JPH0523212Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、粉末状の試料を蒸発させて反応ガス
を作る試料供給装置に関する。

［従来の技術］ 従来、この種の試料供給装置は、試料台に所定
量の試料を載置した後、作業者による定期的な検
査によつて試料の残存量を調べる必要があり、一
定量を自動的に補給する試料供給装置は存在しな
かつた。

［解決すべき問題点］ 上述した従来の試料供給装置では、検査による
煩雑さを回避するために、定期検査の周期を長く
しようとすると、試料台を大きくして試料の量を
増やす必要があつた。この場合、試料を均一に蒸
発させるためには、試料台を備えた加熱装置が複
雑となり、そのため加熱装置の故障頻度が増えた
り、保守作業が面倒になる等の問題点があつた。

本考案は上記従来技術に鑑みなされたものであ
り、試料の残存量を人手によらず検出し、かつ試
料を自動的に供給して、人手による定期検査の周
期を長くできると共に、加熱装置の大型化を不要
とし、これによつて故障頻度を低減させ、保守作
業を容易に行うことのできる試料供給装置を提供
することを目的とする。

［問題点の解決手段］ このため本考案では、試料を貯蔵する試料室
と、側壁に内方へ向つて水平に突出させた中間板
が設置されかつ該試料室から供給された試料を加
熱する加熱装置が設置された加熱室とを有し、上
記試料室から上記加熱室の加熱装置への試料の供
給を調整する試料供給調整手段と、上記加熱装置
における試料の残存量を光学的に検出する検出手
段と、該検出手段からの検出信号に基づき上記試
料供給調整手段を駆動制御する制御手段とを、上
記試料供給調整手段は、回転軸と、試料の供給を
遮る上遮蔽板及び下遮蔽板と、回転軸を軸線方向
に対し回転駆動するアクチユエータとから構成
し、上記回転軸は加熱装置の側方に回転可能に立
設し、この回転軸の上端側に上遮蔽板、下遮蔽板
を側方に突出させて設け、かつ、上遮蔽板は加熱
室の上壁と中間板の間に、下遮蔽板は中間板の下
方に位置せしめてなり、上記上遮蔽板には、供給
口と中間板の貫通孔に対応する位置に、上孔を形
成すると共に、下遮蔽板には上記遮蔽板の上孔と
任意の設定角度を隔てた位置に下孔を形成してな
り、上遮蔽板の上孔が供給口と貫通孔の間に位置
する状態では、下遮蔽板の下孔は中間板の貫通孔
と対向しておらず、貫通孔は下側で下遮蔽板によ
つて塞がれた状態となつており、回転軸を上記設
定角度だけ回転させると、上遮蔽板によつて供給
口と貫通孔の間が塞がれ、下遮蔽板の孔は貫通孔
と対向する状態としてなるという構成を採用し、
これによつて上記目的を達成しようとするもので
ある。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を第１図及び第２図に
基づいて説明する。

本実施例の試料供給装置は、試料５を貯蔵する
試料室１と、この試料室１から供給された試料５
を加熱する加熱室１０とを有してなる。

試料室１は、試料５を貯蔵するために内部が中
空状になつていると共に、側壁の中央部から底壁
の中央部にかけて、試料５を案内するための傾斜
面２を設けてある。そして、試料室１の底壁に
は、傾斜面２の下部における位置に、試料５を加
熱室１０へ排出するための排出口３を形成してあ
る。また、試料室１の上壁には試料供給扉４を開
閉可能に設けてあり、この試料供給扉４を開け
て、試料室１に試料５を供給するようになつてい
る。

上記加熱室１０の上壁には、試料室１の排出口
３に対向する位置に供給口１１を形成してあり、
この供給口１１を介して試料室１から加熱室１０
へ試料５が供給される。

加熱室１０の側壁には、内方へ向かつて水平に
突出した中間板１２を設けてあり、この中間板１
２には、供給口１１と対向する位置に貫通孔１３
を形成してある。

この加熱室１０には、試料５を加熱する加熱装
置２０と、この加熱装置２０への試料５の供給を
調整する試料供給調整手段３０と、加熱装置２０
における試料５の残存量を光学的に検出する検出
手段４０とを備えてある。

加熱装置２０は、中間板１２の貫通孔１３と対
向して加熱室１０の底壁に設置してあり、加熱部
２１と試料台２２とからなる。試料台２２には、
試料室１から供給された試料５を載置してあり、
この試料５は、加熱部２１によつて加熱されて蒸
発し、ガス状となつて加熱室１０の側壁に設けら
れたガス出力ポート１４を介して外部へ排出され
るようになつている。また、このガスの流量を調
節したり、他のガスとの混合ガスあるいは反応ガ
スを作るために用いられるガス入力ポート１５
が、上記ガス出力ポート１４と対向して加熱室１
０の側壁に設けてある。

上記試料供給調整手段３０は、回転軸３１と、
試料５の供給を遮る上遮蔽板３２と下遮蔽板３３
と、回転軸３１を軸線方向に対し回転駆動するア
クチユエータ３４とから構成してある。

回転軸３１は加熱装置２０の側方に回転可能に
立設してあり、この回転軸３１の上端側に上遮蔽
板３２、下遮蔽板３３を側方に突出させて設けて
ある。そして、上遮蔽板３２は加熱室１０の上壁
と中間板１２の間に、下遮蔽板３３は中間板１２
の下方に位置している。

上遮蔽板３２、下遮蔽板３３は、第２図に示す
ように夫々扇状の形状をしており、このうち上遮
蔽板３２には、供給口１１と中間板１２の貫通孔
１３に対応する位置に、孔３５を形成してある。
一方、下遮蔽板３３には上記孔３５と角度θを隔
てた位置に孔３６を形成してある。即ち、上遮蔽
板３２の孔３５が供給口１１と貫通孔１３の間に
位置する状態では、下遮蔽板３３の孔３６は中間
板１２の貫通孔１３と対向しておらず、貫通孔１
３は下側で下遮蔽板３３によつて塞がれた状態と
なる。一方、回転軸３１を角度θだけ回転させる
と、上遮蔽板３２によつて供給口１１と貫通孔１
３の間が塞がれ、下遮蔽板３３の孔３６は貫通孔
１３と対向する状態となる。

上記アクチユエータ３４は、回転軸３１を回転
駆動するものであり、例えばソレノイドやモータ
等から構成してある。このアクチユエータ３４
は、図示の例では加熱室１０の外部に設けたが、
内部に設けるようにしてもよい。

上記検出手段４０は、発光部４１、発光素子点
灯回路４２、受光部４３、信号検出回路４４とか
らなる。

発光部４１、受光部４３は、加熱装置２０にお
ける試料台２２のやや上方位置にて、試料台２２
を挟んで向かい合うように加熱室１０の側壁に設
けてある。もつとも、発光部４１、受光部４３の
高さは、試料台２２に載置された試料５の所望す
る残存量に応じて決定すればよい。

発光部４１は、発光素子４５とこの発光素子４
５から発光する光をコリメートするレンズ４６と
かなる。発光素子４５には、例えば発光ダイオー
ド、レーザダイオード等を用いることができる。
発光素子４５は、発光素子点灯回路４２からの信
号によつて発光するようになつている。

一方、受光部４３は、本実施例ではフオトセン
サにより構成してあり、信号検出回路４４と接続
してある。

信号検出回路４４は、制御手段としてのドライ
バー５０と接続してあり、受光部４３の受光状態
を知らせるための信号をドライバー５０に出力す
る。具体的には、受光部４３が発光部４１からの
光を受光したときＨレベル信号を、受光していな
いときＬレベル信号を出力する。

ドライバー５０は、信号検出回路４４からの信
号により、上記アクチユエータ３４を駆動制御す
るもので、具体的には、Ｈレベル信号を入力した
とき、下遮蔽板３３の孔３６が中間板１２の貫通
孔１３と対向する位置に来るように、Ｌレベル信
号を入力したとき、上遮蔽板３２の孔３５が供給
口１１と貫通孔１３の間に来るように、アクチユ
エータ３４を駆動制御する。

次に上記実施例の全体的な動作説明をする。

試料台２２に試料５が十分ある場合は、発光部
４１からの光が試料５によつて遮断され、受光部
４３では光が受光されない状態となる。このと
き、上遮蔽板３２の孔３５は供給口１１と貫通孔
１３の間に位置し、貫通孔１３の下側は下遮蔽板
３３によつて遮られることから、試料室１から落
下した試料５は貫通孔１３内にたまる。一方、試
料台２２の試料５が蒸発して減つた場合は、発光
部４１からの光が受光部４１で受光される状態と
なる。このとき、ドライバー５０の指令によつ
て、回転軸３１が角度θ回転して、下遮蔽板３３
の孔３６は中間板１２の貫通孔１３と対向して位
置し、貫通孔１３の上側は上遮蔽板３２によつて
遮られ、貫通孔１３内にたまつていた一定量の試
料５が孔３６を介して試料台２２へ落下する。こ
らによつて、発光部４１からの光が試料５によつ
て遮断された状態になると、ドライバー５０の指
令によつて、回転軸３１が上述した場合と逆に角
度θ回転して、供給口１１と貫通孔１３の間に上
遮蔽板３２の孔３５が位置し、貫通孔１３内に試
料５が再びたまる。このような操作の繰返しによ
つて、試料台２２には常に一定量以上の試料５が
保たれる状態になる。

なお、試料台２２に供給される試料５の量は中
間板１２に形成された貫通孔１３の容積が決まる
ため、この貫通孔１３の大きさを変えることによ
り、試料台２２の大きさに合わせて、希望の供給
量を設定することができる。

また、上記実施例では、試料５の残存量を測定
する発光部４１、受光部４３を加熱室１０内に設
置したが、外部に設置してもよい。このとき、温
度やガスの影響が大きい場合は、加熱室１０にウ
インドーを設ければよい。

また、上記実施例によれば、上遮蔽板３２、下
遮蔽板３３を回転させて、試料５を落下させるよ
うにしたが、上遮蔽板と下遮蔽板に、同一直線上
で前後あるいは左右方向に間隔をあけて形成され
た孔を夫々形成し、これら上遮蔽板と下遮蔽板を
前後あるいは左右方向に移動できるようにして、
試料５の落下を行わせしめるようにしてもよい。

［考案の効果］ 以上説明したように本考案によれば、加熱装置
の試料台上の試料の残存量を自動的に検出して、
かつ試料を試料室から自動的に供給することがで
きるので、試料室を十分大きくすることにより従
来に比べて人手による定期検査の周期を長くでき
ると共に、加熱装置の大型化が不要となり、これ
によつて加熱装置の故障頻度が低減でき、保守も
容易に行うことができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す断面図、第２図
は遮蔽板の斜視図である。 １……試料室、５……試料、１０……加熱室、
１２……中間板、２０……加熱装置、３０……試
料供給調整手段、４０……検出手段、５０……ド
ライバー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 試料を貯蔵する試料室と、側壁に内方へ向つて
   水平に突出させた中間板が設置されかつ該試料室
   から供給された試料を加熱する加熱装置が設置さ
   れた加熱室とを有し、 上記試料室から上記加熱室の加熱装置への試料
   の供給を調整する試料供給調整手段と、上記加熱
   装置における試料の残存量を光学的に検出する検
   出手段と、該検出手段からの検出信号に基づき上
   記試料供給調整手段を駆動制御する制御手段とを
   有し、 上記試料供給調整手段は、回転軸と、試料の供
   給を遮る上遮蔽板及び下遮蔽板と、回転軸を軸線
   方向に対し回転駆動するアクチユエータとから構
   成し、 上記回転軸は加熱装置の側方に回転可能に立設
   し、この回転軸の上端側に上遮蔽板、下遮蔽板を
   側方に突出させて設け、かつ、上遮蔽板は加熱室
   の上壁と中間板の間に、下遮蔽板は中間板の下方
   に位置せしめてなり、 上記上遮蔽板には、供給口と中間板の貫通孔に
   対応する位置に、上孔を形成すると共に、下遮蔽
   板には上記遮蔽板の上孔と任意の設定角度を隔て
   た位置に下孔を形成してなり、上遮蔽板の上孔が
   供給口と貫通孔の間に位置する状態では、下遮蔽
   板の下孔は中間板の貫通孔と対向しておらず、貫
   通孔は下側で下遮蔽板によつて塞がれた状態とな
   つており、回転軸を上記設定角度だけ回転させる
   と、上遮蔽板によつて供給口と貫通孔の間が塞が
   れ、下遮蔽板の孔は貫通孔と対向する状態として
   なることを特徴とする試料供給装置。