DE2241391A1

DE2241391A1 - Aerostatisches praezisionslager

Info

Publication number: DE2241391A1
Application number: DE19722241391
Authority: DE
Inventors: Eckhart Dr Lennemann; Heinz Lutz; Gisbert Dr Skudelny
Original assignee: IBM Deutschland GmbH
Current assignee: IBM Deutschland GmbH
Priority date: 1972-08-23
Filing date: 1972-08-23
Publication date: 1974-02-28
Also published as: GB1436254A; FR2197422A5; JPS4946041A

Description

Böblingen, 24. Juli 1972 wi-ba ..".;

Anmelderin: ' IBM Deutschland GirbH 9 2 Λ 1 391

7000 Stuttgart 80 •Pascalstr. 100

Amtliches Aktenzeichen: Neuanmeldung Aktenzeichen der Anmelder in:. GE 9 71 033

Aerostatisches Präzisionslager

Die Erfindung betrifft ein aerostatisches Präzisionslager, das aus mindestens einer Lagerplatte bzw. aus einer Mehrzahl Lagerschalen mit einem oder mehreren_r mit einer Drossel versehenen Luftzuführkanälen besteht.

Aerostatische Lager haben gegenüber konventionellen Lagerungen beträchtliche Vorteile: Sie gewährleisten genaue und reproduzierbare Verfahrbarkeit, sehr geringe Reibung und demzufolge geringen Verschleiß und lange Lebensdauer. Sie gewinnen daher vor allem für Präzisionsmeßeinrichtungen, aber auch für die Präzisionsbearbeitung mittels Werkzeugmaschinen immer mehr an Bedeutung.

Bei aerostatischen Lagern dient als tragendes Medium ein Gaskissen, im Regelfall als Luftkissen ausgebildet, das den physischen Kontakt zwischen dem zu lagernden Teil und der Lagerfläche verhindert. Für die hohe Wirksamkeit eines solchen "Luftlagers" wird angestrebt, ein Luftkissen mit möglichst kleinem Volumen und ausreichendem Druck zu erzeugen, wobei im Interesse eines wirtschaftlichen Betriebes die verbrauchte Energie möglichst gering gehalten werden soll.

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Ein spezielles und bedeutendes Anwendungsgebiet aerostatischer Lager ist die Führung von Magnetköpfen auf oder relativ zu Aufzeichnungsträgern.zur magnetischen Aufzeichnung und Abtastung codierter Signale. Für eine fehlerfreie übertragung solcher Signale benötigt nan hier einen extrem geringen Luftspalt zwischen Magnetkopf und Aufzeichnungsfläche, ohne daß eine Berührung zwischen beiden Teilen auftreten darf. Die einfachste Art der Bildung eines Luftkissens ist hierbei das Einblasen von Preßluft zwischen Kopf- und Aufzeichnungsfläche. Man kann aber auch, um insbesondere bei flexiblem Aufzeichnungsträger und festem Kopf einen gleichmäßigen Abstand zu erhalten und auf den Ubertragungskopf eine Kraft in Richtung zum Aufzeichnungsträger zu erzielen, aus einer Düse an der dem Träger zugewandten Seite des Kopfes Druckluft austreten lassen, die annähernd parallel zur Fläche, des Trägers in den Raum zwischen Träger und Kopf abströmt und nach dem Bernoulli*sehen Gesetz einen Unterdruck erzeugt.

Bei einer anderen, in der deutschen Patentschrift 1 076 387 beschriebenen Magnetkopflagerung ist die dem Aufzeichnungsträger zugekehrte Fläche so ausgebildet, daß sie sich, ausgehend vom Rand der die Luftströmung liefernden Düsen, nach außen mit abnehmendem Krümmungsradius vom Aufzeichnungsträger entfernt und von der Luftströmung der Düse etwa tangential angeblasen wi.rd. Dabei wird sowohl der Bernoulli-Effekt als auch der sogenannte Coanda-Effekt wirksam.

Eine weitere Ausbildung einer Magnetkopfführung mit Luftlagerung ist in der UEA-Patentschrift 2 928 709 beschrieben, bei der die Luft über eine Drossel einem zum Aufzeichnungsträger hin,offenen Pufferraum zugeführt wird, der als Ausgleichskammer für den benötigten Luftdruck wirksam ist. Der Pufferraum ist bei dieser Ausführung als Vertiefung in der dem Aufzeichnungsträger zugewandten Fläche der Halterung des Übertragungskopfes ausgebildet. Zweck dieser Ausführung ist, daß bei sehr kleinen Abständen eine erhöhte Rückstellkraft erzielt wird und das System auf Abstandsänderungen sehr schnell reagiert.

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Bei der Lagerung und Abstandshaltung von Magnetköpfen sind indessen nur relativ sehr geringe Massenkräfte beteiligt, und es kommt bei der Ausbildung der Luftlagerung dort vornehmlich auf die Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Spaltgröße bei bewegtem, also sich in seiner Lage ständig veränderndem Aufzeichnungsträger an. Demgegenüber ist bei der Luftlagerung von Teilen mit größerer Masse die Tragfähigkeit das wichtigste Kriterium. Hier sollen bei möglichst geringem Druckluftverbrauch bisweilen beträchtliche Massen- und Gewichtskräfte berührungsfrei und möglichst exakt, d.h. mit konstantem Abstand zwischen den beteiligten Maschinenteilen geführt werden. Die Vorteile der Luftlager, wie Reibungsfreiheit und somit Verschleiß- und Wartungsfreiheit, kommen gegenüber den koventionellen mechanischen Lagerungen, wie Gleit- und Wälzlagern, um so mehr zur Geltung, je größer die zu führenden Massen sind. Auch sind bei Luftlagern die bauseitigen Aufwendungen für Flächenlasten relativ gering, weil die absolute Gleichmäßigkeit der Flächenlast als hervorragender Vorteil zur Geltung kommt.

Die bekannten aerostatischen Lager für solche Zwecke verwenden häufig eine Vielzahl von Düsen, die über die Lagerflächen verteilt sind, um ein gleichmäßiges Druckpolster zu erzeugen. Vielfach sind auch um die Düsen herum Schlitze, z.B. radial oder
in konzentrischer Anordnung, eingefräst, wodurch zusätzlich die Schwirigungsneigung verringert werden soll. In anderen bekannten Ausführungen von Luftlagerungen benützt man neuerdings, insbesondere für WeIlenlagerungen, eine poröse Schicht zur gleichmäßigen Zufuhr der Druckluft.

Die vorgenannten Ausführungen von Luftlagern sind jedoch in mehrfacher Hinsicht nachteilig, weil sowohl der Herstellaufwand als auch der Energieverbrauch beträchtlich sind und außerdem das
benötigte Volumen bei dieser.Bauweise und infolgedessen auch das Gewicht ungünstig groß ausfallen. Die Herstellung der zahlreichen kleinen Bohrungen für die Luftzufuhr bereitet auch fertigungstechnisch Schwierigkeiten, während die Verwendung von porösen Schichten, wie z.B. Graphit, zur Vermeidung von Energieverlusten

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nur im Mittelbereich des Lagers zweckmäßig ist, so daß man eine gleichmäßige Druckverteilung über die gesamte Lagerflache nur sehr schwer erreichen kann. Das Verhältnis von Tragfähigkeit zu benötigter Druckluftmenge ist daher bei diesen Ausführungen unbefriedigend. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein aerostatisches Präzisionslager zu schaffen, das einfach herstellbar ist und bei niedriger Flughöhe eine hohe Tragfähigkeit, eine wesentlich verbesserte Spurgenauigkeit und geringen Energieverbrauch gewährleistet.

Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung dadurch gelöst worden, daß bei einem aerostatischen Lager der eingangs beschriebenen Art die Lagerflächen der Lagerplatten bzw. -schalen zur Bildung von Lufttaschen mit relativ zur Gegenfläche geringer konkaver Krümmung ausgebildet sind und die Drossel unmittelbar an der Mündung des Luftzuführkanals in die Lagerfläche angeordnet ist. Die erfindungsgemäße Ausbildung der Lagerflächen der Lagerplatten bzw. -schalen mit konkaver Krümmung bewirkt, daß der Druck von der Einströmöffnung des Luftzuführkanals zum Rand der Lagerfläche hin gleichmäßig abnimmt, dennoch aber ein erheblicher Anteil des Speisedruckes bis in den Randbereich hinein erhalten bleibt. Durch diese gleichmäßige Abnahme des statischen Druckes von der Einströmöffnung zu Lagerrand hin wird bei planaren Lagern die Gefahr des sogenannten Dampfhammereffekts vermieden, der speziell bei solchen Luftlagern auftritt, bei denen über die gesamte Lagerfläche konstanter Druck herrscht. Der bei der Lagerausführung gemäß der Erfindung bis in den Randbereich aufrechterhaltene statische Druck ermöglicht es, mit dem Lager sehr hohe Tragkräfte zu erreichen.

Eine Luftlagerführung mit gekrümmter Oberfläche ist zwar in der USA-Patentschrift 3 223 443 bereits dargestellt, jedoch handelt es sich hier nicht um eine konkave Lagerfläche, sondern um eine an die zylindrisch gekrümmte Form des zu transportierenden Werkstücks angepasste teilzylindrische Führungsfläche.

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Das Präzisionsluftlager nach der. Erfindung kann sowohl für Planarführungen als auch für Wellenführungen eingesetzt werden. Im ersteren Fall wird üblicherweise eine Mehrzahl Lagerplatten, mindestens drei, vorgesehen, deren Lagerfläche beispielsweise rund ausgebildet ist, wobei die Mündung des Luftzuführkanals am besten konzentrisch zur Lagerfläche angeordnet wird. Für ' Wellenführungen können vorzugsweise drei erfindungsgemäß ausgebildete Lagerschalen zu einer einstückigen Lagerbuchse zusammengefaßt werden.

Das erfindungsgemäße Präzisionslager kann in den verschiedensten Gebieten der Technik eingesetzt werden, z.B. für Linearmeßschlitten zum Abtasten des Profils ebener Oberflächen, wobei mindestens sechs derartiger Lager zu einer LinearschIittenfüh- ~ung kombiniert werden. Weitere Einsatzmöglichkeiten sind beispielsweise das berührungslose Vermessen einer Richtplatte oder das ruckfreie Positionieren eines Werkstücks bei Präzisionswerkzeugmaschinen; im letzteren Fall wird nach dem Positionieren des Werkstücks die Luftzufuhr für die Zeit der Bearbeitung unterbrochen, um ein Verrutschen des Werkstücks zu verhindern.

Zur Herstellung der Lagerfläche des erfindungsgemäßen Luftlagers in der Ausführung als Planarführung wird ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem eine Lagerplatte mit ebener Oberfläche plangeschliffen und sodann mittels Verspannung derart verformt wird, daß eine konkave Lagerfläche entsteht. Zur Herstellung einer gewölbten Fläche von einem flachen Werkstück mit ebenen Flächen auszugehen und dieses zu verspannen, ist grundsätzlich bekannt, z.B. durch das deutsche Gebrauchsmuster 1 816 511; jedoch wird bei dem dort beschriebenen Verfahren das Werkstück erst im verspannten Zustand plangeschliffen und sodann die Eirispannung gelöst, so daß infolge der elastischen Rückverformung eine konvexe Lagerfläche entsteht.

Will man ein erfindungsgemäßes Achs- oder Wellenlager herstellen, so staucht man vorzugsweise die im Bereich der zu bildenden Lufttaschen dünnwandig ausgebildete und zwischen diesen Bereichen axiale, doppeltkegelige Mantelflächen aufweisende Lagerbuchse GE 971 033

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mittels beiderseits axial verspannbarer, auf den Kegelflächen angreifender Spannringe, derart, daß sich die dünnwandigen Flächen aus ihrer zylindrischen Form konkav verformen.

Findet bei den vorgenannten Verfahren die Verformung der Lagerplatte bzw. -buchse teilweise oder ganz im elastischen Bereich statt, so kann man vorteilhaft die Lagerplatte bzw. -buchse mittels Schraubgewinde verstellbar anordnen. Auf diese Art können die Betriebsbedingungen des Lagers, die in jedem Fall durch Änderung des Luftdrucks verändert werden können, zusätzlich beeinflußt werden.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen in mehreren Ausführungsbeispielen beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine Planarlageranordnung zum beruhrungsfreien

Vermessen einer Richtplatte,

Fig. 2 eine Vertikalschnittdarstellung einer einzelnen'

Lagerplatte gemäß der Anordnung nach Flg. 1,

Fig. 3 ein Diagramm für ein einzelnes Luftlager gemäß

Fig. 2 zur Darstellung der Flughöhe in Abhängigkeit von der Belastung bei gleichmäßigem Speisedruck ,

Fign.4 u. 5 die Herstellung einer Lagerplatte für ein Planar-

lager in zwei aufeinanderfolgenden Arbeitsschritten,

Fig. 6 in schaubildlicher Ansicht eine Wellen- bzw. Ax-

lagerbuchse und

Fign.7 u. 8 die Herstellung der Lagerbuchse gemäß Fig. 6 in

zwei aufeinanderfolgenden Arbeitsstufen.

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Gemäß Fig. 1 sind in eine Trägerplatte 1 drei _t kreisrunde Lagerplatten 2 eingeschraubt und so justiert, daß sie um einen geringen Betrag über deren Oberfläche nach unten herausragen und ihre Ränder genau in einer Ebene liegen. Die Düsen 3 der Lagerplatten 2 sind an der Oberseite mittels Zuführleitungen 4 mit einer Ringleitung 5 verbundene die ihrerseits an eine Druckluftquelle angeschlossen ist. Die Trägerplatte 1 trägt an ihrer Oberseite einen (nicht dargestellten) vertikal angeordneten Spiegel, der zusammen mit der Trägerplatte 1 auf dem durch die Lagerplatten 2 erzeugten Luftkissen berührungsfrei über eine ebene Richtplatte 10 (Fig. 2) gleitet, wobei z.B. in einem dazu justierten, feststehenden Autokollimator (nicht gezeigt) Neigungsunterschiede ablesbar sind.

Die in Fig. 2 dargestellte Lagerplatte 2 ist als zylindrischer Körper mit einem Flansch 6 am oberen Rand ausgebildet, mittels dessen die Lagerplatte 2 in der Trägerplatte 1 verschraubt werden kann. Die Düse 3 ist über eine Drossel 7 und eine zentrische Bohrung 8 an die Zuführleitung 4 für Druckluft angeschlossen. Sie ist vorzugsweise als Lavaldüse ausgebildet, sich zunächst verengend und dann erweiternd, was den Vorteil hat, daß die Luftdur chtrittsmenge auf jenen Wert beschränkt bleibt, bei welchem im engsten Querschnitt Schallgeschwindigkeit herrscht, jedoch einen den kritschen Druck weit überragender Gegendruck praktisch ohne Verringerung der Durchtrittsmenge erreicht werden kann.

Die Lagerfläche 9 an der Unterseite der Lagerplatte 2 weist eine geringe konkave Krümmung auf, die zur Verwirklichung stark übertrieben gezeichnet ist. Diese Krümmung kann genau oder annähernd einer Kugelkappenfläche entsprechen, so daß sie, wie in der Zeichnung dargestellt, im Schnitt einen Kreisbogen bildet. Sie kann aber auch die Form eines Ellipsoidabschnitts oder Paraboloidabschnitts haben, in welchem Fall die Lagerfläche 9 in der Schnittdarstellung als Ellipsoid bzw. Paraboloid erscheint, mit sich über den Verlauf der Schnittkurve änderndem Krümmungsradius.

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In die Bohrung 8 wird, wie durch Pfeil A angezeigt, ständig Luftdruck zugeführt, so daß sich zwischen der Lagerfläche 9 und der Richtplatte 10 ein Luftkissen bildet, dessen Druck in der Mitte der Lagerfläche 9, wo sich die Düse 3 befindet, zum äußeren Rand hin gleichmäßig abnimmt. Infolge der konkaven Ausbildung der Lagerfläche 9 bleibt aber trotzdem auch im Randbereich der Lagerfläche 9 noch ein beträchtlicher Luftdruck erhalten.

Der Kurvenverlauf des Diagramms gemäß Figur 3 zeigt, daß - bei konstantem Speisedruck - die Flughöhe von der Belastung des Lagers abhängt. So stellt sich bei einer Belastung in der Größenordnung von 1 kp ein Flughöhe von etwa 20 pm ein, während mit wachsender Belastung die Flughöhe nichtliniar absinkt, bis sie bei einer Belastung von etwa 11 bis 12 kp sich dem Wert 0 nähert, womit die Belastbarkeit des Lagers überschritten und eine Berührung zwischen der Lagerplatte und der Richtplatte stattfinden würde. Der gezeigten Kurve liegt ein Luftlager mit den folgenden Werten zugrunde: Außendurchmesser 24 mm, Krümmungshalbmesser der

2 Lagerplatte 10 m, Speisedruck 5 kp/cm .

Die theoretische Tragfähigkeit des dargestellten Lagers beträgt

., . d. 2
^Kt * ^P(2^} *

Infolge der Druckverluste in der Drossel 7 und am Außenrand der Lagerplatte 2 ergibt sich somit für den eingezeichneten Betriebspunkt einer Flughöhe von 4 um bei einer Belastung von 10 kp für

5 kp/cm Speisedruck bei dem obengenannten Beispiel ein Verhältnis der tatsächlichen Tragkraft zur theoretischen Tragkraft von

K_{t 2 4} 2 22,5 kp °'⁴⁵

Die Herstellung der Lagerplatte 2 gemäß den Figuren 1 und. 2 mit konkav gekrümmter Lagerfläche 9 mittels Schleifen bereitet einige Schwierigkeiten. Es wird daher im folgenden ein Verfahren beschrieben, welches eine wesentlich einfachere Herstellung ermöglicht und darüber hinaus den besonderen Vorzug hat, daß das

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Krümmungsmaß der Lagerfläche nachträglich jederzeit einstellbar ist. Die Lagerplatte 2 wird zunächst mit ebener unterer Lagerfläche hergestellt und gemäß Fig. 4 mittels einer auf ein Gewindeteil 11 aufgeschraubten Mutter 12 in einer Halterung 13 befestigt, mit ihrer unteren Fläche zur Richtplatte 10 oder einer anderen Bezugsebene planparallel justiert und in dieser ,Position mit der erforderlichen Genauigkeit eingeschliffen. Dadurch wird an der Lagerplatte 2 eine zur Richtplatte 10 bzw. einer sonstigen Bezugsebene mit relativ hoher Genauigkeit zur Richtplatte planparallele Lauffläche 9a gebildet. Anschließend wird die Lagerplatte 2 verformt. Für diesen Zweck ist an der der Lauffläche 9a abgewandten Seite der Lagerplatte 2 nahe dem Umfang ein ringförmiger Ansatz 13 angebracht, der an der Unterseite der Halterung 11 anliegt. Nachdem die Mutter 12 anfangs nur soweit angezogen wurde, daß noch keine Verformung der Lagerplatte 2 stattfindet, wird nun die eingespannte Lagerplatte 2 durch weiteres anziehen der Mutter 12 gemäß Fig. 5.so verformt, daß sich unter der Wirkung des ringförmigen Ansatzes 14 die Lagerfläche 9a wölbt und eine konkave Lagerfläche 9 bildet. Die Form der Wölbung kann maßgeblich durch die Materialstärke und deren Verteilung über den Radius der Lagerfläche 9 bestimmt werden.

Der Krümmungsradius der Lagerfläche 9 hängt natürlich maßgeblich von der von der Mutter 12 ausgeübten Kraft ab. Die Betriebkarakteristik des Lagers kann daher durch unterschiedliche Einstellung der Mutter 12 und dadurch bewirkter Veränderung des· Krümmungsradius der Lagerfläche 9 den jeweiligen Erfordernissen optimal angepaßt werden.

Gemäß Fig. 6 besteht die dort dargestellte Lagerbuchse 15 für die Führung einer Welle oder Achse aus einem Gehäuse 16 von im wesentlichen zylindrischer Grundform mit am Umfang um 120° gegeneinander versetzten, axial nach beiden Seiten verjüngten äußeren Kegelflächen 17, die als Stege zwischen drei Ausfräsungen 18 angeordnet sind. Im Bereich der Ausfräsungen 18 befindet sich an der

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Innenseite je eine Lufttasche 19, die durch eine relativ zur zylindrischen Oberfläche der zu führenden Welle oder Achse geringe konkave Krümmung gebildet ist. Jeweils in der Mitte dieser Lufttaschen 19 befindet sich in den zugehöhrigen Aus fräsungen 18 eine Düse 20, durch die dem Lager ständig Druckluft zugeführt wird.

Die Lagerbuchse 15 besteht somit aus drei sich über einen Winkelbereich von je 120 erstreckenden Lagerschalen, die miteinander verbunden oder vorzugsweise aus einem Stück geformt sind. Mittels der von den Düsen 20 gespeisten Lufttaschen 19 sind Zonen anähernd gleichen Druckes gebildet, die eine berührungsfreie Führung einer Welle oder Achse ermöglichen, wobei es gleichgültig ist, ob eine Rotations-, eine Linear- oder kombinierte Rotations-/ Linearbewegung der Welle stattfindet.

Die Herstellung der Lagerbuchse 15 kann gemäß den Figuren 7 und auf die folgende Weise erfolgen:

Auf die zunächst mit zylindrischer Führungsfläche hergestellte Lagerbuchse 15 wird ein Spannring 21 aufgesetzt, bestehend aus zwei Spannringhälften 22 und 23, die mit einer Mehrzahl Spannschrauben 24 miteinander verbunden sind. Die Innenflächen der beiden Spannringhälften 22, 23 sind entsprechend der Kegelfläche 17 der Lagerbuchse 15 konisch ausgebildet und liegen an den Kegelfächen 17 an. Zwischen den beiden Spannringhälften 22, 23 befindet sich ein ringförmiger Spalt, der sowohl zur Aufnahire der mit A gekennzeichneten Druckluftzufuhr zu den Düsen 20 dient als auch das mittels Anziehens der Spannschrauben 24 bewirkte gegenseitige Verspannen der Spannringhälften 22, 23 ermöglicht.

Mit dem Anziehen der Spannschrauben 24 werden gemäß Fig. 8 die beiden Spannringhälften 22, 23 zusammengezogen, und infolge der Materialverteilung der Lagerbuchse 15 wird diese im Bereich der Kegelflächen 17 verengt, während sich die Bereiche der Ausfräsungen 18 nach außen wölben, so daß sich dort zwischen Lagerbuchse 15 und Welle (strichpunktiert angedeutet) die Lufttascher. 19 mit

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relativ zur zylindrischen Wellenoberfläche konkaver Krümmung bilden. Su beachten ist, daß die Lagerbuchse 15 vor der Montage des Spannringes 21 ein erhöhtes Lagerspiel zur Welle aufweisen muß.

Mit Hilfe der Spannringe 21 kann, da die Verformung zumindest teilweise auch im elastischen Bereich stattfindet, das Lagerspiel nach der Montage eingestellt und den jeweiligen Erfordernissen angepaßt werden. Für die Justage des Lagers nach der Welle kann der Spannring auch in einem Gehäuse beweglich angeordnet werden; in diesem Falle kann man das Lager nach dem Ausrichten z.B. durch Kleben fixieren.

Ein gemäß den Figuren 6 bis 8 hergestelltes Lager gewährleistet die Bildung eines Luftkissens mit geringem Volumen und ausreichend hohem Druck, wobei für eine hohe Tragkraft über einer großen Fläche ein im wesentlichen gleichmäßiger Druck herrscht, der erst am Lagerrand geringfügig abfällt.

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Claims

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PATENTANSPRÜCHE

Aerostatisches Präzisionslager, bestehend aus mindestens einer Lagerplatte bzw. aus einer Mehrzahl Lagerschalen mit einem oder mehreren, mit einer Drossel versehenen Luftzuführkanälen, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerflächen (9) der Lagerplatten (2) bzw. -schalen (15) zur Bildung von Lufttaschen mit relativ zur Gegenfläche geringer konkaver Krümmung ausgebildet sind und die Drossel (7) unmittelbar an der Mündung des Luftzuführkanals (8) in die Lagerfläche (9) angeordnet ist.
2. Präzisionslager nach Anspruch 1, für Planarführungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerfläche (9) kreisrund ausgebildet ist.
3. Präzisionslager nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis des Krümmungsradius zum Druchmesser der Lagerfläche (9) im Bereich von etwa 100 bis etwa 500 liegt.
4. Präzisionslager nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadruch gegekennzeichnet, daß die Mündung (Düse 3) des Luftzuführkanals (8) konzentrisch zur Lagerfläche (9) angeordnet ist.
5. Präzisionslager nach Anspruch 1, für Wellen- bzw. Achsenführungen, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere, vorzugsweise drei Lagerschalen als einstückige Lagerbuchse (15) ausgebildet sind.
6. Verfahren zur Herstellung der Lagerfläche des Präzisionslagers nach den Ansprüchen 1 bis 4, für eine Planarführung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Lagerplatte (2) mit ebener Oberfläche plangeschliffen und sodann mittels Verspannung derart verformt wird, daß eine konkave Lagerfläche (9) entsteht.

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7. Verfahren zur-Hersteilung der Lagerfläche des Präzisionslagers nach den Ansprüchen 1 und 5, für eine Wellen- bzw. Achsenführung, dadurch gekennzeichnet, daß die im Bereich der zu bildenden Lufttaschen (19) dünnwandig ausgebildete und zwischen diesen Bereichen axiale, doppeltkegelige Mantelflächen aufweisende Lagerbuchse (15) mittels beiderseits axial verspannbarer, auf den Kegelflächen (17) angreifender Spannringe (21 - 23) gestaucht wird, so daß sich die dünnwandigen Flächen aus ihrer zylindrischen Form konkav verformen.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 6 und 7, bei dem die Verformung der Lagerplatte bzw. -buchse teilweise oder ganz im elastischen Bereich stattfindet, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerplatte (2) bzw. die Lagerbuchse (15) mittels schraubgewinde (Mutter 12; Spannschrauben 24) verstellbar verspannt wird.

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