JPH05223844A - 静電容量式センサの故障診断装置 - Google Patents
静電容量式センサの故障診断装置Info
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- JPH05223844A JPH05223844A JP4025482A JP2548292A JPH05223844A JP H05223844 A JPH05223844 A JP H05223844A JP 4025482 A JP4025482 A JP 4025482A JP 2548292 A JP2548292 A JP 2548292A JP H05223844 A JPH05223844 A JP H05223844A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Abstract
(57)【要約】
【目的】 故障診断機能を備えた高信頼性の静電容量式
センサを提供すること。 【構成】 ビ−ム６０で支持され重錘の機能を持った可
動電極６１と、固定電極６２、６３からなる静電容量式
のセンサ部６において、昇圧回路５から駆動回路３、４
を介して、検出時に印加されている電圧よりも高い電圧
を供給し、これにより可動電極６１と固定電極６２、６
３間に静電気力を発生させ、検出すべき加速度などによ
る変位と同じ変位を可動電極６１に生じさせて故障診断
を行うようにしたもの。 【効果】 静電容量式センサの故障診断が確実にえら
れ、常に高い信頼性の保持が可能になる。
センサを提供すること。 【構成】 ビ−ム６０で支持され重錘の機能を持った可
動電極６１と、固定電極６２、６３からなる静電容量式
のセンサ部６において、昇圧回路５から駆動回路３、４
を介して、検出時に印加されている電圧よりも高い電圧
を供給し、これにより可動電極６１と固定電極６２、６
３間に静電気力を発生させ、検出すべき加速度などによ
る変位と同じ変位を可動電極６１に生じさせて故障診断
を行うようにしたもの。 【効果】 静電容量式センサの故障診断が確実にえら
れ、常に高い信頼性の保持が可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加速度、圧力などの物
理量を、可動部材の変位に伴う静電容量の変化として検
出する方式の静電容量式センサに係り、特に、微弱な物
理量の、ほとんど静的な変化から極めて早い変化まで、
高精度に検出できるようにした静電容量式センサの故障
診断装置に関する。
理量を、可動部材の変位に伴う静電容量の変化として検
出する方式の静電容量式センサに係り、特に、微弱な物
理量の、ほとんど静的な変化から極めて早い変化まで、
高精度に検出できるようにした静電容量式センサの故障
診断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、物理量、例えば加速度、圧力など
の物理量の、微弱で、且つ、ほとんど静的な変化から極
めて早い変化まで、高精度に検出できるようにした静電
容量式センサの必要性が高まっているが、このような静
電容量式センサの従来技術としては、例えば、「Ｓenso
rs and Ａctuators，Ａ21−Ａ23(1990年)，Ｐ297〜30
2」における、“Ｐrecision Ａccelerometers with μg
Ｒesolution”と題した、加速度センサに応用した場合
についての記載を挙げることができる。
の物理量の、微弱で、且つ、ほとんど静的な変化から極
めて早い変化まで、高精度に検出できるようにした静電
容量式センサの必要性が高まっているが、このような静
電容量式センサの従来技術としては、例えば、「Ｓenso
rs and Ａctuators，Ａ21−Ａ23(1990年)，Ｐ297〜30
2」における、“Ｐrecision Ａccelerometers with μg
Ｒesolution”と題した、加速度センサに応用した場合
についての記載を挙げることができる。
【０００３】一方、このような静電容量式センサの用途
の１例として、近年、自動車の安全保護装置の１種であ
るエア−バックの加速度センサが注目されるようになっ
ているが、このときには、極めて高い信頼性が要求さ
れ、従って、常にセンサの機能が正常に保たれているこ
との確認を要する。そこで、特開昭６３−２４１４６７
号、特開平１−１６８５４５号、或いは特開平３−２４
４６７号、さらには実開昭６４−４２４５９号の各公報
では、センサの故障診断に関する技術について開示して
いる。
の１例として、近年、自動車の安全保護装置の１種であ
るエア−バックの加速度センサが注目されるようになっ
ているが、このときには、極めて高い信頼性が要求さ
れ、従って、常にセンサの機能が正常に保たれているこ
との確認を要する。そこで、特開昭６３−２４１４６７
号、特開平１−１６８５４５号、或いは特開平３−２４
４６７号、さらには実開昭６４−４２４５９号の各公報
では、センサの故障診断に関する技術について開示して
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、静電
容量式センサについて、その機能維持の確認、つまり故
障診断について特に配慮がされておらず、高信頼性の保
持の点で問題があった。本発明の目的は、静電容量式セ
ンサに故障診断機能の付加を可能にし、これにより静電
容量式センサの信頼性が充分に保たれるようにした、静
電容量式センサの故障診断装置を提供することにある。
容量式センサについて、その機能維持の確認、つまり故
障診断について特に配慮がされておらず、高信頼性の保
持の点で問題があった。本発明の目的は、静電容量式セ
ンサに故障診断機能の付加を可能にし、これにより静電
容量式センサの信頼性が充分に保たれるようにした、静
電容量式センサの故障診断装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の１では、センサの可動部材に静電気力を働
かせる静電気力発生手段を設けたものであり、本発明の
２では、センサの可動部材に電磁力を働かせる電磁力発
生手段を設けたものであり、そして、本発明の３では、
センサ全体を振動させる加振手段を設けたものである。
め、本発明の１では、センサの可動部材に静電気力を働
かせる静電気力発生手段を設けたものであり、本発明の
２では、センサの可動部材に電磁力を働かせる電磁力発
生手段を設けたものであり、そして、本発明の３では、
センサ全体を振動させる加振手段を設けたものである。
【０００６】
【作用】静電気力発生手段や電磁力発生手段、又は加振
手段を働かせると、静電容量センサが正常なら、その可
動部材が変位し、この結果、静電容量が変位に対応して
変化する筈である。そこで、これらの手段を働かせてい
る状態で、センサの検出出力に現われる静電容量の変化
を調べ、それが所望の変化を示すか否かを調べてやるこ
とにより、センサの機能が正常に保たれていることの確
認ができ、静電容量式センサの故障診断が可能になる。
手段を働かせると、静電容量センサが正常なら、その可
動部材が変位し、この結果、静電容量が変位に対応して
変化する筈である。そこで、これらの手段を働かせてい
る状態で、センサの検出出力に現われる静電容量の変化
を調べ、それが所望の変化を示すか否かを調べてやるこ
とにより、センサの機能が正常に保たれていることの確
認ができ、静電容量式センサの故障診断が可能になる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明による静電容量式センサの故障
診断装置について、図示の実施例により詳細に説明す
る。図１は本発明の第１の実施例で、この実施例は、静
電容量式センサを加速度センサに適用した場合のもの
で、図において、１は発振器、２は反転器、３は駆動回
路、４は駆動回路、５は昇圧回路、６はセンサ部、そし
て７は容量検出器(静電容量検出回路)である。なお、静
電容量式加速度センサ全体を８で表わす。
診断装置について、図示の実施例により詳細に説明す
る。図１は本発明の第１の実施例で、この実施例は、静
電容量式センサを加速度センサに適用した場合のもの
で、図において、１は発振器、２は反転器、３は駆動回
路、４は駆動回路、５は昇圧回路、６はセンサ部、そし
て７は容量検出器(静電容量検出回路)である。なお、静
電容量式加速度センサ全体を８で表わす。
【０００８】まず、静電容量式加速度センサとしての検
出原理について説明する。センサ部６は、ビ−ム６０に
よって片持ち梁状に支持され、重錘の機能を持った可動
電極６１と、この可動電極６１に対向する２個の固定電
極６２、６３とで構成されている。なお、６４、６５
は、例えばガラスなどの絶縁物からなる上板と下板であ
る。
出原理について説明する。センサ部６は、ビ−ム６０に
よって片持ち梁状に支持され、重錘の機能を持った可動
電極６１と、この可動電極６１に対向する２個の固定電
極６２、６３とで構成されている。なお、６４、６５
は、例えばガラスなどの絶縁物からなる上板と下板であ
る。
【０００９】いま、センサ部６に、図で上下方向の加速
度が加えられたとすると、可動電極６１の質量と加速度
の積に比例した慣性力が、この可動電極６１に働き、こ
れを上下方向に移動(変位)させる。また、この可動電極
６３の変位に比例して、ビ−ム６０の弾性により可動電
極６１に抗力が働き、可動電極６１を元の位置(中性点)
に戻すように働く。従って、可動電極６１は、このとき
加えられた加速度に応じた変位(慣性力と抗力がバラン
スする変位)を示す。
度が加えられたとすると、可動電極６１の質量と加速度
の積に比例した慣性力が、この可動電極６１に働き、こ
れを上下方向に移動(変位)させる。また、この可動電極
６３の変位に比例して、ビ−ム６０の弾性により可動電
極６１に抗力が働き、可動電極６１を元の位置(中性点)
に戻すように働く。従って、可動電極６１は、このとき
加えられた加速度に応じた変位(慣性力と抗力がバラン
スする変位)を示す。
【００１０】一方、こうして可動電極６１が変位する
と、可動電極６１と固定電極６２の間のギャップが変化
するため、可動電極６１と固定電極６２の間の静電容量
Ｃ1が変化する。また、同様に、可動電極６１と固定電
極６３の間の静電容量Ｃ2も変化する。つまり、検出部
６に働く加速度に応じて、可動電極６１と固定電極６２
間の静電容量Ｃ1と、可動電極６１と固定電極６３間の
静電容量Ｃ2が、それぞれ加えられた加速度に応じて、
図２に示すように変化することになる。そこで、この静
電容量の変化を容量検出器７で検出することにより、加
速度を検出することができるのである。
と、可動電極６１と固定電極６２の間のギャップが変化
するため、可動電極６１と固定電極６２の間の静電容量
Ｃ1が変化する。また、同様に、可動電極６１と固定電
極６３の間の静電容量Ｃ2も変化する。つまり、検出部
６に働く加速度に応じて、可動電極６１と固定電極６２
間の静電容量Ｃ1と、可動電極６１と固定電極６３間の
静電容量Ｃ2が、それぞれ加えられた加速度に応じて、
図２に示すように変化することになる。そこで、この静
電容量の変化を容量検出器７で検出することにより、加
速度を検出することができるのである。
【００１１】次に、駆動回路３、４の動作について説明
する。駆動回路３、４は、図３に示すように、３種類の
動作モ−ドを有している。すなわち、第１は加速度を検
出する通常モ−ド、第２は可動電極６１に上方向の静電
気力を働かせ、診断を行う診断(上)モ−ド、第３は可動
電極６１に下方向の静電気力を働かせ、診断を行う診断
(下)モ−ドである。
する。駆動回路３、４は、図３に示すように、３種類の
動作モ−ドを有している。すなわち、第１は加速度を検
出する通常モ−ド、第２は可動電極６１に上方向の静電
気力を働かせ、診断を行う診断(上)モ−ド、第３は可動
電極６１に下方向の静電気力を働かせ、診断を行う診断
(下)モ−ドである。
【００１２】まず、通常モ−ドは、図３に示すように、
信号ＣＨＥＣＨ１及び信号ＣＨＥＣＨ２が共にＨ(ハイ
レベル)のときであり、発振器１の出力信号φに応じ
て、駆動回路３、４の出力Ｖ1、Ｖ2が交互に０Ｖと５Ｖ
に変化する状態である。なお、この０Ｖ、或いは５Ｖと
いう電圧は可動電極６１に作用する静電気力が十分小さ
くなるように選んである。
信号ＣＨＥＣＨ１及び信号ＣＨＥＣＨ２が共にＨ(ハイ
レベル)のときであり、発振器１の出力信号φに応じ
て、駆動回路３、４の出力Ｖ1、Ｖ2が交互に０Ｖと５Ｖ
に変化する状態である。なお、この０Ｖ、或いは５Ｖと
いう電圧は可動電極６１に作用する静電気力が十分小さ
くなるように選んである。
【００１３】次に、診断(上)モ−ドは、信号ＣＨＥＣＨ
１がＬ(ロ−レベル)で、信号ＣＨＥＣＨ２がＨ(ハイレ
ベル)のときであり、信号φに応じて、駆動回路３の出
力Ｖ1が交互に２５Ｖと３０Ｖに変化し、駆動回路４の
出力Ｖ2は交互に０Ｖと５Ｖに変化する状態であり、従
って、この診断(上)モ−ドは、可動電極６１と固定電極
６２の間に２５Ｖ、或いは３０Ｖの比較的高い電圧を印
加し、可動電極６１に上方向の静電気力を働かせ、セン
サの上方向の加速度に対する動作の診断を行うモ−ドと
なる。
１がＬ(ロ−レベル)で、信号ＣＨＥＣＨ２がＨ(ハイレ
ベル)のときであり、信号φに応じて、駆動回路３の出
力Ｖ1が交互に２５Ｖと３０Ｖに変化し、駆動回路４の
出力Ｖ2は交互に０Ｖと５Ｖに変化する状態であり、従
って、この診断(上)モ−ドは、可動電極６１と固定電極
６２の間に２５Ｖ、或いは３０Ｖの比較的高い電圧を印
加し、可動電極６１に上方向の静電気力を働かせ、セン
サの上方向の加速度に対する動作の診断を行うモ−ドと
なる。
【００１４】また、診断(下)モ−ドは、信号ＣＨＥＣＨ
１がＨ(ハイレベル)で、信号ＣＨＥＣＨ２がＬ(ロ−レ
ベル)のときであり、信号φに応じて、駆動回路３の出
力Ｖ1が交互に０Ｖと５Ｖに変化し、駆動回路４の出力
Ｖ2は交互に２５Ｖと３０Ｖに変化する状態であり、従
って、この診断(下)モ−ドは、可動電極６１と固定電極
６３の間に２５Ｖ、或いは３０Ｖという比較的高い電圧
を印加し、可動電極６１に下方向の静電気力を働かせ、
センサの下方向の加速度に対する動作の診断を行うモ−
ドとなる。ここで、駆動回路３、４に必要な２５Ｖ、或
いは３０Ｖの電圧については、昇圧回路５で作られるよ
うに構成してある。
１がＨ(ハイレベル)で、信号ＣＨＥＣＨ２がＬ(ロ−レ
ベル)のときであり、信号φに応じて、駆動回路３の出
力Ｖ1が交互に０Ｖと５Ｖに変化し、駆動回路４の出力
Ｖ2は交互に２５Ｖと３０Ｖに変化する状態であり、従
って、この診断(下)モ−ドは、可動電極６１と固定電極
６３の間に２５Ｖ、或いは３０Ｖという比較的高い電圧
を印加し、可動電極６１に下方向の静電気力を働かせ、
センサの下方向の加速度に対する動作の診断を行うモ−
ドとなる。ここで、駆動回路３、４に必要な２５Ｖ、或
いは３０Ｖの電圧については、昇圧回路５で作られるよ
うに構成してある。
【００１５】次に、容量検出器７について説明する。図
４は、この容量検出器７の詳細を示したもので、演算増
幅器７２と、これの帰還系に静電容量ＣFとトランジス
タ７１を設け、リセット付き積分器とした回路と、サン
プルホ−ルド回路７３、それに可変ゲインアンプ７４に
より構成されている。そして、演算増幅器７２の反転入
力には、センサ部６の可動電極６１が接続されている。
なお、ここでは、センサ部６は静電容量Ｃ1、Ｃ2で表わ
している。
４は、この容量検出器７の詳細を示したもので、演算増
幅器７２と、これの帰還系に静電容量ＣFとトランジス
タ７１を設け、リセット付き積分器とした回路と、サン
プルホ−ルド回路７３、それに可変ゲインアンプ７４に
より構成されている。そして、演算増幅器７２の反転入
力には、センサ部６の可動電極６１が接続されている。
なお、ここでは、センサ部６は静電容量Ｃ1、Ｃ2で表わ
している。
【００１６】次に、図５のタイミングチャ−トにより、
この容量検出器７の動作について説明する。まず、発振
器１の矩形波の信号φに対して、高電圧Ｖ1は同位相で
立ち上がり、高電圧Ｖ2は逆位相で立ち上がる。そし
て、信号φRは、信号φに対して図示の位相関係で同期
して発生するようになっている。いま、信号φRが現わ
れると、トランジスタ７１がオンにされ、静電容量ＣF
の電荷が放電される。そして、その後の信号φの立ち下
がり時点で、固定電極６２に印加される高電圧Ｖ1は立
ち上がり、固定電極６３に印加されていた高電圧Ｖ2は
立ち下がる。
この容量検出器７の動作について説明する。まず、発振
器１の矩形波の信号φに対して、高電圧Ｖ1は同位相で
立ち上がり、高電圧Ｖ2は逆位相で立ち上がる。そし
て、信号φRは、信号φに対して図示の位相関係で同期
して発生するようになっている。いま、信号φRが現わ
れると、トランジスタ７１がオンにされ、静電容量ＣF
の電荷が放電される。そして、その後の信号φの立ち下
がり時点で、固定電極６２に印加される高電圧Ｖ1は立
ち上がり、固定電極６３に印加されていた高電圧Ｖ2は
立ち下がる。
【００１７】そこで、この時点で静電容量Ｃ1は充電さ
れ、他方、静電容量Ｃ2は放電されるから、静電容量ＣF
にはＶP(Ｃ2−Ｃ1)なる電荷が移動する。ここで、ＶPは
矩形波となって印加される高電圧Ｖ1、Ｖ2の振幅であ
る。従って、演算増幅器７２の出力ＶOは、次の(1)式で
表される。 ＶO＝ＶP／ＣF・(Ｃ1−Ｃ2) …… ……(1) そこで、この電圧ＶOをサンプルホ−ルド回路７３によ
りサンプリングすることにより、静電容量Ｃ2、Ｃ1の差
分(Ｃ2−Ｃ1)を検出することができる。
れ、他方、静電容量Ｃ2は放電されるから、静電容量ＣF
にはＶP(Ｃ2−Ｃ1)なる電荷が移動する。ここで、ＶPは
矩形波となって印加される高電圧Ｖ1、Ｖ2の振幅であ
る。従って、演算増幅器７２の出力ＶOは、次の(1)式で
表される。 ＶO＝ＶP／ＣF・(Ｃ1−Ｃ2) …… ……(1) そこで、この電圧ＶOをサンプルホ−ルド回路７３によ
りサンプリングすることにより、静電容量Ｃ2、Ｃ1の差
分(Ｃ2−Ｃ1)を検出することができる。
【００１８】ここで、(1)式からも明らかなように、容
量検出器７による静電容量の検出感度は、固定電極６
２、６３に印加される電圧Ｖ1、Ｖ2の振幅ＶPと、帰還
容量ＣFによってだけ決まり、Ｖ1、Ｖ2の直流電圧成分
には依存しないことが判る。このため、センサ部６の診
断を行うために、高電圧Ｖ1、Ｖ2の直流成分を変化させ
ても、この容量検出器７による静電容量の検出動作は影
響を受けない。
量検出器７による静電容量の検出感度は、固定電極６
２、６３に印加される電圧Ｖ1、Ｖ2の振幅ＶPと、帰還
容量ＣFによってだけ決まり、Ｖ1、Ｖ2の直流電圧成分
には依存しないことが判る。このため、センサ部６の診
断を行うために、高電圧Ｖ1、Ｖ2の直流成分を変化させ
ても、この容量検出器７による静電容量の検出動作は影
響を受けない。
【００１９】ここで、可変ゲインアンプ７４は、診断時
に容量検出器７のゲインを大きくするために使用され、
これにより、診断時でのＳ／Ｎ比の充分な向上を図るこ
とができる。
に容量検出器７のゲインを大きくするために使用され、
これにより、診断時でのＳ／Ｎ比の充分な向上を図るこ
とができる。
【００２０】次に、図１の実施例による加速度センサを
使用した、静電容量式センサの故障診断装置の一実施例
について、さらに具体的に説明する。この実施例は、図
６に示すように、加速度センサ８とマイコン(マイクロ
コンピュータ)Ｍとで構成され、加速度センサ８は、図
１に示した実施例と同じものであり、これにマイコン９
を組合せることにより、診断機能、校正機能、加速度出
力機能が得られるようにしたものである。
使用した、静電容量式センサの故障診断装置の一実施例
について、さらに具体的に説明する。この実施例は、図
６に示すように、加速度センサ８とマイコン(マイクロ
コンピュータ)Ｍとで構成され、加速度センサ８は、図
１に示した実施例と同じものであり、これにマイコン９
を組合せることにより、診断機能、校正機能、加速度出
力機能が得られるようにしたものである。
【００２１】次に、図７のフローチャートと、図８の波
形図により、診断時の動作について説明する。既に、図
３で説明したように、この実施例では、通常モードと、
診断(上)モ−ド、診断(下)モ−ドの３種のモードで動作
する。このため、マイコン９は、所定の条件が満足した
とき、又は所定の時間周期で図７のフローチャートに従
った処理を実行するように構成されている。
形図により、診断時の動作について説明する。既に、図
３で説明したように、この実施例では、通常モードと、
診断(上)モ−ド、診断(下)モ−ドの３種のモードで動作
する。このため、マイコン９は、所定の条件が満足した
とき、又は所定の時間周期で図７のフローチャートに従
った処理を実行するように構成されている。
【００２２】そこで、この図７の診断処理フローチャー
トの実行に入ると、このときは、通常モ−ドに、すなわ
ち、信号ＣＨＥＣＨ１と信号ＣＨＥＣＨ２の双方はＨ
(ハイレベル)になっている。そして、この通常モ−ドで
は、加速度センサ８からは、そのセンサ部６に働く加速
度に応じた出力が得られているから、この出力を所定の
回数ｎ回読み込み(ステップ１、２)、これらの出力か
ら、その平均値ＶA1を求める(ステップ３)。なお、この
図７では、ステップをＳで表記してある。すなわち、ス
テップ１は、Ｓ１となっている。ここでｎ回の平均化処
理を行うのは、加速度センサ８の出力の直流成分を抽出
するためである。
トの実行に入ると、このときは、通常モ−ドに、すなわ
ち、信号ＣＨＥＣＨ１と信号ＣＨＥＣＨ２の双方はＨ
(ハイレベル)になっている。そして、この通常モ−ドで
は、加速度センサ８からは、そのセンサ部６に働く加速
度に応じた出力が得られているから、この出力を所定の
回数ｎ回読み込み(ステップ１、２)、これらの出力か
ら、その平均値ＶA1を求める(ステップ３)。なお、この
図７では、ステップをＳで表記してある。すなわち、ス
テップ１は、Ｓ１となっている。ここでｎ回の平均化処
理を行うのは、加速度センサ８の出力の直流成分を抽出
するためである。
【００２３】次に、信号ＣＨＥＣＨ１をＬ(ロ−レベル)
にして診断(上)モ−ドにし(ステップ４)、加速度センサ
８の出力を所定の回数ｎ回読み込み(ステップ５、６)、
出力の平均値ＶA2を求める(ステップ７)。この診断(上)
モ−ドでは、加速度センサ８の出力には、センサ部６に
働く加速度に応じた出力に、固定電極６２に印加される
電圧Ｖ1(２５Ｖ及び３０Ｖの電圧)による静電気力によ
って等価的に発生する加速度(静電気力を可動電極６１
の質量で除した量)が加わった出力が得られており、従
って、平均値ＶA2 は、これらの平均値となる。
にして診断(上)モ−ドにし(ステップ４)、加速度センサ
８の出力を所定の回数ｎ回読み込み(ステップ５、６)、
出力の平均値ＶA2を求める(ステップ７)。この診断(上)
モ−ドでは、加速度センサ８の出力には、センサ部６に
働く加速度に応じた出力に、固定電極６２に印加される
電圧Ｖ1(２５Ｖ及び３０Ｖの電圧)による静電気力によ
って等価的に発生する加速度(静電気力を可動電極６１
の質量で除した量)が加わった出力が得られており、従
って、平均値ＶA2 は、これらの平均値となる。
【００２４】続いて、信号ＣＨＥＣＨ１をＨ(ハイレベ
ル)に、信号ＣＨＥＣＨ２をＬ(ロ−レベル)にして診断
(下)モ−ドにし(ステップ８)、加速度センサ８の出力を
所定の回数ｎ回読み込み(ステップ９、１０)、出力の平
均値ＶA3を求める(ステップ１１)。この診断(下)モ−ド
では、加速度センサ８の出力には固定電極６３に印加さ
れる電圧Ｖ2(２５Ｖ及び３０Ｖの電圧)による静電気力
によって等価的に発生する加速度を、センサ部６に働く
加速度から引いた出力が得られている。
ル)に、信号ＣＨＥＣＨ２をＬ(ロ−レベル)にして診断
(下)モ−ドにし(ステップ８)、加速度センサ８の出力を
所定の回数ｎ回読み込み(ステップ９、１０)、出力の平
均値ＶA3を求める(ステップ１１)。この診断(下)モ−ド
では、加速度センサ８の出力には固定電極６３に印加さ
れる電圧Ｖ2(２５Ｖ及び３０Ｖの電圧)による静電気力
によって等価的に発生する加速度を、センサ部６に働く
加速度から引いた出力が得られている。
【００２５】そこで、通常モ−ドと診断(上)モ−ドで得
られた加速度センサの出力の平均値の差(ＶA2−ＶA1)、
及び通常モ−ドと診断(下)モ−ドで得られた加速度セン
サの出力の平均値の差(ＶA3−ＶA1)を求め、これらの少
なくとも一方が、所定の値から外れていれば故障と判断
し(ステップ１３、１４)、故障信号を出力するのである
(ステップ１５)。
られた加速度センサの出力の平均値の差(ＶA2−ＶA1)、
及び通常モ−ドと診断(下)モ−ドで得られた加速度セン
サの出力の平均値の差(ＶA3−ＶA1)を求め、これらの少
なくとも一方が、所定の値から外れていれば故障と判断
し(ステップ１３、１４)、故障信号を出力するのである
(ステップ１５)。
【００２６】従って、このときの動作シーケンスは図８
に示すように、 通常モード→診断(上)モ−ド→診断(下)モ−ド→通常モ
−ド となり、再び、この図７の処理が開始されるまでは、通
常モ−ドによる加速度検出動作に戻っていることにな
る。そして、この動作シーケンスにおける各部の状態と
電圧波形は、図８のタイミングチャートに示すようにな
っていることになる。
に示すように、 通常モード→診断(上)モ−ド→診断(下)モ−ド→通常モ
−ド となり、再び、この図７の処理が開始されるまでは、通
常モ−ドによる加速度検出動作に戻っていることにな
る。そして、この動作シーケンスにおける各部の状態と
電圧波形は、図８のタイミングチャートに示すようにな
っていることになる。
【００２７】次に、校正機能について説明する。校正は
前述の診断動作で得られた各モ−ドでの加速度センサの
出力の平均値の差を用いて行う。なぜなら各診断モ−ド
での出力の変化は所定の加速度に対する出力の変化と等
しくなるからである。
前述の診断動作で得られた各モ−ドでの加速度センサの
出力の平均値の差を用いて行う。なぜなら各診断モ−ド
での出力の変化は所定の加速度に対する出力の変化と等
しくなるからである。
【００２８】次に、この実施例における加速度出力機能
について説明する。第９図は、この実施例における加速
度出力処理のフロ−チャ−トを示したもので、まず、加
速度センサの出力を読み込む(ステップ２０)。そして、
診断(上)モ−ドか否かを判断し(ステップ２１)、診断
(上)モ−ドであれば、加速度センサの出力の読み値に所
定の値を減算する(ステップ２２)。続いて、同様に診断
(下)モ−ドか否かを判断し(ステップ２３)、診断(下)モ
−ドであれば、加速度センサの出力の読み値に所定の値
を加算する(ステップ２４)。そして出力処理を終わるの
である。
について説明する。第９図は、この実施例における加速
度出力処理のフロ−チャ−トを示したもので、まず、加
速度センサの出力を読み込む(ステップ２０)。そして、
診断(上)モ−ドか否かを判断し(ステップ２１)、診断
(上)モ−ドであれば、加速度センサの出力の読み値に所
定の値を減算する(ステップ２２)。続いて、同様に診断
(下)モ−ドか否かを判断し(ステップ２３)、診断(下)モ
−ドであれば、加速度センサの出力の読み値に所定の値
を加算する(ステップ２４)。そして出力処理を終わるの
である。
【００２９】このとき、診断中における各部の出力は、
図１０に示すようになっている。従って、この実施例に
よれば、仮に診断モ−ドにあったときでも、加速度を検
出し、その検出値を出力することができる。
図１０に示すようになっている。従って、この実施例に
よれば、仮に診断モ−ドにあったときでも、加速度を検
出し、その検出値を出力することができる。
【００３０】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図１１は本発明による静電容量式センサを圧力セ
ンサに適用した場合の一実施例で、図において、９はセ
ンサ部を表わし、このセンサ部９は、ガラス基板９１
と、このガラス基板９１に蒸着された固定電極９２と、
シリコンダイアフラム９３とで構成されている。そし
て、シリコンダイアフラム９３に圧力が働くと、このシ
リコンダイアフラム９３と固定電極９２のギャップが変
化し、シリコンダイアフラム９３と固定電極９２間の静
電容量が変化する。そこで、この静電容量の変化を容量
検出器７で検出することにより、圧力を検出するように
なっている。
する。図１１は本発明による静電容量式センサを圧力セ
ンサに適用した場合の一実施例で、図において、９はセ
ンサ部を表わし、このセンサ部９は、ガラス基板９１
と、このガラス基板９１に蒸着された固定電極９２と、
シリコンダイアフラム９３とで構成されている。そし
て、シリコンダイアフラム９３に圧力が働くと、このシ
リコンダイアフラム９３と固定電極９２のギャップが変
化し、シリコンダイアフラム９３と固定電極９２間の静
電容量が変化する。そこで、この静電容量の変化を容量
検出器７で検出することにより、圧力を検出するように
なっている。
【００３１】そして、この実施例でも、発振器１と、駆
動回路１０、それに昇圧回路５を持ち、これにより、以
下に説明するように、診断機能を有している。図１２
は、診断時での各部の波形を示したもので、まず、通常
モ−ドにおいては、固定電極９２に印加される電圧Ｖ3
としては、静電容量を検出するためのパルス電圧だけと
なっている。従って、このとき、圧力センサの出力に
は、図示のように、圧力に応じた出力が得られている。
動回路１０、それに昇圧回路５を持ち、これにより、以
下に説明するように、診断機能を有している。図１２
は、診断時での各部の波形を示したもので、まず、通常
モ−ドにおいては、固定電極９２に印加される電圧Ｖ3
としては、静電容量を検出するためのパルス電圧だけと
なっている。従って、このとき、圧力センサの出力に
は、図示のように、圧力に応じた出力が得られている。
【００３２】次に、診断モ−ドでは、図示のように、固
定電極９２に印加される電圧Ｖ3として、静電容量を検
出するためのパルス電圧と、このパルス電圧の空き時間
に振幅の大きなパルス電圧を重畳して印加し、この振幅
の大きなパルス電圧により、固定電極９２とシリコンダ
イアフラム９３の間に静電気力を発生させ、等価的に圧
力が働いた状態を作り出す。
定電極９２に印加される電圧Ｖ3として、静電容量を検
出するためのパルス電圧と、このパルス電圧の空き時間
に振幅の大きなパルス電圧を重畳して印加し、この振幅
の大きなパルス電圧により、固定電極９２とシリコンダ
イアフラム９３の間に静電気力を発生させ、等価的に圧
力が働いた状態を作り出す。
【００３３】このことにより、センサの出力には、圧力
に応じた出力に、静電気力による圧力相当の出力が加算
されて現われるから、この出力の変化を基にして、第１
の実施例と同様に診断を行うことができる。
に応じた出力に、静電気力による圧力相当の出力が加算
されて現われるから、この出力の変化を基にして、第１
の実施例と同様に診断を行うことができる。
【００３４】次に、本発明の第３の実施例について、図
１３により説明する。この図１３の実施例は、歪ゲ−ジ
式加速度センサに本発明を適用したもので、センサ部６
は、ビ−ム６０によって支持され重錘の機能を持っよう
にされた可動電極６１と、この可動電極６１に対向する
２個の固定電極６２、６３で構成されている。なお、こ
れらは、図１の実施例と同じであり、従って、６４、６
５は、例えばガラスなどの絶縁物からなる上板と下板で
ある。
１３により説明する。この図１３の実施例は、歪ゲ−ジ
式加速度センサに本発明を適用したもので、センサ部６
は、ビ−ム６０によって支持され重錘の機能を持っよう
にされた可動電極６１と、この可動電極６１に対向する
２個の固定電極６２、６３で構成されている。なお、こ
れらは、図１の実施例と同じであり、従って、６４、６
５は、例えばガラスなどの絶縁物からなる上板と下板で
ある。
【００３５】この図１３において、１４Ａと１４Ｂは歪
ゲージで、ビ−ム６０の上面と下面(図において)にそれ
ぞれ貼り付けてある。従って、センサ部６に上下方向の
加速度(図において)が働くと、可動電極６１が上下方向
に変位する。そして、この可動電極６１の変位によりビ
−ム６０に応力が働き、歪ゲ−ジ１４Ａ、１４Ｂの抵抗
値が変化する。そこで、歪ゲ−ジ１４Ａ、１４Ｂの抵抗
値の変化を抵抗検出器１５で検出することにより加速度
を検出することができる。
ゲージで、ビ−ム６０の上面と下面(図において)にそれ
ぞれ貼り付けてある。従って、センサ部６に上下方向の
加速度(図において)が働くと、可動電極６１が上下方向
に変位する。そして、この可動電極６１の変位によりビ
−ム６０に応力が働き、歪ゲ−ジ１４Ａ、１４Ｂの抵抗
値が変化する。そこで、歪ゲ−ジ１４Ａ、１４Ｂの抵抗
値の変化を抵抗検出器１５で検出することにより加速度
を検出することができる。
【００３６】一方、この実施例では、電源１１と、スイ
ッチ１２、１３を設けてあり、従って、これにより、電
源１２からの高電圧(数１０ボルト)を、スイッチ１２、
１３の切り換えにより、固定電極６２と固定電極６３に
交互に印加することにより可動電極６１に静電気力を働
かせ、検出すべき加速度とは独立に、強制的に上下に変
位させることにより、第１の実施例と同様にして診断を
行うことができる。
ッチ１２、１３を設けてあり、従って、これにより、電
源１２からの高電圧(数１０ボルト)を、スイッチ１２、
１３の切り換えにより、固定電極６２と固定電極６３に
交互に印加することにより可動電極６１に静電気力を働
かせ、検出すべき加速度とは独立に、強制的に上下に変
位させることにより、第１の実施例と同様にして診断を
行うことができる。
【００３７】次に、本発明の第４の実施例について、図
１４により説明する。この図１４の実施例は、本発明を
容量式加速度センサに適用したもので、センサ部６は、
ビ−ム６０によって支持され、重錘の機能を持つように
された可動電極６１と、この可動電極６１に対向する固
定電極６３とで構成され、これら可動電極６１と固定電
極６３との間に現われる静電容量を、発振器１と容量検
出器７により測定して加速度を検出するようになってい
る。
１４により説明する。この図１４の実施例は、本発明を
容量式加速度センサに適用したもので、センサ部６は、
ビ−ム６０によって支持され、重錘の機能を持つように
された可動電極６１と、この可動電極６１に対向する固
定電極６３とで構成され、これら可動電極６１と固定電
極６３との間に現われる静電容量を、発振器１と容量検
出器７により測定して加速度を検出するようになってい
る。
【００３８】すなわち、センサ部６に、図において上下
方向の加速度が働くと、可動電極６１は上下方向に変位
し、この結果、可動電極６１と固定電極６３の間の静電
容量が変化するから、この静電容量の変化を発振器１と
容量検出器７により検出することで、加速度を検出する
ことができるのである。
方向の加速度が働くと、可動電極６１は上下方向に変位
し、この結果、可動電極６１と固定電極６３の間の静電
容量が変化するから、この静電容量の変化を発振器１と
容量検出器７により検出することで、加速度を検出する
ことができるのである。
【００３９】また、この実施例では、電源１１の電圧を
スイッチ１２を介して固定電極６２に印加することによ
り、可動電極６１と固定電極６２の間に静電気力を働か
せることができ、これにより、検出すべき加速度とは独
立に、可動電極６１を変位させ、第１の実施例の場合と
同様に、診断を行うことができる。
スイッチ１２を介して固定電極６２に印加することによ
り、可動電極６１と固定電極６２の間に静電気力を働か
せることができ、これにより、検出すべき加速度とは独
立に、可動電極６１を変位させ、第１の実施例の場合と
同様に、診断を行うことができる。
【００４０】そして、この実施例においては、固定電極
６２と固定電極６３の間に、さらに第３の固定電極６６
が設置してあり、これによる静電しゃへい効果により固
定電極６２と固定電極６３との間での静電結合が防止さ
れ、診断中での加速度の検出を、充分な精度のもとで行
うことができる。
６２と固定電極６３の間に、さらに第３の固定電極６６
が設置してあり、これによる静電しゃへい効果により固
定電極６２と固定電極６３との間での静電結合が防止さ
れ、診断中での加速度の検出を、充分な精度のもとで行
うことができる。
【００４１】次に、本発明の第５の実施例について、図
１５により説明する。この図１５の実施例は、本発明を
容量式加速度センサに適用したもので、センサ部１７
は、ビ−ム１７４よって支持され、重錘の機能を持つよ
うにされた可動電極１７１と、この可動電極１７１に対
向して設置した固定電極１７２と、可動電極１７１に配
置されたアルミ配線１７３と、それに永久磁石１７５と
で構成されている。
１５により説明する。この図１５の実施例は、本発明を
容量式加速度センサに適用したもので、センサ部１７
は、ビ−ム１７４よって支持され、重錘の機能を持つよ
うにされた可動電極１７１と、この可動電極１７１に対
向して設置した固定電極１７２と、可動電極１７１に配
置されたアルミ配線１７３と、それに永久磁石１７５と
で構成されている。
【００４２】センサ部１７に上下方向(図において)の加
速度が働くと、可動電極１７１は上下方向に変位し、こ
れにより可動電極１７１と固定電極１７２の間の静電容
量が変化する。そこで、この静電容量の変化を発振器１
と容量検出器７により検出することで加速度を検出する
ことができる。
速度が働くと、可動電極１７１は上下方向に変位し、こ
れにより可動電極１７１と固定電極１７２の間の静電容
量が変化する。そこで、この静電容量の変化を発振器１
と容量検出器７により検出することで加速度を検出する
ことができる。
【００４３】アルミ配線１７３は、可動電極１７１の上
側の面(図において)に、図１６に示すように、Ｕ字形に
形成されており、診断時には、このアルミ配線１７３に
電源１８から所定値の電流が供給されるようになってい
る。アルミ配線１７３に電流が流されると、永久磁石１
７５による磁界により、可動電極１７１に上下方向(図
において)の電磁力が発生され、これにより、検出すべ
き加速度とは独立に、可動電極１７１を変位させること
ができ、従って、これにより、第１の実施例の場合と同
様に診断を行うことができる。
側の面(図において)に、図１６に示すように、Ｕ字形に
形成されており、診断時には、このアルミ配線１７３に
電源１８から所定値の電流が供給されるようになってい
る。アルミ配線１７３に電流が流されると、永久磁石１
７５による磁界により、可動電極１７１に上下方向(図
において)の電磁力が発生され、これにより、検出すべ
き加速度とは独立に、可動電極１７１を変位させること
ができ、従って、これにより、第１の実施例の場合と同
様に診断を行うことができる。
【００４４】次に、本発明の第６の実施例について、図
１７により説明する。この実施例も、本発明を容量式加
速度センサに適用したもので、図において、１９は圧電
素子で、この圧電素子１９は、図示してない電源装置か
ら交流電圧が印加されると、その厚み方向(図の上下方
向)に変位を生じるように構成されている。
１７により説明する。この実施例も、本発明を容量式加
速度センサに適用したもので、図において、１９は圧電
素子で、この圧電素子１９は、図示してない電源装置か
ら交流電圧が印加されると、その厚み方向(図の上下方
向)に変位を生じるように構成されている。
【００４５】そして、この圧電素子１９の上面に容量式
加速度センサのセンサ部６が接着配置されており、圧電
素子１９の振動によりセンサ部６を振動させ、検出すべ
き加速度とは独立に加速度を働かせることができるよう
に構成してある。従って、圧電素子１９は、センサ部６
に対する加振手段として機能し、必要に応じて、圧電素
子１９に交流電圧を印加してやることにより、第１の実
施例の場合と同様に診断を行うことができる。
加速度センサのセンサ部６が接着配置されており、圧電
素子１９の振動によりセンサ部６を振動させ、検出すべ
き加速度とは独立に加速度を働かせることができるよう
に構成してある。従って、圧電素子１９は、センサ部６
に対する加振手段として機能し、必要に応じて、圧電素
子１９に交流電圧を印加してやることにより、第１の実
施例の場合と同様に診断を行うことができる。
【００４６】
【発明の効果】本発明によれば、静電容量式センサの故
障診断を、必要なとき、常に確実に行うことができるか
ら、静電容量式センサを使ったシステムの信頼性を、充
分に向上させることができる。
障診断を、必要なとき、常に確実に行うことができるか
ら、静電容量式センサを使ったシステムの信頼性を、充
分に向上させることができる。
【００４７】また、本発明によれば、静電容量式センサ
としての検出動作中でも診断が可能なので、診断時期に
ついての制限が無く、診断の頻度を多くすることができ
るので、さらに信頼性を高めることができる。
としての検出動作中でも診断が可能なので、診断時期に
ついての制限が無く、診断の頻度を多くすることができ
るので、さらに信頼性を高めることができる。
【図１】本発明による静電容量式センサの故障診断装置
における静電容量式センサの第１の実施例を示す構成図
である。
における静電容量式センサの第１の実施例を示す構成図
である。
【図２】第１の実施例における加速度に対する可動電極
と固定電極間の静電容量の変化を示す特性図である。
と固定電極間の静電容量の変化を示す特性図である。
【図３】第１の実施例における動作モ−ドの説明図であ
る。
る。
【図４】第１の実施例における容量検出器の一実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図５】容量検出器の動作説明用のタイミングチャ−ト
である。
である。
【図６】本発明による静電容量式センサの故障診断装置
の一実施例を示すブロック構成図である。
の一実施例を示すブロック構成図である。
【図７】本発明の一実施例における診断処理を示すフロ
−チャートである。
−チャートである。
【図８】本発明の一実施例における診断時の各部の波形
を示すタイミングチャートである。
を示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の一実施例における加速度出力処理を示
すのフロ−チャ−トである。
すのフロ−チャ−トである。
【図１０】本発明の一実施例における診断処理中での各
部の出力の状態を示すタイミングチャートである。
部の出力の状態を示すタイミングチャートである。
【図１１】本発明の第２の実施例を示す構成図である。
【図１２】第２の実施例における通常モードと診断モー
ドでの各部の波形を示すタイミングチャートである。
ドでの各部の波形を示すタイミングチャートである。
【図１３】本発明の第３の実施例を示す構成図である。
【図１４】本発明の第４の実施例を示す構成図である。
【図１５】本発明の第５の実施例を示す構成図である。
【図１６】第５の実施例における可動電極の構造を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図１７】本発明の第６の実施例を示す構成図である。
１ 発振器 ２ 反転器 ３ 駆動回路 ４ 駆動回路 ５ 昇圧回路 ６ センサ部 ７ 容量検出器 ８ 加速度センサ Ｍ マイコン １０ 駆動回路 １１ 電源 １２ スイッチ １３ スイッチ １５ 抵抗検出器 １７ センサ部 １８ 電源 １９ 圧電素子 ６０ ビーム ６１ 可動電極 ６２、６３ 固定電極 ６４ 上板 ６５ 下板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土谷 茂樹 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内
Claims (5)
- 【請求項１】 検出対象となる物理量に応じて変位する
可動電極を備え、この可動電極の変位を、この可動電極
に対向して配置された固定電極との間での静電容量の変
化として検出する静電容量式センサにおいて、上記検出
対象となる物理量の測定可能範囲の少なくとも最小限の
変位を上記可動電極に発生させる静電気力発生手段を設
け、この静電気力発生手段による上記可動電極の変位に
伴う静電容量の変化により故障診断を行なうように構成
したことを特徴とする静電容量式センサの故障診断装
置。 - 【請求項２】 検出対象となる物理量に応じて変位する
可動電極を備え、この可動電極の変位を、この可動電極
に対向して配置された固定電極との間での静電容量の変
化として検出する静電容量式センサにおいて、上記検出
対象となる物理量の測定可能範囲の少なくとも最小限の
変位を上記可動電極に発生させる電磁力発生手段を設
け、この電磁力発生手段による上記可動電極の変位に伴
う静電容量の変化状態により故障診断を行なうように構
成したことを特徴とする静電容量式センサの故障診断装
置。 - 【請求項３】 検出対象となる物理量に応じて変位する
可動電極を備え、この可動電極の変位を、この可動電極
に対向して配置された固定電極との間での静電容量の変
化として検出する静電容量式センサにおいて、この静電
容量式センサに振動を与える加振手段を設け、この加振
手段による振動が与えられているときでの静電容量の変
化状態により故障診断を行なうように構成したことを特
徴とする静電容量式センサの故障診断装置。 - 【請求項４】 請求項１の発明において、上記静電気力
発生手段が、上記可動電極と固定電極間に、静電容量検
出用に印加されている電圧よりも高い所定の診断用電圧
を印加する手段で構成され、この診断用電圧と静電容量
検出用交流電圧とを上記可動電極と複数の固定電極間に
同時に又は時分割的に印加するように構成されているこ
とを特徴とする静電容量式センサの故障診断装置。 - 【請求項５】 請求項１の発明において、上記固定電極
が加速度検出用と、上記静電気力発生手段用とに分離し
て２個設けてあり、これらの固定電極間に接地された電
極が配置されていることを特徴とする静電容量式センサ
の故障診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02548292A JP3162149B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 静電容量式センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02548292A JP3162149B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 静電容量式センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223844A true JPH05223844A (ja) | 1993-09-03 |
| JP3162149B2 JP3162149B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=12167273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02548292A Expired - Fee Related JP3162149B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 静電容量式センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3162149B2 (ja) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19520049A1 (de) * | 1994-05-31 | 1995-12-07 | Hitachi Ltd | Sensorelement vom Kapazitanztyp |
| JP2002162413A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Yamatake Corp | 地震検出装置 |
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