JPH05215135A - ガス圧支承装置 - Google Patents
ガス圧支承装置Info
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- JPH05215135A JPH05215135A JP4205060A JP20506092A JPH05215135A JP H05215135 A JPH05215135 A JP H05215135A JP 4205060 A JP4205060 A JP 4205060A JP 20506092 A JP20506092 A JP 20506092A JP H05215135 A JPH05215135 A JP H05215135A
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- Japan
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- bearing device
- gas pressure
- disc
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- pressure bearing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 極めて高い全強さ及び大きな荷重範囲によっ
て優れており、さらに少ない簡単な構成部材しか有して
いないようなガス圧支承装置を提供する。 【構成】 支承装置が、中央孔４を有する円板３と、支
承しようとする構成部材と結合された基体１に不動に配
置されていて円板をルーズに載せているリング支台６
と、基体内に配置されガス入口８と接続された中央孔７
と、円板３の中央孔４と基体１の中央孔７内に嵌め込ま
れていて支承ギャップ１２にガスを供給するために使用
される挿入体５とから成っており、前記リング支台は特
に有利には、支承しようとする機械構成部材に直接不動
に配置されており、さらに円板は、その支持側に、支承
装置に非常時走行特性を与える被い９を備えている。
て優れており、さらに少ない簡単な構成部材しか有して
いないようなガス圧支承装置を提供する。 【構成】 支承装置が、中央孔４を有する円板３と、支
承しようとする構成部材と結合された基体１に不動に配
置されていて円板をルーズに載せているリング支台６
と、基体内に配置されガス入口８と接続された中央孔７
と、円板３の中央孔４と基体１の中央孔７内に嵌め込ま
れていて支承ギャップ１２にガスを供給するために使用
される挿入体５とから成っており、前記リング支台は特
に有利には、支承しようとする機械構成部材に直接不動
に配置されており、さらに円板は、その支持側に、支承
装置に非常時走行特性を与える被い９を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、支持側がダイヤフラム
として構成されており、このダイヤフラムが支承装置圧
によって凹面状に変形されるようになっているガス圧支
承装置に関する。
として構成されており、このダイヤフラムが支承装置圧
によって凹面状に変形されるようになっているガス圧支
承装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】前述の形式のガス圧支承装置は、簡単か
つ高い精度で基台に沿って移動される機械構成部材を支
承するために使用される。必要な精度を得るために、極
めて高い強さを有する支承装置が必ず使用されており、
この支承装置では支承ギャップは支承装置の荷重に無関
係にほぼ一定に保持される。
つ高い精度で基台に沿って移動される機械構成部材を支
承するために使用される。必要な精度を得るために、極
めて高い強さを有する支承装置が必ず使用されており、
この支承装置では支承ギャップは支承装置の荷重に無関
係にほぼ一定に保持される。
【０００３】このようなガス圧支承装置はドイツ連邦共
和国特許出願公開第３３４３４７０号明細書により公知
である。このような支承装置は、ガス入口を備えていて
かつダイヤフラムと不動に結合されている基体から成っ
ている。結合部材は、傾倒支承装置として作用しかつダ
イヤフラムの変形、特にダイヤフラムの凹面状の変形が
支承装置圧によって可能であるように構成されている。
和国特許出願公開第３３４３４７０号明細書により公知
である。このような支承装置は、ガス入口を備えていて
かつダイヤフラムと不動に結合されている基体から成っ
ている。結合部材は、傾倒支承装置として作用しかつダ
イヤフラムの変形、特にダイヤフラムの凹面状の変形が
支承装置圧によって可能であるように構成されている。
【０００４】このようなガス圧支承装置の全強さは、メ
カニック、即ち支承装置を構成していてかつ支持しよう
とする機械構成部材を有している基体の結合機構によっ
て規定される。しかし、ダイヤフラムの保持のために使
用される傾倒支承装置は、全強さに不都合な影響を及ぼ
す。
カニック、即ち支承装置を構成していてかつ支持しよう
とする機械構成部材を有している基体の結合機構によっ
て規定される。しかし、ダイヤフラムの保持のために使
用される傾倒支承装置は、全強さに不都合な影響を及ぼ
す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、極め
て高い全強さ及び大きな荷重範囲によって優れており、
さらに少ない簡単な構成部材しか有していないようなガ
ス圧支承装置を提供することである。
て高い全強さ及び大きな荷重範囲によって優れており、
さらに少ない簡単な構成部材しか有していないようなガ
ス圧支承装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに講じた本発明の手段は、ダイヤフラムが、貫通する
中央孔を有する円板から成っており、さらに支承装置に
よって支持しようとする機械構成部分と結合された基体
にリング支台が固定されており、該リング支台に円板が
ルーズに載せられており、さらに基体がリング支台の内
側に中央孔を有しており、この中央孔がガス入口と接続
されており、さらに貫通孔を備えた円筒状の挿入体が、
基体及び円板の中央孔内に嵌め込まれていることにあ
る。
めに講じた本発明の手段は、ダイヤフラムが、貫通する
中央孔を有する円板から成っており、さらに支承装置に
よって支持しようとする機械構成部分と結合された基体
にリング支台が固定されており、該リング支台に円板が
ルーズに載せられており、さらに基体がリング支台の内
側に中央孔を有しており、この中央孔がガス入口と接続
されており、さらに貫通孔を備えた円筒状の挿入体が、
基体及び円板の中央孔内に嵌め込まれていることにあ
る。
【０００７】
【発明の効果】本発明によるガス圧支承装置において
は、ダイヤフラムが、リング支台にルーズに載せられか
つ差し込まれた円筒状の挿入体によってのみ保持されか
つ定心されるような特別な構成部材である。このような
円筒状の挿入体を介して、ガスがダイヤフラムの支持側
に供給される。
は、ダイヤフラムが、リング支台にルーズに載せられか
つ差し込まれた円筒状の挿入体によってのみ保持されか
つ定心されるような特別な構成部材である。このような
円筒状の挿入体を介して、ガスがダイヤフラムの支持側
に供給される。
【０００８】リング支台は有利には、支承装置によって
支持しようとする機械構成部材と直接不動に結合されて
いる。この場合、ガス圧支承装置と構成部材との付加的
な機械的結合は省略され、全強さは支承ギャップの伸縮
強さによってのみ規定されている。ルーズに載せられた
ダイヤフラムによって、荷重を受けたダイヤフラムの変
形は、不動に結合されたダイヤフラムを有する支承装置
に較べて明らかに改善されている。しかも、支承ギャッ
プの伸縮強さはネガティブであり、即ち荷重が増大する
につれて支承装置はより一層持ち上げられる。このた
め、ほとんど無限に高い全強さが達成される。
支持しようとする機械構成部材と直接不動に結合されて
いる。この場合、ガス圧支承装置と構成部材との付加的
な機械的結合は省略され、全強さは支承ギャップの伸縮
強さによってのみ規定されている。ルーズに載せられた
ダイヤフラムによって、荷重を受けたダイヤフラムの変
形は、不動に結合されたダイヤフラムを有する支承装置
に較べて明らかに改善されている。しかも、支承ギャッ
プの伸縮強さはネガティブであり、即ち荷重が増大する
につれて支承装置はより一層持ち上げられる。このた
め、ほとんど無限に高い全強さが達成される。
【０００９】リング支台が、支持しようとする機械構成
部材とメカニックを介して結合される基体に不動に配置
されている場合にさえ、ダイヤフラムの改善された機能
によって、即ち支承ギャップの実現されたネガティブな
伸縮強さ及び影響を受けないダイヤフラム可撓性によっ
て、支承装置の全強さは、従来公知のガス圧支承装置に
較べて著しく改善される。
部材とメカニックを介して結合される基体に不動に配置
されている場合にさえ、ダイヤフラムの改善された機能
によって、即ち支承ギャップの実現されたネガティブな
伸縮強さ及び影響を受けないダイヤフラム可撓性によっ
て、支承装置の全強さは、従来公知のガス圧支承装置に
較べて著しく改善される。
【００１０】支承装置の高い強さは、公知の支承装置よ
り大きな荷重範囲での使用を可能にする。例えば、同じ
使用範囲において小さな値で支承することができる。
り大きな荷重範囲での使用を可能にする。例えば、同じ
使用範囲において小さな値で支承することができる。
【００１１】本発明によるガス圧支承装置は、少ない簡
単な構成部材で十分である。ダイヤフラムを簡単に交換
することができ、例えば種々の厚さのダイヤフラムを使
用することができ、あるいは種々の材料から成るダイヤ
フラムを使用することができる。特に有利には、その支
持側に滑り特性を有するプラスチックから成る被いを支
持するダイヤフラムを使用する。このため、支承装置は
非常時でも良好な走行特性を維持する。
単な構成部材で十分である。ダイヤフラムを簡単に交換
することができ、例えば種々の厚さのダイヤフラムを使
用することができ、あるいは種々の材料から成るダイヤ
フラムを使用することができる。特に有利には、その支
持側に滑り特性を有するプラスチックから成る被いを支
持するダイヤフラムを使用する。このため、支承装置は
非常時でも良好な走行特性を維持する。
【００１２】ヨーロッパ特許第２０８１２２号明細書に
より回転する軸のための空気軸受が公知であり、この公
知の空気軸受では、軸に非常時走行特性を有するプラス
チックから成る成形体が差し嵌められている。ポリ塩化
ビニルが使用されると、このポリ塩化ビニルは例えば、
本発明によるガス圧支承装置のダイヤフラムを被覆する
ためにも使用されることができる。
より回転する軸のための空気軸受が公知であり、この公
知の空気軸受では、軸に非常時走行特性を有するプラス
チックから成る成形体が差し嵌められている。ポリ塩化
ビニルが使用されると、このポリ塩化ビニルは例えば、
本発明によるガス圧支承装置のダイヤフラムを被覆する
ためにも使用されることができる。
【００１３】本発明のガス圧支承装置に使用されている
円筒状の挿入体は、リング支台を支持する機械構成部材
へのダイヤフラムの差し嵌めを可能にする。このため、
ダイヤフラムはリング支台に関して定心かつ固定されて
いる。同時に、円筒状の挿入体を介して空気がガス入口
から支承ギャップ内に供給される。挿入体が、ダイヤフ
ラムの支持側寄りの端部にガス出口のために使用される
ノズル挿入体を備えている。ノズル挿入体の構成に応じ
て、一定絞りとしても、及び／又はエアフィルタとして
も使用することができる。
円筒状の挿入体は、リング支台を支持する機械構成部材
へのダイヤフラムの差し嵌めを可能にする。このため、
ダイヤフラムはリング支台に関して定心かつ固定されて
いる。同時に、円筒状の挿入体を介して空気がガス入口
から支承ギャップ内に供給される。挿入体が、ダイヤフ
ラムの支持側寄りの端部にガス出口のために使用される
ノズル挿入体を備えている。ノズル挿入体の構成に応じ
て、一定絞りとしても、及び／又はエアフィルタとして
も使用することができる。
【００１４】円筒状の挿入体の有利な構成が、引用形式
の請求項６に記載されている。
の請求項６に記載されている。
【００１５】室内の圧力がダイヤフラムひいてはダイヤ
フラムの変形を介して影響されるようにガス圧支承装置
を構成することができる。
フラムの変形を介して影響されるようにガス圧支承装置
を構成することができる。
【００１６】本発明によるガス圧支承装置は、機械構成
部分を支承するために、特に有利には、特に高い精度の
支承が問題である多次元座標測定器の部分を支承するた
めに使用される。
部分を支承するために、特に有利には、特に高い精度の
支承が問題である多次元座標測定器の部分を支承するた
めに使用される。
【００１７】
【実施例】図１には、機械構成部分としての基体１を基
台２に支承するために使用される本発明のガス圧支承装
置が示されている。支承装置自体は、貫通する中央孔４
を備えた円板３と、円筒状の挿入体５と、図示の実施例
では支承される基体１に直接的に固定されているリング
支台６とから成っている。このような固定は、例えばリ
ング支台６を接着することによって生ぜしめることがで
きる。基体１はリング支台６の内側に中央孔７を備えて
おり、この中央孔はガス入口８と接続されている。
台２に支承するために使用される本発明のガス圧支承装
置が示されている。支承装置自体は、貫通する中央孔４
を備えた円板３と、円筒状の挿入体５と、図示の実施例
では支承される基体１に直接的に固定されているリング
支台６とから成っている。このような固定は、例えばリ
ング支台６を接着することによって生ぜしめることがで
きる。基体１はリング支台６の内側に中央孔７を備えて
おり、この中央孔はガス入口８と接続されている。
【００１８】円板３はガス圧支承装置のダイヤフラムを
示す。円板の基台寄りの面が、従来の滑り特性を有する
プラスチックから成る被い９を支持している。被い９は
例えばほぼ１ｍｍの厚さを有しており、かつその解放側
の面は滑らかにかつ平らに加工されている。ガス供給が
中断する際に円板３が直接基台２に載着する場合のため
に、被いは支承装置にある程度の非常時走行特性を与え
る。円板３自体は、例えばアルミニウム合金から成って
いる。
示す。円板の基台寄りの面が、従来の滑り特性を有する
プラスチックから成る被い９を支持している。被い９は
例えばほぼ１ｍｍの厚さを有しており、かつその解放側
の面は滑らかにかつ平らに加工されている。ガス供給が
中断する際に円板３が直接基台２に載着する場合のため
に、被いは支承装置にある程度の非常時走行特性を与え
る。円板３自体は、例えばアルミニウム合金から成って
いる。
【００１９】円筒状の挿入体５が中央に貫通孔を形成さ
れており、挿入体の縦断面が図２に示されている。挿入
体の孔１０には、円板３の支持側寄りの端部に、ガス出
口に使用されるノズル挿入体１１が嵌め込まれている。
このノズル挿入体を介して、空気が、円板３の被い９と
基台２とによって形成された支承ギャップ１２内に入
る。挿入体５は、軸方向で互いに前後に配置された３つ
の区分１３，１４，１５から成っている。ノズル挿入体
１１を支持する第１の区分は、円板３の中央孔４内に嵌
め込まれる。第２の区分１４は円板として構成されてお
り、該円板の直径は、第１の区分１３より大きい。さら
に、第３の区分１５は円板１４の直径より小さい直径を
有している。挿入体５はその第１の区分１３及び第３の
区分１５にそれぞれ１つのシールリング１６もしくは１
７を有している。
れており、挿入体の縦断面が図２に示されている。挿入
体の孔１０には、円板３の支持側寄りの端部に、ガス出
口に使用されるノズル挿入体１１が嵌め込まれている。
このノズル挿入体を介して、空気が、円板３の被い９と
基台２とによって形成された支承ギャップ１２内に入
る。挿入体５は、軸方向で互いに前後に配置された３つ
の区分１３，１４，１５から成っている。ノズル挿入体
１１を支持する第１の区分は、円板３の中央孔４内に嵌
め込まれる。第２の区分１４は円板として構成されてお
り、該円板の直径は、第１の区分１３より大きい。さら
に、第３の区分１５は円板１４の直径より小さい直径を
有している。挿入体５はその第１の区分１３及び第３の
区分１５にそれぞれ１つのシールリング１６もしくは１
７を有している。
【００２０】基体１の中央孔７は、挿入体５の区分１
４，１５の負の形状を有している。この中央孔部分に、
ガス入口８と接続される室１８が続いている。
４，１５の負の形状を有している。この中央孔部分に、
ガス入口８と接続される室１８が続いている。
【００２１】ガス圧支承装置を組み立てる際に、挿入体
５が基体１の中央孔７及び円板３の中央孔４内に差し込
まれる。この場合、挿入体５の円板状区分１４の支持側
の面が、基体１の、リング支台６の間に位置する面１９
と一平面を成す。ガス入口８を通って供給されるガス、
有利には空気は、室１８及び円板３の支持側における孔
１０を介してノズル挿入体１１を通って支承ギャップ１
２内へ流出する。
５が基体１の中央孔７及び円板３の中央孔４内に差し込
まれる。この場合、挿入体５の円板状区分１４の支持側
の面が、基体１の、リング支台６の間に位置する面１９
と一平面を成す。ガス入口８を通って供給されるガス、
有利には空気は、室１８及び円板３の支持側における孔
１０を介してノズル挿入体１１を通って支承ギャップ１
２内へ流出する。
【００２２】図３はガス圧支承装置の作用を示す。基体
１は力Ｆによって矢印の方向で作用する。この力は支承
ギャップ１２を圧縮しようとし、このことによってこの
支承ギャップ内の圧力が上昇される。この圧力の作用を
受けて、円板３は凹面状に湾曲される。円板３がルーズ
にリング支台６に載着されることによって、前記の湾曲
は阻止されない。即ち、円板３は、何かある強制的な影
響を受けずにその形状をとることができる。円板３の運
動によって、円板３の支持側の面と基台２との間の間隔
は再び、無荷重状態で有している値にもたらされる。
１は力Ｆによって矢印の方向で作用する。この力は支承
ギャップ１２を圧縮しようとし、このことによってこの
支承ギャップ内の圧力が上昇される。この圧力の作用を
受けて、円板３は凹面状に湾曲される。円板３がルーズ
にリング支台６に載着されることによって、前記の湾曲
は阻止されない。即ち、円板３は、何かある強制的な影
響を受けずにその形状をとることができる。円板３の運
動によって、円板３の支持側の面と基台２との間の間隔
は再び、無荷重状態で有している値にもたらされる。
【００２３】図６の特性曲線２０に示すように、本発明
によるガス圧支承装置においては、荷重Ｆが増大するに
つれて支承ギャップが大きくなる、即ち支承装置は無荷
重状態に較べてより一層持ち上げられるという効果が生
じる。要するに、支承ギャップの伸縮強さはネガティブ
である。前記の伸縮強さの逆値が、支承装置の全強さの
ための公式に代入されるので、全強さは極めて高い値に
なる。
によるガス圧支承装置においては、荷重Ｆが増大するに
つれて支承ギャップが大きくなる、即ち支承装置は無荷
重状態に較べてより一層持ち上げられるという効果が生
じる。要するに、支承ギャップの伸縮強さはネガティブ
である。前記の伸縮強さの逆値が、支承装置の全強さの
ための公式に代入されるので、全強さは極めて高い値に
なる。
【００２４】図６の特性曲線２０は、本発明によるガス
圧支承装置が極めて大きい荷重範囲（例えば１０００／
２０００Ｎ）で使用可能であることを明白に示す。この
ような荷重範囲は、従来公知のガス圧支承装置における
より明らかに大きく、この従来のガス圧支承装置の特性
曲線は図６において符号２１で示されている。
圧支承装置が極めて大きい荷重範囲（例えば１０００／
２０００Ｎ）で使用可能であることを明白に示す。この
ような荷重範囲は、従来公知のガス圧支承装置における
より明らかに大きく、この従来のガス圧支承装置の特性
曲線は図６において符号２１で示されている。
【００２５】図１及び図２は、本発明によるガス圧支承
装置が簡単な少数の構成部材で十分であることを示す。
支承装置のダイヤフラム、即ち円板３も、挿入体５も、
ひいてはガス出口のためのノズル挿入体も、迅速かつ簡
単に交換可能である。さらに、図１及び図２による支承
装置は、極めて低い構造高さを特徴としている。さら
に、非常時にも良好な走行特性を有している。
装置が簡単な少数の構成部材で十分であることを示す。
支承装置のダイヤフラム、即ち円板３も、挿入体５も、
ひいてはガス出口のためのノズル挿入体も、迅速かつ簡
単に交換可能である。さらに、図１及び図２による支承
装置は、極めて低い構造高さを特徴としている。さら
に、非常時にも良好な走行特性を有している。
【００２６】図１及び図２の実施例は、リング支台６が
支承しようとする基体１と直接不動に固定されている固
定支承装置を示す。固定支承装置の使用が許されないよ
うな機械構造体もある。このような場合のために、図４
及び図５の実施例によるガス圧支承装置が考えられてい
る。
支承しようとする基体１と直接不動に固定されている固
定支承装置を示す。固定支承装置の使用が許されないよ
うな機械構造体もある。このような場合のために、図４
及び図５の実施例によるガス圧支承装置が考えられてい
る。
【００２７】図４には、ガス入口４８を備えた別個の構
成部材としての基体４０が設けられている。基体４０の
内孔４７は図１の中央孔７と同じ形状を有している。内
孔は円筒状の挿入体５を嵌め込むために役立ち、挿入体
自体は円板３の中央孔４内に嵌め込まれる。ガス入口４
８は内室４９を介して挿入体５の孔と接続される。
成部材としての基体４０が設けられている。基体４０の
内孔４７は図１の中央孔７と同じ形状を有している。内
孔は円筒状の挿入体５を嵌め込むために役立ち、挿入体
自体は円板３の中央孔４内に嵌め込まれる。ガス入口４
８は内室４９を介して挿入体５の孔と接続される。
【００２８】図示の実施例では、リング支台４６は基体
４０から直接加工されている。勿論、リング支台を別の
構成で取り付けることもでき、例えば別個の構成部材と
して基体４０と結合されることもできる。
４０から直接加工されている。勿論、リング支台を別の
構成で取り付けることもでき、例えば別個の構成部材と
して基体４０と結合されることもできる。
【００２９】基体４０は、支台４２に係合する支承球４
１を有しており、前記支台は、支承しようとする構成部
材３９と不動に結合されている。
１を有しており、前記支台は、支承しようとする構成部
材３９と不動に結合されている。
【００３０】基体４０が、内側の支承室と接続される孔
４３を備えており、前記支承室は、基体４０と、リング
支台４６と、円板３とによって構成されている。このよ
うな孔を介して、例えば空気が吸い込まれ、このことに
よって円板の凹面状の湾曲が荷重を受けて強くされある
いは逆に弱くもされる。
４３を備えており、前記支承室は、基体４０と、リング
支台４６と、円板３とによって構成されている。このよ
うな孔を介して、例えば空気が吸い込まれ、このことに
よって円板の凹面状の湾曲が荷重を受けて強くされある
いは逆に弱くもされる。
【００３１】勿論、図１〜図３の実施例において、内側
の支承室に付加的に空気を入れるあるいは付加的にそれ
から空気を抜くための孔を設けることもできる。
の支承室に付加的に空気を入れるあるいは付加的にそれ
から空気を抜くための孔を設けることもできる。
【００３２】図５による実施例では、リング支台５６と
不動に結合されている基体５０が設けられている。孔５
７は挿入体５５を受容するために使用される。挿入体の
貫通孔は、室５９を介してガス入口５８と接続される。
不動に結合されている基体５０が設けられている。孔５
７は挿入体５５を受容するために使用される。挿入体の
貫通孔は、室５９を介してガス入口５８と接続される。
【００３３】基体５０は、二重矢印６１の方向で高さ移
動可能であるようにリング状のケーシング６０内に支承
されている。シールリング６４は内室６２をガス密に閉
鎖するために役立つ。ケーシング内に孔６３が案内され
ており、該孔を介して内室６２内の圧力ひいては支承装
置力が調節可能である。
動可能であるようにリング状のケーシング６０内に支承
されている。シールリング６４は内室６２をガス密に閉
鎖するために役立つ。ケーシング内に孔６３が案内され
ており、該孔を介して内室６２内の圧力ひいては支承装
置力が調節可能である。
【００３４】勿論、基体４０もしくは５０を別の形状で
構成することもできる。これらの基体はそれぞれリング
支台を備えており、該リング支台上に円板３がルーズに
載せられる。図４及び図５から判るように、このような
基体は簡単かつ迅速に交換可能であり、従ってビルディ
ングブロック機構が得られ、しかしこのためには挿入体
５及び円板３しか必要でない。
構成することもできる。これらの基体はそれぞれリング
支台を備えており、該リング支台上に円板３がルーズに
載せられる。図４及び図５から判るように、このような
基体は簡単かつ迅速に交換可能であり、従ってビルディ
ングブロック機構が得られ、しかしこのためには挿入体
５及び円板３しか必要でない。
【図１】本発明による装置の第１実施例の解体図であ
る。
る。
【図２】図１に使用された円筒状の挿入体の縦断面図で
ある。
ある。
【図３】図１の支承装置の使用位置を、支承ギャップの
大きさを誇張して示す図である。
大きさを誇張して示す図である。
【図４】本発明による装置の第２実施例の解体図であ
る。
る。
【図５】本発明による装置の第３実施例の解体図であ
る。
る。
【図６】本発明により構成されたガス圧支承装置と公知
のガス圧支承装置とを、荷重／支承ギャップの特性曲線
で示すグラフである。
のガス圧支承装置とを、荷重／支承ギャップの特性曲線
で示すグラフである。
１ 基体、 ２ 基台、 ３ 円板、 ４ 中央孔、
５ 挿入体、 ６ リング支台、 ７ 中央孔、 ８
ガス入口、 ９ 被い、 １０ 孔、 １１ノズル挿入
体、 １２ 支承ギャップ、 １３，１４，１５ 区
分、 １６，１７ シールリング、 １８ 室、 １９
面、 ２０，２１ 特性曲線、 ３９構成部材、 ４
０ 基体、 ４１ 支承球、 ４２ 支台、 ４３
孔、 ４６ リング支台、 ４７ 内孔、 ４８ ガス
入口、 ４９ 内室、 ５０ 基体、 ５５ 挿入体、
５６ リング支台、 ５７ 孔、 ５８ ガス入口、
５９ 室、 ６０ ケーシング、 ６１ 二重矢印、
６２ 内室、 ６３ 孔、 ６４ シールリング
５ 挿入体、 ６ リング支台、 ７ 中央孔、 ８
ガス入口、 ９ 被い、 １０ 孔、 １１ノズル挿入
体、 １２ 支承ギャップ、 １３，１４，１５ 区
分、 １６，１７ シールリング、 １８ 室、 １９
面、 ２０，２１ 特性曲線、 ３９構成部材、 ４
０ 基体、 ４１ 支承球、 ４２ 支台、 ４３
孔、 ４６ リング支台、 ４７ 内孔、 ４８ ガス
入口、 ４９ 内室、 ５０ 基体、 ５５ 挿入体、
５６ リング支台、 ５７ 孔、 ５８ ガス入口、
５９ 室、 ６０ ケーシング、 ６１ 二重矢印、
６２ 内室、 ６３ 孔、 ６４ シールリング
Claims (6)
- 【請求項１】 支持側がダイヤフラムとして構成されて
おり、該ダイヤフラムが支承装置圧によって凹面状に変
形されるようになっているガス圧支承装置において、前
記ダイヤフラムが、貫通する中央孔（４）を有する円板
（３）から成っており、さらに支承装置によって支持し
ようとする機械構成部分と結合された基体（１）にリン
グ支台（６）が固定されており、該リング支台に円板
（３）がルーズに載せられており、さらに基体（１）が
リング支台（６）の内側に中央孔（７）を有しており、
この中央孔がガス入口（８）と接続されており、さらに
貫通孔を備えた円筒状の挿入体（５）が、基体（１）及
び円板（３）の中央孔（４，７）内に嵌め込まれている
ことを特徴とするガス圧支承装置。 - 【請求項２】 支承装置によって支持しようとする機械
構成部材が、基体（１）として構成されていてかつリン
グ支台（６）を支持している請求項１記載のガス圧支承
装置。 - 【請求項３】 基体が別個の構成部材（４０，５０）を
形成しており、該構成部材が、交換可能に不動にあるい
はばね弾性的に、支持しようとする機械構成部材と結合
可能である請求項１記載のガス圧支承装置。 - 【請求項４】 円板（３）が、その支持側に、滑り特性
を有するプラスチックから成る被い（９）を支持してい
る請求項１から３までのいずれか１記載のガス圧支承装
置。 - 【請求項５】 円筒状の挿入体（５）が、円板（３）の
支持側寄りの端部に、ガス出口のために使用されるノズ
ル挿入体（１１）を支持している請求項１から４までの
いずれか１記載のガス圧支承装置。 - 【請求項６】 円筒状の挿入体（５）が、軸方向で互い
に前後に配置された３つの区分（１３，１４，１５）か
ら成っており、第１の区分（１３）がノズル挿入体（１
１）を支持していてかつ円板（３）の中央孔（４）内に
嵌め込まれており、第２の区分（１４）が円板として構
成されていて、その円板の直径が第１の区分（１３）の
直径より大きくなっており、第３の区分（１５）が円板
から成る第２の区分（１４）より小さい直径を有してお
り、さらに挿入体（５）の第２の区分（１４）と第３の
区分（１５）とが、挿入体の貫通孔（１０）がガス入口
（８）と接続されかつ円板状の第２の区分（１４）の支
持側の面と基体（１）のリング支台（６）の間に位置す
る面（１９）とが一平面を成すように基体（１）の中央
孔（７）内に嵌め込まれている請求項５記載のガス圧支
承装置。
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|---|---|---|---|
| DE4125802A DE4125802A1 (de) | 1991-08-03 | 1991-08-03 | Gasdrucklager |
| DE4125802.9 | 1991-08-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215135A true JPH05215135A (ja) | 1993-08-24 |
| JP3314090B2 JP3314090B2 (ja) | 2002-08-12 |
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ID=6437666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20506092A Expired - Fee Related JP3314090B2 (ja) | 1991-08-03 | 1992-07-31 | ガス圧支承装置 |
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| US (1) | US5199796A (ja) |
| EP (1) | EP0526830B1 (ja) |
| JP (1) | JP3314090B2 (ja) |
| DE (2) | DE4125802A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001099110A (ja) * | 1999-08-24 | 2001-04-10 | Carl Zeiss:Fa | 流体圧支持体 |
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| GB1509709A (en) * | 1974-10-08 | 1978-05-04 | Agfa Gevaert | Fluid bearing assembly |
| CH631522A5 (de) * | 1978-08-04 | 1982-08-13 | Escher Wyss Ag | Zwischen einem stationaeren traeger und einem um diesen rotierbar angeordneten walzenmantel vorgesehenes stuetzelement. |
| DE3010741C2 (de) * | 1980-03-18 | 1986-10-09 | Sulzer-Escher Wyss AG, Zürich | Stützelement |
| FR2485668A1 (fr) * | 1980-06-24 | 1981-12-31 | Acma Cribier | Plaquettes de frottement et elements de surface de frottement realises a partir de ces plaquettes |
| NL8102285A (nl) * | 1981-05-11 | 1982-12-01 | Philips Nv | Aerostatisch axiaal lager. |
| DE3343470A1 (de) * | 1983-12-01 | 1985-06-13 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Gasdrucklager |
| SU1151060A1 (ru) * | 1984-02-13 | 1985-11-23 | Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков | Координатна измерительна машина |
| EP0208122B1 (de) * | 1985-06-10 | 1988-03-30 | INTERATOM Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Gasstatisches Lager in Doppelkegelform |
| GB8716481D0 (en) * | 1987-07-13 | 1987-08-19 | T & N Technology Ltd | Bearings & seals |
| IT1237160B (it) * | 1989-12-22 | 1993-05-24 | Piedino composito di sostegno di una macchina atto a realizzare lo spostamento in modo pneumatico della stessa |
-
1991
- 1991-08-03 DE DE4125802A patent/DE4125802A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-07-27 US US07/920,039 patent/US5199796A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-07-29 EP EP92112901A patent/EP0526830B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-07-29 DE DE59204564T patent/DE59204564D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-31 JP JP20506092A patent/JP3314090B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001099110A (ja) * | 1999-08-24 | 2001-04-10 | Carl Zeiss:Fa | 流体圧支持体 |
| JP4577959B2 (ja) * | 1999-08-24 | 2010-11-10 | カール・ツアイス・インダストリーエレ・メステクニク・ゲーエムベーハー | 流体圧支持体 |
| CN104863961A (zh) * | 2015-05-21 | 2015-08-26 | 哈尔滨工业大学 | 节流嘴直供气单浮板气足 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5199796A (en) | 1993-04-06 |
| EP0526830A1 (de) | 1993-02-10 |
| EP0526830B1 (de) | 1995-12-06 |
| DE4125802A1 (de) | 1993-02-04 |
| JP3314090B2 (ja) | 2002-08-12 |
| DE59204564D1 (de) | 1996-01-18 |
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