JPH05194017A - 誘電体磁器の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器の製造方法Info
- Publication number
- JPH05194017A JPH05194017A JP4027272A JP2727292A JPH05194017A JP H05194017 A JPH05194017 A JP H05194017A JP 4027272 A JP4027272 A JP 4027272A JP 2727292 A JP2727292 A JP 2727292A JP H05194017 A JPH05194017 A JP H05194017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- bao
- mgo
- calcined
- crystal structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 BaO−MgO−Ta2 O5 系材料の焼結性
を高めて、Q値等の特性に優れた誘電体磁器を有利に得
るための手法を提供するものであって、なかでも、複雑
な製造工程や特別な粉砕法・焼成法等を何等採用するこ
となく、通常のセラミック製造工程に従って、難焼結性
のBa(Mg1/3 Ta2/3 )O3 を焼結せしめ、且つ充
分に高いQ値を持つ誘電体磁器を有利に製造し得る手法
を提供する。 【構成】 BaO源原料、MgO源原料、及びTa2 O
5 源原料を主体とする原料成分を均一に混合して得られ
る原料組成物を仮焼せしめ、次いでその仮焼物を粉砕
し、そして所望の形状に成形した後、焼成することによ
り、複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−M
gO−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造するに際して、前
記原料組成物の仮焼を、得られる仮焼物中に実質的に複
合ペロブスカイト型結晶構造が生成しないようにして行
なう。
を高めて、Q値等の特性に優れた誘電体磁器を有利に得
るための手法を提供するものであって、なかでも、複雑
な製造工程や特別な粉砕法・焼成法等を何等採用するこ
となく、通常のセラミック製造工程に従って、難焼結性
のBa(Mg1/3 Ta2/3 )O3 を焼結せしめ、且つ充
分に高いQ値を持つ誘電体磁器を有利に製造し得る手法
を提供する。 【構成】 BaO源原料、MgO源原料、及びTa2 O
5 源原料を主体とする原料成分を均一に混合して得られ
る原料組成物を仮焼せしめ、次いでその仮焼物を粉砕
し、そして所望の形状に成形した後、焼成することによ
り、複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−M
gO−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造するに際して、前
記原料組成物の仮焼を、得られる仮焼物中に実質的に複
合ペロブスカイト型結晶構造が生成しないようにして行
なう。
Description
【0001】
【技術分野】本発明は、誘電体磁器の製造方法に係り、
特に高周波用誘電体材料として好適なBaO−MgO−
Ta2 O5 系誘電体磁器を有利に製造する方法に関する
ものである。
特に高周波用誘電体材料として好適なBaO−MgO−
Ta2 O5 系誘電体磁器を有利に製造する方法に関する
ものである。
【0002】
【背景技術】近年、特開昭53−60544号公報や特
開昭58−206003号公報等において明らかにされ
ている複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−
MgO−Ta2 O5 系の誘電体磁器は、BaO−ZnO
−Ta2 O5 系誘電体磁器と同様に、高周波用の高Q材
料として有望であることが認められているが、かかるB
aO−MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器は極めて焼結が
難しいとされており、原料調合→混合粉砕→仮焼→粉砕
→造粒→成形→焼成の各工程からなる通常のセラミック
製造手法によっては、容易に焼結し得ないものであっ
た。
開昭58−206003号公報等において明らかにされ
ている複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−
MgO−Ta2 O5 系の誘電体磁器は、BaO−ZnO
−Ta2 O5 系誘電体磁器と同様に、高周波用の高Q材
料として有望であることが認められているが、かかるB
aO−MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器は極めて焼結が
難しいとされており、原料調合→混合粉砕→仮焼→粉砕
→造粒→成形→焼成の各工程からなる通常のセラミック
製造手法によっては、容易に焼結し得ないものであっ
た。
【0003】例えば、焼成に先立って採用される仮焼工
程においては、特開昭60−68503号公報、特開昭
62−235251号公報、特開平1−294559号
公報等に明らかにされているように、非晶質相が残存し
ないように、また粒成長が顕著にならない程度に、充分
に結晶化され、実質的にペロブスカイト型結晶構造とな
るように、900℃〜1400℃程度の温度で仮焼操作
が実施されているのであるが、そのような仮焼操作のみ
では、充分に焼結せしめ得ず、またQ特性も充分でな
く、必要な誘電体特性が得られない問題を内在するもの
であった。
程においては、特開昭60−68503号公報、特開昭
62−235251号公報、特開平1−294559号
公報等に明らかにされているように、非晶質相が残存し
ないように、また粒成長が顕著にならない程度に、充分
に結晶化され、実質的にペロブスカイト型結晶構造とな
るように、900℃〜1400℃程度の温度で仮焼操作
が実施されているのであるが、そのような仮焼操作のみ
では、充分に焼結せしめ得ず、またQ特性も充分でな
く、必要な誘電体特性が得られない問題を内在するもの
であった。
【0004】また、焼成操作にあっても、特開平2−2
25367号公報には、急速昇温法を採用した2段焼成
手法が明らかにされており、更に特別な微粒子粉砕法
(「新素材産業情報」、1990年12月5日号、第9
〜10頁)や、出発原料として湿式合成粉を用いた手法
(特開昭62−235251号公報)等も明らかにされ
ているが、これら特別の出発原料や特別な粉砕法・焼成
法を用いたものにあっては、製造工程が複雑となること
が避けられず、またコスト高ともなっているのである。
25367号公報には、急速昇温法を採用した2段焼成
手法が明らかにされており、更に特別な微粒子粉砕法
(「新素材産業情報」、1990年12月5日号、第9
〜10頁)や、出発原料として湿式合成粉を用いた手法
(特開昭62−235251号公報)等も明らかにされ
ているが、これら特別の出発原料や特別な粉砕法・焼成
法を用いたものにあっては、製造工程が複雑となること
が避けられず、またコスト高ともなっているのである。
【0005】
【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景にして為されたものであって、その課題とするところ
は、BaO−MgO−Ta2 O5 系材料の焼結性を高め
て、Q値等の特性に優れた誘電体磁器を有利に得るため
の手法を提供するものであって、なかでも、複雑な製造
工程や特別な粉砕法・焼成法等を何等用いることなく、
通常のセラミック製造工程に従って、難焼結性のBa
(Mg1/3 Ta2/3 )O 3 を焼結せしめ、且つ充分に高
いQ値を持つ誘電体磁器を有利に製造し得る手法を提供
することにある。
景にして為されたものであって、その課題とするところ
は、BaO−MgO−Ta2 O5 系材料の焼結性を高め
て、Q値等の特性に優れた誘電体磁器を有利に得るため
の手法を提供するものであって、なかでも、複雑な製造
工程や特別な粉砕法・焼成法等を何等用いることなく、
通常のセラミック製造工程に従って、難焼結性のBa
(Mg1/3 Ta2/3 )O 3 を焼結せしめ、且つ充分に高
いQ値を持つ誘電体磁器を有利に製造し得る手法を提供
することにある。
【0006】
【解決手段】そして、本発明は、かかる課題を解決する
ために、BaO源原料、MgO源原料、及びTa2 O5
源原料を主体とする原料成分を均一に混合して得られる
原料組成物を仮焼せしめ、次いでその仮焼物を粉砕し、
そして所望の形状に成形した後、焼成することにより、
複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−MgO
−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造するに際して、前記原
料組成物の仮焼を、得られる仮焼物中に実質的に複合ペ
ロブスカイト型結晶構造が生成しないようにして、行な
うことを特徴とするものである。
ために、BaO源原料、MgO源原料、及びTa2 O5
源原料を主体とする原料成分を均一に混合して得られる
原料組成物を仮焼せしめ、次いでその仮焼物を粉砕し、
そして所望の形状に成形した後、焼成することにより、
複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−MgO
−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造するに際して、前記原
料組成物の仮焼を、得られる仮焼物中に実質的に複合ペ
ロブスカイト型結晶構造が生成しないようにして、行な
うことを特徴とするものである。
【0007】なお、かくの如き本発明に従う誘電体磁器
の製造方法において、前記原料組成物の仮焼は、具体的
には、600℃〜900℃の温度で、少なくとも1分間
以上保持することにより、行なわれることとなる。
の製造方法において、前記原料組成物の仮焼は、具体的
には、600℃〜900℃の温度で、少なくとも1分間
以上保持することにより、行なわれることとなる。
【0008】また、そのような仮焼物を焼成して得られ
る複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−Mg
O−Ta2 O5 系誘電体磁器は、次の一般式:Bax M
gy Ta(1-y) Oz (但し、x=0.97〜1.03,
y=0.30〜0.36,z=Ba,Mg,Taの陽イ
オンの合計の電荷を中和し、磁器全体として電気的に中
性とする数)にて表わされる組成を有している。
る複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−Mg
O−Ta2 O5 系誘電体磁器は、次の一般式:Bax M
gy Ta(1-y) Oz (但し、x=0.97〜1.03,
y=0.30〜0.36,z=Ba,Mg,Taの陽イ
オンの合計の電荷を中和し、磁器全体として電気的に中
性とする数)にて表わされる組成を有している。
【0009】
【具体的構成】ところで、このような本発明に従う誘電
体磁器の製造方法において、原料組成物は、目的とする
Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3 にて与えられる複合ペロ
ブスカイト型の結晶構造を生成すべく、BaO源原料、
MgO源原料、及びTa2 O5 源原料にて主として構成
されることとなるが、またそれら原料成分(出発原料)
に加えて、更に、必要に応じて、温度特性を補正するた
めの助剤や他の誘電体磁器特性等を改善するための成分
を添加することが出来る。例えば、τf 値を任意の値
に、特に0ppm/℃に調整する目的で、Ca,Sr等
のアルカリ土類金属;Co,Mn,Ni,Zn,Zr,
Hf,Si,Ti,Nb等の金属元素、及びNd,Sm
等のランタノイド元素等の酸化物が添加されたり、或い
はBa,Mg,Taに対して置換される場合がある。な
お、かかるBaO源原料、MgO源原料、Ta2 O5 源
原料は、何れも、Ba,Mg,Taの酸化物、水酸化物
の他、炭酸塩等の無機酸塩、酢酸塩等の有機酸塩等の形
態において用いられることとなる。
体磁器の製造方法において、原料組成物は、目的とする
Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3 にて与えられる複合ペロ
ブスカイト型の結晶構造を生成すべく、BaO源原料、
MgO源原料、及びTa2 O5 源原料にて主として構成
されることとなるが、またそれら原料成分(出発原料)
に加えて、更に、必要に応じて、温度特性を補正するた
めの助剤や他の誘電体磁器特性等を改善するための成分
を添加することが出来る。例えば、τf 値を任意の値
に、特に0ppm/℃に調整する目的で、Ca,Sr等
のアルカリ土類金属;Co,Mn,Ni,Zn,Zr,
Hf,Si,Ti,Nb等の金属元素、及びNd,Sm
等のランタノイド元素等の酸化物が添加されたり、或い
はBa,Mg,Taに対して置換される場合がある。な
お、かかるBaO源原料、MgO源原料、Ta2 O5 源
原料は、何れも、Ba,Mg,Taの酸化物、水酸化物
の他、炭酸塩等の無機酸塩、酢酸塩等の有機酸塩等の形
態において用いられることとなる。
【0010】そして、かかるBaO源原料、MgO源原
料、及びTa2 O5 源原料を主体とする原料成分は、目
的とする誘電体磁器を与える組成において調合され、混
合粉砕せしめられて、均一な原料組成物とされた後、本
発明に従って、得られる仮焼物中に実質的に複合ペロブ
スカイト型結晶構造が生成しないようにして、そのよう
な原料組成物の仮焼が、実施されることとなる。換言す
れば、この原料組成物の仮焼は、仮焼後の粉末中に、調
合に用いられた原料が、目的とする複合ペロブスカイト
を生成せず、未反応のまま残存するような条件下におい
て行なわれるものであって、具体的には600℃〜90
0℃、好ましくは700℃〜900℃程度の仮焼温度を
採用して、そのような温度下に、1分間以上、好ましく
は2〜4時間程度保持することにより、実施されること
となる。なお、かかる仮焼温度が900℃を越える高温
であっても、仮焼処理量を多くしたり、保持時間を短く
したりすれば、複合ペロブスカイト型結晶構造の生成は
抑制されるところから、かかる仮焼処理に際して、その
温度、保持時間、処理量は、適宜に設定されることとな
る。
料、及びTa2 O5 源原料を主体とする原料成分は、目
的とする誘電体磁器を与える組成において調合され、混
合粉砕せしめられて、均一な原料組成物とされた後、本
発明に従って、得られる仮焼物中に実質的に複合ペロブ
スカイト型結晶構造が生成しないようにして、そのよう
な原料組成物の仮焼が、実施されることとなる。換言す
れば、この原料組成物の仮焼は、仮焼後の粉末中に、調
合に用いられた原料が、目的とする複合ペロブスカイト
を生成せず、未反応のまま残存するような条件下におい
て行なわれるものであって、具体的には600℃〜90
0℃、好ましくは700℃〜900℃程度の仮焼温度を
採用して、そのような温度下に、1分間以上、好ましく
は2〜4時間程度保持することにより、実施されること
となる。なお、かかる仮焼温度が900℃を越える高温
であっても、仮焼処理量を多くしたり、保持時間を短く
したりすれば、複合ペロブスカイト型結晶構造の生成は
抑制されるところから、かかる仮焼処理に際して、その
温度、保持時間、処理量は、適宜に設定されることとな
る。
【0011】また、仮焼温度の設定に関して、厳密に
は、仮焼前の原料組成物(混合粉末)を示差熱分析計に
て分析し、室温から1100℃以上の範囲までの減量曲
線(TG曲線)を求めて、より有効な仮焼温度が決定さ
れることとなる。即ち、このBaO−MgO−Ta2 O
5 系の減量曲線では、図1に示されるような2段階の減
量(A,B)を示し、出発原料のロットや組合せ等の相
違によって、それらA,Bの範囲にはある程度の幅が認
められるが、概ね、高温側の減量域Bは、600℃〜9
00℃の範囲にある。そして、本発明にあっては、好ま
しくは、かかる減量域Bの減量中間温度±80℃程度
に、その仮焼温度が設定されることとなるのである。な
お、各減量域乃至は温度領域での仮焼粉末中の結晶相
は、600℃未満のA領域においては、炭酸バリウムと
酸化タンタルであり、またB領域では、炭酸バリウム,
酸化タンタル及びタンタル酸バリウムであり、更に90
0℃を越えるC領域では、概ね、Ba(Mg1/2 Ta
2/3 )O3 となる。
は、仮焼前の原料組成物(混合粉末)を示差熱分析計に
て分析し、室温から1100℃以上の範囲までの減量曲
線(TG曲線)を求めて、より有効な仮焼温度が決定さ
れることとなる。即ち、このBaO−MgO−Ta2 O
5 系の減量曲線では、図1に示されるような2段階の減
量(A,B)を示し、出発原料のロットや組合せ等の相
違によって、それらA,Bの範囲にはある程度の幅が認
められるが、概ね、高温側の減量域Bは、600℃〜9
00℃の範囲にある。そして、本発明にあっては、好ま
しくは、かかる減量域Bの減量中間温度±80℃程度
に、その仮焼温度が設定されることとなるのである。な
お、各減量域乃至は温度領域での仮焼粉末中の結晶相
は、600℃未満のA領域においては、炭酸バリウムと
酸化タンタルであり、またB領域では、炭酸バリウム,
酸化タンタル及びタンタル酸バリウムであり、更に90
0℃を越えるC領域では、概ね、Ba(Mg1/2 Ta
2/3 )O3 となる。
【0012】尤も、かかる減量曲線において、高温側の
減量域Bの範囲は、複合ペロブスカイトが合成される途
上の段階であり、このB領域の低温側ではタンタル酸バ
リウムが合成され、一方このB領域の高温側では徐々に
複合ペロブスカイトが合成されつつあると考えられる
が、このB段階では、X線的にタンタル酸バリウムと複
合ペロブスカイトとを識別することは、それらのピーク
が重なるところから、極めて難しいのである。従って、
本発明で言うところの、「複合ペロブスカイト型結晶構
造が生成する」とは、X線回折的に、a)立方晶の(0
01)で指数付けされる複合ペロブスカイト型結晶構造
のピーク、或いはb)立方晶の(111)で指数付けさ
れる複合ペロブスカイト型結晶構造のピークが確認され
ることを言うものとする。
減量域Bの範囲は、複合ペロブスカイトが合成される途
上の段階であり、このB領域の低温側ではタンタル酸バ
リウムが合成され、一方このB領域の高温側では徐々に
複合ペロブスカイトが合成されつつあると考えられる
が、このB段階では、X線的にタンタル酸バリウムと複
合ペロブスカイトとを識別することは、それらのピーク
が重なるところから、極めて難しいのである。従って、
本発明で言うところの、「複合ペロブスカイト型結晶構
造が生成する」とは、X線回折的に、a)立方晶の(0
01)で指数付けされる複合ペロブスカイト型結晶構造
のピーク、或いはb)立方晶の(111)で指数付けさ
れる複合ペロブスカイト型結晶構造のピークが確認され
ることを言うものとする。
【0013】因みに、図2〜図5に、それぞれ、600
℃仮焼物、800℃仮焼物、1000℃仮焼物及び12
00℃仮焼物のX線回折チャートを示すが、それらの図
から明らかなように、仮焼温度が高くなるに従って、未
反応のまま残存する原料成分が少なくなり、仮焼温度が
1000℃に達し、或いはそれ以上になると、複合ペロ
ブスカイト型の結晶構造に起因するピーク:C(11
1),C(001)が現れるようになるのである。
℃仮焼物、800℃仮焼物、1000℃仮焼物及び12
00℃仮焼物のX線回折チャートを示すが、それらの図
から明らかなように、仮焼温度が高くなるに従って、未
反応のまま残存する原料成分が少なくなり、仮焼温度が
1000℃に達し、或いはそれ以上になると、複合ペロ
ブスカイト型の結晶構造に起因するピーク:C(11
1),C(001)が現れるようになるのである。
【0014】そして、このようにして、本発明に従って
仮焼して得られた仮焼物は、その後常法に従って粉砕さ
れ、更に造粒され、そして所望の形状に成形された後、
公知の各種の焼成操作によって、一般的には通常の焼成
操作が施されて、目的とする複合ペロブスカイト型結晶
構造を有するBaO−MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器
とされる。
仮焼して得られた仮焼物は、その後常法に従って粉砕さ
れ、更に造粒され、そして所望の形状に成形された後、
公知の各種の焼成操作によって、一般的には通常の焼成
操作が施されて、目的とする複合ペロブスカイト型結晶
構造を有するBaO−MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器
とされる。
【0015】なお、このようにして形成されるBaO−
MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器にあっては、有利に
は、次のような一般式:Bax Mgy Ta(1-y) O
z (但し、x=0.97〜1.03,y=0.30〜
0.36,z=Ba,Mg,Taの陽イオンの合計の電
荷を中和し、磁器全体として電気的に中性とする数)に
て表わされる組成を有しており、その中でも、最適値
は、x=1.00,y=0.33であって、この限定さ
れたx,y,zの範囲外では、焼成に際しての緻密化が
困難となるのである。
MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器にあっては、有利に
は、次のような一般式:Bax Mgy Ta(1-y) O
z (但し、x=0.97〜1.03,y=0.30〜
0.36,z=Ba,Mg,Taの陽イオンの合計の電
荷を中和し、磁器全体として電気的に中性とする数)に
て表わされる組成を有しており、その中でも、最適値
は、x=1.00,y=0.33であって、この限定さ
れたx,y,zの範囲外では、焼成に際しての緻密化が
困難となるのである。
【0016】
【実施例】以下に、本発明の実施例を示し、本発明を更
に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、その
ような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるも
のでないことは、言うまでもないところである。また、
本発明には、以下に示される実施例の他にも、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て、種々なる変更、修正、改良等を加え得るものである
ことが、理解されるべきである。
に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、その
ような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるも
のでないことは、言うまでもないところである。また、
本発明には、以下に示される実施例の他にも、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て、種々なる変更、修正、改良等を加え得るものである
ことが、理解されるべきである。
【0017】先ず、高純度の炭酸バリウム、酸化マグネ
シウム、及び酸化タンタルをBa:Mg:Ta=3:
1:2のモル比となるように秤量し、それら原料成分を
ポリエチレン製ポットの中にジルコニア玉石と共に投入
して、純水を加え、16時間湿式混合せしめた。そし
て、その得られた混合物をポットから取り出して、乾燥
し、白金皿中において、700〜1200℃の各種の仮
焼温度下において2時間保持して、仮焼を行なった。
シウム、及び酸化タンタルをBa:Mg:Ta=3:
1:2のモル比となるように秤量し、それら原料成分を
ポリエチレン製ポットの中にジルコニア玉石と共に投入
して、純水を加え、16時間湿式混合せしめた。そし
て、その得られた混合物をポットから取り出して、乾燥
し、白金皿中において、700〜1200℃の各種の仮
焼温度下において2時間保持して、仮焼を行なった。
【0018】次いで、この得られた各種の仮焼物を、ジ
ルコニア玉石と共に、再び、ポリエチレン製ポットに投
入し、更に純水を加えて、16時間湿式粉砕せしめた。
その後、この得られた粉砕物を乾燥して、40メッシュ
の篩を通すことにより、造粒した。
ルコニア玉石と共に、再び、ポリエチレン製ポットに投
入し、更に純水を加えて、16時間湿式粉砕せしめた。
その後、この得られた粉砕物を乾燥して、40メッシュ
の篩を通すことにより、造粒した。
【0019】そして、このようにして造粒された粉砕物
を用い、プレス成形機を用いて、面圧:1ton /cm2 に
て成形し、12mmφ×6mmt のサイズの円盤状のサンプ
ルを得た。更にその後、このようにして成形した各サン
プルを、純酸素雰囲気中において、1600℃の温度
で、10時間焼成した。
を用い、プレス成形機を用いて、面圧:1ton /cm2 に
て成形し、12mmφ×6mmt のサイズの円盤状のサンプ
ルを得た。更にその後、このようにして成形した各サン
プルを、純酸素雰囲気中において、1600℃の温度
で、10時間焼成した。
【0020】かくして得られた各種のサンプルについ
て、その無負荷Qを公知の平行導体板型誘電体共振器法
によってそれぞれ測定し、その結果を、下記表1に示し
た。
て、その無負荷Qを公知の平行導体板型誘電体共振器法
によってそれぞれ測定し、その結果を、下記表1に示し
た。
【0021】
【表1】
【0022】かかる表1の結果から明らかなように、仮
焼温度が900℃以下の条件下において仮焼されたもの
にあっては、複合ペロブスカイト型結晶構造の生成が実
質的に認められず、また、そのような複合ペロブスカイ
ト型の結晶構造を実質的に有しない仮焼物を用いた場合
において、Q特性に優れた誘電体磁器を得ることが出来
た。
焼温度が900℃以下の条件下において仮焼されたもの
にあっては、複合ペロブスカイト型結晶構造の生成が実
質的に認められず、また、そのような複合ペロブスカイ
ト型の結晶構造を実質的に有しない仮焼物を用いた場合
において、Q特性に優れた誘電体磁器を得ることが出来
た。
【0023】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に従って、仮焼後の粉末中に、調合に使用した原料成分
が未反応のまま残存する、複合ペロブスカイト型結晶構
造が実質的に生成しないような条件下において、仮焼を
行ない、その得られた仮焼物を用いて、目的とするBa
O−MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造することに
より、BaO−MgO−Ta2 O5 系材料の焼結性を効
果的に高め得て、Q値等の特性に優れた誘電体磁器が有
利に得られることとなったのであり、なかでも、何等特
別な原料成分や特別な焼成工程を採用することなく、通
常の製造工程に従って、Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3
を有利に焼結せしめることが出来、以て充分に高いQ特
性を有する誘電体磁器を製造することが出来ることとな
ったのである。
に従って、仮焼後の粉末中に、調合に使用した原料成分
が未反応のまま残存する、複合ペロブスカイト型結晶構
造が実質的に生成しないような条件下において、仮焼を
行ない、その得られた仮焼物を用いて、目的とするBa
O−MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造することに
より、BaO−MgO−Ta2 O5 系材料の焼結性を効
果的に高め得て、Q値等の特性に優れた誘電体磁器が有
利に得られることとなったのであり、なかでも、何等特
別な原料成分や特別な焼成工程を採用することなく、通
常の製造工程に従って、Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3
を有利に焼結せしめることが出来、以て充分に高いQ特
性を有する誘電体磁器を製造することが出来ることとな
ったのである。
【図1】BaO−MgO−Ta2 O5 系原料組成物の仮
焼に際して、示差熱分析計で得られる減量曲線(TG曲
線)の一例を示すグラフである。
焼に際して、示差熱分析計で得られる減量曲線(TG曲
線)の一例を示すグラフである。
【図2】BaO−MgO−Ta2 O5 系原料組成物の6
00℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
00℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
【図3】BaO−MgO−Ta2 O5 系原料組成物の8
00℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
00℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
【図4】BaO−MgO−Ta2 O5 系原料組成物の1
000℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
000℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
【図5】BaO−MgO−Ta2 O5 系原料組成物の1
200℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
200℃仮焼物のX線回折チャートを示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 BaO源原料、MgO源原料、及びTa
2 O5 源原料を主体とする原料成分を均一に混合して得
られる原料組成物を仮焼せしめ、次いでその仮焼物を粉
砕し、そして所望の形状に成形した後、焼成することに
より、複合ペロブスカイト型結晶構造を有するBaO−
MgO−Ta2 O5 系誘電体磁器を製造するに際して、 前記原料組成物の仮焼を、得られる仮焼物中に実質的に
複合ペロブスカイト型結晶構造が生成しないようにし
て、行なうことを特徴とする誘電体磁器の製造方法。 - 【請求項2】 前記原料組成物の仮焼が、600℃〜9
00℃の温度で、少なくとも1分間以上、保持すること
により、行なわれる請求項1に記載の誘電体磁器の製造
方法。 - 【請求項3】 前記BaO−MgO−Ta2 O5 系誘電
体磁器が、一般式:Bax Mgy Ta(1-y) Oz (但
し、x=0.97〜1.03,y=0.30〜0.3
6,z=Ba,Mg,Taの陽イオンの合計の電荷を中
和し、磁器全体として電気的に中性とする数)にて表わ
される組成を有している請求項1または請求項2に記載
の誘電体磁器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4027272A JPH05194017A (ja) | 1992-01-18 | 1992-01-18 | 誘電体磁器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4027272A JPH05194017A (ja) | 1992-01-18 | 1992-01-18 | 誘電体磁器の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05194017A true JPH05194017A (ja) | 1993-08-03 |
Family
ID=12216448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4027272A Pending JPH05194017A (ja) | 1992-01-18 | 1992-01-18 | 誘電体磁器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05194017A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105541299A (zh) * | 2014-10-27 | 2016-05-04 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
CN106298237A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
CN106297957A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
-
1992
- 1992-01-18 JP JP4027272A patent/JPH05194017A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105541299A (zh) * | 2014-10-27 | 2016-05-04 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
CN106298237A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
CN106297957A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-04 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
JP2017014034A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | Tdk株式会社 | 誘電体組成物および電子部品 |
US9748018B2 (en) | 2015-06-29 | 2017-08-29 | Tdk Corporation | Dielectric composition and electronic component |
US9745225B2 (en) | 2015-06-29 | 2017-08-29 | Tdk Corporation | Dielectric composition and electronic component |
CN106298237B (zh) * | 2015-06-29 | 2018-07-10 | Tdk株式会社 | 介电组合物以及电子部件 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5151477B2 (ja) | 半導体磁器組成物とその製造方法 | |
KR101152453B1 (ko) | 반도체 자기 조성물 | |
JPH0817245A (ja) | 強誘電体薄膜およびその製造方法 | |
EP0369768B1 (en) | Process for producing a dielectric ceramic | |
JPH05194017A (ja) | 誘電体磁器の製造方法 | |
JPH08319162A (ja) | 誘電体磁器及びその製造方法 | |
JPH11335825A (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP3640342B2 (ja) | 誘電体組成物の設計方法 | |
JP2001199765A (ja) | 誘電体磁器組成物用原料粉体、および誘電体磁器組成物 | |
JPH0625025B2 (ja) | 誘電体磁器の製造方法 | |
JPH06338221A (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
JPH05198209A (ja) | 誘電体磁器の製造方法 | |
JPH09183656A (ja) | 誘電体磁器及びその製造方法 | |
JPH0757541A (ja) | マイクロ波誘電体磁器組成物及びその製造方法 | |
JPH04220905A (ja) | 高周波誘電体用焼結体の製造方法 | |
JP2835253B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物および誘電体材料 | |
JPH0766691B2 (ja) | 高周波誘電体用焼結体の製造方法 | |
JP3359427B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
JPH0688836B2 (ja) | 焦電性磁器材料及びその製造方法 | |
JPH06325920A (ja) | 低損失磁性材料及びその製造方法 | |
JP2887244B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
JPH11278833A (ja) | セラミックス粉末及びその合成方法 | |
JPH05279111A (ja) | 誘電体磁器組成物及びその製法 | |
JP3101969B2 (ja) | 誘電体磁器およびその製造方法 | |
JPH04303512A (ja) | 誘電体磁器用仮焼物の製造方法 |