル%を越えると制限電圧
比が極端に悪化した。従って、酸化アルミニウム(Al
23)の添加量を0.0005〜0.010モル%とし
た。
Next, when the amount of aluminum oxide (Al 2 O 3 ) added is less than 0.0005 mol%, the surge withstand characteristic deteriorates, and when it exceeds 0.010 mol%, the limiting voltage ratio becomes extremely high. It got worse. Therefore, aluminum oxide (Al
The amount of 2 O 3 ) added was 0.0005 to 0.010 mol%.

【0026】以上の結果から明らかなように、本実施例
に示す組成を有する酸化亜鉛バリスタは、比較例及び従
来例と比較して、単位厚み当りのバリスタ電圧の値(V
1mA/mm)が小さく、ばらつき(σn)もかなり小さくな
っていることがわかる。また、サージ電流印加後のバリ
スタ電圧変化率(ΔV1mA)も小さく、そのばらつき
(σn)も格段に向上しており、バリスタ電圧及びサー
ジ耐量の安定性、並びに高サージ耐量という点で優れた
効果が得られる。
As is clear from the above results, the zinc oxide varistor having the composition shown in this embodiment has a varistor voltage value (V) per unit thickness as compared with the comparative example and the conventional example.
It can be seen that 1 mA / mm) is small and the variation (σ n ) is also quite small. Further, the varistor voltage change rate (ΔV 1mA ) after applying the surge current is also small, and its variation (σ n ) is also significantly improved, which is excellent in terms of the stability of the varistor voltage and the surge withstand capability and the high surge withstand capability. The effect is obtained.

【0027】以上の結果より、安定した低バリスタ電圧
と高サージ耐量を有する酸化亜鉛バリスタの組成範囲
は、主成分である酸化亜鉛(ZnO)に対し、酸化ビス
マス(Bi23)を0.1〜2.0モル%、酸化コバル
ト(Co23)を0.1〜1.0モル%、酸化マンガン
(MnO2)を0.1〜1.5モル%、酸化アンチモン
(Sb23)を0.01〜0.50モル%、酸化アルミ
ニウム(Al23)を0.0005〜0.0100モル
%、チタン酸亜鉛(Zn2TiO4)を0.1〜3.0モ
ル%の範囲にすることが最適であることがわかる。
From the above results, the composition range of a zinc oxide varistor having a stable low varistor voltage and a high surge withstand capability is such that bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is less than that of zinc oxide (ZnO) as the main component. 1 to 2.0 mol%, cobalt oxide (Co 2 O 3 ) 0.1 to 1.0 mol%, manganese oxide (MnO 2 ) 0.1 to 1.5 mol%, antimony oxide (Sb 2 O) 3 ) 0.01 to 0.50 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.0005 to 0.0100 mol%, zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ) 0.1 to 3.0 mol%. It can be seen that the optimum range is%.

【0028】なお、本発明の実施例においてチタン酸亜
鉛(Zn2TiO4)以外の添加物として酸化ビスマス
(Bi23)、酸化コバルト(Co23)、酸化マンガ
ン(MnO2)、酸化アンチモン(Sb23)、酸化ア
ルミニウム(Al23)を用いたが、添加物として、酸
化イットリウム(Y23)、酸化ニッケル(NiO)、
酸化クロム(Cr23)、酸化スズ(SnO2)等、他
の金属酸化物を用いても本発明の効果に変化はないこと
は言うまでもない。
In the examples of the present invention, as additives other than zinc titanate (Zn 2 TiO 4 ), bismuth oxide (Bi 2 O 3 ), cobalt oxide (Co 2 O 3 ), manganese oxide (MnO 2 ), Although antimony oxide (Sb 2 O 3 ) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) were used, as additives, yttrium oxide (Y 2 O 3 ), nickel oxide (NiO),
It goes without saying that the effect of the present invention does not change even if other metal oxides such as chromium oxide (Cr 2 O 3 ) and tin oxide (SnO 2 ) are used.

【0029】(実施例2)以下、本発明の第2の実施例
について説明する。
(Second Embodiment) A second embodiment of the present invention will be described below.

【0030】まず、主成分である酸化亜鉛(ZnO)に
対し、酸化ビスマス(Bi23)を0.05〜5.0モ
ル%、酸化コバルト(Co23)を0.05〜3.0モ
ル%、酸化マンガン(MnO2)を0.05〜5.0モ
ル%、酸化アンチモン(Sb23)を0.005〜3.
0モル%、酸化アルミニウム(Al23)を0.000
1〜0.2モル%、酸化チタン(TiO2)を0.05
〜5.0モル%、硝酸クロム(Cr(NO33)水溶液
を酸化クロム(Cr23)に換算して0.001〜0.
5モル%添加し、ポットミルにて湿式混合し、水分を脱
水・乾燥後、バインダを加えて造粒した。得られた造粒
粉末を1000kg/cm2の成形圧力のもとで、直径13m
m、厚み1.3mmに形成し、1200℃で2時間焼成し
焼結体を得た。この焼結体の両面に、銀(Ag)を主成
分とする電極を形成し、電極にリード線を半田付けし、
エポキシ樹脂で被覆して酸化亜鉛バリスタを作成した。
First, bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is 0.05 to 5.0 mol% and cobalt oxide (Co 2 O 3 ) is 0.05 to 3 with respect to zinc oxide (ZnO) as a main component. 0.0 mol%, manganese oxide (MnO 2 ) 0.05 to 5.0 mol%, antimony oxide (Sb 2 O 3 ) 0.005 to 3 .
0 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.000
1-0.2 mol%, titanium oxide (TiO 2 ) 0.05
.About.5.0 mol%, and an aqueous solution of chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ) converted into chromium oxide (Cr 2 O 3 ) in an amount of 0.001 to 0.
5 mol% was added, wet-mixed in a pot mill, water was dehydrated and dried, and then a binder was added to granulate. The granulated powder obtained was molded under a molding pressure of 1000 kg / cm 2 and had a diameter of 13 m.
It was formed to have a thickness of m and a thickness of 1.3 mm, and was sintered at 1200 ° C. for 2 hours to obtain a sintered body. On both surfaces of this sintered body, electrodes having silver (Ag) as a main component are formed, and lead wires are soldered to the electrodes,
A zinc oxide varistor was prepared by coating with an epoxy resin.

【0031】(表3),(表4),(表5)に、このよ
うにして得られた酸化亜鉛バリスタの単位厚み当りのバ
リスタ電圧(V1mA/mm)及びそのばらつき(σn)、制
限電圧比、サージ耐量特性を評価した結果を示した。
Tables 3, 4 and 5 show the varistor voltage per unit thickness of the zinc oxide varistor thus obtained (V 1mA / mm) and its variation (σ n ). The results of evaluating the limiting voltage ratio and surge withstand characteristics are shown.

【0032】[0032]

【表3】 [Table 3]

【0033】[0033]

【表4】 [Table 4]

【0034】[0034]

【表5】 [Table 5]

【0035】ここで、バリスタ電圧(V1mA)とはバリ
スタに1mAの電流が流れた時にバリスタの両端にかか
る電圧であり、直流定電流電源にて測定した。制限電圧
比は、8/20μs、10Aのインパルス電流にて測定
し、V10A/V1mAの比で評価した。サージ耐量は500
A及び1500Aのサージ電流を印加した時のバリスタ
電圧変化率(ΔV1mA)で評価した。なお、(表3),
(表4),(表5)において、*が付されている試料は
比較例、**が付されている試料はクロム(Cr)を酸
化クロム(Cr23)粉体で添加する従来例であること
を示す。
Here, the varistor voltage (V 1mA ) is a voltage applied to both ends of the varistor when a current of 1 mA flows through the varistor, and was measured by a DC constant current power supply. The limiting voltage ratio was measured at an impulse current of 8/20 μs and 10 A, and evaluated by the ratio of V 10A / V 1mA . Surge tolerance is 500
The varistor voltage change rate (ΔV 1mA ) when a surge current of A and 1500 A was applied was evaluated. In addition, (Table 3),
In (Table 4) and (Table 5), samples marked with * are comparative examples, and samples marked with ** are chromium oxide (Cr 2 O 3 ) powders added in the conventional method. Indicates an example.

【0036】以下、上記実施例2の結果に基づき、各添
加物の範囲を限定した理由を述べる。
The reasons for limiting the range of each additive will be described below based on the results of Example 2 above.

【0037】まず、酸化ビスマス(Bi23)の添加量
が0.1モル%未満であるとサージ耐量特性が悪化し
た。また、2.0モル%を越えるとバリスタ電圧のばら
つきが大きくなり、サージ耐量特性も悪化した。従っ
て、酸化ビスマス(Bi23)の添加量を0.1〜2.
0モル%とした。
First, when the amount of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) added was less than 0.1 mol%, the surge withstand characteristic deteriorated. On the other hand, when it exceeds 2.0 mol%, the varistor voltage varies greatly and the surge withstand characteristic deteriorates. Therefore, the addition amount of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is 0.1 to 2.
It was 0 mol%.

【0038】次に、酸化コバルト(Co23)の添加量
が0.1モル%未満であるとサージ耐量特性が悪化し
た。また、1.0モル%を越えるとバリスタ電圧が上昇
するとともに、サージ耐量特性が悪化した。従って、酸
化コバルト(Co23)の添加量を0.1〜1.0モル
%とした。
Next, when the amount of cobalt oxide (Co 2 O 3 ) added was less than 0.1 mol%, the surge withstand characteristic deteriorated. Further, when it exceeds 1.0 mol%, the varistor voltage rises and the surge withstand characteristic deteriorates. Therefore, the amount of cobalt oxide (Co 2 O 3 ) added is set to 0.1 to 1.0 mol%.

【0039】次に、酸化マンガン(MnO2)の添加量
が0.1モル%未満であるとサージ耐量が悪化し、1.
5モル%を越えるとバリスタ電圧が上昇するとともに、
サージ耐量特性が悪化した。従って、酸化マンガン(M
nO2)の添加量を0.1〜1.5モル%とした。
Next, if the added amount of manganese oxide (MnO 2 ) is less than 0.1 mol%, the surge withstand capability deteriorates and 1.
If it exceeds 5 mol%, the varistor voltage rises and
The surge withstand characteristic deteriorated. Therefore, manganese oxide (M
The amount of nO 2 ) added was 0.1 to 1.5 mol%.

【0040】次に、酸化アンチモン(Sb23)の添加
量が0.01モル%未満の場合、サージ耐量特性が悪化
し、また、0.50モル%を越えるとバリスタ電圧が高
くなり、ばらつきが、かなり大きくなった。従って、酸
化アンチモン(Sb23)の添加量を0.01〜0.5
モル%とした。
Next, when the amount of antimony oxide (Sb 2 O 3 ) added is less than 0.01 mol%, the surge withstand characteristic deteriorates, and when it exceeds 0.50 mol%, the varistor voltage increases. The variability has increased considerably. Therefore, the addition amount of antimony oxide (Sb 2 O 3 ) is 0.01 to 0.5.
It was defined as mol%.

【0041】次に、酸化アルミニウム(Al23)の添
加量が0.0005モル%未満の場合、サージ耐量特性
が悪化し、また、0.010モル%を越えると制限電圧
比が極端に悪化した。従って、酸化アルミニウム(Al
23)の添加量を0.0005〜0.010モル%とし
た。
Next, when the amount of aluminum oxide (Al 2 O 3 ) added is less than 0.0005 mol%, the surge withstand characteristic deteriorates, and when it exceeds 0.010 mol%, the limiting voltage ratio becomes extremely high. It got worse. Therefore, aluminum oxide (Al
The amount of 2 O 3 ) added was 0.0005 to 0.010 mol%.

【0042】次に、酸化チタン(TiO2)の添加量が
0.10モル%未満の場合、バリスタ電圧がかなり高く
なり、また、3.0モル%を越えるとバリスタ電圧ばら
つきが大きくなり、サージ耐量が悪化した。従って、酸
化チタン(TiO2)の添加量を0.10〜3.0モル
%とした。
Next, when the added amount of titanium oxide (TiO 2 ) is less than 0.10 mol%, the varistor voltage becomes considerably high, and when it exceeds 3.0 mol%, the varistor voltage variation becomes large and the surge is increased. Withstand capacity has deteriorated. Therefore, the addition amount of titanium oxide (TiO 2 ) is set to 0.10 to 3.0 mol%.

【0043】次に、硝酸クロム(Cr(NO33)の添
加量が酸化クロム(Cr23)に換算して0.005モ
ル%未満の場合、バリスタ電圧ばらつきが大きくなり、
サージ耐量が悪化し、また、0.20モル%を越えると
バリスタ電圧が高くなり、また制限電圧比が悪化した。
従って、硝酸クロム(Cr(NO33)の添加量を酸化
クロム(Cr23)に換算して0.005〜0.20モ
ル%とした。ここで、硝酸クロム(Cr(NO33)水
溶液で添加した場合と酸化クロム(Cr23)粉体で添
加した場合とを比較すると、バリスタ電圧ばらつき、並
びにサージ耐量において、硝酸クロム(Cr(N
33)水溶液で添加した場合の方が、格段に良好であ
り、これはクロム(Cr)が完全に均一分散しているこ
とを示す。また、酸化クロム(Cr23)粉体で添加し
た場合と比較すると、硝酸クロム(Cr(NO33)水
溶液で添加した場合では添加量が極少量であっても、優
れた添加効果を得ることができる。
Next, when the added amount of chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ) is less than 0.005 mol% in terms of chromium oxide (Cr 2 O 3 ), the varistor voltage variation becomes large,
The surge withstand capability deteriorated, and when it exceeded 0.20 mol%, the varistor voltage increased and the limiting voltage ratio deteriorated.
Thus, it was 0.005 to 0.20 mol% in terms of chromium nitrate (Cr (NO 3) 3) addition amount of chromium oxide (Cr 2 O 3). Here, comparing the case of adding with a chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ) aqueous solution and the case of adding with a chromium oxide (Cr 2 O 3 ) powder, it is found that the chromium nitrate ( Cr (N
When added as an O 3 ) 3 ) aqueous solution, it is much better, indicating that chromium (Cr) is completely uniformly dispersed. In addition, when compared with the case of adding with chromium oxide (Cr 2 O 3 ) powder, when added with an aqueous solution of chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ), even if the addition amount is extremely small, the excellent addition effect is obtained. Can be obtained.

【0044】以上の結果から明らかなように、本実施例
に示す組成を有する酸化亜鉛バリスタは、比較例及び従
来例と比較して、単位厚み当りのバリスタ電圧の値(V
1mA/mm)が低く、ばらつき(σn)もかなり小さくなっ
ていることがわかる。また、サージ電流印加後のバリス
タ電圧変化率(ΔV1mA)も小さく、そのばらつき
(σn)も格段に向上しており、バリスタ電圧及びサー
ジ耐量の安定性、並びに高サージ耐量という点で優れた
効果が得られる。また、クロム(Cr)を硝酸クロム
(Cr(NO33)で添加することにより、酸化クロム
(Cr23)粉体で添加するよりもかなり少ない添加量
で、バリスタ電圧ばらつき及びサージ耐量において同等
以上の添加効果を得ることができる。
As is clear from the above results, the zinc oxide varistor having the composition shown in this embodiment has a varistor voltage value (V) per unit thickness as compared with the comparative example and the conventional example.
It can be seen that 1 mA / mm) is low and the variation (σ n ) is also quite small. Further, the varistor voltage change rate (ΔV 1mA ) after applying the surge current is also small, and its variation (σ n ) is also significantly improved, which is excellent in terms of the stability of the varistor voltage and the surge withstand capability and the high surge withstand capability. The effect is obtained. Also, by adding chromium (Cr) with chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ), the amount of varistor voltage variation and surge withstand capability can be significantly reduced compared to the addition with chromium oxide (Cr 2 O 3 ) powder. It is possible to obtain the same or higher addition effect in.

【0045】以上の結果より、バリスタ電圧ばらつきが
低く、高サージ耐量を有する酸化亜鉛バリスタの組成範
囲は、主成分である酸化亜鉛(ZnO)に対し、酸化ビ
スマス(Bi23)0.1〜2.0モル%、酸化コバル
ト(Co23)0.1〜1.0モル%、酸化マンガン
(MnO2)0.1〜1.5モル%、酸化アンチモン
(Sb23)0.01〜0.50モル%、酸化アルミニ
ウム(Al23)0.0005〜0.0100モル%、
酸化チタン(TiO2)0.1〜3.0モル%、及び硝
酸クロム(Cr(NO33)を酸化クロム(Cr23
に換算して0.005〜0.20モル%の範囲にするこ
とが最適であることがわかる。
From the above results, the composition range of the zinc oxide varistor having a low varistor voltage variation and a high surge withstand capability is 0.1% of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) with respect to zinc oxide (ZnO) which is the main component. 2.0 mol%, cobalt oxide (Co 2 O 3) 0.1~1.0 mol%, manganese oxide (MnO 2) 0.1 to 1.5 mol%, antimony oxide (Sb 2 O 3) 0 0.01 to 0.50 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.0005 to 0.0100 mol%,
Titanium oxide (TiO 2 ) 0.1 to 3.0 mol% and chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ) are added to chromium oxide (Cr 2 O 3 ).
It is found that the optimum range is 0.005 to 0.20 mol% in terms of.

【0046】なお、本発明の実施例において添加物とし
て酸化ビスマス(Bi23)、酸化コバルト(Co
23)、酸化マンガン(MnO2)、酸化アンチモン
(Sb23)、酸化アルミニウム(Al23)を用いた
が、添加物として、酸化イットリウム(Y23)、酸化
ニッケル(NiO)、酸化スズ(SnO2)等、他の金
属酸化物を用いても本発明の効果に変化はないことは言
うまでもない。また、硝酸クロム(Cr(NO33)以
外に、常温で水溶液となるクロム(Cr)の塩を用いて
も本発明の効果に変化はないことは言うまでもない。
In the examples of the present invention, bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) and cobalt oxide (Co) were used as additives.
2 O 3 ), manganese oxide (MnO 2 ), antimony oxide (Sb 2 O 3 ), and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) were used, but yttrium oxide (Y 2 O 3 ) and nickel oxide ( It goes without saying that the effect of the present invention does not change even if other metal oxides such as NiO) and tin oxide (SnO 2 ) are used. Needless to say, the effect of the present invention does not change even if a salt of chromium (Cr) that becomes an aqueous solution at room temperature is used in addition to chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ).

【0047】[0047]

【発明の効果】以上のように、本発明による低電圧用の
酸化亜鉛バリスタは、予め用意したチタン酸亜鉛(Zn
2TiO4)を添加することにより、あるいは、クロム
(Cr)を硝酸クロム(Cr(NO33)水溶液として
添加することにより、酸化亜鉛粒子の均一な粒成長を図
ることができ、100V以下の安定した低バリスタ電圧
を得ることができ、高サージ耐量を有するものである。
As described above, the zinc oxide varistor for low voltage according to the present invention is a zinc titanate (Zn titanate) prepared in advance.
2 TiO 4 ) or by adding chromium (Cr) as an aqueous solution of chromium nitrate (Cr (NO 3 ) 3 ), it is possible to achieve uniform grain growth of zinc oxide particles, and to achieve 100 V or less. It is possible to obtain a stable low varistor voltage and to have a high surge resistance.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、この成
分に対して、酸化ビスマス(Bi23)を0.1〜2.
0モル%、酸化コバルト(Co23)を0.1〜1.0
モル%、酸化マンガン(MnO2)を0.1〜1.5モ
ル%、酸化アンチモン(Sb23)を0.01〜0.5
0モル%、酸化アルミニウム(Al23)を0.000
5〜0.0100モル%、チタン酸亜鉛(Zn2Ti
4)を0.1〜3.0モル%添加含有してなる酸化亜
鉛バリスタ。
1. Zinc oxide (ZnO) as a main component, and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) 0.1 to 2.
0 mol%, cobalt oxide (Co 2 O 3 ) 0.1 to 1.0
Mol%, manganese oxide (MnO 2 ) 0.1 to 1.5 mol%, antimony oxide (Sb 2 O 3 ) 0.01 to 0.5
0 mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.000
5 to 0.0100 mol%, zinc titanate (Zn 2 Ti
A zinc oxide varistor containing 0.1 to 3.0 mol% of O 4 ).
【請求項2】酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、この成
分に対して酸化ビスマス(Bi23)を0.1〜2.0
モル%、酸化コバルト(Co23)を0.1〜1.0モ
ル%、酸化マンガン(MnO2)を0.1〜1.5モル
%、酸化アンチモン(Sb23)を0.01〜0.50
モル%、酸化アルミニウム(Al23)を0.0005
〜0.0100モル%、酸化チタン(TiO2)を0.
1〜3.0モル%、及び硝酸クロム(Cr(NO33
を酸化クロム(Cr23)に換算して0.005〜0.
20モル%添加含有してなる酸化亜鉛バリスタ。
2. Zinc oxide (ZnO) is a main component, and bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) is added to this component in an amount of 0.1 to 2.0.
0.1% by mol of cobalt oxide (Co 2 O 3 ), 0.1 to 1.5% by mol of manganese oxide (MnO 2 ), and 0.1% by mol of antimony oxide (Sb 2 O 3 ). 01 to 0.50
Mol%, aluminum oxide (Al 2 O 3 ) 0.0005
~0.0100 mol%, titanium oxide (TiO 2) 0.
1 to 3.0 mole%, and chromium nitrate (Cr (NO 3) 3)
Is converted to chromium oxide (Cr 2 O 3 ) and 0.005 to 0.
Zinc oxide varistor containing 20 mol% added.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0645784A2 (en) * 1993-09-29 1995-03-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. A varistor and its manufacturing method
CN100361238C (en) * 2004-11-22 2008-01-09 山东大学 Multielement doped modified zinc oxide pressure sensitive material for lightning protection
WO2014057864A1 (en) 2012-10-10 2014-04-17 日本碍子株式会社 Voltage nonlinear resistance element
WO2014083977A1 (en) 2012-11-29 2014-06-05 日本碍子株式会社 Voltage non-linear resistance element

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0645784A2 (en) * 1993-09-29 1995-03-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. A varistor and its manufacturing method
EP0645784A3 (en) * 1993-09-29 1995-07-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd A varistor and its manufacturing method.
US5592140A (en) * 1993-09-29 1997-01-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Varistor formed of bismuth and antimony and method of manufacturing same
CN100361238C (en) * 2004-11-22 2008-01-09 山东大学 Multielement doped modified zinc oxide pressure sensitive material for lightning protection
WO2014057864A1 (en) 2012-10-10 2014-04-17 日本碍子株式会社 Voltage nonlinear resistance element
WO2014083977A1 (en) 2012-11-29 2014-06-05 日本碍子株式会社 Voltage non-linear resistance element

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