JPH05221012A - Manufacture of ion flow electrostatic recording head - Google Patents

Manufacture of ion flow electrostatic recording head

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JPH05221012A
JPH05221012A JP2968492A JP2968492A JPH05221012A JP H05221012 A JPH05221012 A JP H05221012A JP 2968492 A JP2968492 A JP 2968492A JP 2968492 A JP2968492 A JP 2968492A JP H05221012 A JPH05221012 A JP H05221012A
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JP
Japan
Prior art keywords
electrode
electrodes
dielectric
recording head
electrostatic recording
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2968492A
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Japanese (ja)
Inventor
Kunihisa Koo
邦寿 小尾
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05221012A publication Critical patent/JPH05221012A/en
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Abstract

PURPOSE:To enhance image quality by obtaining uniform discharge characteristics by a method wherein the manufacturing process is shortened and the scattering of the ion generation is prevented from occurring. CONSTITUTION:Dielectric paste consisting of high dielectric constant ceramic powder as filler and silicone varnish as binder is applied on an insulating substrate 2 and first electrodes 3. After the dielectric paste is semi-cured, second electrode 6 is joined on the tacky fixing surface 5 or semi-cured dielectric paste surface. Finally, by fully curing the dielectric paste, the second electrode 6 is fixed onto the dielectric layer 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は例えば静電式の印刷や複
写を行なう静電記録装置で使用されるイオンフロー静電
記録ヘッドの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an ion flow electrostatic recording head used in an electrostatic recording apparatus for performing electrostatic printing or copying.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、例えば静電印刷等において、高
電流密度のイオンを発生させ、これを抽出して選択的に
被帯電部材に付与して、この被帯電部材を画像状に帯電
させる静電記録装置が知られている。
2. Description of the Related Art Generally, in electrostatic printing or the like, for example, a high current density ion is generated and selectively extracted and applied to a member to be charged, and the member to be charged is imagewise charged. Electronic recording devices are known.

【0003】この静電記録装置に用いられるイオンフロ
ー静電記録ヘッドは誘電体層とその誘電体層の一方の側
に固着され、第1の方向に伸びる複数の第1電極と、誘
電体層の他方の側に固着され、第1電極の伸び方向と交
差する方向に伸びる複数の第2電極とを有し、複数の第
1電極と複数の第2電極とでマトリックスを構成する。
An ion flow electrostatic recording head used in this electrostatic recording apparatus has a dielectric layer and a plurality of first electrodes fixed to one side of the dielectric layer and extending in a first direction, and the dielectric layer. A plurality of second electrodes fixed to the other side of the first electrode and extending in a direction intersecting the extension direction of the first electrode, and the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes form a matrix.

【0004】このマトリックスの選択された部分に対応
する第1電極と第2電極との間に交互に高電圧を印加す
ることにより、その部分に対向する第2電極の近傍に正
・負のイオンが発生する。この発生したイオンを選択的
に抽出して被帯電部材を帯電させることができる。した
がって、マトリックス構造の電極を選択的に駆動するこ
とにより、ドットによる静電記録を行なうことができ
る。
By alternately applying a high voltage between the first electrode and the second electrode corresponding to the selected portion of this matrix, positive and negative ions are generated in the vicinity of the second electrode facing the portion. Occurs. The generated ions can be selectively extracted to charge the member to be charged. Therefore, electrostatic recording by dots can be performed by selectively driving the electrodes having a matrix structure.

【0005】ここで使用されるイオンフロー静電記録ヘ
ッドの誘電体層及び絶縁体層を形成する物質は動作中に
イオン抽出のために印加される高電圧にも絶縁破壊しな
いことが要求される。また、誘電体層はイオンを効率良
く発生させ、絶縁破壊にも耐えられる厚さを必要とする
ため、高い誘電率を有することが要求される。
The material forming the dielectric layer and the insulating layer of the ion flow electrostatic recording head used here is required not to have a dielectric breakdown even at a high voltage applied for ion extraction during operation. .. In addition, the dielectric layer needs to have a high dielectric constant because it needs to have a thickness that efficiently generates ions and can withstand dielectric breakdown.

【0006】そこで、この種の誘電体層の材料としては
例えば特表昭57−501348号公報ではシート状の
マイカを使用したものが開示されている。また、特開平
2−153760号公報ではシリコーン変性ポリエステ
ルアルキド樹脂中に酸化チタン粉を分散させたペースト
を設け、このペーストをスクリーン印刷によってイオン
フロー静電記録ヘッドの絶縁基板および第1電極の上に
塗布したのち、塗布されたペースト中の溶剤を蒸発させ
て硬化させたものが開示されている。
Therefore, as a material for this kind of dielectric layer, for example, Japanese Patent Publication No. 57-501348 discloses a sheet-shaped mica. Further, in JP-A-2-153760, a paste in which titanium oxide powder is dispersed in a silicone-modified polyester alkyd resin is provided, and the paste is screen-printed on the insulating substrate and the first electrode of the ion flow electrostatic recording head. It is disclosed that after the application, the solvent in the applied paste is evaporated and cured.

【0007】また、誘電体層と第2電極との間を接着す
る接着剤の条件としてはイオンフロー静電記録ヘッドの
動作時に高電圧印加によって発生する熱に耐えることが
できる耐熱性、誘電体層と第2電極との間の熱膨張率の
差によって発生する応力に耐えられる可撓性、イオン発
生による放電に強い耐コロナ放電性等が要求されるとと
もに、イオンフロー静電記録ヘッドの組立作業時に作用
する引っ張りせん断力に耐えられる高接着力が要求され
る。
The conditions for the adhesive to bond the dielectric layer and the second electrode are heat resistance and dielectric that can withstand the heat generated by high voltage application during operation of the ion flow electrostatic recording head. Assembling an ion flow electrostatic recording head, as well as flexibility required to withstand the stress generated by the difference in the coefficient of thermal expansion between the layer and the second electrode, and corona discharge resistance that is strong against discharge due to ion generation. It is required to have a high adhesive strength capable of withstanding the tensile shearing force applied during the work.

【0008】そして、この種の接着剤としては特表昭5
7−501348号公報ではシリコーン系感圧粘着剤を
用いたものが開示され、特公昭61−29274号公報
ではエポキシ系接着剤を用いたものが開示されている。
And, as an adhesive of this kind, a special table of Sho 5
7-501348 discloses a silicone pressure sensitive adhesive, and JP-B-61-29274 discloses an epoxy adhesive.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】特表昭57−5013
48号公報のように誘電体層に第2電極を固着する手段
として有機ポリシロキサン系、あるいはアクリル系の粘
着剤を用いた場合には粘着力のみで、誘電体層の表面と
第2電極の表面との間を固定するようになっている。
[Problems to be Solved by the Invention] Tokuhyo Sho 57-5013
When an organic polysiloxane-based or acrylic-based pressure-sensitive adhesive is used as a means for fixing the second electrode to the dielectric layer as in Japanese Patent Laid-Open No. 48-48, only the adhesive force is used and the surface of the dielectric layer and the second electrode are It is designed to be fixed to the surface.

【0010】しかしながら、誘電体層の表面と第2電極
1本毎の接着面積は数平方ミリ程度の微小面積であるの
で、イオンフロー静電記録ヘッドの組立作業時に誘電体
層の表面と第2電極の表面との間の接着面に引っ張りせ
ん断力が作用したり、或いはイオンフロー静電記録ヘッ
ドの使用中の発熱を受けた場合に誘電体層の表面と第2
電極の表面との間の微小面積の接着面を粘着剤の粘着力
のみで位置ずれが起こらぬように固定するには接着力不
足となり、イオンフロー静電記録ヘッド全体の耐久性が
不足するおそれがある。
However, since the adhesion area of the surface of the dielectric layer and each second electrode is a very small area of about several square millimeters, the surface of the dielectric layer and the second surface of the second layer during the assembly work of the ion flow electrostatic recording head. When a tensile shearing force acts on the adhesive surface between the surface of the electrode or when heat is generated during the use of the ion flow electrostatic recording head, the surface of the dielectric layer and the second
Adhesive strength may be insufficient to fix the adhesion surface of a small area between the surface of the electrode and the position of the adhesive so that it will not be displaced only by the adhesive force of the adhesive, and the durability of the entire ion flow electrostatic recording head may be insufficient. There is.

【0011】そこで、例えば特公昭61−29274号
公報に開示されているように接着力が大きく、熱的にも
強いエポキシ系接着剤、あるいは嫌気性アクリル系接着
剤やシリコーン系接着剤を使用することが考えられてい
る。
Therefore, as disclosed in, for example, Japanese Examined Patent Publication No. 61-29274, an epoxy adhesive having a large adhesive force and a strong heat resistance, or an anaerobic acrylic adhesive or a silicone adhesive is used. Is considered.

【0012】しかしながら、上記の各接着剤は誘電体層
に対して低誘電率であるため、上記のいずれの接着剤を
使用した場合でも、イオンフロー静電記録ヘッドの動作
時にはイオンの発生を妨げたり、電気特性のばらつきに
よるイオン発生のばらつきが発生するおそれがある。
However, since each of the above adhesives has a low dielectric constant with respect to the dielectric layer, even if any of the above adhesives is used, the generation of ions is prevented during the operation of the ion flow electrostatic recording head. Or, there is a possibility that variations in the generation of ions will occur due to variations in the electrical characteristics.

【0013】そのため、このようなイオンフロー静電記
録ヘッドの動作時におけるイオンの発生を妨げたり、電
気特性のばらつきによるイオン発生のばらつきを防ぐた
めには第2電極の開口部内に露出状態で配置されている
粘着剤や接着剤を機械的に除去したり、或いはアルコー
ルやエーテル、シリコーン溶解剤等により溶解して完全
に除去する必要がある。
Therefore, in order to prevent the generation of ions during the operation of such an ion flow electrostatic recording head and to prevent the variation of the ion generation due to the variation of the electrical characteristics, the ion flow electrostatic recording head is disposed in the opening of the second electrode in an exposed state. It is necessary to mechanically remove the pressure-sensitive adhesive or adhesive that is present, or to completely remove it by dissolving it with alcohol, ether, or a silicone dissolving agent.

【0014】しかしながら、第2電極に形成されている
多数の微小な開口部内の粘着剤や接着剤を除去する作業
は難かしいので、第2電極の各開口部内に除去むらや除
去残りが起こるおそれがある。また、第2電極の各開口
部内の接着剤を完全に除去する作業には長時間を要し、
その作業能率が悪い問題もある。
However, since it is difficult to remove the adhesive or the adhesive from a large number of minute openings formed in the second electrode, there is a possibility that uneven removal or removal residue may occur in each opening of the second electrode. There is. Further, it takes a long time to completely remove the adhesive in each opening of the second electrode,
There is also a problem that its work efficiency is poor.

【0015】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的は、接着剤を用いずに第2電極を誘電体層
に固着することができ、第2電極の各開口部内の接着剤
層を除去する作業を省略して製造工程を短縮することが
できるうえ、イオン発生のばらつきを防止して均一な放
電特性を得ることができる高画品質なイオンフロー静電
記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to enable the second electrode to be fixed to the dielectric layer without using an adhesive, and to bond the second electrode in each opening. A method for manufacturing a high-quality ion flow electrostatic recording head that can shorten the manufacturing process by omitting the work of removing the agent layer, and can prevent the dispersion of ion generation and obtain uniform discharge characteristics. To provide.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明は絶縁基板上に同
方向に略直線状に延設され、略平行に並設された複数の
第1電極と、これらの第1電極と交差する方向に延設さ
れ、前記第1電極とともにマトリックスを形成し、この
マトリックスに対応する部位に開口部が形成された複数
の第2電極と、この第2電極に対して前記第1電極とは
反対側に配置され、前記マトリックスと対応する部位に
開口部が形成された第3電極と、前記第1電極と第2電
極との間に設けられた誘電体層と、前記第2電極と第3
電極との間に設けられ、前記マトリックスに対応する部
位に開口部が形成された絶縁体層とを備えたイオンフロ
ー静電記録ヘッドの本体を製造するイオンフロー静電記
録ヘッドの製造方法において、高誘電率セラミック粉末
を充填し、シリコーンワニスをバインダーとする誘電体
ペーストを前記絶縁基板上およびこの絶縁基板上に積層
された前記第1電極の上に塗布する誘電体ペースト積層
工程と、前記誘電体ペーストを半硬化させたのち、この
半硬化した誘電体ペースト表面の粘着性の固着面上に前
記第2電極を接合する第2電極接合工程と、前記第2電
極の接合後、前記誘電体ペーストを完全に硬化させて前
記誘電体層上に前記第2電極を固着する第2電極固着工
程とを設けたものである。
According to the present invention, a plurality of first electrodes extending in a substantially straight line in the same direction on an insulating substrate and arranged side by side substantially in parallel, and a direction intersecting these first electrodes. A plurality of second electrodes extending in the same direction and forming a matrix together with the first electrode, and having openings formed at portions corresponding to the matrix, and a side opposite to the first electrode with respect to the second electrode. A third electrode having an opening formed in a portion corresponding to the matrix, a dielectric layer provided between the first electrode and the second electrode, the second electrode and the third electrode.
An ion flow electrostatic recording head manufacturing method for manufacturing a main body of an ion flow electrostatic recording head provided with an electrode and an insulating layer having an opening formed in a portion corresponding to the matrix, A dielectric paste laminating step of filling high dielectric constant ceramic powder and applying a dielectric paste using a silicone varnish as a binder on the insulating substrate and on the first electrode laminated on the insulating substrate; A second electrode bonding step of bonding the second electrode onto the sticky adhesive surface of the surface of the semi-cured dielectric paste after semi-curing the body paste, and after the bonding of the second electrode, the dielectric And a second electrode fixing step of fixing the second electrode on the dielectric layer by completely curing the paste.

【0017】[0017]

【作用】イオンフロー静電記録ヘッド本体の製造時には
耐熱性、耐コロナ放電性、電気絶縁性、耐薬品性などに
優れ、半硬化状態ではシリコーン系感圧粘着剤より強い
粘着性を持っているシリコーンワニスをバインダーと
し、高誘電率セラミック粉末を充填した誘電体ペースト
を絶縁基板上および第1電極の上に塗布し、この誘電体
ペーストが半硬化状態の時に第2電極を固着し、この後
に誘電体ペーストの完全硬化を行なうことにより、誘電
体層と第2電極との間にイオン発生を妨げる接着剤層が
なくなるうえ、第2電極の開口部内の接着剤を除去する
工程を不要にすることができ、第2電極の開口部内の除
去むらや除去残りを防止して製造時間が短縮でき、かつ
イオン発生がしやすく、放電を均一化して高画品質化を
図ることができる。さらに、誘電体ペーストを完全硬化
させて形成された誘電体層によってイオン発生時の発熱
やコロナ放電、あるいは後工程で使用されるエッチング
液に対して優れた耐食性を得るようにしたものである。
[Operation] It has excellent heat resistance, corona discharge resistance, electrical insulation, chemical resistance, etc. during the manufacturing of the ion flow electrostatic recording head body, and in the semi-cured state it has stronger adhesion than the silicone pressure sensitive adhesive. Using a silicone varnish as a binder, a dielectric paste filled with high-dielectric-constant ceramic powder is applied on the insulating substrate and the first electrode, and the second electrode is fixed when the dielectric paste is in a semi-cured state. By completely curing the dielectric paste, the adhesive layer that prevents the generation of ions is eliminated between the dielectric layer and the second electrode, and the step of removing the adhesive in the opening of the second electrode becomes unnecessary. Therefore, it is possible to prevent uneven removal and residual removal in the opening of the second electrode, shorten the manufacturing time, easily generate ions, and uniform the discharge to improve the image quality. Further, the dielectric layer formed by completely curing the dielectric paste provides excellent corrosion resistance against heat generated when ions are generated, corona discharge, or an etching solution used in a later step.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の第1の実施例について図1お
よび図2を参照して説明する。図1(A),(B)は静
電記録装置で使用されるイオンフロー静電記録ヘッド1
の要部の概略構成を示すもので、2はイオンフロー静電
記録ヘッド1の絶縁基板である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1A and 1B show an ion flow electrostatic recording head 1 used in an electrostatic recording device.
2 shows a schematic configuration of a main part of the above, and 2 is an insulating substrate of the ion flow electrostatic recording head 1.

【0019】この絶縁基板2上にはイオン発生用の複数
の第1電極3…が設けられている。これらの複数の第1
電極3…は一方向に向けて略平行に並設されている。ま
た、絶縁基板1上には第1電極3…の並設面側にこれら
の第1電極3…を埋設する状態で誘電体層4が設けられ
ている。
A plurality of first electrodes 3 for ion generation are provided on the insulating substrate 2. First of these multiple
The electrodes 3 ... Are arranged substantially parallel to each other in one direction. Further, a dielectric layer 4 is provided on the insulating substrate 1 on the side where the first electrodes 3 are arranged side by side in a state of embedding these first electrodes 3.

【0020】また、誘電体層4の表面の固着面5には複
数の第2電極6…が固着されている。この場合、複数の
第2電極6…は誘電体層4における絶縁基板2とは反対
側の面に第1電極3…と交差する方向に並設されてお
り、第1電極3…と第2電極6…とによってマトリック
スが構成されている。そして、第2電極6…にはこのマ
トリックスと対応する部位にそれぞれ開口部6a…が形
成されている。
A plurality of second electrodes 6 are fixed to the fixing surface 5 on the surface of the dielectric layer 4. In this case, the plurality of second electrodes 6 are arranged side by side on the surface of the dielectric layer 4 opposite to the insulating substrate 2 in a direction intersecting with the first electrodes 3 ,. A matrix is composed of the electrodes 6 ... Then, the second electrodes 6 ... Are respectively formed with openings 6a ..

【0021】また、誘電体層4の第2電極6…の並設面
側にはこれらの第2電極6…を埋設する状態で絶縁体層
7が設けられている。この絶縁体層7には第2電極6…
の各開口部6a…と対応する部位に開口部7a…が形成
されている。
On the side of the dielectric layer 4 where the second electrodes 6 are arranged in parallel, an insulating layer 7 is provided in a state of embedding these second electrodes 6. The insulating layer 7 has a second electrode 6 ...
The openings 7a ... Are formed at portions corresponding to the openings 6a.

【0022】さらに、絶縁体層7の表面には帯状の第3
電極8が設けられている。この第3電極8には第1電極
3…と第2電極6…とのマトリックスと対応する部位に
開口部8a…が形成されている。この第3電極8の開口
部8a…は絶縁体層7の開口部7a…および第2電極6
…の開口部6a…と連通されてイオンフロー静電記録ヘ
ッド1のイオン流通過口9…が形成されている。
Further, the surface of the insulating layer 7 has a strip-shaped third layer.
An electrode 8 is provided. Openings 8a are formed in the third electrode 8 at positions corresponding to the matrix of the first electrodes 3 ... And the second electrodes 6. The openings 8a of the third electrode 8 are the openings 7a of the insulator layer 7 and the second electrode 6.
The ion flow passage opening 9 of the ion flow electrostatic recording head 1 is formed in communication with the openings 6a of.

【0023】そして、イオンフロー静電記録ヘッド1の
動作時には印字信号にもとづいて第1電極3…と第2電
極6…との間のマトリックスが適宜選択され、選択され
たマトリックス部分に対応する第1電極3…と第2電極
6…との間に交流電圧が印加される。これにより、選択
されたマトリックス部分に対応する第2電極6…の開口
部6a…内の近傍部位に正負イオンが発生する。このと
き、第2電極6…と第3電極8との間にはバイアス電圧
が印加され、その極性によって決まるイオンのみが第2
電極6…の開口部6a…内の近傍部位に発生したイオン
から抽出される。そして、抽出されたイオンは絶縁体層
7の開口部7aおよび第3電極8の開口部8a…を通過
し、図示しない誘電体ドラムを局部的に帯電させる。し
たがって、第1電極3…および第2電極6…の選択的駆
動により、誘電体ドラム上にドット潜像を形成すること
ができる。
During operation of the ion flow electrostatic recording head 1, the matrix between the first electrodes 3 ... And the second electrodes 6 ... Is appropriately selected based on the print signal, and the matrix corresponding to the selected matrix portion is selected. An alternating voltage is applied between the first electrode 3 and the second electrode 6. As a result, positive and negative ions are generated in the vicinity of the openings 6a of the second electrodes 6 corresponding to the selected matrix portion. At this time, a bias voltage is applied between the second electrode 6 ...
The ions are extracted from the ions generated in the vicinity of the openings 6a of the electrodes 6 ... Then, the extracted ions pass through the openings 7a of the insulator layer 7 and the openings 8a of the third electrode 8 to locally charge a dielectric drum (not shown). Therefore, a dot latent image can be formed on the dielectric drum by selectively driving the first electrode 3 ... And the second electrode 6 ...

【0024】次に、図1(A),(B)のイオンフロー
静電記録ヘッド1の製造方法について詳細に説明する。
まず、絶縁基板2上に第1電極3…が形成される。この
場合、絶縁基板2は例えば厚さ100μm程度の合成樹
脂材料、例えばポリイミド等のフレキシブル基板(FP
C)が使用される。そして、この絶縁基板2上に厚さ9
μmの銅箔が貼着されたのち、エッチング加工でパター
ニングし、第1電極3…が形成される。
Next, a method of manufacturing the ion flow electrostatic recording head 1 shown in FIGS. 1A and 1B will be described in detail.
First, the first electrodes 3 ... Are formed on the insulating substrate 2. In this case, the insulating substrate 2 is, for example, a synthetic resin material having a thickness of about 100 μm, for example, a flexible substrate (FP such as polyimide).
C) is used. Then, a thickness 9 is formed on the insulating substrate 2.
After the copper foil having a thickness of μm is adhered, patterning is performed by etching to form the first electrodes 3 ...

【0025】また、絶縁基板2上に第1電極3…を形成
した後、絶縁基板2上の第1電極3のパターン間および
第1電極3…上に誘電体層4が形成される。この誘電体
層4の形成時には予めバインダーとしてのシリコーンワ
ニス、例えばES−1001N(信越化学社商品名)
に、高誘電率セラミック粉末、例えば酸化チタン粉をワ
ニスに対して70wt%となるように希釈溶剤カービト
ールアセテイトとを徐々に加えて電動撹拌機あるいはボ
ールミルなどの混練機で混練してペースト状にした誘電
体ペーストを作成する。そして、この誘電体ペーストを
第1電極3…のパターン間の絶縁基板2上および第1電
極3…上にスクリーン印刷法で膜厚30μmになるよう
に塗布する(誘電体ペースト積層工程)。
Further, after forming the first electrodes 3 on the insulating substrate 2, the dielectric layer 4 is formed between the patterns of the first electrodes 3 on the insulating substrate 2 and on the first electrodes 3. When forming the dielectric layer 4, a silicone varnish as a binder is previously used, for example, ES-1001N (trade name of Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
Then, a high-dielectric-constant ceramic powder, for example, titanium oxide powder, is gradually added to the varnish with a diluting solvent, carbitol acetate, and kneaded with a kneader such as an electric stirrer or a ball mill to form a paste. Create the dielectric paste. Then, this dielectric paste is applied to the insulating substrate 2 between the patterns of the first electrodes 3 and the first electrodes 3 so as to have a film thickness of 30 μm by a screen printing method (dielectric paste laminating step).

【0026】さらに、誘電体ペーストの塗布後、100
℃で5分間加熱し、誘電体ペースト中に含有する溶剤を
揮発、除去するとともに、シリコーンレジンを半硬化さ
せて、表面に粘着性を持った誘電体層4を図2(A)に
示すように形成する。
Further, after applying the dielectric paste, 100
As shown in FIG. 2 (A), by heating for 5 minutes at ℃, the solvent contained in the dielectric paste is volatilized and removed, and the silicone resin is semi-cured to make the dielectric layer 4 having adhesiveness on the surface. To form.

【0027】続いて、この誘電体層4の表面の固着面5
上には第2電極6…が固着される。この第2電極6…は
予め厚さ30μmのステンレス箔をフォトエッチング等
で複数の第2電極6…および各第2電極6の開口部6a
…の電極パターンがそれぞれパターニングされた電極板
によって形成されている。そして、この第2電極6…の
電極板は図2(B)に示すように第2電極6…の各開口
部6a…を複数の第1電極3…に位置合わせした状態
で、半硬化状態の誘電体層4の固着面5上にかぶせら
れ、圧着して接合される(第2電極接合工程)。
Subsequently, the fixed surface 5 on the surface of the dielectric layer 4
The second electrodes 6 are fixed on the top. The second electrodes 6 are formed by previously etching a stainless steel foil having a thickness of 30 μm by photo-etching or the like to form a plurality of second electrodes 6 ...
The electrode patterns of ... Are formed by patterned electrode plates. The electrode plate of the second electrodes 6 ... Is in a semi-cured state in a state where the openings 6a of the second electrodes 6 are aligned with the plurality of first electrodes 3 as shown in FIG. 2B. It is put on the fixed surface 5 of the dielectric layer 4 and bonded by pressure bonding (second electrode bonding step).

【0028】さらに、誘電体層4と第2電極6…との接
合後、誘電体層4を150℃で5時間加熱することによ
り、誘電体ペーストが完全に硬化されて図2(C)に示
すように誘電体層4上に第2電極6…が固着される(第
2電極固着工程)。
Further, after the dielectric layer 4 and the second electrode 6 are joined, the dielectric layer 4 is heated at 150 ° C. for 5 hours, whereby the dielectric paste is completely hardened, and as shown in FIG. As shown, the second electrodes 6 ... Are fixed on the dielectric layer 4 (second electrode fixing step).

【0029】次に、この第2電極6…およびこの第2電
極6…の各開口部6a…内の誘電体層4の上に絶縁体層
7を形成する例えば厚さ100μm程度の感光性絶縁フ
ィルム(ソルダーレジスト)を真空ラミネートする。さ
らに、この感光性絶縁フィルムに露光・現像等のフォト
エッチング処理を施して複数の第2電極6…の開口部6
a…と対応した開口部7aを形成する。
Next, an insulating layer 7 is formed on the dielectric layer 4 inside the second electrodes 6 ... And the openings 6a of the second electrodes 6 ... For example, a photosensitive insulating layer having a thickness of about 100 μm. The film (solder resist) is vacuum laminated. Further, the photosensitive insulating film is subjected to photoetching treatment such as exposure and development, and the openings 6 of the plurality of second electrodes 6 ...
An opening 7a corresponding to a ... Is formed.

【0030】また、このように形成された絶縁体層7の
上に例えば厚さ30μm程度のステンレス箔に第2電極
6…の開口部6a…と対応した開口部8a…が形成され
た第3電極8が接合される。この場合、第3電極8は絶
縁体層7との接合面側における開口部8a…を除く部分
に粘着剤が塗布され、加熱硬化される。そして、この第
3電極8はその開口部8a…を第2電極6…の開口部6
a…と対応させた状態で位置決めして重ね合わされるこ
とにより、イオンフロ−静電記録ヘッド1が製造され
る。
Further, on the insulator layer 7 thus formed, for example, a stainless foil having a thickness of about 30 μm is provided with openings 8a ... Corresponding to the openings 6a ... of the second electrodes 6 ... The electrode 8 is joined. In this case, the third electrode 8 is heat-cured by applying an adhesive to the portion of the third electrode 8 on the side of the joint surface with the insulating layer 7 except the openings 8a. The opening 8a of the third electrode 8 is formed in the opening 6 of the second electrode 6.
The ion flow electrostatic recording head 1 is manufactured by positioning and superposing in a state corresponding to a.

【0031】なお、第3電極8を絶縁体層7の上に積層
する手段として粘着剤を用いたが、両面テープを用いて
も良い。さらに、単に重ね合わせた第3電極8の上か
ら、片面テープで絶縁体層7に貼付けても良い。
Although the adhesive was used as a means for laminating the third electrode 8 on the insulator layer 7, a double-sided tape may be used. Further, the third electrode 8 simply stacked may be attached to the insulator layer 7 with a single-sided tape.

【0032】そこで、上記構成のものにあってはイオン
フロー静電記録ヘッド1の誘電体層4を形成する誘電体
ペースト中にバインダーとして含有させたシリコーンワ
ニスはシリコーン粘着剤のタッキファイヤー(粘着性付
与)成分として使用されるように、半硬化状態ではシリ
コーン系感圧粘着剤より強い粘着性を持っているので、
誘電体層4が半硬化状態の時に第2電極6…を固着し、
この後に誘電体層4の誘電体ペーストの完全硬化を行な
うことにより、第2電極6…を誘電体層4の固着面5上
に強固に固着することができる。
Therefore, in the above structure, the silicone varnish contained as a binder in the dielectric paste forming the dielectric layer 4 of the ion flow electrostatic recording head 1 is a tackifier (adhesiveness) of a silicone adhesive. Since it has stronger adhesiveness than the silicone-based pressure-sensitive adhesive in the semi-cured state as used as a (giving) component,
When the dielectric layer 4 is in a semi-cured state, the second electrodes 6 ...
After that, by completely curing the dielectric paste of the dielectric layer 4, the second electrodes 6 can be firmly fixed onto the fixing surface 5 of the dielectric layer 4.

【0033】そのため、第2電極6…を誘電体層4に固
着する際に従来、必要になっていたイオン発生を妨げる
接着剤層を省略して第2電極6…の各開口部6a…内の
接着剤を除去する工程を不要にすることができるので、
イオンフロー静電記録ヘッド1の製造時間を短縮するこ
とができる。
Therefore, when the second electrodes 6 ... Are fixed to the dielectric layer 4, the adhesive layer that hinders the generation of ions, which has been conventionally required, is omitted, and the openings 6a. Since the step of removing the adhesive of can be eliminated,
The manufacturing time of the ion flow electrostatic recording head 1 can be shortened.

【0034】さらに、第2電極6…の各開口部6a…内
に従来のような接着剤の除去むらや除去残りが生じるお
それがないので、イオンフロー静電記録ヘッド1の動作
時にはイオンを発生しやすく、均一な放電を得ることが
でき、画像の高画品質化を図ることができる。
Further, since there is no risk of uneven removal or residual removal of the adhesive in the openings 6a of the second electrodes 6 ..., Ions are generated during the operation of the ion flow electrostatic recording head 1. It is possible to obtain a uniform discharge and improve the image quality of an image.

【0035】また、イオンフロー静電記録ヘッド1の誘
電体層4を形成する誘電体ペースト中にバインダーとし
て含有させたシリコーンワニスは一般的に、耐熱性、耐
コロナ放電性、電気絶縁性、耐薬品性などに優れている
ので、誘電体ペーストを完全硬化させて形成された誘電
体層4によってイオンフロー静電記録ヘッド1の動作時
にイオン発生時の発熱やコロナ放電対して優れた耐久性
を得ることができるとともに、イオンフロー静電記録ヘ
ッド1の製造時の後工程で使用されるエッチング液に対
して優れた耐食性を得ることができる。
The silicone varnish contained as a binder in the dielectric paste forming the dielectric layer 4 of the ion flow electrostatic recording head 1 generally has heat resistance, corona discharge resistance, electrical insulation and resistance. Since it has excellent chemical properties, the dielectric layer 4 formed by completely curing the dielectric paste provides excellent durability against heat generation and corona discharge when ions are generated during operation of the ion flow electrostatic recording head 1. In addition to being able to obtain, it is possible to obtain excellent corrosion resistance with respect to the etching liquid used in the subsequent process at the time of manufacturing the ion flow electrostatic recording head 1.

【0036】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。これは、イオンフロー静電記録ヘッド1の誘電体
層4を形成する誘電体ペーストを変更したものである。
すなわち、この実施例ではバインダーのシリコーンワニ
スとしてSR2406(東レ・ダウコーニング社商品
名)を使用し、希釈溶剤としてトルエンを用い、高誘電
率セラミック粉末として酸化チタン粉をバインダーに対
し70wt%を加え混練してペースト状にした誘電体ペ
ーストを作成する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. This is a modification of the dielectric paste forming the dielectric layer 4 of the ion flow electrostatic recording head 1.
That is, in this example, SR2406 (trade name of Toray Dow Corning Co., Ltd.) was used as the silicone varnish of the binder, toluene was used as the diluting solvent, and titanium oxide powder was added as the high dielectric constant ceramic powder in an amount of 70 wt% with respect to the binder and kneaded. Then, a paste-like dielectric paste is prepared.

【0037】そして、この誘電体ペーストを第1電極3
…のパターン間の絶縁基板2上および第1電極3…上に
スクリーン印刷法で膜厚30μmになるように塗布した
後、100℃で1時間加熱し、誘電体ペースト中に含有
する溶剤を揮発、除去するとともに、シリコーンレジン
を半硬化させて、誘電体ペーストの表面に粘着性を持っ
た固着面5を形成する。
Then, this dielectric paste is applied to the first electrode 3
After being applied to the insulating substrate 2 and the first electrode 3 between the patterns by a screen printing method so as to have a film thickness of 30 μm, it is heated at 100 ° C. for 1 hour to volatilize the solvent contained in the dielectric paste. , And the silicone resin is semi-cured to form the adhesive sticking surface 5 on the surface of the dielectric paste.

【0038】次に、予めパターニングしてある第2電極
6…の接着面に、図3(A)に示すように、SRX67
(東レ・ダウコーニング社商品名)をトルエンで0.5
wt%に希釈した硬化促進剤11を塗布する。
Next, as shown in FIG. 3 (A), SRX67 is formed on the bonding surface of the second electrodes 6 ...
(Toray Dow Corning's trade name) 0.5 with toluene
The hardening accelerator 11 diluted to wt% is applied.

【0039】さらに、塗布された硬化促進剤11を常温
で乾燥させたのち、この第2電極6…の硬化促進剤11
の塗布面を誘電体層4にかぶせ、圧着し、図3(B)に
示すように、誘電体層4の固着面5上に第2電極6…を
接合する。この状態で、半硬化状態の誘電体ペーストを
150℃で2時間加熱して完全に硬化させることによ
り、誘電体層4上に第2電極6…が固着される。他の工
程は、第1の実施例と同様である。
Further, after the applied curing accelerator 11 is dried at room temperature, the curing accelerator 11 for the second electrodes 6 ...
The coated surface is covered with the dielectric layer 4 and pressure-bonded, and the second electrodes 6 ... Are bonded to the fixed surface 5 of the dielectric layer 4 as shown in FIG. In this state, the semi-hardened dielectric paste is heated at 150 ° C. for 2 hours to be completely hardened, whereby the second electrodes 6 are fixed on the dielectric layer 4. The other steps are the same as those in the first embodiment.

【0040】そこで、上記構成のものにあっては第2電
極6…に塗布された硬化促進剤11との接触によって誘
電体層4の固着面5の硬化を短時間で進ませることがで
きるので、第2電極6…を誘電体層4の固着面5に接合
させた後、半硬化状態の誘電体層4が完全硬化するまで
の間に、何らかの原因で外力を受け、第2電極6…が正
規の固着位置から移動してずれるおそれが少ない。
Therefore, in the case of the above-mentioned structure, the fixing surface 5 of the dielectric layer 4 can be cured in a short time by contact with the curing accelerator 11 applied to the second electrodes 6. , The second electrode 6 ... Is joined to the fixed surface 5 of the dielectric layer 4 and, until the semi-cured dielectric layer 4 is completely cured, an external force is applied to the second electrode 6 ... Is less likely to move and shift from the proper fixing position.

【0041】さらに、第1の実施例と同様に、誘電体層
4と第2電極6…との間にイオン発生を妨げる接着剤層
が不要になると同時に、接着剤を除去する工程が不要に
なるため、イオンフロ−静電記録ヘッド1の製造時間を
短縮することができるとともに、イオンフロ−静電記録
ヘッド1の動作時にはイオン発生がしやすく、均一な放
電を得ることができ、画像の高画品質化を図ることがで
きる。
Further, as in the first embodiment, the adhesive layer for preventing the generation of ions is not required between the dielectric layer 4 and the second electrodes 6 ... At the same time, the step of removing the adhesive is not required. Therefore, the manufacturing time of the ion flow electrostatic recording head 1 can be shortened, ions can be easily generated during the operation of the ion flow electrostatic recording head 1, and uniform discharge can be obtained, so that a high image quality can be obtained. Quality can be improved.

【0042】なお、この発明は上記実施例に限定される
ものではない。例えば、誘電体ペーストは誘電率の大き
い無機物微粉末を溶剤を含むシリコーンワニス中に分散
させたペースト状のもので、誘電体粉末としては、酸化
チタン以外にも、チタン酸バリウム、ジルコン酸鉛等を
用いることができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the dielectric paste is a paste-like paste in which inorganic fine powder having a large dielectric constant is dispersed in a silicone varnish containing a solvent, and as the dielectric powder, besides titanium oxide, barium titanate, lead zirconate, etc. Can be used.

【0043】また、有機高分子材料のシリコーンワニス
を溶解する有機溶剤としてはカービトールアセテイト、
トルエン以外にも、キシレン等の有機溶剤を用いること
ができる。さらに、その他この発明の要旨を逸脱しない
範囲で種々の変形実施できることは勿論である。
Further, as the organic solvent for dissolving the silicone varnish of the organic polymer material, carbitol acetate,
Other than toluene, an organic solvent such as xylene can be used. Further, it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明によれば高誘電率セラミック粉末
を充填し、シリコーンワニスをバインダーとする誘電体
ペーストを絶縁基板上およびこの絶縁基板上に積層され
た第1電極の上に塗布する誘電体ペースト積層工程と、
誘電体ペーストを半硬化させたのち、この半硬化した誘
電体ペースト表面の粘着性の固着面上に第2電極を接合
する第2電極接合工程と、第2電極の接合後、誘電体ペ
ーストを完全に硬化させて誘電体層上に第2電極を固着
する第2電極固着工程とを設けたので、接着剤を用いず
に第2電極を誘電体層に固着することができ、第2電極
の各開口部内の接着剤層を除去する作業を省略して製造
工程を短縮することができるうえ、イオン発生のばらつ
きを防止して均一な放電特性を得ることができ、画質の
高画品質化を図ることができる。
According to the present invention, a high dielectric constant ceramic powder is filled and a dielectric paste containing silicone varnish as a binder is applied on an insulating substrate and a first electrode laminated on the insulating substrate. Body paste lamination process,
After the dielectric paste is semi-cured, the second electrode bonding step of bonding the second electrode on the sticky fixing surface of the semi-cured dielectric paste surface, and after the bonding of the second electrode, the dielectric paste is Since the second electrode fixing step of completely curing and fixing the second electrode on the dielectric layer is provided, the second electrode can be fixed to the dielectric layer without using an adhesive. The manufacturing process can be shortened by omitting the work of removing the adhesive layer in each opening, and the uniform discharge characteristics can be obtained by preventing the dispersion of the ion generation, which improves the image quality of the image. Can be planned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明の第1の実施例を示すもので、
(A)はイオンフロ−静電記録ヘッドの概略構成を示す
要部の縦断面図、(B)はイオンフロ−静電記録ヘッド
の断面斜視図。
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention,
FIG. 1A is a vertical cross-sectional view of a main part showing a schematic configuration of an ion flow electrostatic recording head, and FIG. 1B is a cross-sectional perspective view of the ion flow electrostatic recording head.

【図2】 イオンフロー静電記録ヘッドの製造作業を説
明するもので、(A)は第1電極および絶縁基板上に誘
電体ペーストを積層させた状態を示す要部の縦断面図、
(B)は誘電体層上に第2電極を接合する第2電極の接
合工程を示す要部の縦断面図、(C)は第2電極を誘電
体層に固着させた状態を示す要部の縦断面図。
2A and 2B are views for explaining a manufacturing operation of an ion flow electrostatic recording head, in which FIG. 2A is a longitudinal sectional view of a main part showing a state where a dielectric paste is laminated on a first electrode and an insulating substrate;
(B) is a longitudinal cross-sectional view of a main part showing a bonding step of the second electrode for bonding the second electrode on the dielectric layer, and (C) is a main part showing a state in which the second electrode is fixed to the dielectric layer. FIG.

【図3】 この発明の第2の実施例を示すもので、
(A)は誘電体層上に第2電極を接合する第2電極の接
合工程を示す要部の縦断面図、(B)は第2電極を誘電
体層に固着させた状態を示す要部の縦断面図。
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention,
(A) is a longitudinal cross-sectional view of a main part showing a bonding step of the second electrode for bonding the second electrode on the dielectric layer, and (B) is a main part showing a state in which the second electrode is fixed to the dielectric layer. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…絶縁基板,3…第1電極,4…誘電体層,5…固着
面,6…第2電極,6a,7a,8a…開口部,7…絶
縁体層,8…第3電極。
2 ... Insulating substrate, 3 ... 1st electrode, 4 ... Dielectric layer, 5 ... Fixed surface, 6 ... 2nd electrode, 6a, 7a, 8a ... Opening part, 7 ... Insulator layer, 8 ... 3rd electrode.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁基板上に同方向に略直線状に延設さ
れ、略平行に並設された複数の第1電極と、これらの第
1電極と交差する方向に延設され、前記第1電極ととも
にマトリックスを形成し、このマトリックスに対応する
部位に開口部が形成された複数の第2電極と、この第2
電極に対して前記第1電極とは反対側に配置され、前記
マトリックスと対応する部位に開口部が形成された第3
電極と、前記第1電極と第2電極との間に設けられた誘
電体層と、前記第2電極と第3電極との間に設けられ、
前記マトリックスに対応する部位に開口部が形成された
絶縁体層とを備えたイオンフロー静電記録ヘッドの本体
を製造するイオンフロー静電記録ヘッドの製造方法にお
いて、高誘電率セラミック粉末を充填し、シリコーンワ
ニスをバインダーとする誘電体ペーストを前記絶縁基板
上およびこの絶縁基板上に積層された前記第1電極の上
に塗布する誘電体ペースト積層工程と、前記誘電体ペー
ストを半硬化させたのち、この半硬化した誘電体ペース
ト表面の粘着性の固着面上に前記第2電極を接合する第
2電極接合工程と、前記第2電極の接合後、前記誘電体
ペーストを完全に硬化させて前記誘電体層上に前記第2
電極を固着する第2電極固着工程とを設けたことを特徴
とするイオンフロー静電記録ヘッドの製造方法。
1. A plurality of first electrodes that extend in a substantially straight line in the same direction on an insulating substrate and are arranged in parallel in a substantially parallel manner, and a plurality of first electrodes that extend in a direction intersecting the first electrodes. A matrix is formed with one electrode, and a plurality of second electrodes each having an opening formed at a portion corresponding to the matrix, and a plurality of second electrodes.
A third electrode, which is disposed on the opposite side of the first electrode with respect to the electrode and has an opening formed in a portion corresponding to the matrix.
An electrode, a dielectric layer provided between the first electrode and the second electrode, and a dielectric layer provided between the second electrode and the third electrode,
An ion flow electrostatic recording head manufacturing method for manufacturing a body of an ion flow electrostatic recording head comprising an insulator layer having an opening formed in a portion corresponding to the matrix, in which a high dielectric constant ceramic powder is filled. A dielectric paste laminating step of applying a dielectric paste using a silicone varnish as a binder on the insulating substrate and on the first electrode laminated on the insulating substrate, and after semi-curing the dielectric paste. A second electrode bonding step of bonding the second electrode on the tacky sticking surface of the semi-cured dielectric paste surface, and after the bonding of the second electrode, the dielectric paste is completely hardened. The second layer on the dielectric layer
A method of manufacturing an ion flow electrostatic recording head, comprising a second electrode fixing step of fixing an electrode.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5601684A (en) * 1992-09-03 1997-02-11 Olympus Optical Co., Ltd. Method for manufacturing an ion flow electrostatic recording head

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