JPH05226145A - 磁石の保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 対極する磁石を平行に保持しつつ対極間隔を
微小量で調整することのできる磁石の保持装置を提供す
る。 【構成】 一対の磁石１，２を対極位置で保持する保持
具３，４の両端部に対極方向軸に対して互いに逆方向に
所定傾斜角度に傾斜した傾斜面３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ
を形成すると共に，該傾斜面と同一傾斜角度分傾斜して
前記傾斜面に密接する支持面５ａ，６ａ，７ａ，８ａを
備えた対極間隔調整スライダ５，６，７，８を磁石１，
２の対極方向と直交する方向に進退移動させることによ
り，異磁極対極で吸引力が働いている磁石１と２との間
に対極間隔調整スライダ５，６，７，８が楔状に挿入量
可変に挿入されることになり，傾斜面と支持面との密接
位置が変わって対極間隔が調整される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，複数の磁石を対極配置
した周期磁場の間に高エネルギーの電子ビームを導いて
蛇行運動させることにより放射光を発生させるウィグラ
ー装置等に用いられる磁石の保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記ウィグラー装置の構成例を図４に示
す。同図に示すように，複数の永久磁石２５の異磁極を
対極させた磁極を交互に配列して周期磁場を発生させて
いる。この周期磁場の間に高速の電子３０を通過させる
と蛇行運動して放射光を発生する。放射光は紫外線から
Ｘ線までの幅広い波長を有し，各種分析やリソグラフィ
の光源として利用される。上記ウィグラー装置におい
て，必要な周期磁場を発生させるためには，永久磁石２
１を精度よく配列し発生磁場強度を所定値に保つことが
要求される。そのためウィグラー装置においては，永久
磁石２１の材質や着磁のばらつきを補正するために対極
配置される磁石の間隔を微調整して磁場強度を所定値に
調整することがなされる。この対極磁石間の間隔調整
は，以下のような方法により実行されている。第１の方
法は，磁石の対極表面に薄い磁性体板を吸着させ，実質
的に磁石間の間隔を調整するものである。第２の方法
は，図３に示すような対極する磁石の保持間隔調整装置
を用いるものである。永久磁石２５ａを保持した保持具
２６ａと永久磁石２５ｂを保持した保持具２６ｂとを固
定枠２７内に収容し，保持具２６ａと固定枠２３との間
を連結する間隔調整ネジ３１ａ，３１ｂ及び保持具２６
ｂと固定枠２３との間を連結する間隔調整ネジ３２ａ，
３２ｂを各回転ノブ２８ａ，２８ｂ，２９ａ，２９ｂで
回転させることにより，保持具２６ａと２６ｂとの間の
間隔が変化して対極する永久磁石２５ａと２５ｂとの間
隔を調整することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例における磁
石の間隔調整方法において，第１の方法は磁性体板の厚
さによる対極間隔の段階的調整であって，連続的な調整
はできない問題点がある。また，磁性体板を着脱して調
整する作業は，装置内部に手を加える大きな手間を要
し，さらに，対極間隔を狭くする方向に調整は可能であ
っても，広くする方向には調整できない問題点を有して
いる。磁石の保持間隔調整装置を用いる第２の方法は，
連続的な間隔調整が可能ながら間隔調整ネジの１回転当
たりの保持具の移動量が大きく，微細な調整が困難な問
題点がある。また，対極する磁石を平行に保持したまま
間隔を調整することができないため，磁場分布を一様に
保った間隔調整ができない問題点もある。本発明は上記
問題点に鑑み創案されたもので，対極する磁石を平行に
保持しつつ対極間隔を微小量で調整することのできる磁
石の保持装置を提供することを目的とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が採用する手段は，一対の磁石をその対極保持
間隔を調整可能に対極位置で保持する磁石の保持装置に
おいて，前記磁石又は該磁石を保持する保持具の両端部
に対極方向軸に対して互いに逆方向に所定傾斜角度に傾
斜させた傾斜面を形成すると共に，該傾斜面と同一傾斜
角度分傾斜して前記傾斜面に密接する支持面を備え対極
方向と直交する方向に進退移動される対極間隔調整スラ
イダを設けてなることを特徴とする磁石の保持装置とし
て構成される。

【０００５】

【作用】本発明によれば，対極する磁石又は該磁石の保
持具に傾斜面を形成して，この傾斜面に支持面を密接さ
せた対極間隔調整スライダを磁石の対極方向と直交する
方向に進退移動させると，対極する磁石が異磁極対極で
ある場合には対極間に吸引力が働くので，前記傾斜面の
間に前記対極間隔調整スライダを配して，吸引力によっ
て引き合う磁石又は保持具の間の対極間隔調整スライダ
の挿入量を変えれば，その支持面と傾斜面との密接位置
が変わって対極間隔が調整される。また，対極する磁石
が同磁極対極である場合には対極間に反発力が働くの
で，前記傾斜面をそれぞれ磁石又は保持具の対極反対位
置に形成して，傾斜面と対極間隔調整スライダの支持面
を密接させて対極間隔調整スライダを対極方向と直交方
向に移動させると，傾斜面と支持面との密接位置が変わ
って対極間隔が調整される。上記傾斜面と支持面との傾
斜角度を対極直交方向軸に対して小さくするほど対極間
隔調整スライダの移動距離に対する磁石又は保持具の間
隔距離の変化が小さく微細な調整が可能となる。また，
磁石又は保持具は傾斜面と同一傾斜角度の支持面で常に
支持されて間隔が調整されるので，対極間隔の変化にか
かわらず磁石の対極は平行に保たれ，磁場分布を一様に
保ちつつ対極間隔を調整することができる。

【０００６】

【実施例】以下添付図面を参照して本発明を具体化した
実施例につき説明し，本発明の理解に供する。尚，以下
の実施例は本発明を具体化した一例であって，本発明の
技術的範囲を限定するものではない。ここに，図１は本
実施例に係る磁石の保持装置の構成図，図２は対極する
磁石が同磁極対極である場合に適用した磁石の保持装置
の構成図である。図１において，永久磁石１は対極方向
にＮ極を向けて保持具３によって保持され，永久磁石２
は対極方向にＳ極を向けて保持具４によって保持され，
互いに磁極面を平行に配置されて対極している。保持具
３の対極側の両端部には所定角度に形成された傾斜面３
ａ，３ｂが設けられ，保持具４の対極側の両端部にも同
様に所定角度に形成された傾斜面４ａ，４ｂが設けられ
ている。この各傾斜面３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂに密接す
る傾斜角度である支持面５ａ，６ａ，７ａ，８ａを形成
した対極間隔調整スライダ５，６，７，８が各保持具
３，４の対極側の両端に配置されている。対極間隔調整
スライダ５，６，７，８は対極方向と直交する方向に配
されたベース９ａ，９ｂ上を摺動可能に配置されてお
り，それぞれに設けられたネジ軸５ｂ，６ｂ，７ｂ，８
ｂはベース９ａ，９ｂに設けられた支持板１０と螺合し
ている。ネジ軸５ｂ，６ｂ，７ｂ，８ｂの他端には，そ
れぞれ回転調節用のノブ５ｃ，６ｃ，７ｃ，８ｃが固定
されており，各ノブ５ｃ，６ｃ，７ｃ，８ｃを回転させ
ることにより，対極間隔調整スライダ５，６，７，８を
ベース９ａ，９ｂ上で進退移動させることができる。上
記構成において，永久磁石１，２は異磁極が対向配置さ
れているので，その間に吸引力が働き保持具３，４には
引き合う力が加わっている。この保持具３の傾斜面３
ａ，３ｂと保持具４の傾斜面４ａ，４ｂとの間に対極間
隔調整スライダ５，６，７，８の各支持面５ａ，６ａ，
７ａ，８ａを密接させて摺動し楔状に挿入して，その挿
入量を変化させることによって永久磁石１と２との対極
間隔を調整することができる。各永久磁石１，２はそれ
ぞれ個別に保持位置を調整することができるので，従来
例で示したウィグラー装置に用いるとき，対極間を通過
する電子に対し所定の磁場１１が加わるように微細に保
持位置を調整することができる。

【０００７】保持具３，４に形成された傾斜面３ａ，３
ｂ，４ａ，４ｂと各対極間隔調整スライダ５，６，７，
８に形成された支持面５ａ，６ａ，７ａ，８ａとは同一
傾斜角度であるため，いずれの対極間隔調整スライダ
５，６，７，８を移動させても，永久磁石１，２の対極
を平行に保ったまま間隔調整され，磁場分布の一様性が
損なわれない。また，傾斜面３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂと
支持面５ａ，６ａ，７ａ，８ａとの傾斜角度θを小さく
（ベース９ａ，９ｂに対して）するほど，ノブ５ｃ，６
ｃ，７ｃ，８ｃを回転させたときの回転量に対する対極
間隔調整スライダ５，６，７，８の移動距離を少なくす
ることができ，より微細な調整が可能となる。例えば，
傾斜角度θを１０°に設定したとき，対極間隔調整スラ
イダ５，６，７，８の移動量の１／５．７が永久磁石１
と２との間隔変化量となる。上記実施例は永久磁石１，
２の異磁極を対向させて配置し，対極間に吸引力が働く
場合であるが，同磁極を対向させて対極間に反発力が働
く場合にも適用することができる。図２において，同磁
極が対向して配置される永久磁石１２，１３をそれぞれ
保持する保持具１４，１５の対極側の反対位置両端に傾
斜面１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂが形成されてお
り，この傾斜面１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに支持
面１６ａ，１７ａ，１８ａ．１９ａを密接して対極間隔
調整スライダ１６，１７，１８，１９が配置されてい
る。対極間隔調整スライダ１６，１７，１８，１９は対
極位置の各外側に設けられたベース２０，２１上を対極
方向と直交する方向に移動できるように構成されてい
る。上記構成の場合には，永久磁石１２と１３との間に
働く反発力でベース２０，２１側に移動しようとする保
持具１４，１５を，ベース２０，２１との間に対極間隔
調整スライダ１６，１７，１８，１９を挿入させて永久
磁石１２，１３の対極間隔を調整することができる。
尚，上記各実施例において示した永久磁石１，２又は１
２，１３は保持具３，４又は１４，１５で保持され，各
保持具３，４又は１２，１３に傾斜面が形成されている
が，永久磁石１，２又は１２，１３に傾斜面を形成して
保持具無しの構成としても同様に作用させることができ
る。

【０００８】

【発明の効果】以上の説明の通り本発明によれば，対極
する磁石又は該磁石の保持具に傾斜面を形成して，この
傾斜面に支持面を密接させた対極間隔調整スライダを磁
石の対極方向と直交する方向に進退移動させると，対極
する磁石が異磁極対極である場合には対極間に吸引力が
働くので，前記傾斜面の間に前記対極間隔調整スライダ
を配して，吸引力によって引き合う磁石又は保持具の間
の対極間隔調整スライダの挿入量を変えれば，その支持
面と傾斜面との密接位置が変わって対極間隔が調整され
る。また，対極する磁石が同磁極対極である場合には対
極間に反発力が働くので，前記傾斜面をそれぞれ磁石又
は保持具の対極反対位置に形成して，傾斜面と対極間隔
調整スライダの支持面を密接させて対極間隔調整スライ
ダを対極方向と直交方向に移動させると，傾斜面と支持
面との密接位置が変わって対極間隔が調整される。上記
傾斜面と支持面との傾斜角度を対極直交方向軸に対して
小さくするほど対極間隔調整スライダの移動距離に対す
る磁石又は保持具の間隔距離の変化が小さく微細な調整
が可能となる。また，磁石又は保持具は傾斜面と同一傾
斜角度の支持面で常に支持されて間隔が調整されるの
で，対極間隔の変化にかかわらず磁石の対極は平行に保
たれ，磁場分布を一様に保ちつつ対極間隔を調整するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係る磁石の保持装置の構成
図。

【図２】 本発明の別実施例に係る磁石の保持装置の構
成図。

【図３】 従来例の磁石の保持装置の構成図。

【図４】 本発明の適用対象例であるウィグラー装置の
構成を示す斜視図。

【符号の説明】

１，２，１２，１３──永久磁石 ３，４，１４，１５──保持具 ３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１
５ｂ──傾斜面 ５，６，７，８，１６，１７，１８，１９──対極間隔
調整スライダ ５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａ，１
９ａ──支持面 ９ａ，９ｂ，２０，２１──ベース

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の磁石をその対極保持間隔を調整可
   能に対極位置で保持する磁石の保持装置において，前記
   磁石又は該磁石を保持する保持具の両端部に対極方向軸
   に対して互いに逆方向に所定傾斜角度に傾斜させた傾斜
   面を形成すると共に，該傾斜面と同一傾斜角度分傾斜し
   て前記傾斜面に密接する支持面を備え対極方向と直交す
   る方向に進退移動される対極間隔調整スライダを設けて
   なることを特徴とする磁石の保持装置。