JPH052107A - Formation of color filter - Google Patents

Formation of color filter

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Publication number
JPH052107A
JPH052107A JP22437891A JP22437891A JPH052107A JP H052107 A JPH052107 A JP H052107A JP 22437891 A JP22437891 A JP 22437891A JP 22437891 A JP22437891 A JP 22437891A JP H052107 A JPH052107 A JP H052107A
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JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
layer
resin layer
pattern
colored
Prior art date
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Pending
Application number
JP22437891A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sadao Fujikura
貞雄 藤倉
Masayuki Iwasaki
政幸 岩崎
Yuichi Wakata
裕一 若田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP22437891A priority Critical patent/JPH052107A/en
Publication of JPH052107A publication Critical patent/JPH052107A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide the method which produces color filters consisting of multicolored patterns on a base with high throughput and produces the multicolored patterns having the higher fineness than the fineness obtd. by having distinctly colored patterns without having blurring at the boundaries of the patterns. CONSTITUTION:This method forms the color filters by repeating the stage for bringing the photosensitive resin layer of an image forming material provided on the colored photosensitive resin layer on a tentative base having UV transmittability into tight contact with an adhesive layer provided on the base and exposing patterns to the photosensitive resin layer, then developing the photosensitive resin layer by using the image forming materials colored to different colors. The adhesive layer in this method consists of a negative type photosensitive resin compsn. which is provided on the base by a layer transfer method and can be developed by an aq. alkaline soln.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】 本発明は液晶カラーディスプレ
ー等に使用されるカラーフィルターを作成する方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a color filter used for a liquid crystal color display or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶カラーディスプレーは、ガラス等の
透明基板上にカラーフィルター、保護膜、マトリックス
状のパターンをもつ透明電極、絶縁膜、配向膜をこの順
に有する第一の多層構造体とガラス等の透明基板上に全
面またはストライプ状の透明電極、絶縁膜、配向膜をこ
の順に有する第二の多層構造体を、それぞれの配向膜面
を内側にして対向させ、その間にスペーサーを介して張
り合わせたセル中に液晶を封入したものを2枚の偏光板
の間に挟んだ構造をもつ。また、第一の多層構造体にお
いて、マトリックス状のパターンをもつ透明電極がカラ
ーフィルターの下で透明基板の上にある時もある。
2. Description of the Related Art A liquid crystal color display is a first multilayer structure having a color filter, a protective film, a transparent electrode having a matrix pattern, an insulating film, and an alignment film in this order on a transparent substrate such as glass and glass. A second multi-layer structure having a transparent electrode, an insulating film, and an alignment film in the order of the entire surface or a transparent substrate on the transparent substrate was made to face each other with the alignment film surface facing inside, and was pasted with a spacer therebetween. It has a structure in which a liquid crystal is sealed in a cell and sandwiched between two polarizing plates. In the first multilayer structure, the transparent electrode having a matrix-like pattern may be below the color filter and above the transparent substrate.

【0003】カラーフィルターは透明基板上に、赤色、
青色及び緑色のストライプ状画像又はドット状画像をそ
れぞれ配置し、場合によりそれぞれの境界をブラックマ
トリックスで区分した構造である。基板上にこのような
着色パターンを形成する優れた方法の1つが特願平2−
82262号明細書に記載されている。この方法では、
着色された感光性樹脂層を紫外線透過性の仮支持体上に
設けた画像形成材料の該感光性樹脂層を、支持体上に設
けられた接着剤層に密着させ、該仮支持体を通して該感
光性樹脂層にパターン露光し、該仮支持体を剥離した後
現像してパターンを形成し、必要に応じて該パターンを
該接着剤層に埋め込んだ後、1色目と異なる色を有する
画像形成材料を密着させて露光・現像を繰り返すことに
より、多色着色パターンを得る。該明細書において
は、、接着剤層の素材に関しては特に限定されてはいな
いが、着色層による画像形成後に、不要な接着剤層を除
去する必要が生じる場合があり、このような機能を有す
る接着剤層を選定しなければならない。また、接着剤層
を効率よく支持体上に設けることも非常に大切である
が、これに関しても詳細な説明がなされていない。
The color filter is a red color on a transparent substrate.
This is a structure in which blue and green stripe-shaped images or dot-shaped images are respectively arranged, and in some cases, respective boundaries are divided by a black matrix. One of the excellent methods for forming such a colored pattern on a substrate is Japanese Patent Application No. 2-
82262. in this way,
The photosensitive resin layer of the image-forming material provided with the colored photosensitive resin layer on the ultraviolet-transparent temporary support is brought into close contact with the adhesive layer provided on the support, and the photosensitive resin layer is passed through the temporary support. An image having a color different from the first color is formed by pattern-exposing the photosensitive resin layer, peeling off the temporary support and then developing to form a pattern, and if necessary embedding the pattern in the adhesive layer. A multicolor coloring pattern is obtained by bringing the materials into close contact with each other and repeating exposure and development. In this specification, the material of the adhesive layer is not particularly limited, but it may be necessary to remove the unnecessary adhesive layer after the image formation with the colored layer, and such a function is provided. The adhesive layer must be selected. It is also very important to efficiently provide the adhesive layer on the support, but this has not been described in detail.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、支持
体上の多色着色パターンから成るカラーフイルターを高
いスループットで製造する方法を提供すること、パター
ンの境界ににじみがなく、明瞭な着色パターンを有する
より精細度の高い多色着色パターンを製造する方法を提
供すること、各色の位置合わせ精度を向上させること、
各色の位置合わせが容易な多色着色パターンの製造方法
を提供すること、より簡単な製造工程で安価に多色着色
パターンを得ることのできる製造方法を提供すること、
および、ガラス等の支持体上に設けられた接着剤層の不
要の部分を容易にかつ精度良く除去できる方法を提供す
ることである。さらに接着剤層の不要部を、溶剤を使用
すること無く除去する方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for producing a color filter comprising a multicolored coloring pattern on a support at a high throughput, which has no bleeding at the boundary of the pattern and has a clear coloring. Providing a method for producing a multi-color coloring pattern having a higher definition having a pattern, improving the alignment accuracy of each color,
Providing a method for manufacturing a multicolored coloring pattern in which each color is easily aligned, and a manufacturing method that can obtain a multicolored coloring pattern at a low cost with a simpler manufacturing process,
Another object of the present invention is to provide a method capable of easily and accurately removing an unnecessary portion of an adhesive layer provided on a support such as glass. Another object of the present invention is to provide a method for removing an unnecessary portion of the adhesive layer without using a solvent.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、着色さ
れた感光性樹脂層を紫外線透過性の仮支持体上に設けた
画像形成材料の、該感光性樹脂層を、支持体上に設けら
れた接着剤層に密着させ、該感光性樹脂層にパターン露
光した後該感光性樹脂層を現像する工程を、異なる色に
着色された画像形成材料を用いて繰り返し、カラーフイ
ルターを作成する方法において、該接着剤層が該支持体
上に層転写法で設けられたアルカリ水溶液で現像可能な
ネガ型感光性樹脂組成物から成ることを特徴とするカラ
ーフイルターの作成方法により達成された。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an image forming material having a colored photosensitive resin layer provided on a UV-transparent temporary support, the photosensitive resin layer being provided on the support. The step of closely contacting the provided adhesive layer, pattern-exposing the photosensitive resin layer, and then developing the photosensitive resin layer is repeated using image forming materials colored in different colors to form a color filter. In the method, the adhesive layer is composed of a negative photosensitive resin composition which is provided on the support by a layer transfer method and can be developed with an alkaline aqueous solution, thereby achieving a color filter.

【0006】本発明の製造方法によれば、 あらかじ
め均一な塗布膜厚の画像形成材料を用いるので、露光・
現像特性が安定であり、色濃度および膜厚の管理が容易
である。各色のパターンの位置合わせが容易である。
先に作成されたパターンが接着剤層に実質的に埋め込
まれているので平面性が良く、全体としてパターンの支
持体への密着性、パターンの精細度の優れた多色の着色
パターンが得られる。着色パターンの耐久性が高い。
着色層・接着剤層の形で感光材料が供給されるので、
塗布液の安定性等、塗布に関連する問題が無い。ガラ
ス等の基板上に接着剤層があるので、パターンの密着性
が良好であり、パターン形成後の後加熱や後露光等の処
理が不要である。接着剤層が感光性なので、露光・現
像により精度良く接着剤層のパターン形成ができる。
接着剤層がアルカリ現像性なので、作業環境、及び環境
汚染上の問題がない。等の、数々の利点がある。
According to the manufacturing method of the present invention, since an image forming material having a uniform coating film thickness is used in advance, exposure / exposure
Development characteristics are stable, and color density and film thickness can be easily controlled. It is easy to align the patterns of each color.
Since the pattern created above is substantially embedded in the adhesive layer, it has good flatness, and as a whole, a multicolored colored pattern having excellent adhesion of the pattern to the support and excellent pattern definition can be obtained. .. High durability of coloring pattern.
Since the photosensitive material is supplied in the form of a colored layer and an adhesive layer,
There are no problems related to coating such as stability of coating liquid. Since the adhesive layer is provided on the substrate such as glass, the adhesion of the pattern is good, and the post-heating and post-exposure treatment after the pattern formation are unnecessary. Since the adhesive layer is photosensitive, it is possible to accurately form the pattern of the adhesive layer by exposure and development.
Since the adhesive layer is alkali developable, there is no problem in working environment and environmental pollution. There are numerous advantages such as

【0007】次に、本発明に使用する材料について詳細
に説明する。本発明で用いる着色した感光性樹脂層のた
めの仮支持体としては、可撓性を有し、好ましくは紫外
線透過性で、加圧、もしくは加圧及び加熱下においても
著しい変形、収縮もしくは伸びを生じないことが必要で
ある。そのような支持体の例としては、ポリエチレンテ
レフタレートフィルム、トリ酢酸セルローズフィルム、
ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルムを挙
げることができる。二軸延伸ポリエチレンテレフタレー
トフィルムが特に好ましい。
Next, the materials used in the present invention will be described in detail. As a temporary support for the colored photosensitive resin layer used in the present invention, it is flexible and preferably ultraviolet-transparent, and undergoes significant deformation, shrinkage or elongation even under pressure or under pressure and heating. Need not occur. Examples of such a support include polyethylene terephthalate film, cellulose triacetate film,
A polystyrene film and a polycarbonate film can be mentioned. Biaxially oriented polyethylene terephthalate film is particularly preferred.

【0008】該仮支持体の上には、着色した感光性樹脂
層を直接、もしくは紫外線透過性を有する剥離層を介し
て、設ける。直接設ける場合には、該仮支持体は該感光
性樹脂層を硬化させるのに十分な紫外線透過性を有する
ことが必要であるが、剥離層を介して設ける場合には、
該仮支持体を剥離後に露光を行うことも可能なので、紫
外線透過性は必須ではない。剥離層は、着色した感光性
樹脂層を接着剤層(着色パターンを有する場合もある)
に密着した後で、仮支持体を容易に剥離するために設け
る。剥離は、パターン露光の前後いずれでも可能だが、
パターンの解像力を上げるためには露光前に剥離する事
が好ましい。
On the temporary support, a colored photosensitive resin layer is provided directly or via a peeling layer having an ultraviolet ray transmitting property. When it is directly provided, the temporary support needs to have sufficient ultraviolet light transmittance to cure the photosensitive resin layer, but when it is provided via a release layer,
Since it is also possible to perform exposure after peeling off the temporary support, the UV transparency is not essential. The release layer is a colored photosensitive resin layer as an adhesive layer (may have a colored pattern).
It is provided so that the temporary support can be easily peeled off after being adhered to. Peeling can be done before or after pattern exposure,
In order to increase the resolution of the pattern, it is preferable to peel it off before exposure.

【0009】露光前に剥離する場合には、剥離層は、パ
ターン露光するに際し、着色した感光性樹脂層中での光
硬化反応を阻害する空気中からの酸素の拡散を防止する
ため、仮支持体とは適度な接着性をもつて剥離可能であ
ると共に、着色した感光性樹脂層からは機械的に剥離す
ることができないようにし、かつ酸素の遮断能を有する
ことが好ましい。このような剥離層はポリマーの溶液を
仮支持体上に塗布することにより形成される。適当なポ
リマーとして、特公昭46−32714号及び特公昭5
6−40824号の各公報に記載されているポリビニル
アルコール、水溶性のポリビニルアルコール部分エステ
ル、同部分エーテル、同部分アセタール、88〜99%
加水分解したポリ酢酸ビニル、ゼラチン、アラビアゴ
ム、メチルビニルエーテル/無水マレイン酸共重合体、
ポリビニルピロリドン、100000〜3000000
の平均分子量をもつ高分子量水溶性エチレンオキシド重
合体及びこれらの重合体の混合物を挙げることができ
る。
In the case of stripping before exposure, the stripping layer is provided with a temporary support in order to prevent diffusion of oxygen from the air which hinders the photo-curing reaction in the colored photosensitive resin layer during pattern exposure. It is preferable that it can be peeled from the body with appropriate adhesiveness, it should not be mechanically peeled from the colored photosensitive resin layer, and it should have an oxygen blocking ability. Such a release layer is formed by applying a polymer solution onto a temporary support. Suitable polymers include JP-B-46-32714 and JP-B-5.
Polyvinyl alcohol, water-soluble polyvinyl alcohol partial ester, same partial ether, same partial acetal, 88 to 99% described in each publication of 6-40824.
Hydrolyzed polyvinyl acetate, gelatin, gum arabic, methyl vinyl ether / maleic anhydride copolymer,
Polyvinylpyrrolidone, 100,000-3,000,000
Mention may be made of high molecular weight water-soluble ethylene oxide polymers having an average molecular weight of 1 and mixtures of these polymers.

【0010】剥離層は、上記ポリマーの水溶液または水
と有機溶剤との混合物中での溶液を用いて、前記仮支持
体上に塗布される。さらにこの溶液中に界面活性剤を添
加するとより均一な下塗層を得ることができる。下塗層
の厚みは0.2〜10.0μmが好ましく、より好まし
くは0.5〜5.0μmである。0.2μm以下では酸
素遮断効果が得られず、10μmを越えると現像液への
溶解に時間がかかり好ましくない。
The release layer is coated on the temporary support using an aqueous solution of the above polymer or a solution in a mixture of water and an organic solvent. Furthermore, by adding a surfactant to this solution, a more uniform undercoat layer can be obtained. The thickness of the undercoat layer is preferably 0.2 to 10.0 μm, more preferably 0.5 to 5.0 μm. If it is less than 0.2 μm, the oxygen barrier effect cannot be obtained, and if it exceeds 10 μm, dissolution in a developing solution takes time, which is not preferable.

【0011】前記の界面活性剤としては、陰イオン性、
陽イオン性及び非イオン性界面活性剤、例えば12〜1
8個の炭素原子をもつアルキル硫酸ナトリウム、または
アルキルスルホン酸ナトリウム(ドデシル硫酸ナトリウ
ム、オクタデシルスルホン酸ナトリウム等)やN−セチ
ルベタイン、C−セチルベタイン、アルキルアミノカル
ボン酸塩及びアルキルアミノジカルボン酸塩、平均分子
量400以下のポリエチレングリコールが用いられる。
As the above-mentioned surfactant, anionic,
Cationic and nonionic surfactants, eg 12-1
Sodium alkylsulfate having 8 carbon atoms, or sodium alkylsulfonate (sodium dodecylsulfate, sodium octadecylsulfonate, etc.), N-cetylbetaine, C-cetylbetaine, alkylaminocarboxylate and alkylaminodicarboxylate, Polyethylene glycol having an average molecular weight of 400 or less is used.

【0012】該仮支持体もしくは剥離層の上に設けられ
る着色した感光性樹脂層および接着剤層は、いわゆるネ
ガ型感光性樹脂組成物により形成する。ここで用いるこ
とのできるネガ型感光性樹脂組成物としては、例えば次
の四種類に大別できる。
The colored photosensitive resin layer and the adhesive layer provided on the temporary support or the peeling layer are formed of a so-called negative type photosensitive resin composition. Negative-type photosensitive resin compositions that can be used here can be roughly classified into the following four types.

【0013】[1]ネガ型感光性ジアゾ樹脂とバインダ
ーとからなる感光性樹脂組成物 ネガ型感光性ジアゾ樹脂としては、米国特許第2063
631号及び同第2667415号の各明細書に記載の
ジアゾニウム塩と、ホルムアルデヒドのような反応性カ
ルボニル基を含有する有機縮合剤との反応生成物が好ま
しい。特に好ましくはジアゾジフェニルアミン−p−ジ
アゾニウム塩とホルムアルデヒドの縮合生成物が挙げら
れる。この他の有用なネガ型感光性樹脂としては、特公
昭49−48001号、同49−45322号、同49
−45323号の各公報に記載されたものが挙げられ
る。
[1] Photosensitive resin composition comprising negative photosensitive diazo resin and binder A negative photosensitive diazo resin is described in US Pat. No. 2063.
The reaction product of the diazonium salt described in each of 631 and 2667415 and an organic condensing agent containing a reactive carbonyl group such as formaldehyde is preferable. Particularly preferred is a condensation product of diazodiphenylamine-p-diazonium salt and formaldehyde. Other useful negative-working photosensitive resins include Japanese Examined Patent Publication Nos. 49-48001, 49-45322 and 49-49.
The thing described in each gazette of No. 45323 is mentioned.

【0014】これらのネガ型感光性ジアゾ樹脂は水溶性
であり、従って感光性樹脂層を形成するのに水溶液とし
て塗布することができる。また、これらの水溶性ジアゾ
樹脂を特公昭47−1167号明細書に記載の方法によ
り、分子中に1個またはそれ以上のフェノール性水酸基
またはスルホン酸基またはその両者を有する芳香族また
は脂肪族化合物と反応することにより得られる、実質的
に水不溶性の有機溶剤可溶性の感光性ジアゾ樹脂を使用
することもできる。
These negative-working photosensitive diazo resins are water-soluble and therefore can be applied as an aqueous solution to form the photosensitive resin layer. Further, these water-soluble diazo resins are prepared by the method described in JP-B-47-1167, and aromatic or aliphatic compounds having one or more phenolic hydroxyl groups or sulfonic acid groups or both in the molecule. It is also possible to use a substantially water-insoluble organic solvent-soluble photosensitive diazo resin obtained by reacting with.

【0015】好ましいフェノール性水酸基を有する化合
物としては、ヒドロキシベンゾフェノン類である4−ヒ
ドロキシベンゾフェノン、2,4−ジヒドロキシベンゾ
フェノン、2ーヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノ
ン、2,2’−ジヒドロキシ−4,4’−ジメトキシベ
ンゾフェノン、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシ
ベンゾフェノンが挙げられ、さらに4,4−ビス(4’
−ヒドロキシフェニル)ペンタン酸、レゾルシノール、
およびこれらのベンゼン環にアルキル基またはアルコキ
シ基のような置換基を有するものも挙げることができ
る。
Preferred compounds having a phenolic hydroxyl group are hydroxybenzophenones such as 4-hydroxybenzophenone, 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone and 2,2'-dihydroxy-4,4'-. Examples thereof include dimethoxybenzophenone and 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone, and further 4,4-bis (4 ′
-Hydroxyphenyl) pentanoic acid, resorcinol,
And those having a substituent such as an alkyl group or an alkoxy group on the benzene ring thereof.

【0016】好ましいスルホン酸としては、例えば、ベ
ンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン、フェノー
ル、ナフトール及びベンゾフェノン等のスルホン酸等の
ような芳香族スルホン酸、またはそれらの可溶性塩類、
例えばアンモニウム及びアルカリ金属塩を挙げられる。
スルホン酸基含有化合物は、低級アルキル、ニトロ基、
ハロゲン基で置換されていてもよい。好ましいスルホン
酸基含有化合物の具体例としては、ベンゼンスルホン
酸、トルエンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、2,
5−ジメチルベンゼンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸
ナトリウム、ナフタレン−2−スルホン酸、1−ナフト
ール−2−スルホン酸、1−ナフトール−4−スルホン
酸、2,4−ジニトロ−1−ナフトール−7−スルホン
酸、ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン−5−ス
ルホン酸、o−トルイジン−m−スルホン酸及びエタン
スルホン酸を挙げられる。
Examples of preferable sulfonic acid include aromatic sulfonic acids such as benzene, toluene, xylene, naphthalene, phenol, naphthol, benzophenone and like sulfonic acids, or soluble salts thereof.
Examples include ammonium and alkali metal salts.
Sulfonic acid group-containing compounds include lower alkyl, nitro group,
It may be substituted with a halogen group. Specific examples of preferable sulfonic acid group-containing compounds include benzenesulfonic acid, toluenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid, and 2.
5-dimethylbenzenesulfonic acid, sodium benzenesulfonate, naphthalene-2-sulfonic acid, 1-naphthol-2-sulfonic acid, 1-naphthol-4-sulfonic acid, 2,4-dinitro-1-naphthol-7-sulfone Acids, hydroxy-4-methoxybenzophenone-5-sulfonic acid, o-toluidine-m-sulfonic acid and ethanesulfonic acid.

【0017】これらの実質的に水不溶性感光性ジアゾ樹
脂の製造法としては、水溶性の感光性ジアゾ樹脂と、前
記のフェノール化合物あるいはスルホン酸化合物の水溶
液を好ましくはジアゾニウム基とフェノール基またはス
ルホン酸基がほぼ等モルとなるように混合することによ
り沈澱として単離することができる。また英国特許第1
312925号明細書に記載の感光性ジアゾ樹脂も好ま
しい。最も好適な感光性ジアゾ樹脂はp−ジアゾジフェ
ニルアミンとホルムアルデヒドとの縮合物の2−メトキ
シ−4−ヒドロキシ−5−ベンゾイルベンゼンスルホン
酸塩である。感光性ジアゾ樹脂の感光性樹脂層中の含有
量は、5〜50重量%が好ましい。感光性ジアゾ樹脂の
含有量が少ないと感光性は良化するが、経時的な安定性
が低下する。特に好ましい感光性ジアゾ樹脂の含有量は
8〜20重量%である。
As a method for producing these substantially water-insoluble photosensitive diazo resins, a water-soluble photosensitive diazo resin and an aqueous solution of the above-mentioned phenol compound or sulfonic acid compound are preferably used, preferably a diazonium group and a phenol group or sulfonic acid. It can be isolated as a precipitate by mixing such that the groups are almost equimolar. Also the British patent No. 1
The photosensitive diazo resin described in No. 312925 is also preferable. The most preferred photosensitive diazo resin is 2-methoxy-4-hydroxy-5-benzoylbenzenesulfonate, which is a condensate of p-diazodiphenylamine and formaldehyde. The content of the photosensitive diazo resin in the photosensitive resin layer is preferably 5 to 50% by weight. When the content of the photosensitive diazo resin is small, the photosensitivity is improved, but the stability with time decreases. The particularly preferred content of the photosensitive diazo resin is 8 to 20% by weight.

【0018】本発明におけるバインダーとしては、種々
の高分子化合物が使用できるが、分子中にカルボン酸
基、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボン酸アミド基、ス
ルホン酸アミド基、活性メチレン基、チオアルコール
基、エポキシ基を含むものが好ましい。
Although various polymer compounds can be used as the binder in the present invention, a carboxylic acid group, a hydroxy group, an amino group, a carboxylic acid amide group, a sulfonic acid amide group, an active methylene group, and a thioalcohol group can be used in the molecule. Those containing an epoxy group are preferred.

【0019】水溶性感光性樹脂組成物としては前記の水
溶性感光性ジアゾ樹脂と水溶性のバインダーとの組合せ
が用いられる。水溶性のバインダーとして代表的なもの
はポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリ
アクリルアミド、ヒドロキシメチルセルローズ、ゼラチ
ン等を挙げることができる。また経時的な安定性の点で
より好ましい水不溶性の感光性樹脂組成物に使用するの
に好ましいバインダーには、英国特許第1350521
号明細書に記載されているシェラック、英国特許第14
60978号及び米国特許第4123276号の各明細
書に記載されているようなヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート単位を主な繰り返し単位として含むポリマ
ー、米国特許第3751257号明細書に記載されてい
るポリアミド樹脂、英国特許第1074392号明細書
に記載されているフェノール樹脂及び例えばポリビニル
ホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂のようなポ
リビニルアセタール樹脂、米国特許第3660097号
明細書に記載されている線状ポリウレタン樹脂、ポリビ
ニルアルコールフタレート樹脂、ビスフェノールAとエ
ピクロルヒドリンの重縮合物であるエポキシ樹脂、ポリ
アミノスチレンやポリアルキルアミノ(メタ)アクリレ
ートのようなアミノ基含有ポリマー、酢酸セルローズ、
セルローズアルキルエーテル、セルローズアセテートフ
タレート等のセルローズ誘導体、水溶性のポリビニルア
ルコール等が挙げられる。
As the water-soluble photosensitive resin composition, a combination of the above-mentioned water-soluble photosensitive diazo resin and a water-soluble binder is used. Typical examples of the water-soluble binder include polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, polyacrylamide, hydroxymethyl cellulose, gelatin and the like. Further, as a binder which is preferable for use in a water-insoluble photosensitive resin composition, which is more preferable in terms of stability with time, is described in British Patent No. 13505021.
Shellac as described in British Patent No. 14
60978 and US Pat. No. 4,123,276, polymers containing hydroxyethyl (meth) acrylate units as the main repeating unit, polyamide resins described in US Pat. No. 3,751,257, Phenolic resins and polyvinyl acetal resins such as polyvinyl formal resins and polyvinyl butyral resins described in British Patent No. 1,074,392, linear polyurethane resins described in US Pat. No. 3,660,973, polyvinyl alcohol phthalates. Resin, epoxy resin which is a polycondensate of bisphenol A and epichlorohydrin, amino group-containing polymer such as polyaminostyrene and polyalkylamino (meth) acrylate, cellulose acetate,
Examples thereof include cellulose derivatives such as cellulose alkyl ether and cellulose acetate phthalate, and water-soluble polyvinyl alcohol.

【0020】バインダーの感光性樹脂層中の含有量は、
50〜95重量%が好ましい。感光性ジアゾ樹脂の含有
量が少ないと感光性は良化するが、経時的な安定性が低
下する。特に好ましい感光性ジアゾ樹脂の含有量は80
〜92重量%である。
The content of the binder in the photosensitive resin layer is
50 to 95% by weight is preferable. When the content of the photosensitive diazo resin is small, the photosensitivity is improved, but the stability with time decreases. Particularly preferred content of the photosensitive diazo resin is 80
-92% by weight.

【0021】[2]光重合性組成物 本発明に使用可能な光重合性組成物は、付加重合性不飽
和モノマー、光重合開始剤及びバインダーを基本的な構
成要素として含む。付加重合性不飽和モノマーは分子中
に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基
をもち沸点が常圧で100℃以上の化合物である。例え
ばポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、
ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、
フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能ア
クリレートや単官能メタクリレート。ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタント
リアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アク
リロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アク
リロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリ
セリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドよプロ
ピレンオキシドを付加反応した後で(メタ)アクリレー
ト化したもの。特公昭48−41708号、特公昭50
−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記
載されているウレタンアクリレート類。特開昭48−6
4183号、特公昭49−43191号、特公昭52−
30490号の各公報に記載されているポリエステルア
クリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反
応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アク
リレートやメタクリレートを挙げることができる。より
好ましくはトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリ
レート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレ
ートを挙げることができる。付加重合性不飽和モノマー
の光重合性組成物中の含有量は5〜50重量%で、より
好ましくは10〜40重量%である。5重量%未満では
光感度やパターンの強度が低く、50重量%を越えると
感光性樹脂層の粘着性が過剰になり好ましくない。
[2] Photopolymerizable Composition The photopolymerizable composition that can be used in the present invention contains an addition polymerizable unsaturated monomer, a photopolymerization initiator and a binder as basic constituent elements. The addition-polymerizable unsaturated monomer is a compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. For example, polyethylene glycol mono (meth) acrylate,
Polypropylene glycol mono (meth) acrylate,
Monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as phenoxyethyl (meth) acrylate. Polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate , Pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxy) Ethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri Meth) acrylate, after the addition reaction of ethylene oxide by propylene oxide to a polyfunctional alcohol such as trimethylolpropane or glycerol (meth) those acrylated. Japanese Patent Publication No. 48-41708, Japanese Patent Publication No. 50
Urethane acrylates described in JP-A-6034 and JP-A-51-37193. JP-A-48-6
No. 4183, Japanese Patent Publication No. 49-43191, Japanese Patent Publication No. 52-
Polyfunctional acrylates and methacrylates such as polyester acrylates and epoxy acrylates, which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid, described in each publication of 30490 can be mentioned. More preferable examples include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate. The content of the addition-polymerizable unsaturated monomer in the photopolymerizable composition is 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight. If it is less than 5% by weight, the photosensitivity and pattern strength are low, and if it exceeds 50% by weight, the tackiness of the photosensitive resin layer becomes excessive, which is not preferable.

【0022】光重合開始剤としては、米国特許第236
7660号明細書に開示されているビシナルポリケタル
ドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記
載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2
722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換され
た芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127
号及び同第2951758号の各明細書に記載の多核キ
ノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載
のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトン
の組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベン
ゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン
化合物、米国特許第4239850号明細書に記載され
ているトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特
許第4212976号明細書に記載されているトリハロ
メチルオキサジアゾール化合物等が挙げられる。特に好
ましくはトリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメ
チルオキサジアゾール、トリアリールイミダゾール二量
体である。光重合開始剤の光重合性組成物中の含有量は
0.5〜20重量%で、より好ましくは2〜15重量%
である。0.5重量%未満では光感度やパターンの強度
が低く、20重量%を越えても性能への良好な効果が認
められない。
As the photopolymerization initiator, US Pat. No. 236 is used.
Vicinal polyketaldonyl compounds disclosed in 7660, acyloin ether compounds described in U.S. Pat. No. 2,448,828, U.S. Pat.
.Alpha.-hydrocarbon substituted aromatic acyloin compounds described in US Pat. No. 7,225,512, US Pat. No. 3,046,127.
Nos. 2951758 and 2951758, polynuclear quinone compounds, combinations of triarylimidazole dimers and p-aminoketones described in U.S. Pat. No. 3,549,367, and JP-B-51-48516. Benzothiazole compound and trihalomethyl-s-triazine compound, trihalomethyl-s-triazine compound described in U.S. Pat. No. 4,239,850, and trihalomethyloxadiazole compound described in U.S. Pat. No. 4,212,976. Etc. Particularly preferred are trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole, and triarylimidazole dimer. The content of the photopolymerization initiator in the photopolymerizable composition is 0.5 to 20% by weight, more preferably 2 to 15% by weight.
Is. If it is less than 0.5% by weight, the photosensitivity and pattern strength are low, and if it exceeds 20% by weight, no good effect on the performance is observed.

【0023】バインダーとしては、付加重合性不飽和モ
ノマーと相溶性のある、線状有機高分子で、有機溶剤に
可溶性であり、弱アルカリ水溶液に可溶性であるか少な
くとも膨潤するものが好ましい。このような線状有機高
分子としては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、
例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34
327号、特公昭58−12577号、特公昭54−2
5957号、特開昭59−53836号、特開昭59−
71048号の各明細書に記載されているようなメタク
リル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重
合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分
エステル化マレイン酸共重合体等があり、また側鎖にカ
ルボン酸基を有するセルローズ誘導体が挙げられる。こ
の他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加し
たものも有用である。特に好ましくは米国特許第413
9391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレー
トと(メタ)アクリル酸の共重合体やベンジル(メタ)
アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの
多元共重合体を挙げることができる。以上のものは水不
溶性のバインダーを挙げたが、水溶性ポリマーとして、
ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキシド、ポリビ
ニルアルコール等を挙げることができる。以上の他に、
種々の性能、例えば硬化膜の強度を改良するために、現
像性等に悪影響を与えない範囲でアルカリ不溶のポリマ
ーを添加することができる。これらのポリマーとしては
アルコール可溶性ナイロンあるいはエポキシ樹脂が挙げ
られる。バインダーの光重合性組成物中の含有量は50
〜95重量%で、より好ましくは60〜90重量%であ
る。50重量%未満では感光性樹脂層の粘着性が高す
ぎ、95重量%を越えると形成されるパターンの強度及
び光感度の点で劣る。
The binder is preferably a linear organic polymer compatible with the addition-polymerizable unsaturated monomer, soluble in an organic solvent, soluble in a weak alkaline aqueous solution, or at least swellable. As such a linear organic polymer, a polymer having a carboxylic acid group in the side chain,
For example, JP-A-59-44615 and JP-B-54-34.
327, Japanese Patent Publication 58-12577, Japanese Patent Publication 54-2
5957, JP-A-59-53836, JP-A-59-
Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer, partially esterified maleic acid copolymer as described in each specification of No. 71048. Examples thereof include cellulosics, which have a carboxylic acid group in the side chain. In addition, a polymer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride is also useful. Particularly preferably, U.S. Pat. No. 413
Copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in 9391 and benzyl (meth)
Mention may be made of multi-component copolymers of acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers. The above are water-insoluble binders, but as a water-soluble polymer,
Examples thereof include polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl alcohol and the like. Besides the above,
In order to improve various properties, for example, the strength of the cured film, an alkali-insoluble polymer can be added within a range that does not adversely affect the developability and the like. Examples of these polymers include alcohol-soluble nylon and epoxy resin. The content of the binder in the photopolymerizable composition is 50.
˜95% by weight, more preferably 60 to 90% by weight. If it is less than 50% by weight, the tackiness of the photosensitive resin layer is too high, and if it exceeds 95% by weight, the strength and photosensitivity of the formed pattern are poor.

【0024】以上の構成成分の他に、更に熱重合防止剤
を添加することが好ましい。その例としては、ハイドロ
キノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p
−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、
ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−
t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4
−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプ
トベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられ
る。
In addition to the above components, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor. Examples thereof include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p.
-Cresol, pyrogallol, t-butylcatechol,
Benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-
t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4
-Methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.

【0025】[3]アジド化合物とバインダーとから成
る感光性樹脂組成物 好ましいものとして、例えば、英国特許第123528
1号、同第1495861号の各明細書及び特開昭51
−32331号、特開昭51−36128号の各公報な
どに記載されているアジド化合物と水溶性またはアルカ
リ水溶液可溶性高分子バインダーから成る感光性樹脂組
成物の他、特開昭50−5102号、特開昭50−84
302号、特開昭53−12984号の各公報などに記
載されているアジド基を含むポリマーとバインダーとし
ての高分子化合物からなる感光性樹脂組成物が含まれ
る。
[3] Photosensitive resin composition comprising azide compound and binder As a preferable example, for example, British Patent No. 123528.
No. 1 and No. 1495861 each specification and JP-A-51
-32331, JP-A-51-36128, etc., and a photosensitive resin composition comprising an azide compound and a water-soluble or alkaline aqueous solution-soluble polymer binder, as well as JP-A-50-5102. JP-A-50-84
No. 302, JP-A No. 53-12984, etc., and a photosensitive resin composition comprising a polymer containing an azide group and a polymer compound as a binder is included.

【0026】[4]桂皮酸型感光性樹脂 好ましいものとして、例えば、特開昭52−96696
号に開示されている感光性ポリエステル類、英国特許第
1112277号、同第1313390号、同第134
1004号、同第1377747号の各明細書に記載の
ポリビニルシンナメート類などが含まれる。
[4] Cinnamic acid type photosensitive resin As a preferable example, for example, JP-A-52-96696.
Photosensitive polyesters disclosed in U.S. Pat. Nos. 1,112,277, 13,133,390 and 134.
The polyvinyl cinnamates described in each specification of No. 1004 and No. 1377747 are included.

【0027】顔料または染料とネガ型感光性樹脂組成物
とから着色した感光性樹脂層を形成するには、ネガ型感
光性樹脂組成物を適当な溶媒に溶解し、単一または2種
以上の混合の顔料を分散するか、または染料を溶解する
ことにより、1つの色相の着色感光性樹脂塗布液を調製
し、この塗布液をスピナー、ホワイラー、ローラーコー
ター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバ
ーコーター、エクストルーダー等を用いて、前記仮支持
体上に塗布する。
In order to form a colored photosensitive resin layer from a pigment or dye and a negative photosensitive resin composition, the negative photosensitive resin composition is dissolved in an appropriate solvent to prepare a single or two or more kinds. A pigmented photosensitive resin coating liquid of one hue is prepared by dispersing a mixed pigment or dissolving a dye, and the coating liquid is applied to a spinner, a whiler, a roller coater, a curtain coater, a knife coater, a wire bar coater. , Extruder or the like is used to coat the temporary support.

【0028】カラーフィルター用には、赤色、緑色、青
色、黒色の顔料が用いられる。これらの好ましい具体例
としては、カーミン6B(C.I.12490)、フタ
ロシアニングリーン(C.I.74260)、フタロシ
アニンブルー(C.I.74160)、三菱カーボンブ
ラックMA−100を挙げることができるが、これらに
限定されるものではない。着色された感光性樹脂層中の
顔料もしくは染料の含有量は1〜30重量%であること
が好ましい。より好ましくは5〜20重量%である。
For the color filter, red, green, blue and black pigments are used. Carmin 6B (C.I. 12490), phthalocyanine green (C.I. 74260), phthalocyanine blue (C.I. 74160) and Mitsubishi carbon black MA-100 can be mentioned as preferable specific examples thereof. However, the present invention is not limited to these. The content of the pigment or dye in the colored photosensitive resin layer is preferably 1 to 30% by weight. It is more preferably 5 to 20% by weight.

【0029】好ましい溶剤としては、ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、シクロヘキサン、エチレングリコールモ
ノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、アセトン、メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノ
ン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチ
ル、乳酸メチル、乳酸エチル、メタノール、エタノー
ル、1−プロパノール、2−プロパノール、ブタノー
ル,sec−ブタノール、t−ブタノール、N−メチル
ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトア
ミド、γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクタム、ジメ
チルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、水を
挙げることができる。これらは単独で、または二種以上
の混合物として使用することができる。塗布液の固形分
濃度は、1〜50重量%の範囲が好ましいが、より好ま
しくは、5〜40重量%である。着色した感光性樹脂層
の乾燥膜厚は0.3〜10μmが好ましく、より好まし
くは0.5〜5μmである。
Preferred solvents are benzene, toluene, xylene, cyclohexane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate. , Propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, butanol, sec-butanol , T-butanol, N- methylpyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, .gamma.-butyrolactone, .epsilon.-caprolactam, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide, and water. These can be used alone or as a mixture of two or more kinds. The solid content concentration of the coating liquid is preferably in the range of 1 to 50% by weight, more preferably 5 to 40% by weight. The dry film thickness of the colored photosensitive resin layer is preferably 0.3 to 10 μm, more preferably 0.5 to 5 μm.

【0030】接着剤層を有する支持体としては、場合に
より紫外線透過性で、加圧もしくは加圧及び加熱下にお
いて著しい変形、収縮もしくは伸びを生じないことが必
要である。そのような支持体の例としては、ポリエチレ
ンテレフタレートフイルム、トリ酢酸セルロースフイル
ム、ポリスチレンフイルム、ポリカーボネートフイル
ム、ガラス板を挙げることができる。2軸延伸ポリエチ
レンテレフタレートフイルム、ガラス板が特に好まし
い。
It is necessary that the support having an adhesive layer is, in some cases, UV-permeable and does not undergo significant deformation, shrinkage or elongation under pressure or under pressure and heating. Examples of such a support include polyethylene terephthalate film, cellulose triacetate film, polystyrene film, polycarbonate film, and glass plate. Biaxially stretched polyethylene terephthalate film and glass plate are particularly preferable.

【0031】カラーフィルターとして用いる場合、支持
体は可視光に対して実質的に透明なことが必要で、上記
のポリマーフィルムもしくはガラス板が用いられる。マ
トリックス状に透明電極を設けた透明支持体を用いても
よい。
When used as a color filter, the support is required to be substantially transparent to visible light, and the above polymer film or glass plate is used. A transparent support provided with transparent electrodes in a matrix may be used.

【0032】これらの支持体上には、接着剤層が設けら
れる。該接着剤層は、その上に前記の着色した感光性樹
脂層を密着した時に良好な接着性を得る必要があり、更
に、着色感光性樹脂層のパターン露光、現像により得ら
れる着色パターンが埋め込まれて十分な密着を得る必要
もある。このためには、該接着剤層が室温下で軟質であ
るかもしくは加熱により軟化し得るものでなければなら
ない。また着色した感光性樹脂層のアルカリ水性現像液
に耐性を有する必要がある。好ましい例としては、特開
昭59−97140号公報に記載されている光重合性画
像受容層または特開昭61−189535号公報および
特願平1−65064号明細書に記載されている離型層
を有する2層構成の受像層を挙げることができる。これ
らを使用し、接着剤層中にパターンを埋め込んだ後で紫
外線照射を施すことにより、接着剤層を硬化せしめるこ
とができる。この処理によりこの接着剤層は、支持体と
のより強固な密着性を示す。
An adhesive layer is provided on these supports. The adhesive layer is required to have good adhesiveness when the colored photosensitive resin layer is adhered thereon, and further, the colored pattern obtained by pattern exposure and development of the colored photosensitive resin layer is embedded. It is also necessary to obtain sufficient adhesion. For this purpose, the adhesive layer must be soft at room temperature or capable of being softened by heating. Further, it is necessary that the colored photosensitive resin layer has resistance to an alkaline aqueous developer. Preferred examples include the photopolymerizable image-receiving layer described in JP-A-59-97140 or the mold release described in JP-A-61-189535 and Japanese Patent Application No. 1-65064. An image-receiving layer having a two-layer structure having layers can be mentioned. The adhesive layer can be cured by using these and irradiating with ultraviolet rays after embedding the pattern in the adhesive layer. By this treatment, this adhesive layer exhibits stronger adhesion to the support.

【0033】この場合には、着色された画像形成層にパ
ターン露光をする際に該光重合性画像受容層が硬化する
ことを避ける必要がある。このためには、光重合性画像
受容層の光感度を、着色された画像形成層の光感度の約
3分の1以下とするか、もしくは感光波長の異なる光重
合開始剤を使用する。例えば、着色された画像形成層の
光重合開始剤としては、感光波長域が400〜450n
m(長波)となる化合物を用い、光重合性画像受容層の
光重合開始剤としては、感光波長域が300〜400n
m(短波)にある化合物を用いる。
In this case, it is necessary to avoid hardening of the photopolymerizable image-receiving layer when the colored image-forming layer is subjected to pattern exposure. For this purpose, the photosensitivity of the photopolymerizable image receiving layer is set to about 1/3 or less of the photosensitivity of the colored image forming layer, or a photopolymerization initiator having a different photosensitive wavelength is used. For example, the photopolymerization initiator for the colored image forming layer has a photosensitive wavelength range of 400 to 450 n.
A compound having m (long wave) is used, and the photopolymerization initiator of the photopolymerizable image-receiving layer has a photosensitive wavelength range of 300 to 400 n.
The compound at m (short wave) is used.

【0034】長波長域感光開始剤としては、ミヒラーズ
ケトンと2−(o−クロロフエニル)−4,5−ジフエ
ニルイミダゾール2量体との組合せ、2,4−ジエチル
キサントンとp−ジメチルアミノ安息香酸エチルとの組
合せ、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフエノ
ンと2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4’−
メトキシフエニル)−s−トリアジンとの組合せ、及び
2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4’−メト
キシスチリル)−s−トリアジン等を挙げることができ
る。
As the long-wavelength photosensitizer, a combination of Michler's ketone and 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-diethylxanthone and ethyl p-dimethylaminobenzoate is used. In combination with 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4'-
A combination with methoxyphenyl) -s-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4′-methoxystyryl) -s-triazine and the like can be mentioned.

【0035】短波長域感光開始剤としては、ベンジルジ
メチルケタール、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾフエノン、2,4,6−トリス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチ
ル)−フエニル−s−トリアジン、2−トリクロロメチ
ル−5−フエニル−1,3,4−オキサジアゾール等を
挙げることができる。
As the short wavelength photoinitiator, benzyl dimethyl ketal, benzoin isopropyl ether, benzophenone, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -phenyl- Examples thereof include s-triazine and 2-trichloromethyl-5-phenyl-1,3,4-oxadiazole.

【0036】接着剤層の膜厚は、パターン形成後の着色
パターンが埋め込まれるのに十分な厚さがあれば良く、
1〜100μmが好ましく、5〜30μmが特に好まし
い。1μm未満では着色パターンの埋め込みが不十分で
第二の着色パターン以降の密着性が劣り、100μmを
越えると、接着剤層を有するシートの保存上の問題を生
じる。
The film thickness of the adhesive layer may be a thickness sufficient for embedding the colored pattern after pattern formation,
1 to 100 μm is preferable, and 5 to 30 μm is particularly preferable. When the thickness is less than 1 μm, the embedding of the colored pattern is insufficient and the adhesion after the second colored pattern is poor, and when the thickness exceeds 100 μm, there is a problem in storage of the sheet having the adhesive layer.

【0037】露光後の着色した感光性樹脂層を現像する
のに用いられる媒質は、水性媒質すなわち大部分が水か
ら構成されている媒質である。また、この現像液にはア
ルカリ性物質および必要があれば水と混和性の有機溶剤
を添加するのが好ましい。
The medium used for developing the colored photosensitive resin layer after exposure is an aqueous medium, that is, a medium composed mostly of water. Further, it is preferable to add an alkaline substance and, if necessary, an organic solvent miscible with water to this developing solution.

【0038】適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸
化物(水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ
金属炭酸塩(炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカ
リ金属重炭酸塩(炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウ
ム)、アルカリ金属ケイ酸塩(ケイ酸ナトリウム、ケイ
酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩(メタケイ酸
ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールア
ミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モ
ルホリン、トリアルキルアンモニウムヒドロキシド、ま
たは燐酸三ナトリウムである。
Suitable alkaline substances are alkali metal hydroxides (sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate), Alkali metal silicate (sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicate (sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, trialkylammonium hydroxide, or phosphoric acid It is trisodium.

【0039】適当な有機溶剤は、メタノール、エタノー
ル、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノー
ル、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベ
ンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シ
クロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラク
トン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、
ヘキサメチルホスホルアミドである。
Suitable organic solvents include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone. , Methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide,
Hexamethylphosphoramide.

【0040】この現像液にはまた、湿潤剤を加えてもよ
い。湿潤剤としては発泡性の低いアルキルナフタレンス
ルホン酸塩が特に好ましい。特に好ましい現像液として
は、エチレングリコールモノn−ブチルエーテルと炭酸
ナトリウムの水溶液やベンジルアルコールと炭酸ナトリ
ウムと水酸化ナトリウム及びブチルナフタレンスルホン
酸ナトリウムの水溶液である。
A wetting agent may be added to the developing solution. As the wetting agent, an alkylnaphthalene sulfonate having a low foaming property is particularly preferable. Particularly preferred developing solutions are aqueous solutions of ethylene glycol mono-n-butyl ether and sodium carbonate, benzyl alcohol, sodium carbonate, sodium hydroxide and sodium butylnaphthalene sulfonate.

【0041】現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液
としても用いることができる。着色した感光性樹脂層か
ら未露光の部分を除去するには、刷毛でこすること、湿
潤スポンジでこすること、摩擦その他の公知の方法によ
って有利に行うことができる。
The developing solution can be used as a bath solution or a spray solution. Removal of the unexposed portion from the colored photosensitive resin layer can be advantageously performed by rubbing with a brush, rubbing with a wet sponge, rubbing, or any other known method.

【0042】接着剤層の現像液としては、上述のアルカ
リ性水溶液(必要に応じて少量の水と混和性のある有機
溶剤を含む)が好ましい。ただし、接着剤層は、接着剤
層の上に設けられた着色感光性樹脂層の現像液によって
現像されないことが必要である。そのため、着色感光性
樹脂層の現像に用いるアルカリ性水溶液は、接着剤層現
像用のアルカリ性水溶液よりも低いpHのものを用いる
必要がある。従って、着色感光性樹脂層と接着剤層の現
像液のpHとしては、前者が8〜11.5、後者は前者
のpHよりも2以上大きいことが好ましい。この様な現
像液の組み合わせの例として、前者には1〜5重量%の
アルカリ金属炭酸塩を主成分とする現像液、後者には
0.05〜10重量%のアルカリ金属水酸化物を主成分
とする現像液をあげることができる。
As the developer for the adhesive layer, the above-mentioned alkaline aqueous solution (including a small amount of an organic solvent miscible with water) is preferable. However, it is necessary that the adhesive layer is not developed by the developing solution for the colored photosensitive resin layer provided on the adhesive layer. Therefore, the alkaline aqueous solution used for developing the colored photosensitive resin layer needs to have a pH lower than that of the alkaline aqueous solution for developing the adhesive layer. Therefore, the pH of the developer for the colored photosensitive resin layer and the adhesive layer is preferably 8 to 11.5 for the former and 2 or more higher than the pH for the former. As an example of such a combination of developers, the former is a developer containing 1 to 5% by weight of an alkali metal carbonate as a main component, and the latter is mainly 0.05 to 10% by weight of an alkali metal hydroxide. A developer as a component can be used.

【0043】着色パターンを接着剤層に埋め込むには、
接着剤層及び着色パターンのいずれよりも表面エネルギ
ーの小さい材料材料を介して着色パターンが形成された
接着剤層を加圧することが好ましい。このような材料と
してはシリコン樹脂やフツ素樹脂を挙げることができ
る。加圧のやり方としては、表面エネルギーの小さい材
料製のローラーを使用するか、もしくはこれらの表面エ
ネルギーの小さい材料製のフィルムまたは小さい表面エ
ネルギーの材料を可撓性の合成高分子フィルムの表面に
塗布したものを前記接着剤層上の着色パターンとゴム製
のローラーの間に挟むことにより有利に行うことができ
る。この場合、表面エネルギーの小さい材料のフィルム
の好ましい厚みは5〜200μmであり、特に好ましく
は7〜100μmである。埋め込み処理の好ましい条件
としては、圧力は1〜3Kg/cm2、処理速度は0.
1〜3m/minであり、特に好ましくは圧力は1.5
〜2.5Kg/cm2、処理速度は0.2〜2m/mi
nである。
To embed the colored pattern in the adhesive layer,
It is preferable to pressurize the adhesive layer on which the colored pattern is formed through a material having a surface energy smaller than that of both the adhesive layer and the colored pattern. Examples of such a material include silicon resin and fluorine resin. As a method of pressing, a roller made of a material having a small surface energy is used, or a film made of such a material having a small surface energy or a material having a small surface energy is applied to the surface of a flexible synthetic polymer film. This can be advantageously carried out by sandwiching the product between the colored pattern on the adhesive layer and a rubber roller. In this case, the film thickness of the material having a small surface energy is preferably 5 to 200 μm, particularly preferably 7 to 100 μm. As preferable conditions for the embedding treatment, the pressure is 1 to 3 kg / cm 2 , and the treatment speed is 0.1.
1-3 m / min, and particularly preferably the pressure is 1.5
~ 2.5 Kg / cm 2 , processing speed 0.2 ~ 2 m / mi
n.

【0044】この処理の際、加圧と同時に加熱すること
が好ましい。加熱には内部に発熱体を有するローラーを
用いるのが簡便であり、ローラー表面の温度は50〜1
60℃、好ましくは80〜120℃である。以下に、実
施例に基づいて本発明を更に詳細に説明するが、本発明
はこれらに限定されるものではない。
During this treatment, it is preferable to heat at the same time as pressurization. It is convenient to use a roller having a heating element inside for heating, and the temperature of the roller surface is 50 to 1
The temperature is 60 ° C, preferably 80 to 120 ° C. The present invention will be described in more detail based on the following examples, but the invention is not intended to be limited thereto.

【0045】[0045]

【実施例】【Example】

実施例 以下に示した素材を混合して均一な溶液を調製した。 メタクリル酸メチル/アクリル酸エチル/メタクリル酸共重合体(モル比= 70/25/5、重 量平均分子量=7万の35重量%溶液、溶媒はメ チルエチルケトン/1−メトキシ−2−プロパノール=2/1) 860部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート(新中村化学工業(株)社製 A −TMMT) 300部 ベンジルジメチルケタール(チバガイギー社製イルガキュア651) 15部 メガファックF−177P(弗素系界面活性剤、大日本インキ化学工業(株 )社製) 4部 ハイドロキノンモノメチルエーテル 0.5部 Example The materials shown below were mixed to prepare a uniform solution. Methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 70/25/5, 35 wt% solution of weight average molecular weight = 70,000, solvent is methyl ethyl ketone / 1-methoxy-2-propanol = 2/1) 860 parts Pentaerythritol tetraacrylate (A-TMMT manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 300 parts Benzyl dimethyl ketal (Irgacure 651 manufactured by Ciba Geigy) 15 parts Megafac F-177P (fluorine-based surfactant) , Manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. 4 parts Hydroquinone monomethyl ether 0.5 part

【0046】上で調製した溶液をバーコーターを用いて
厚さ100μmのポリエチレンテレフタレート仮支持体
上に塗布し、100℃で2分間乾燥して、厚み約10μ
mの感光性接着剤層を有するシートを得た。これをガラ
ス上にラミネーター(ファーストラミネーター8B−5
50−80、大成商事(株)社製)を用いて圧力2〓/
〓、ローラー温度105℃、ラミネート速度0.9m/
minの条件でラミネートを行った。一方、着色感光性
樹脂層形成用の塗布液として、黒色(遮光層用)、赤色
(R層用)、緑色(G層用)及び青色(B層用)の4色
の感光性溶液を表1に示す組成となるようにそれぞれ調
製した。
The solution prepared above was applied onto a polyethylene terephthalate temporary support having a thickness of 100 μm using a bar coater and dried at 100 ° C. for 2 minutes to give a thickness of about 10 μm.
A sheet having a photosensitive adhesive layer of m was obtained. Laminate this on glass (first laminator 8B-5
50-80, manufactured by Taisei Corporation, pressure 2〓 /
〓, roller temperature 105 ℃, laminating speed 0.9m /
Lamination was performed under the condition of min. On the other hand, as the coating liquid for forming the colored photosensitive resin layer, four color photosensitive solutions of black (for light shielding layer), red (for R layer), green (for G layer) and blue (for B layer) are shown. Each was prepared so as to have the composition shown in FIG.

【0047】[0047]

【表1】 [Table 1]

【0048】仮支持体であるポリエチレンテレフタレー
トフィルム(厚み=20μm)上にこれら4色の感光性
溶液をそれぞれ均一に塗布乾燥して、乾燥膜厚が0.5
μmの着色感光性樹脂層を設けた。各色の着色感光性樹
脂層上に保護フィルムとして30μm厚のポリエチレン
フィルムを室温下ラミネートした。このようにして、順
に仮支持体、着色感光性樹脂層および保護フィルムから
成る着色感光性樹脂シート(ネガ型着色感光性シート)
4種を製造した。
Each of these four color photosensitive solutions was uniformly coated and dried on a polyethylene terephthalate film (thickness = 20 μm) as a temporary support to give a dry film thickness of 0.5.
A colored photosensitive resin layer of μm was provided. A polyethylene film having a thickness of 30 μm was laminated as a protective film on the colored photosensitive resin layer of each color at room temperature. In this way, a colored photosensitive resin sheet (negative-type colored photosensitive sheet) comprising a temporary support, a colored photosensitive resin layer and a protective film in this order
Four types were manufactured.

【0049】赤色の感光性樹脂シートから保護フィルム
を剥離し、保護フィルムを除去したガラス板の上に該感
光性樹脂層が、ガラス板上の接着剤層に接するように重
ね合わせた後、接着剤層と同様の条件でラミネートし
た。その後赤色の感光性樹脂シートの仮支持体を剥す事
により、赤色の感光性樹脂層を接着剤層を介してガラス
板上に転写した。
The protective film was peeled off from the red photosensitive resin sheet, and the photosensitive resin layer was superposed on the glass plate from which the protective film had been removed so that the photosensitive resin layer was in contact with the adhesive layer on the glass plate, and then adhered. Lamination was performed under the same conditions as the agent layer. Then, the temporary support of the red photosensitive resin sheet was peeled off to transfer the red photosensitive resin layer onto the glass plate via the adhesive layer.

【0050】ついで、この接着剤層上の赤色の感光性樹
脂層側から1辺が120μmのマトリックス状のパター
ンを有するフォトマスクと重ね合わせ、フォトマスクの
側から2Kwの超高圧水銀灯で400nm以下をカット
するフィルターを重ね、50cmの距離から露光を行っ
た。露光済みの赤色感光性樹脂層を下記組成の現像液を
用いて35℃の温度で20秒間現像した。引き続く水
洗、乾燥により接着剤層上に赤色のパターンが得られ
た。
Then, a photomask having a matrix pattern of 120 μm on each side from the red photosensitive resin layer side on this adhesive layer was overlaid, and 400 nm or less was irradiated from the photomask side with an ultrahigh pressure mercury lamp of 2 Kw. Filters to be cut were overlapped and exposed from a distance of 50 cm. The exposed red photosensitive resin layer was developed with a developer having the following composition at a temperature of 35 ° C. for 20 seconds. Subsequent washing with water and drying gave a red pattern on the adhesive layer.

【0051】現像液 炭酸ナトリウム 15g 水 985gDeveloper: Sodium carbonate 15g Water 985g

【0052】この赤色パターンを有する接着剤層の上に
同様な方法で緑色の感光性樹脂層を転写した。次いでこ
の感光性樹脂層の上にマトリックス状のフォトマスクを
赤色のパターンに隣接するように重ね合わせ、400n
m以下をカットしたUV光により露光を行い、前述と同
様にして現像した。接着剤層上に赤色パターンと隣合う
緑色のパターンが得られた。この緑色パターンは優れた
密着性を持っており、パターンの欠落や形状の欠陥など
が認められなかった。
A green photosensitive resin layer was transferred onto this adhesive layer having a red pattern in the same manner. Then, a matrix-shaped photomask was superposed on the photosensitive resin layer so as to be adjacent to the red pattern, and 400 n
Exposure was carried out with UV light that cut m or less, and development was performed in the same manner as described above. A green pattern adjacent to the red pattern was obtained on the adhesive layer. This green pattern had excellent adhesion, and no pattern loss or shape defect was observed.

【0053】次に、青色のパターンについても同様の操
作を繰り返し、接着剤層上に3色のパターンを有するガ
ラス板を得た。次に、黒色の遮光性のパターンを前述と
同様に形成した。但し今回はストライプパターンを持つ
フォトマスクを通してパターン露光した。こうして、遮
光パターン(ブラックストライプ)を有する赤、緑、青
のパターンを有するガラス板が得られた。いずれのパタ
ーン形状にも欠陥がなく、またピンホールも認められな
かった。
Next, the same operation was repeated for the blue pattern to obtain a glass plate having a three-color pattern on the adhesive layer. Next, a black light-shielding pattern was formed in the same manner as described above. However, this time, pattern exposure was performed through a photomask having a stripe pattern. Thus, a glass plate having a red, green, and blue pattern having a light-shielding pattern (black stripe) was obtained. No defect was found in any pattern shape, and no pinhole was observed.

【0054】この様にして得られた赤、緑、青のパター
ンとブラックストライプがパターン状に形成されたサン
プルの接着剤層部分は、赤、緑、青およびブラックスト
ライプパターン形成のための現像液に浸漬されているに
も関わらず、その表面には何ら変化はなかった。
The adhesive layer portion of the sample thus obtained in which the red, green and blue patterns and the black stripes were formed in a pattern was composed of a developing solution for forming the red, green, blue and black stripe patterns. Even though it was immersed in, the surface did not change at all.

【0055】次ぎに、パターンのないところだけを遮蔽
するフォトマスクを用いて、400nm以下をカットす
るフィルターを通さずにガラス板の両面から露光したの
ち、2%NaOH水溶液で30℃で30秒間現像した。
その結果、画素には何ら影響を与えることなく接着剤層
を現像することができた。
Next, using a photomask which shields only a portion without a pattern, both sides of the glass plate are exposed without passing through a filter which cuts 400 nm or less, and then developed with a 2% NaOH aqueous solution at 30 ° C. for 30 seconds. did.
As a result, it was possible to develop the adhesive layer without affecting the pixels.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明の方法によれば、パターンの境界
ににじみがなく、明瞭な着色パターンを有するより精細
度の高いカラーフィルターを作成することができる。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the method of the present invention, it is possible to prepare a color filter having a finer definition and having a clear coloring pattern without bleeding at the boundary of the pattern.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 着色された感光性樹脂層を紫外線透過性
の仮支持体上に設けた画像形成材料の該感光性樹脂層
を、支持体上に設けられた接着剤層に密着させ、該感光
性樹脂層にパターン露光した後該感光性樹脂層を現像す
る工程を、異なる色に着色された画像形成材料を用いて
繰り返し、カラーフイルターを作成する方法において、
該接着剤層が該支持体上に層転写法で設けられたアルカ
リ水溶液で現像可能なネガ型感光性樹脂組成物から成る
ことを特徴とするカラーフイルターの作成方法。
Claim: What is claimed is: 1. An adhesive comprising a colored photosensitive resin layer provided on an ultraviolet-transparent temporary support, and the photosensitive resin layer of an image forming material provided on the support. In the method for producing a color filter, the step of closely contacting a layer and subjecting the photosensitive resin layer to pattern exposure and then developing the photosensitive resin layer is repeated using image forming materials colored in different colors,
A method for producing a color filter, wherein the adhesive layer is composed of a negative photosensitive resin composition developable with an alkaline aqueous solution provided on the support by a layer transfer method.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007093670A (en) * 2005-09-27 2007-04-12 Seiko Epson Corp Method for forming bank, method for manufacturing color filter substrate, method for manufacturing organic electroluminescent device, and method for forming wiring pattern

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