JPH05217536A - 電子顕微鏡の絞り装置 - Google Patents
電子顕微鏡の絞り装置Info
- Publication number
- JPH05217536A JPH05217536A JP4017425A JP1742592A JPH05217536A JP H05217536 A JPH05217536 A JP H05217536A JP 4017425 A JP4017425 A JP 4017425A JP 1742592 A JP1742592 A JP 1742592A JP H05217536 A JPH05217536 A JP H05217536A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- holes
- diaphragm plate
- electron beam
- plate
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】透過型電子顕微鏡の絞り機構において、複数の
絞り板を同時に用いて絞り機構とすることにより、観察
に最適な絞りを提供する。 【構成】透過型電子顕微鏡の電子線の光路上において、
複数の絞り板と、その各々を目的とする位置へと保持す
るための保持機構よりなる。
絞り板を同時に用いて絞り機構とすることにより、観察
に最適な絞りを提供する。 【構成】透過型電子顕微鏡の電子線の光路上において、
複数の絞り板と、その各々を目的とする位置へと保持す
るための保持機構よりなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術では電子線の一部を遮りたい場
合、電子線の行路上に穴のあいた板すなわち絞り板を用
意して絞り板とし、それを保持し位置ぎめをする保持機
構によって目的とする位置に挿入するような絞り装置を
用いていた。絞り板には複数の穴があけられその穴の大
きさを選択することにより、電子線を遮る範囲の大きさ
を選択していた。
合、電子線の行路上に穴のあいた板すなわち絞り板を用
意して絞り板とし、それを保持し位置ぎめをする保持機
構によって目的とする位置に挿入するような絞り装置を
用いていた。絞り板には複数の穴があけられその穴の大
きさを選択することにより、電子線を遮る範囲の大きさ
を選択していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の絞り装置におい
て、絞り板上にあける絞り穴は同時に電子線が透過しな
いように充分その間隔をとる必要がある。その一方保持
機構の可動距離は有限であり、大きな絞り板を電子顕微
鏡内に挿入することができないことなどから、多くの絞
り穴を絞り板にあけることができない。そのため、絞り
を選択できる種類が数種類に限られてしまう。その結
果、観察に適当な絞りを用意することができず、各々の
絞り装置について次の様な問題が生じていた。
て、絞り板上にあける絞り穴は同時に電子線が透過しな
いように充分その間隔をとる必要がある。その一方保持
機構の可動距離は有限であり、大きな絞り板を電子顕微
鏡内に挿入することができないことなどから、多くの絞
り穴を絞り板にあけることができない。そのため、絞り
を選択できる種類が数種類に限られてしまう。その結
果、観察に適当な絞りを用意することができず、各々の
絞り装置について次の様な問題が生じていた。
【０００４】対物絞りでは、適当な絞りの大きさが用意
できない場合、意図しない回折スポットまで結像に寄与
してしまい最終像となっていた。電子線損失分光を行う
場合は、対物絞りがスペクトルの取り込み角を決定して
しまうが、適当な取り込み角でないと、得られたスペク
トルの定量性が保証されない。視野絞りでは制限視野回
折図形を得る領域を設定するが、適当な大きさの絞り穴
が用意できない場合、目的とする部分だけの制限視野回
折図形がとれない。コンデンサー絞りにおいては、絞り
を変更することは試料に入射する電子線束の開き角を変
更することに対応し、最終像の明るさや試料に入射する
電子線量を設定することに対応する。また収束電子線回
折法を行う場合には開き角が収束電子回折図形のディス
クの大ききとなることから、開き角を最適化する必要が
あるが、数種類の絞りの穴径では適当な開き角を用意す
ることができない。
できない場合、意図しない回折スポットまで結像に寄与
してしまい最終像となっていた。電子線損失分光を行う
場合は、対物絞りがスペクトルの取り込み角を決定して
しまうが、適当な取り込み角でないと、得られたスペク
トルの定量性が保証されない。視野絞りでは制限視野回
折図形を得る領域を設定するが、適当な大きさの絞り穴
が用意できない場合、目的とする部分だけの制限視野回
折図形がとれない。コンデンサー絞りにおいては、絞り
を変更することは試料に入射する電子線束の開き角を変
更することに対応し、最終像の明るさや試料に入射する
電子線量を設定することに対応する。また収束電子線回
折法を行う場合には開き角が収束電子回折図形のディス
クの大ききとなることから、開き角を最適化する必要が
あるが、数種類の絞りの穴径では適当な開き角を用意す
ることができない。
【０００５】試料に入射する電子線束の開き角を変更す
ることは、特開平1−159943 号の公知例により、絞りを
通過した後の電子線の縮小率を変化させることによっ
て、電子線束の開き角を変化させ得ることが示されてい
る。しかしその際、絞り装置の下の電磁レンズの励磁を
変えてしまうため、電磁レンズや偏向系の繁雑な軸調整
もやり直さなくてはならないという問題を抱えていた。
ることは、特開平1−159943 号の公知例により、絞りを
通過した後の電子線の縮小率を変化させることによっ
て、電子線束の開き角を変化させ得ることが示されてい
る。しかしその際、絞り装置の下の電磁レンズの励磁を
変えてしまうため、電磁レンズや偏向系の繁雑な軸調整
もやり直さなくてはならないという問題を抱えていた。
【０００６】また穴の大きさを機械的に連続的に変化さ
せる機構をつくるには、その絞り径が大きいもので数１
００μｍ、小さいものだと５μｍ程度であることから困
難である。
せる機構をつくるには、その絞り径が大きいもので数１
００μｍ、小さいものだと５μｍ程度であることから困
難である。
【０００７】本発明の目的は、電子顕微鏡の絞り機構に
おいて、多くの絞りを用意し観察に最適の絞りを提供す
ることにある。
おいて、多くの絞りを用意し観察に最適の絞りを提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の絞り装置におい
ては、大きさの異なる穴をあけた絞り板と、それを保持
し目的の位置に挿入する保持機構とからなる。絞り板は
複数存在しそれぞれ独立に保持機構により保持される。
ては、大きさの異なる穴をあけた絞り板と、それを保持
し目的の位置に挿入する保持機構とからなる。絞り板は
複数存在しそれぞれ独立に保持機構により保持される。
【０００９】
【作用】複数の絞り板のうち一方は観察に適当な大きさ
の電子線のみ透過させる。絞り板のうちもう一方の絞り
板は透過してきた電子線のうち更に必要な部分のみ透過
させる。
の電子線のみ透過させる。絞り板のうちもう一方の絞り
板は透過してきた電子線のうち更に必要な部分のみ透過
させる。
【００１０】
【実施例】以下図面を参照しつつ実施例を説明する。図
１は本発明の全体図を示したものである。１は上の絞り
板、２は上の絞り板の保持機構、３は上の絞り板の絞り
穴、４は下の絞り板、５は下の絞り板の保持機構、６は
下の絞り板の絞り穴、７は電子線である。
１は本発明の全体図を示したものである。１は上の絞り
板、２は上の絞り板の保持機構、３は上の絞り板の絞り
穴、４は下の絞り板、５は下の絞り板の保持機構、６は
下の絞り板の絞り穴、７は電子線である。
【００１１】電子線７はまず上の絞り板１によって大間
かに制限される。絞り穴３を透過した電子線は更に下の
絞り板４によって制限され、目的とする電子線のみが通
るように設定できる。下の絞り板には多くの絞り穴６が
用意されており、図１の場合には３列×４段の１２個用
意されている。各々の絞り板はそれぞれ独立に上の絞り
板の保持機構２，下の絞り板の保持機構５によって独立
に保持され、適当な位置に挿入される。
かに制限される。絞り穴３を透過した電子線は更に下の
絞り板４によって制限され、目的とする電子線のみが通
るように設定できる。下の絞り板には多くの絞り穴６が
用意されており、図１の場合には３列×４段の１２個用
意されている。各々の絞り板はそれぞれ独立に上の絞り
板の保持機構２，下の絞り板の保持機構５によって独立
に保持され、適当な位置に挿入される。
【００１２】図２は上の絞り板と下の絞り板の絞り穴の
配置を示したものである。上の絞り板１には電子線が同
時に２ケ所を透過しないように充分大きく（例えば５ｍ
ｍ）絞り穴のピッチｐがとってある。下の絞り板には３
列×４段の１２種の絞り穴が開けてある。各段の絞り穴
のピッチｐｙは上の絞り板の絞り穴のピッチｐと一致さ
せてある。また各列の絞り穴のピッチは比較的小さい
（例えば０.５ ｍｍ）。下の絞り板のみを電子線の光路
に挿入した場合、各列の絞り穴のピッチｐｘが充分とら
れていないため、隣接する複数の絞り穴を電子線が透過
してしまうが、本発明では上の絞り板によってある程度
制限されているため、そのようなことが起こらない。
配置を示したものである。上の絞り板１には電子線が同
時に２ケ所を透過しないように充分大きく（例えば５ｍ
ｍ）絞り穴のピッチｐがとってある。下の絞り板には３
列×４段の１２種の絞り穴が開けてある。各段の絞り穴
のピッチｐｙは上の絞り板の絞り穴のピッチｐと一致さ
せてある。また各列の絞り穴のピッチは比較的小さい
（例えば０.５ ｍｍ）。下の絞り板のみを電子線の光路
に挿入した場合、各列の絞り穴のピッチｐｘが充分とら
れていないため、隣接する複数の絞り穴を電子線が透過
してしまうが、本発明では上の絞り板によってある程度
制限されているため、そのようなことが起こらない。
【００１３】この様に２枚の絞り板を同時に使うことに
よって、電子顕微鏡に挿入できる有限の大きさの絞り板
でも、従来よりも格段に多くの絞り穴を用意することが
でき、観察に適当な絞り穴を用意することができるよう
になる。
よって、電子顕微鏡に挿入できる有限の大きさの絞り板
でも、従来よりも格段に多くの絞り穴を用意することが
でき、観察に適当な絞り穴を用意することができるよう
になる。
【００１４】図３は他の実施例を示したものである。８
は微動機構、９は粗動機構、１０は補助微動機構であ
る。図１の実施例とは絞り板の保持機構の動作が異なる
ものである。上の絞り板は粗動機構により絞り板のピッ
チｐに合わせて不連続的に粗動する。正確な絞りの位置
決めすなわち微動はその粗動機構に保持された微動機構
によって行われる。これらにより所望の列の絞り穴の４
つを使用できる。他の列の絞りを使用したい場合には、
補助微動機構をｘ方向にのみ動かす。絞りの各列のピッ
チｐｘ分だけ補助微動機構によりずらすことにより他の
列の絞りを使うことができる。この補助微動機構は微動
機構に固定されていることから、いったん補助微動機構
を調整し目的にあった絞りの列を選択した後は、微動機
構と粗動機構のみで、従来の絞り装置と同様の使用が可
能となる。この実施例では補助微動装置はｘ方向しか動
かないが、ｙ方向にも動かせるようにすることで更に多
数の絞りを用意することができる。
は微動機構、９は粗動機構、１０は補助微動機構であ
る。図１の実施例とは絞り板の保持機構の動作が異なる
ものである。上の絞り板は粗動機構により絞り板のピッ
チｐに合わせて不連続的に粗動する。正確な絞りの位置
決めすなわち微動はその粗動機構に保持された微動機構
によって行われる。これらにより所望の列の絞り穴の４
つを使用できる。他の列の絞りを使用したい場合には、
補助微動機構をｘ方向にのみ動かす。絞りの各列のピッ
チｐｘ分だけ補助微動機構によりずらすことにより他の
列の絞りを使うことができる。この補助微動機構は微動
機構に固定されていることから、いったん補助微動機構
を調整し目的にあった絞りの列を選択した後は、微動機
構と粗動機構のみで、従来の絞り装置と同様の使用が可
能となる。この実施例では補助微動装置はｘ方向しか動
かないが、ｙ方向にも動かせるようにすることで更に多
数の絞りを用意することができる。
【００１５】図４はまた他の実施例である。１１は半固
定絞り板、１２はその保持機構、１３は首ふり機構、１
４はその首ふり運動の軸である。上の半固定絞りには穴
は一つ以上あればよい。この半固定絞りの穴を比較的小
さくすることにより、絞り板４の絞り穴のピッチが狭く
ても、絞り同時に電子線が透過しないようにすることが
できる。ただし常に固定絞りがあると、例えば軸調整を
する時など支障をきたすため、その絞り板１１は可動と
し、絞り板４を電子線光路より完全に外す場合にのみ、
その首ふり機構によって電子線光路より外れるようにす
る。
定絞り板、１２はその保持機構、１３は首ふり機構、１
４はその首ふり運動の軸である。上の半固定絞りには穴
は一つ以上あればよい。この半固定絞りの穴を比較的小
さくすることにより、絞り板４の絞り穴のピッチが狭く
ても、絞り同時に電子線が透過しないようにすることが
できる。ただし常に固定絞りがあると、例えば軸調整を
する時など支障をきたすため、その絞り板１１は可動と
し、絞り板４を電子線光路より完全に外す場合にのみ、
その首ふり機構によって電子線光路より外れるようにす
る。
【００１６】また、他の実施例としては、前記の絞り機
構において、上下の絞りの穴を中心をずらして重ねるこ
とにより円形ではないにせよ極めて小さな絞りをつくる
ことができる。また絞り板とその保持機構の数を増やす
ことにより従来の絞り装置の技術を使ってほぼ円形の絞
りを連続的につくることができる。また、同じ位置に２
枚の絞り板を挿入する空間がない場合には、上の絞り板
と下の絞り板との間に電磁レンズ等があってもよい。
構において、上下の絞りの穴を中心をずらして重ねるこ
とにより円形ではないにせよ極めて小さな絞りをつくる
ことができる。また絞り板とその保持機構の数を増やす
ことにより従来の絞り装置の技術を使ってほぼ円形の絞
りを連続的につくることができる。また、同じ位置に２
枚の絞り板を挿入する空間がない場合には、上の絞り板
と下の絞り板との間に電磁レンズ等があってもよい。
【００１７】
【発明の効果】透過型電子顕微鏡の観察時に、コンデン
サー絞りをはじめとして対物絞りや制限視野絞りにおい
て、観察に最適な絞り穴を提供するものであり、効果が
大きい。
サー絞りをはじめとして対物絞りや制限視野絞りにおい
て、観察に最適な絞り穴を提供するものであり、効果が
大きい。
【図１】本発明の全体図である。
【図２】絞り板の説明図である。
【図３】他の実施例を示す図である。
【図４】他の実施例を示す図である。
１…上の絞り板、２…上の保持機構、３…上の絞り穴、
４…下の絞り板、５…下の保持機構、６…下の絞り穴、
７…電子線、８…微動機構、９…粗動機構、１０…補助
微動機構、１１…半固定絞り板、１２…その保持機構、
１３…首ふり機構、１４…首ふり運動の軸。
４…下の絞り板、５…下の保持機構、６…下の絞り穴、
７…電子線、８…微動機構、９…粗動機構、１０…補助
微動機構、１１…半固定絞り板、１２…その保持機構、
１３…首ふり機構、１４…首ふり運動の軸。
Claims (3)
- 【請求項１】電子顕微鏡において、複数の絞り板を同時
に用いて絞り装置とすることを特徴とする電子顕微鏡の
絞り装置。 - 【請求項２】一方の絞り板にあける絞り穴の間隔を、も
う一方の絞り穴の大きさよりも大きくしたことを特徴と
する請求項１記載の電子顕微鏡の絞り装置。 - 【請求項３】請求項１記載の絞り装置を具備し電子線の
開き角をほぼ連続的に変化させ得ることを特徴とする収
束電子回折用電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4017425A JPH05217536A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 電子顕微鏡の絞り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4017425A JPH05217536A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 電子顕微鏡の絞り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05217536A true JPH05217536A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=11943662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4017425A Pending JPH05217536A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 電子顕微鏡の絞り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05217536A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084367A3 (fr) * | 2001-04-10 | 2002-12-19 | Vincent Lauer | Ensemble modifiable de trous microscopiques |
| FR2828942A1 (fr) * | 2001-04-10 | 2003-02-28 | Vincent Lauer | Ensemble modifiable de trous microscopiques |
| WO2006011185A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-02 | Fujitsu Limited | 半導体装置の検査方法、その検査装置及びその検査に適した半導体装置 |
| US7319225B2 (en) | 2005-05-10 | 2008-01-15 | Hitachi, Ltd. | Transmission electron microscope |
| CN106711003A (zh) * | 2017-02-15 | 2017-05-24 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种电子源产生装置及电子束控制方法 |
| WO2023032075A1 (ja) * | 2021-09-01 | 2023-03-09 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置 |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP4017425A patent/JPH05217536A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084367A3 (fr) * | 2001-04-10 | 2002-12-19 | Vincent Lauer | Ensemble modifiable de trous microscopiques |
| FR2828942A1 (fr) * | 2001-04-10 | 2003-02-28 | Vincent Lauer | Ensemble modifiable de trous microscopiques |
| EP1770426A1 (fr) * | 2001-04-10 | 2007-04-04 | Vincent Lauer | Ensemble modifiable de trous microscopiques |
| WO2006011185A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-02 | Fujitsu Limited | 半導体装置の検査方法、その検査装置及びその検査に適した半導体装置 |
| JPWO2006011185A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2008-05-01 | 富士通株式会社 | 半導体装置の検査方法、その検査装置及びその検査に適した半導体装置 |
| US7465923B2 (en) | 2004-07-23 | 2008-12-16 | Fujitsu Limited | Testing method for semiconductor device, testing apparatus therefor, and semiconductor device suitable for the test |
| JP4567684B2 (ja) * | 2004-07-23 | 2010-10-20 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 測定方法及び測定装置 |
| US7319225B2 (en) | 2005-05-10 | 2008-01-15 | Hitachi, Ltd. | Transmission electron microscope |
| CN106711003A (zh) * | 2017-02-15 | 2017-05-24 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种电子源产生装置及电子束控制方法 |
| CN106711003B (zh) * | 2017-02-15 | 2019-03-19 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种电子源产生装置及电子束控制方法 |
| WO2023032075A1 (ja) * | 2021-09-01 | 2023-03-09 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置 |
| JPWO2023032075A1 (ja) * | 2021-09-01 | 2023-03-09 |
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