JPH05223612A - 残量管理装置 - Google Patents
残量管理装置Info
- Publication number
- JPH05223612A JPH05223612A JP3304719A JP30471991A JPH05223612A JP H05223612 A JPH05223612 A JP H05223612A JP 3304719 A JP3304719 A JP 3304719A JP 30471991 A JP30471991 A JP 30471991A JP H05223612 A JPH05223612 A JP H05223612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- gas
- liquefied gas
- flow rate
- gas cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液化ガスボンベの残量の管理を、重量計を使
用せずに正確にできるようにしたものである。 【構成】 ガス供給ライン８にマスフローメータ１を取
り付け流量を常時測定し、それを積算計２で加算して液
化ガスボンベ５の液化ガスの使用量を算出することによ
り、ガスの残量を管理する。
用せずに正確にできるようにしたものである。 【構成】 ガス供給ライン８にマスフローメータ１を取
り付け流量を常時測定し、それを積算計２で加算して液
化ガスボンベ５の液化ガスの使用量を算出することによ
り、ガスの残量を管理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液化ガスを充填したボ
ンベの残量を管理する残量管理装置に関する。
ンベの残量を管理する残量管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の液化ガスの残量管理を行
なうシリンダーキャビネットの構成図である。３はガス
を使用する装置に合わせて供給するガスの圧力を調整す
る減圧弁、４はガスの供給を停止するバルブ、５は液化
ガスが充填された液化ガスボンベ、６はパージ用ガス供
給ボンベである。
なうシリンダーキャビネットの構成図である。３はガス
を使用する装置に合わせて供給するガスの圧力を調整す
る減圧弁、４はガスの供給を停止するバルブ、５は液化
ガスが充填された液化ガスボンベ、６はパージ用ガス供
給ボンベである。
【０００３】７はガスラインからガスを排気するための
排気ライン、８は液化ガスボンベ５から供給されるガス
を供給する供給ライン、９は液化ガスボンベ５とパージ
用ガス供給ボンベ６を安置するシリンダキャビネット、
１０は液化ガスボンベ５の重量を測定するは重量計、１
１は液化ガスボンベ５とガス供給のための配管を接続す
る連接管、１２は液化ガスボンベ５内の液化ガスの液面
である。
排気ライン、８は液化ガスボンベ５から供給されるガス
を供給する供給ライン、９は液化ガスボンベ５とパージ
用ガス供給ボンベ６を安置するシリンダキャビネット、
１０は液化ガスボンベ５の重量を測定するは重量計、１
１は液化ガスボンベ５とガス供給のための配管を接続す
る連接管、１２は液化ガスボンベ５内の液化ガスの液面
である。
【０００４】従来の液化ガスの残量管理は、液化ガスボ
ンベ５がバルブ４が付いている口金と接続した状態で重
量を図ることにより行っていた。しかし、測定する重量
は液化ガスボンベ５とその内容量と口金とを合わせた重
量であり、口金で吊られる状態で使用するため、不正確
であった。
ンベ５がバルブ４が付いている口金と接続した状態で重
量を図ることにより行っていた。しかし、測定する重量
は液化ガスボンベ５とその内容量と口金とを合わせた重
量であり、口金で吊られる状態で使用するため、不正確
であった。
【０００５】また、材料コストの高い液化ガス（Ｓｉ2
Ｈ6、ＷＦ6）は、充填量も数百グラム程度であり、重量
計では残量が判断付かず、また、大量に残した状態で交
換する場合もあり、ガス製造コストを上昇させる原因で
もあった。液化ガスの残量管理装置としてアイバルブと
称される、液面を直接モニタできるバルブ構造もある
が、高純度化が必須な半導体製造には使用不可能であっ
た。
Ｈ6、ＷＦ6）は、充填量も数百グラム程度であり、重量
計では残量が判断付かず、また、大量に残した状態で交
換する場合もあり、ガス製造コストを上昇させる原因で
もあった。液化ガスの残量管理装置としてアイバルブと
称される、液面を直接モニタできるバルブ構造もある
が、高純度化が必須な半導体製造には使用不可能であっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の残量管理装置は
以上のように構成されていたので、ボンベへの口金接続
による重量誤差が発生し、残量の正確な監視ができない
という問題があった。また、例えばボンベ重量２０kgの
ところに５００gのガスを充填している場合、重量計の
変位誤差に充填量が含まれてしまい残量の監視が全くで
きないと言う問題があった。
以上のように構成されていたので、ボンベへの口金接続
による重量誤差が発生し、残量の正確な監視ができない
という問題があった。また、例えばボンベ重量２０kgの
ところに５００gのガスを充填している場合、重量計の
変位誤差に充填量が含まれてしまい残量の監視が全くで
きないと言う問題があった。
【０００７】この発明は、以上のような問題を解決する
ためになされたもので、液化ガスボンベの残量の管理
を、重量計を使用せずに正確にできるようにしたもので
ある。
ためになされたもので、液化ガスボンベの残量の管理
を、重量計を使用せずに正確にできるようにしたもので
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガスの流量を
測定する流量測定手段と、測定結果を累積加算していく
積算手段とを有するようにしたものである。また本発明
は、特定の周波数の音波を発生する音波発生手段を有す
るようにしたものである。
測定する流量測定手段と、測定結果を累積加算していく
積算手段とを有するようにしたものである。また本発明
は、特定の周波数の音波を発生する音波発生手段を有す
るようにしたものである。
【０００９】さらに本発明は、使用する液化ガスボンベ
の所定の位置に設置する発熱手段と、ガスボンベの発熱
手段とほぼ同じ高さに温度測定手段を設置するようにし
たものである。
の所定の位置に設置する発熱手段と、ガスボンベの発熱
手段とほぼ同じ高さに温度測定手段を設置するようにし
たものである。
【００１０】
【作用】どの様なガスの液化ガスボンベでも、そのガス
の使用量や残量が正確に判る。
の使用量や残量が正確に判る。
【００１１】
【実施例】以下本発明の１実施例を図を参照して説明す
る。図１は本発明の１実施例を示す液化ガスボンベより
ガスを供給するシリンダーキャビネットの構成図であ
る。１はガスの流量を測定するマスフローメータ、２は
マスフローメータ１の測定した流量を積算していく積算
計である。他は図５と同様である。
る。図１は本発明の１実施例を示す液化ガスボンベより
ガスを供給するシリンダーキャビネットの構成図であ
る。１はガスの流量を測定するマスフローメータ、２は
マスフローメータ１の測定した流量を積算していく積算
計である。他は図５と同様である。
【００１２】マスフローメータ１は、ガスの流れによる
温度変位から電気的に流量を測定できる流量計である。
マスフローメータ１は、ガスが流れる経路にガラス管フ
ロートなどの可動物がなく継ぎ目の無い構造なのでガス
が漏れることもなく、ガスの流れる経路の材料を選択す
ることで発塵がなく腐食性のあるガスにも対応可能であ
る。
温度変位から電気的に流量を測定できる流量計である。
マスフローメータ１は、ガスが流れる経路にガラス管フ
ロートなどの可動物がなく継ぎ目の無い構造なのでガス
が漏れることもなく、ガスの流れる経路の材料を選択す
ることで発塵がなく腐食性のあるガスにも対応可能であ
る。
【００１３】使用時のガスの流量は、マスフローメータ
１で常時測定され、測定された値は積算計２によって逐
次加算されていく。積算計２によって加算されていく総
流量が設定値になったところで液化ガスボンベ５を交換
する。
１で常時測定され、測定された値は積算計２によって逐
次加算されていく。積算計２によって加算されていく総
流量が設定値になったところで液化ガスボンベ５を交換
する。
【００１４】図２は本発明の他の実施例である残量管理
装置を示す構成図である。２１は音波を発生するアクチ
ェータ、２２はアクチェータ２１の電源部である。ま
ず、管理対象の液化ガスボンベと同形状同容量で、空も
しくは設定された残量の状態のボンベにアクチェータ２
１を取り付け音波を発生し、そのボンベが共鳴をする周
波数の音を設定する。
装置を示す構成図である。２１は音波を発生するアクチ
ェータ、２２はアクチェータ２１の電源部である。ま
ず、管理対象の液化ガスボンベと同形状同容量で、空も
しくは設定された残量の状態のボンベにアクチェータ２
１を取り付け音波を発生し、そのボンベが共鳴をする周
波数の音を設定する。
【００１５】このアクチェータ２１を測定対象の液化ガ
スボンベ５に設置する。液化ガスボンベ５の内容量が減
少し液面１２が下がっててきてアクチェータ１の発した
音が共鳴を始めたら、そのボンベを交換する。
スボンベ５に設置する。液化ガスボンベ５の内容量が減
少し液面１２が下がっててきてアクチェータ１の発した
音が共鳴を始めたら、そのボンベを交換する。
【００１６】図３はもう一つの他の実施例である残量管
理装置の構成図である。３１は室温より１０〜１５℃高
い温度の熱を発する発熱体、３２は発熱体３１の発した
熱の温度を測定する液化ガスボンベ５の発熱体３１と同
じ高さに設置された温度計である。その設置される高さ
は、予め決められた液化ガスボンベ５内の液面１２の下
限とする。
理装置の構成図である。３１は室温より１０〜１５℃高
い温度の熱を発する発熱体、３２は発熱体３１の発した
熱の温度を測定する液化ガスボンベ５の発熱体３１と同
じ高さに設置された温度計である。その設置される高さ
は、予め決められた液化ガスボンベ５内の液面１２の下
限とする。
【００１７】液化ガスボンベ５内の液化ガスの液面１２
が図３（ａ）に示すように温度計３２の高さより高いと
きと、液化ガスの液面１２が図３（ｂ）に示すように温
度計３２の高さより低いときでは発熱体３１が発した熱
が温度計３２に伝わる早さが異なる。
が図３（ａ）に示すように温度計３２の高さより高いと
きと、液化ガスの液面１２が図３（ｂ）に示すように温
度計３２の高さより低いときでは発熱体３１が発した熱
が温度計３２に伝わる早さが異なる。
【００１８】図４に示すように、液化ガスボンベ５内の
液化ガスの液面１２が温度計３２より高いときは、発熱
体３１の発した熱の一部は液化ガスに伝わり発散し一部
は液化ガスボンベ５を伝わり、温度計３２が検知する温
度は曲線４１のように推移する。
液化ガスの液面１２が温度計３２より高いときは、発熱
体３１の発した熱の一部は液化ガスに伝わり発散し一部
は液化ガスボンベ５を伝わり、温度計３２が検知する温
度は曲線４１のように推移する。
【００１９】一方、ボンベ内の液化ガスの液面１２が温
度計３２より低いときは、発熱体３１の発した熱の一部
は液化ガスが気化したガスに伝わり発散し一部は液化ガ
スボンベ５を伝わり、温度計３２が検知する温度は曲線
４２のように推移する。
度計３２より低いときは、発熱体３１の発した熱の一部
は液化ガスが気化したガスに伝わり発散し一部は液化ガ
スボンベ５を伝わり、温度計３２が検知する温度は曲線
４２のように推移する。
【００２０】液体と気体では熱容量が異なり、液体の方
が気体よりも大きいので図４に示すような差が生じる。
発熱体３１は、たとえば２０分に１回熱を発生すればよ
く、連続して発熱はしない。温度の変化が曲線４１から
曲線４２のように変化したらボンベを交換する。
が気体よりも大きいので図４に示すような差が生じる。
発熱体３１は、たとえば２０分に１回熱を発生すればよ
く、連続して発熱はしない。温度の変化が曲線４１から
曲線４２のように変化したらボンベを交換する。
【００２１】なお、以上の３つの実施例を組合わせて使
用してもよく、従来の重量計と組合わせてもよい。
用してもよく、従来の重量計と組合わせてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明では、液化ガスボン
ベ内の液化ガスを汚染することなく、そして重量計に頼
ることなく残量を精度よく管理することができ、ボンベ
内のガスの残し過ぎや使い過ぎといったことをなくせる
という効果がある。
ベ内の液化ガスを汚染することなく、そして重量計に頼
ることなく残量を精度よく管理することができ、ボンベ
内のガスの残し過ぎや使い過ぎといったことをなくせる
という効果がある。
【図１】本発明の１実施例のシリンダーキャビネットの
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の他の実施例の残量管理装置を取り付け
た液化ガスボンベの断面図である。
た液化ガスボンベの断面図である。
【図３】本発明の図２とは異なる他の実施例の残量管理
装置を取り付けた液化ガスボンベの断面図である。
装置を取り付けた液化ガスボンベの断面図である。
【図４】図３の温度計３２の温度測定結果を示す温度と
時間の関係を表した図である。
時間の関係を表した図である。
【図５】従来の１例のシリンダーキャビネットの構成図
である。
である。
１ マスフローメータ ２ 積算計 ３ 減圧弁 ４ 弁 ５ 液化ガスボンベ ６ パージ用ガスボンベ ７ 排気ライン ８ 供給ライン ９ シリンダキャビネット １１ 連接管 １２ 液面
Claims (3)
- 【請求項１】 液化ガスボンベより供給するガスの流量
を測定する流量測定手段と、 前記流量測定手段の測定結果を累積加算していく積算手
段と、 を有することを特徴とした残量管理装置。 - 【請求項２】 測定対象の液化ガスボンベの中の液面が
所定の位置になったら共鳴する周波数の音波を発生する
音波発生手段を有することを特徴とした残量管理装置。 - 【請求項３】 使用する液化ガスボンベ外側側面の所定
の位置に設置し熱を発生する発熱手段と、 前記液化ガスボンベの外側側面の前記発熱手段とほぼ同
じ高さで前記発熱体とは離れたところに設置した温度測
定手段とを有することを特徴とした残量管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3304719A JPH05223612A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | 残量管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3304719A JPH05223612A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | 残量管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223612A true JPH05223612A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=17936394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3304719A Pending JPH05223612A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | 残量管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223612A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19581067C2 (de) * | 1994-08-03 | 2000-02-17 | Tokai Corp | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren der Restmenge eines Gases in einem Gaszylinder vom Kassettentyp |
| JP2010116981A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Ricoh Elemex Corp | バルク管理システム |
| US8315824B2 (en) | 2005-12-14 | 2012-11-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | System for detecting remaining quantity in liquid hydrogen tank |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115582A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | Hitachi Ltd | 誘導電動機の制御方法 |
-
1991
- 1991-11-20 JP JP3304719A patent/JPH05223612A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115582A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | Hitachi Ltd | 誘導電動機の制御方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19581067C2 (de) * | 1994-08-03 | 2000-02-17 | Tokai Corp | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren der Restmenge eines Gases in einem Gaszylinder vom Kassettentyp |
| US8315824B2 (en) | 2005-12-14 | 2012-11-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | System for detecting remaining quantity in liquid hydrogen tank |
| JP2010116981A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Ricoh Elemex Corp | バルク管理システム |
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