JPH05213662A - 誘電体磁器の製造方法 - Google Patents

誘電体磁器の製造方法

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JPH05213662A
JPH05213662A JP4040526A JP4052692A JPH05213662A JP H05213662 A JPH05213662 A JP H05213662A JP 4040526 A JP4040526 A JP 4040526A JP 4052692 A JP4052692 A JP 4052692A JP H05213662 A JPH05213662 A JP H05213662A
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JP
Japan
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value
dielectric
dielectric constant
sintering
temperature
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Application number
JP4040526A
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English (en)
Inventor
Kazunobu Matsumoto
和順 松本
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、マイクロ波やミリ波の信号回路に
要求される高いQ値と高い誘電率とをあわせ持つ誘電体
磁器を製造する方法の提供を目的とする。 【構成】 式1で表される組成比となるように原料を混
合し、焼成し、得た焼成物を粉砕して成形し、成形体を
得、該成形体を1520〜1650℃で1時間未満加熱
焼結処理して誘電体磁器を製造する。 【式1】Ba(ZnX CoY Ni1-X-Y 1/3 (TaZ
Nb1-Z 2/3 3

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、誘電体磁器の製造方法
に関し、特に高い無負荷Q値と高い誘電率とを有する誘
電体磁器の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、マイクロ波やミリ波などの高周
波領域の信号回路に使用される誘電体共振器や誘電体基
板には、高い無負荷Q値及び高い誘電率を有し、しかも
共振周波数の温度係数の絶対値が小さい誘電体磁器を用
いることが望まれている。近年この種の誘電体磁器とし
てBaZn1/3 Ta2/3 3 やBaMg1/3 Ta2/3
3 などの複合ペロブスカイト型に属する組成を持ったも
のが使用されている。
【0003】このような誘電体磁器は原料を調合後、粉
砕し、混合し、加熱焼成し、再度粉砕して得た粉体を加
圧成形し、焼結して得ている。しかしながら、所望の特
性を有する誘電体磁器を得るためにはかなり長時間の焼
結時間が必要とされていた。例えば、Kawashimaらによ
れば、10000のQ値を有するBaZn1/3 Ta2/ 3
3 の組成の誘電体磁器を得るためには、1350℃で
120時間の熱処理が必要であり(J. Am. Ceram. So
c.,第66巻(1983),第421 〜423 頁)、また特開平2−
51464号によれば、この誘電体磁器の組成のBaの
割合を若干少なくし、1600〜1700℃で1〜10
時間の熱処理が必要とされている。
【0004】このような長時間の加熱を含む方法は、生
産コストという面、また生産効率という面で明らかに不
利であり、商業生産化という点で難点のあるものといえ
る。また、通信に使用される周波数がより高周波側に移
行するにつれ、より高いQ値とより高い誘電率をあわせ
持つ誘電体磁器が要求されてきているが、上記方法では
この要求を満たすものは得られない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記要求を満
足させうる高いQ値と高い誘電率とをあわせ持つ誘電体
磁器を短時間で製造する方法の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の方法は、所望の原料を一般式・式2で表される組成
比となるように混合し、焼成し、得た焼成物を粉砕した
後、成形して得た成形体を加熱焼結処理して誘電体磁器
を製造する方法において、上記成形体の加熱焼結処理が
1520〜1650℃で1時間未満行われることを特徴
とするものである。
【0007】焼結温度を1520℃以上とするのは、1
520℃より低いと高いQ値が得られないからであり、
逆に1650℃以下とするのは、1650℃を越えたと
ころでQ値と誘電率が急激に低下するからである。
【0008】
【式2】Ba(ZnX CoY Ni1-X-Y 1/3 (TaZ
Nb1-Z 2/3 3
【0009】
【作用】本発明の方法では、15000以上のQ値と2
9以上の誘電率を示す誘電体磁器を製造できる。
【0010】
【実施例】以下に、本発明の実施例について、比較例と
比較検討しつつ説明する。
【0011】
【実施例1】原料として純度99.9重量%以上のBa
CO3 、ZnO、NiO、CoO、Ta2 5 、Nb2
5 を用い、一般式・式2のXが0.8、Yが0.1、
Zが0.8となるように各原料を混合し、原料混合物を
得た。
【0012】この原料混合物500gを秤量し、純水5
00mlとともに2lのポットミルに装入し、低速で回
転して24時間混合した。
【0013】混合後、スラリーをろ過して原料混合物を
固液分離し、100℃で5時間かけて乾燥し、得た乾燥
物を大気中、1100℃で2時間か焼した。このか焼物
を全量純水500mlと共にポットミルに装入し、回転
数80rpmで24時間かけて粉砕混合した。
【0014】粉砕物を固液分離後100℃で5時間かけ
て乾燥し、42メッシュのふるいを通して整粒した。こ
の粉末を12mmφの金型を用いて500kg/cm2
の圧力で予備成形した後、2000kg/cm2 で静水
圧プレスし、圧粉体を得た。
【0015】得られた圧粉体を白金板上に置き、電気炉
内で1400〜1700℃の範囲内の所定温度で45分
焼結した。
【0016】得られた焼結体から直径5.8mmφ、厚
み2.6mmの円盤状試料を削りだし、誘電体円柱共振
法により測定波数約10GHzでQ値と誘電率とを求
め、焼結温度に対するQ値と誘電率との変化を求め、図
1に示した。図1より、焼結温度が1520℃未満では
高いQ値が得られず、1650℃を越えるとQ値と誘電
率とが急激に低下することがわかる。
【0017】
【実施例2】焼結温度を1550℃とし、焼結時間を1
時間の前後で変化させた以外は実施例1と同様にしてQ
値と誘電率とを求め、焼結時間に対するQ値と誘電率と
の変化を得、図2に示した。図2より焼結時間が1時間
以上となると、Q値と誘電率とが共に低下することがわ
かる。なお、本実施例において電気炉の昇温、高温速度
は何れも300℃/時間とし、焼結は大気中で行った。
【0018】以上述べたように図1及び図2に示した結
果より、本発明の目的である高いQ値と高誘電率とを併
せ持つ誘電体磁器を得るためには、焼結温度を1520
℃〜1650℃とし、焼結時間を1時間未満とすること
が必要であることがわかる。
【0019】
【実施例3】組成比、焼結温度、保持時間を表1のよう
にした以外は実施例1と同様にして誘電体磁器を得、同
様にしてQ値と誘電率とを求めた。得られた結果を表1
に示した。ケース番号1〜9の焼結温度と焼結時間とは
本発明の範囲であり、ケース番号10〜14の焼結温度
と焼結時間は本発明の範囲外にある。
【0020】表1より、本発明の請求の範囲ではじめて
15000以上のQ値と29以上の誘電率を持つ誘電体
磁器が得られることがわかる。
【0021】
【表1】
【0022】
【発明の効果】本発明の方法に従えば、15000以上
のQ値と29以上の誘電率とを併せ持つ誘電体磁器を、
従来法より各段に短い焼結時間で得ることができ、よっ
て本発明の方法は商業生産に適しているといえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例及び比較例で得られた焼結温度
と誘電率とQ値との関係を示したグラフである。
【図2】本発明の実施例及び比較例で得られた焼結時間
とQ値と誘電率との関係を示したグラフである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所望の原料を式1で表される組成比とな
    るように混合し、焼成して、得た焼成物を粉砕した後、
    成形して得た成形体を加熱焼結処理して誘電体磁器を製
    造する方法において、上記成形体を1520〜1650
    ℃で1時間未満加熱焼結処理することを特徴とする誘電
    体磁器の製造方法。 【式1】Ba(ZnX CoY Ni1-X-Y 1/3 (TaZ
    Nb1-Z 2/3 3
JP4040526A 1992-01-31 1992-01-31 誘電体磁器の製造方法 Pending JPH05213662A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002080277A (ja) * 2000-06-26 2002-03-19 Kyocera Corp 誘電体磁器及びこれを用いた誘電体共振器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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