JPH05207223A - イメージセンサの検査方法 - Google Patents
イメージセンサの検査方法Info
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- JPH05207223A JPH05207223A JP4038642A JP3864292A JPH05207223A JP H05207223 A JPH05207223 A JP H05207223A JP 4038642 A JP4038642 A JP 4038642A JP 3864292 A JP3864292 A JP 3864292A JP H05207223 A JPH05207223 A JP H05207223A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 イメージセンサのチャンネル間抵抗を簡易か
つ迅速に計測する。 【構成】 イメージセンサの作動中である非読出区間内
において、電流電圧変換回路ＩＶを構成する演算増幅器
の非反転入力端子に、一定のバイアス電圧ＶB を印加
し、バイアス電圧ＶB を印加したチャンネルのチャンネ
ル配線ＣＬと、それ以外のチャンネル配線ＣＬとの間に
電位差を生じさせる。これにより、チャンネル間抵抗Ｒ
chに流れた電流Ｉchを電流電圧変換回路ＩＶにより検出
し、その出力変化をもとにチャンネル間抵抗Ｒchを算出
するようにした。
つ迅速に計測する。 【構成】 イメージセンサの作動中である非読出区間内
において、電流電圧変換回路ＩＶを構成する演算増幅器
の非反転入力端子に、一定のバイアス電圧ＶB を印加
し、バイアス電圧ＶB を印加したチャンネルのチャンネ
ル配線ＣＬと、それ以外のチャンネル配線ＣＬとの間に
電位差を生じさせる。これにより、チャンネル間抵抗Ｒ
chに流れた電流Ｉchを電流電圧変換回路ＩＶにより検出
し、その出力変化をもとにチャンネル間抵抗Ｒchを算出
するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイメージセンサの検査方
法に関し、さらに詳しくは、光電変換素子に流れる信号
電流を導き出すための配線間に存在する電気抵抗を計測
する方法に関する。
法に関し、さらに詳しくは、光電変換素子に流れる信号
電流を導き出すための配線間に存在する電気抵抗を計測
する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ファクシミリなどの原稿読み取り
部には、縮小光学系が必要なＣＣＤ型のイメージセンサ
に代わって、原稿を等倍で読み取ることができる密着型
イメージセンサが使用されている。ここで、この密着型
イメージセンサの中でも主流であるマトリクス駆動方式
のイメージセンサについて簡単に説明する。
部には、縮小光学系が必要なＣＣＤ型のイメージセンサ
に代わって、原稿を等倍で読み取ることができる密着型
イメージセンサが使用されている。ここで、この密着型
イメージセンサの中でも主流であるマトリクス駆動方式
のイメージセンサについて簡単に説明する。
【０００３】たとえば図２に示すように、マトリクス駆
動方式のイメージセンサには、光電変換素子であるフォ
トダイオードＰＤと、スイッチング素子であるブロッキ
ングダイオードＢＤとが、逆極性で直列に接続された状
態でｍ×ｎ個配列されている。これらのダイオードＰ
Ｄ，ＢＤはｎ個毎にｍ個のブロックＢ1,Ｂ2,... Ｂm に
区分されていて、フォトダイオードＰＤのアノード端子
はチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn によりブロッ
クＢ1,Ｂ2,... Ｂm 間で相対的に同一位置にあるもの同
士で共通に接続され、信号処理回路ＳＣに接続されてい
る。これらのチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬ
n は、フォトダイオードＰＤに流れる信号電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn を導き出すための配線である。一方、ブロッ
キングダイオードＢＤのアノード端子はブロックＢ1,Ｂ
2,... Ｂm 単位で共通に接続され、駆動回路ＤＣに接続
されている。
動方式のイメージセンサには、光電変換素子であるフォ
トダイオードＰＤと、スイッチング素子であるブロッキ
ングダイオードＢＤとが、逆極性で直列に接続された状
態でｍ×ｎ個配列されている。これらのダイオードＰ
Ｄ，ＢＤはｎ個毎にｍ個のブロックＢ1,Ｂ2,... Ｂm に
区分されていて、フォトダイオードＰＤのアノード端子
はチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn によりブロッ
クＢ1,Ｂ2,... Ｂm 間で相対的に同一位置にあるもの同
士で共通に接続され、信号処理回路ＳＣに接続されてい
る。これらのチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬ
n は、フォトダイオードＰＤに流れる信号電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn を導き出すための配線である。一方、ブロッ
キングダイオードＢＤのアノード端子はブロックＢ1,Ｂ
2,... Ｂm 単位で共通に接続され、駆動回路ＤＣに接続
されている。
【０００４】この信号処理回路ＳＣは、電流電圧変換回
路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn と、積分回路ＩＮ1,ＩＮ
2,... ＩＮn と、サンプルホールド回路ＳＨ1,ＳＨ
2,... ＳＨn と、マルチプレクサ回路ＭＰＸとから構成
され、フォトダイオードＰＤに流れる信号電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn を電圧変換した後、積分し、さらに時系列的
に出力するものである。一方、駆動回路ＤＣはシフトレ
ジスタなどから構成され、図１２に示すような駆動電圧
ＶD1, ＶD2,...ＶDmを、各フォトダイオードＰＤにブロ
ックＢ1,Ｂ2,... Ｂm 単位で順番に、繰り返し印加する
ものである。これら駆動電圧ＶD1, ＶD2,...ＶDmの繰り
返し周期Ｔint は、一般に「蓄積時間」と呼ばれてい
る。
路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn と、積分回路ＩＮ1,ＩＮ
2,... ＩＮn と、サンプルホールド回路ＳＨ1,ＳＨ
2,... ＳＨn と、マルチプレクサ回路ＭＰＸとから構成
され、フォトダイオードＰＤに流れる信号電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn を電圧変換した後、積分し、さらに時系列的
に出力するものである。一方、駆動回路ＤＣはシフトレ
ジスタなどから構成され、図１２に示すような駆動電圧
ＶD1, ＶD2,...ＶDmを、各フォトダイオードＰＤにブロ
ックＢ1,Ｂ2,... Ｂm 単位で順番に、繰り返し印加する
ものである。これら駆動電圧ＶD1, ＶD2,...ＶDmの繰り
返し周期Ｔint は、一般に「蓄積時間」と呼ばれてい
る。
【０００５】このイメージセンサはいわゆる電荷蓄積方
式で作動するもので、図１２に示すように、駆動回路Ｄ
Ｃにより駆動電圧ＶD1, ＶD2,...ＶDmが印加されると、
その駆動電圧ＶD1, ＶD2,...ＶDmが印加されたブロック
Ｂ1,Ｂ2,... Ｂm 内の各フォトダイオードＰＤに一定の
電流Ｉ1,Ｉ2,... Ｉn が流れる。これらの電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn は、蓄積時間Ｔint 内に光電流により放電さ
せられたフォトダイオードＰＤの容量を再充電するため
に流れる信号電流である。
式で作動するもので、図１２に示すように、駆動回路Ｄ
Ｃにより駆動電圧ＶD1, ＶD2,...ＶDmが印加されると、
その駆動電圧ＶD1, ＶD2,...ＶDmが印加されたブロック
Ｂ1,Ｂ2,... Ｂm 内の各フォトダイオードＰＤに一定の
電流Ｉ1,Ｉ2,... Ｉn が流れる。これらの電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn は、蓄積時間Ｔint 内に光電流により放電さ
せられたフォトダイオードＰＤの容量を再充電するため
に流れる信号電流である。
【０００６】これらの信号電流Ｉ1,Ｉ2,... Ｉn は、チ
ャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn を介して導き出さ
れ、電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn により電
圧（以下、「変換電圧」という。）ＶIV1,ＶIV2,... Ｖ
IVn に変換され、さらに積分回路ＩＮ1,ＩＮ2,... ＩＮ
n により積分される。これらの積分回路ＩＮ1,ＩＮ
2,... ＩＮn の出力電圧（以下、「積分電圧」とい
う。）ＶIN1,ＶIN2,... ＶINn が原稿の濃淡に比例した
値になっていて、これらの積分電圧ＶIN1,ＶIN2,... Ｖ
INn がサンプルホールド回路ＳＨ1,ＳＨ2,... ＳＨn と
マルチプレクサ回路ＭＰＸとにより時系列的に出力され
るのである。
ャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn を介して導き出さ
れ、電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn により電
圧（以下、「変換電圧」という。）ＶIV1,ＶIV2,... Ｖ
IVn に変換され、さらに積分回路ＩＮ1,ＩＮ2,... ＩＮ
n により積分される。これらの積分回路ＩＮ1,ＩＮ
2,... ＩＮn の出力電圧（以下、「積分電圧」とい
う。）ＶIN1,ＶIN2,... ＶINn が原稿の濃淡に比例した
値になっていて、これらの積分電圧ＶIN1,ＶIN2,... Ｖ
INn がサンプルホールド回路ＳＨ1,ＳＨ2,... ＳＨn と
マルチプレクサ回路ＭＰＸとにより時系列的に出力され
るのである。
【０００７】なお図１２において、変換電圧ＶIV1,Ｖ
IV2,... ＶIVn は便宜上正負を逆にして示している。ま
た、イメージセンサの作動中には、信号電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn が電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn
などにより検出されている時間（以下、「読出区間」と
いう。）Ｔa と、検出されていない時間（以下、「非読
出区間」という。）Ｔb とがある。
IV2,... ＶIVn は便宜上正負を逆にして示している。ま
た、イメージセンサの作動中には、信号電流Ｉ1,Ｉ
2,... Ｉn が電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn
などにより検出されている時間（以下、「読出区間」と
いう。）Ｔa と、検出されていない時間（以下、「非読
出区間」という。）Ｔb とがある。
【０００８】このイメージセンサでは、電流電圧変換回
路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn が電流検出手段に相当し、こ
れらの演算増幅器の反転入力端子にチャンネル配線ＣＬ
1,ＣＬ2,... ＣＬn が接続されている。なお、演算増幅
器の非反転入力端子は接地されているため、チャンネル
配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn は互いに同一電位にされて
いる。
路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn が電流検出手段に相当し、こ
れらの演算増幅器の反転入力端子にチャンネル配線ＣＬ
1,ＣＬ2,... ＣＬn が接続されている。なお、演算増幅
器の非反転入力端子は接地されているため、チャンネル
配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn は互いに同一電位にされて
いる。
【０００９】通常、これらのチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ
2,... ＣＬn は互いに絶縁状態で形成されるが、マトリ
クス構造であるため稀に短絡していることがある。この
ため、チャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn 間の電気
抵抗（以下、「チャンネル間抵抗」という。）を計測
し、製造したイメージセンサの良否を判別する必要があ
る。
2,... ＣＬn は互いに絶縁状態で形成されるが、マトリ
クス構造であるため稀に短絡していることがある。この
ため、チャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn 間の電気
抵抗（以下、「チャンネル間抵抗」という。）を計測
し、製造したイメージセンサの良否を判別する必要があ
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、フォトダイオ
ードＰＤとブロッキングダイオードＢＤとは逆極性で直
列に接続されているため、いずれの方向にも電流が流れ
ない。したがって、これらのダイオードＰＤ，ＢＤを介
してチャンネル間抵抗を計測することは技術的に不可能
である。これに対して図１３に示すように、チャンネル
配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn などの延長線上に測定用端
子１を形成しておき、抵抗測定器２を用いてチャンネル
間抵抗Ｒchを計測する方法も理論的には考えられるが、
測定用端子１を形成する必要があるので実用的でなく、
さらに計測に時間がかかるという問題もある。
ードＰＤとブロッキングダイオードＢＤとは逆極性で直
列に接続されているため、いずれの方向にも電流が流れ
ない。したがって、これらのダイオードＰＤ，ＢＤを介
してチャンネル間抵抗を計測することは技術的に不可能
である。これに対して図１３に示すように、チャンネル
配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn などの延長線上に測定用端
子１を形成しておき、抵抗測定器２を用いてチャンネル
間抵抗Ｒchを計測する方法も理論的には考えられるが、
測定用端子１を形成する必要があるので実用的でなく、
さらに計測に時間がかかるという問題もある。
【００１１】そこで、本発明者らは、チャンネル間抵抗
を簡易かつ迅速に計測することによって、イメージセン
サの良否を判別できるよう鋭意研究を重ねた結果、本発
明に至った。
を簡易かつ迅速に計測することによって、イメージセン
サの良否を判別できるよう鋭意研究を重ねた結果、本発
明に至った。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に係るイメージセ
ンサの検査方法の要旨とするところは、光電変換素子
と、該光電変換素子に流れる信号電流を導き出すための
互いに同一電位にされた複数の配線と、該配線を介して
導き出された信号電流を検出する電流検出手段とから構
成されるイメージセンサの検査方法であって、前記配線
のうちのいずれかの配線と、その他の配線との間に電位
差を生じさせ、前記電流検出手段の出力変化をもとに前
記配線間の電気抵抗を計測することにある。
ンサの検査方法の要旨とするところは、光電変換素子
と、該光電変換素子に流れる信号電流を導き出すための
互いに同一電位にされた複数の配線と、該配線を介して
導き出された信号電流を検出する電流検出手段とから構
成されるイメージセンサの検査方法であって、前記配線
のうちのいずれかの配線と、その他の配線との間に電位
差を生じさせ、前記電流検出手段の出力変化をもとに前
記配線間の電気抵抗を計測することにある。
【００１３】また、かかるイメージセンサの検査方法に
おいて、前記電流検出手段が演算増幅器から構成され、
該演算増幅器の反転入力端子に前記配線が接続されてい
るイメージセンサの検査方法であって、前記演算増幅器
のうちのいずれかの演算増幅器の非反転入力端子にバイ
アス電圧を印加することにより、該演算増幅器の反転入
力端子に接続されている配線と、その他の配線との間に
電位差を生じさせることにある。
おいて、前記電流検出手段が演算増幅器から構成され、
該演算増幅器の反転入力端子に前記配線が接続されてい
るイメージセンサの検査方法であって、前記演算増幅器
のうちのいずれかの演算増幅器の非反転入力端子にバイ
アス電圧を印加することにより、該演算増幅器の反転入
力端子に接続されている配線と、その他の配線との間に
電位差を生じさせることにある。
【００１４】さらに、前記イメージセンサの検査方法
を、前記イメージセンサの作動中であって前記信号電流
が前記電流検出手段により検出されていない時間内に実
施することにある。
を、前記イメージセンサの作動中であって前記信号電流
が前記電流検出手段により検出されていない時間内に実
施することにある。
【００１５】
【作用】かかるイメージセンサの検査方法によれば、配
線のうちのいずれかの配線と、その他の配線との間に電
位差が生じさせられ、これらの配線間の電気抵抗に一定
の電流が流れる。この一定電流は信号電流と同様に配線
を介して導き出され、電流検出手段により検出される。
これにより、電流検出手段の出力が変化させられ、この
出力変化をもとに配線間の電気抵抗が計測される。
線のうちのいずれかの配線と、その他の配線との間に電
位差が生じさせられ、これらの配線間の電気抵抗に一定
の電流が流れる。この一定電流は信号電流と同様に配線
を介して導き出され、電流検出手段により検出される。
これにより、電流検出手段の出力が変化させられ、この
出力変化をもとに配線間の電気抵抗が計測される。
【００１６】また、電流検出手段が演算増幅器から構成
され、その演算増幅器の反転入力端子に配線が接続され
ているイメージセンサの場合には、演算増幅器のうちの
いずれかの演算増幅器の非反転入力端子に、一定のバイ
アス電圧が印加され、その演算増幅器の反転入力端子に
接続されている配線の電位が変化させられる。これによ
り、この電位が変化させられた配線と、その他の配線と
の間に電位差が生じさせられ、前述同様に配線間の電気
抵抗が計測されることになる。
され、その演算増幅器の反転入力端子に配線が接続され
ているイメージセンサの場合には、演算増幅器のうちの
いずれかの演算増幅器の非反転入力端子に、一定のバイ
アス電圧が印加され、その演算増幅器の反転入力端子に
接続されている配線の電位が変化させられる。これによ
り、この電位が変化させられた配線と、その他の配線と
の間に電位差が生じさせられ、前述同様に配線間の電気
抵抗が計測されることになる。
【００１７】さらに、イメージセンサの作動中であって
信号電流が電流検出手段により検出されていない時間内
に、前述したイメージセンサの検査方法が実施される
と、配線のうちのいずれかの配線と、その他の配線との
間に電位差が生じさせられ、前述同様に配線間の電気抵
抗が計測されることになる。
信号電流が電流検出手段により検出されていない時間内
に、前述したイメージセンサの検査方法が実施される
と、配線のうちのいずれかの配線と、その他の配線との
間に電位差が生じさせられ、前述同様に配線間の電気抵
抗が計測されることになる。
【００１８】
【実施例】次に、本発明に係るイメージセンサの検査方
法の実施例について、図面に基づき詳しく説明するが、
まずは図２に示したイメージセンサに適用した例を説明
する。このイメージセンサは〔従来の技術〕の項で取り
上げたものである。
法の実施例について、図面に基づき詳しく説明するが、
まずは図２に示したイメージセンサに適用した例を説明
する。このイメージセンサは〔従来の技術〕の項で取り
上げたものである。
【００１９】図１に示すように、イメージセンサの電流
電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn を構成する演算増
幅器の非反転入力端子に、図３に示すようなバイアス電
圧ＶB1, ＶB2,...ＶBnを、このイメージセンサが一連の
作動を行なっている最中である非読出区間Ｔb 内に印加
する。
電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn を構成する演算増
幅器の非反転入力端子に、図３に示すようなバイアス電
圧ＶB1, ＶB2,...ＶBnを、このイメージセンサが一連の
作動を行なっている最中である非読出区間Ｔb 内に印加
する。
【００２０】順を追って説明すると、第１ブロックＢ1
から最終ブロックＢm までの読み出しが終わった後、ま
ず第１チャンネル以外の全ての演算増幅器の非反転入力
端子にバイアス電圧ＶB2, ＶB3,...ＶBnを印加する。次
いで、第２チャンネル以外の全ての演算増幅器の非反転
入力端子にバイアス電圧ＶB1, ＶB3,...ＶBnを印加す
る。以下同様にバイアス電圧ＶB を印加していき、最後
に第ｎチャンネル以外の全ての演算増幅器の非反転入力
端子にバイアス電圧ＶB1, ＶB2,...ＶBn-1を印加する。
そして再び、第１ブロックＢ1 からの読み出しを開始す
るのである。
から最終ブロックＢm までの読み出しが終わった後、ま
ず第１チャンネル以外の全ての演算増幅器の非反転入力
端子にバイアス電圧ＶB2, ＶB3,...ＶBnを印加する。次
いで、第２チャンネル以外の全ての演算増幅器の非反転
入力端子にバイアス電圧ＶB1, ＶB3,...ＶBnを印加す
る。以下同様にバイアス電圧ＶB を印加していき、最後
に第ｎチャンネル以外の全ての演算増幅器の非反転入力
端子にバイアス電圧ＶB1, ＶB2,...ＶBn-1を印加する。
そして再び、第１ブロックＢ1 からの読み出しを開始す
るのである。
【００２１】なお、ここで印加するバイアス電圧ＶB の
大きさは全て同じである。また、バイアス電圧ＶB は分
割抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 を介して印加するので、実際に演算増
幅器の非反転入力端子に印加することになるバイアス電
圧ＶB ’は、次の数１で表される。
大きさは全て同じである。また、バイアス電圧ＶB は分
割抵抗Ｒ1 ，Ｒ2 を介して印加するので、実際に演算増
幅器の非反転入力端子に印加することになるバイアス電
圧ＶB ’は、次の数１で表される。
【数１】
【００２２】たとえば、一般的に第ｉチャンネル以外の
全ての演算増幅器の非反転入力端子にバイアス電圧ＶB
を印加した場合には、第ｉチャンネル以外の全てのチャ
ンネル配線ＣＬj （ｊ≠ｉ）の電位が０ボルトから
ＶB ’ボルトまで変化させられ、第ｉチャンネル以外の
チャンネル配線ＣＬj と、第ｉチャンネルのチャンネル
配線ＣＬi との間に電位差が生じさせられる。ただし、
印加したバイアス電圧ＶB の大きさは同じであるから、
第ｉチャンネル以外のチャンネル配線ＣＬj の相互間に
は電位差は生じさせられない。この結果、第ｉチャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬi と、これ以外のチャンネル配
線ＣＬj との間のチャンネル間抵抗Ｒchijには、次の数
２で表されるチャンネル間電流Ｉchijが流れる。
全ての演算増幅器の非反転入力端子にバイアス電圧ＶB
を印加した場合には、第ｉチャンネル以外の全てのチャ
ンネル配線ＣＬj （ｊ≠ｉ）の電位が０ボルトから
ＶB ’ボルトまで変化させられ、第ｉチャンネル以外の
チャンネル配線ＣＬj と、第ｉチャンネルのチャンネル
配線ＣＬi との間に電位差が生じさせられる。ただし、
印加したバイアス電圧ＶB の大きさは同じであるから、
第ｉチャンネル以外のチャンネル配線ＣＬj の相互間に
は電位差は生じさせられない。この結果、第ｉチャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬi と、これ以外のチャンネル配
線ＣＬj との間のチャンネル間抵抗Ｒchijには、次の数
２で表されるチャンネル間電流Ｉchijが流れる。
【数２】
【００２３】これらのチャンネル間電流Ｉchijは、第ｉ
チャンネル以外のそれぞれの電流電圧変換回路ＩＶj か
ら流れ出し、それぞれのチャンネル間抵抗Ｒchijを通っ
て第ｉチャンネルの電流電圧変換回路ＩＶi に流れ込
む。したがって、第ｉチャンネルの電流電圧変換回路Ｉ
Ｖi の変換電圧ＶIVi は、負帰還抵抗をＲf とすると、
次の数３で表される。
チャンネル以外のそれぞれの電流電圧変換回路ＩＶj か
ら流れ出し、それぞれのチャンネル間抵抗Ｒchijを通っ
て第ｉチャンネルの電流電圧変換回路ＩＶi に流れ込
む。したがって、第ｉチャンネルの電流電圧変換回路Ｉ
Ｖi の変換電圧ＶIVi は、負帰還抵抗をＲf とすると、
次の数３で表される。
【数３】
【００２４】一方、このときの第ｉチャンネル以外の電
流電圧変換回路ＩＶj の変換電圧ＶIvj は、次の数４で
表される。
流電圧変換回路ＩＶj の変換電圧ＶIvj は、次の数４で
表される。
【数４】
【００２５】これらの変換電圧ＶIVi,ＶIvj は、積分回
路ＩＮ1,ＩＮ2,... ＩＮn により積分され、次の数５お
よび数６で表される積分電圧ＶINi ，ＶINj が得られ
る。
路ＩＮ1,ＩＮ2,... ＩＮn により積分され、次の数５お
よび数６で表される積分電圧ＶINi ，ＶINj が得られ
る。
【数５】
【数６】 ここで、ＲINは積分抵抗の値、ＣINは積分コンデンサの
値、ＴINは積分時間である。
値、ＴINは積分時間である。
【００２６】これらの積分電圧ＶINi ，ＶINj は、サン
プルホールド回路ＳＨ1,ＳＨ2,... ＳＨn とマルチプレ
クサ回路ＭＰＸとにより時系列的に出力される。この時
系列的に出力された積分電圧ＶINi ，ＶINj を測定すれ
ば、上記数５，数６より、第ｉチャンネルのチャンネル
配線ＣＬi と、これ以外のチャンネル配線ＣＬj との間
の各チャンネル間抵抗Ｒchijを算出することができる。
しかも、これらはｉ＝１からｉ＝ｎまでの合計ｎ回繰り
返し行なわれるので、全てのチャンネル間抵抗Ｒchijを
算出することができる。
プルホールド回路ＳＨ1,ＳＨ2,... ＳＨn とマルチプレ
クサ回路ＭＰＸとにより時系列的に出力される。この時
系列的に出力された積分電圧ＶINi ，ＶINj を測定すれ
ば、上記数５，数６より、第ｉチャンネルのチャンネル
配線ＣＬi と、これ以外のチャンネル配線ＣＬj との間
の各チャンネル間抵抗Ｒchijを算出することができる。
しかも、これらはｉ＝１からｉ＝ｎまでの合計ｎ回繰り
返し行なわれるので、全てのチャンネル間抵抗Ｒchijを
算出することができる。
【００２７】ここで、さらに説明を簡単にするため、第
１チャンネルのチャンネル配線ＣＬ1 と、第３チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ3 との間にのみチャンネル間抵
抗Ｒch13が存在し、これら以外のチャンネル配線間には
チャンネル間抵抗が存在しない場合、つまりチャンネル
間抵抗が無限大である場合を想定する。
１チャンネルのチャンネル配線ＣＬ1 と、第３チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ3 との間にのみチャンネル間抵
抗Ｒch13が存在し、これら以外のチャンネル配線間には
チャンネル間抵抗が存在しない場合、つまりチャンネル
間抵抗が無限大である場合を想定する。
【００２８】まず、第１チャンネル以外の演算増幅器に
バイアス電圧ＶB を印加したときには、第３チャンネル
のチャンネル配線ＣＬ3 から第１チャンネルのチャンネ
ル配線ＣＬ1 に向かってのみチャンネル間電流Ｉch13が
流れる。したがって、各電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ
2,... ＩＶn の変換電圧ＶIV1,ＶIV2,... ＶIVn は、上
記数３，数４より、次の数７で表される。
バイアス電圧ＶB を印加したときには、第３チャンネル
のチャンネル配線ＣＬ3 から第１チャンネルのチャンネ
ル配線ＣＬ1 に向かってのみチャンネル間電流Ｉch13が
流れる。したがって、各電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ
2,... ＩＶn の変換電圧ＶIV1,ＶIV2,... ＶIVn は、上
記数３，数４より、次の数７で表される。
【数７】
【００２９】次いで、第２チャンネル以外の演算増幅器
にバイアス電圧ＶB を印加したときには、第１チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ1 の電位と、第３チャンネルの
チャンネル配線ＣＬ3 の電位とが同じになるので、いず
れのチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn 間にもチャ
ンネル間電流Ｉchijは流れない。したがって、各電流電
圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn の変換電圧ＶIV1,Ｖ
IV2,... ＶIVn は、上記数３，数４より、次の数８で表
される。
にバイアス電圧ＶB を印加したときには、第１チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ1 の電位と、第３チャンネルの
チャンネル配線ＣＬ3 の電位とが同じになるので、いず
れのチャンネル配線ＣＬ1,ＣＬ2,... ＣＬn 間にもチャ
ンネル間電流Ｉchijは流れない。したがって、各電流電
圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ2,... ＩＶn の変換電圧ＶIV1,Ｖ
IV2,... ＶIVn は、上記数３，数４より、次の数８で表
される。
【数８】
【００３０】次いで、第３チャンネル以外の演算増幅器
にバイアス電圧ＶB を印加したときには、第１チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ1 から第３チャンネルのチャン
ネル配線ＣＬ3 に向かってのみチャンネル間電流Ｉch31
が流れる。したがって、各電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ
2,... ＩＶn の変換電圧ＶIV1,ＶIV2,... ＶIVn は、上
記数３，数４より、次の数９で表される。
にバイアス電圧ＶB を印加したときには、第１チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ1 から第３チャンネルのチャン
ネル配線ＣＬ3 に向かってのみチャンネル間電流Ｉch31
が流れる。したがって、各電流電圧変換回路ＩＶ1,ＩＶ
2,... ＩＶn の変換電圧ＶIV1,ＶIV2,... ＶIVn は、上
記数３，数４より、次の数９で表される。
【数９】
【００３１】以降から、第ｎチャンネル以外の演算増幅
器にバイアス電圧ＶB を印加するときまでは、第１チャ
ンネルのチャンネル配線ＣＬ1 の電位と、第３チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ3 の電位とが同じになるので、
いずれのチャンネル配線ＣＬ 1,ＣＬ2,... ＣＬn 間にも
チャンネル間電流Ｉchijは流れない。
器にバイアス電圧ＶB を印加するときまでは、第１チャ
ンネルのチャンネル配線ＣＬ1 の電位と、第３チャンネ
ルのチャンネル配線ＣＬ3 の電位とが同じになるので、
いずれのチャンネル配線ＣＬ 1,ＣＬ2,... ＣＬn 間にも
チャンネル間電流Ｉchijは流れない。
【００３２】このように、第１チャンネルと第３チャン
ネルとの間にのみチャンネル間抵抗Ｒch13が存在してい
る場合には、図３に示すように、第１チャンネル以外の
演算増幅器にバイアス電圧ＶB を印加したときと、第３
チャンネル以外の演算増幅器にバイアス電圧ＶB を印加
したときとに、比較的大きな変換電圧ＶIV1,ＶIV3 が得
られることになる。（前述同様に、変換電圧ＶIV1,Ｖ
IV2,... ＶIVn は正負を逆に示している。）さらに、こ
れらの積分電圧ＶIN1,ＶIN3 は、次の数１０で表され
る。
ネルとの間にのみチャンネル間抵抗Ｒch13が存在してい
る場合には、図３に示すように、第１チャンネル以外の
演算増幅器にバイアス電圧ＶB を印加したときと、第３
チャンネル以外の演算増幅器にバイアス電圧ＶB を印加
したときとに、比較的大きな変換電圧ＶIV1,ＶIV3 が得
られることになる。（前述同様に、変換電圧ＶIV1,Ｖ
IV2,... ＶIVn は正負を逆に示している。）さらに、こ
れらの積分電圧ＶIN1,ＶIN3 は、次の数１０で表され
る。
【数１０】
【００３３】ここで、バイアス電圧ＶB ’を１００ｍ
Ｖ、積分抵抗ＲINを１ｋΩ、積分コンデンサＣINを１０
００ｐＦ、積分時間ＴINを５７．５μＳとすると、積分
電圧ＶIV1 は、次の数１１で表される。
Ｖ、積分抵抗ＲINを１ｋΩ、積分コンデンサＣINを１０
００ｐＦ、積分時間ＴINを５７．５μＳとすると、積分
電圧ＶIV1 は、次の数１１で表される。
【数１１】
【００３４】ゆえに、チャンネル間抵抗Ｒch13は、次の
数１２より求めることができる。
数１２より求めることができる。
【数１２】
【００３５】たとえば負帰還抵抗Ｒf が５６０ｋΩであ
る場合に、３．２２Ｖの積分電圧ＩＮ1 が得られたとす
ると、チャンネル間抵抗Ｒch13は１ＭΩあることにな
る。このように、チャンネル間抵抗Ｒch13がかなり大き
い場合であっても、十分大きな積分電圧ＩＮ1 が得られ
る。このため、高感度の検出が可能で、たとえば１０Ｍ
Ω以上の場合であっても十分検出が可能である。
る場合に、３．２２Ｖの積分電圧ＩＮ1 が得られたとす
ると、チャンネル間抵抗Ｒch13は１ＭΩあることにな
る。このように、チャンネル間抵抗Ｒch13がかなり大き
い場合であっても、十分大きな積分電圧ＩＮ1 が得られ
る。このため、高感度の検出が可能で、たとえば１０Ｍ
Ω以上の場合であっても十分検出が可能である。
【００３６】本実施例では、電流検出手段である電流電
圧変換回路ＩＶの変換電圧ＶIVを直接測定するのではな
く、この変換電圧ＶIVが積分された積分電圧ＶINを測定
し、この積分電圧ＶINからチャンネル間抵抗Ｒchを算出
している。すなわち、電流検出手段である電流電圧変換
回路の出力変化をもとにチャンネル配線間の電気抵抗を
計測しているのである。
圧変換回路ＩＶの変換電圧ＶIVを直接測定するのではな
く、この変換電圧ＶIVが積分された積分電圧ＶINを測定
し、この積分電圧ＶINからチャンネル間抵抗Ｒchを算出
している。すなわち、電流検出手段である電流電圧変換
回路の出力変化をもとにチャンネル配線間の電気抵抗を
計測しているのである。
【００３７】なお図４に示すように、電流電圧変換回路
ＩＶの変換電圧ＶIVには、通常、オフセット電圧ＶOFF
が含まれているため、たとえば図５に示すようなオフセ
ット調整回路によって、オフセット電圧ＶOFF が０ボル
トになるように調整しておくのが望ましい。
ＩＶの変換電圧ＶIVには、通常、オフセット電圧ＶOFF
が含まれているため、たとえば図５に示すようなオフセ
ット調整回路によって、オフセット電圧ＶOFF が０ボル
トになるように調整しておくのが望ましい。
【００３８】このようなイメージセンサの検査方法によ
れば、イメージセンサを改造することなく、チャンネル
間抵抗Ｒchを計測することができる。しかも、イメージ
センサの処理回路ＳＣを積極的に利用して、チャンネル
間抵抗Ｒchを計測しているため、検査装置としては、バ
イアス電圧ＶB を発生する簡単な回路を用意するだけで
良い。また、イメージセンサの作動中にチャンネル間抵
抗Ｒchを計測しているため、イメージセンサの動作チェ
ックを行なうと同時に、各チャンネル配線ＣＬ間の良否
を判別することができ、極めて短時間でイメージセンサ
を検査することができる。さらに、チャンネル間抵抗Ｒ
chを繰り返し計測し、これらの平均値をとることによっ
て、より正確な値を得ることも可能である。このよう
に、本実施例に係るイメージセンサの検査方法は、実用
性が高く、極めて低コストな検査方法となっている。
れば、イメージセンサを改造することなく、チャンネル
間抵抗Ｒchを計測することができる。しかも、イメージ
センサの処理回路ＳＣを積極的に利用して、チャンネル
間抵抗Ｒchを計測しているため、検査装置としては、バ
イアス電圧ＶB を発生する簡単な回路を用意するだけで
良い。また、イメージセンサの作動中にチャンネル間抵
抗Ｒchを計測しているため、イメージセンサの動作チェ
ックを行なうと同時に、各チャンネル配線ＣＬ間の良否
を判別することができ、極めて短時間でイメージセンサ
を検査することができる。さらに、チャンネル間抵抗Ｒ
chを繰り返し計測し、これらの平均値をとることによっ
て、より正確な値を得ることも可能である。このよう
に、本実施例に係るイメージセンサの検査方法は、実用
性が高く、極めて低コストな検査方法となっている。
【００３９】以上、本発明に係るイメージセンサの検査
方法の一実施例を詳述したが、本発明は上述の実施例に
限定されることなく、その他の態様でも実施し得るもの
である。
方法の一実施例を詳述したが、本発明は上述の実施例に
限定されることなく、その他の態様でも実施し得るもの
である。
【００４０】たとえば、演算増幅器の非反転入力端子に
印加するバイアス電圧ＶB は、図６に示すように、ボル
テージホロワＶＦを介して印加しても良い。また図示は
省略するが、何も介さないで直接印加することも可能で
ある。すなわち、バイアス電圧ＶB は、演算増幅器の非
反転入力端子に直接又は間接的に印加すれば良い。
印加するバイアス電圧ＶB は、図６に示すように、ボル
テージホロワＶＦを介して印加しても良い。また図示は
省略するが、何も介さないで直接印加することも可能で
ある。すなわち、バイアス電圧ＶB は、演算増幅器の非
反転入力端子に直接又は間接的に印加すれば良い。
【００４１】また図７に示すように、上述の実施例とは
反対に、ｎ個ある演算増幅器のうちの１つの演算増幅器
だけにバイアス電圧ＶB1, ＶB2,...ＶBnを印加するよう
にしても良い。また上述した実施例では、バイアス電圧
ＶB1, ＶB2,...ＶBnの極性を正にしているが、これを負
にしても良い。さらに上述した実施例では、いずれか１
つのチャンネル配線と、それ以外のチャンネル配線との
間に電位差を生じさせることによって、各チャンネル間
抵抗Ｒchを計測しているが、２つ以上のチャンネル配線
と、それら以外のチャンネル配線との間に電位差を生じ
させることによって、各チャンネル間抵抗Ｒchを計測す
ることも、多少複雑にはなるが可能である。
反対に、ｎ個ある演算増幅器のうちの１つの演算増幅器
だけにバイアス電圧ＶB1, ＶB2,...ＶBnを印加するよう
にしても良い。また上述した実施例では、バイアス電圧
ＶB1, ＶB2,...ＶBnの極性を正にしているが、これを負
にしても良い。さらに上述した実施例では、いずれか１
つのチャンネル配線と、それ以外のチャンネル配線との
間に電位差を生じさせることによって、各チャンネル間
抵抗Ｒchを計測しているが、２つ以上のチャンネル配線
と、それら以外のチャンネル配線との間に電位差を生じ
させることによって、各チャンネル間抵抗Ｒchを計測す
ることも、多少複雑にはなるが可能である。
【００４２】また上述した実施例のように、イメージセ
ンサの作動中にバイアス電圧を印加することは必ずしも
必要ではない。すなわち、イメージセンサの非作動中に
単独でバイアス電圧を印加することによって、一つずつ
チャンネル間抵抗を計測することも、かなり時間がかか
るが可能である。なお、電流電圧変換回路ＩＶなどによ
りチャンネル間電流を検出する必要があるので、信号処
理回路ＳＣなどは動作可能な状態にしておく。
ンサの作動中にバイアス電圧を印加することは必ずしも
必要ではない。すなわち、イメージセンサの非作動中に
単独でバイアス電圧を印加することによって、一つずつ
チャンネル間抵抗を計測することも、かなり時間がかか
るが可能である。なお、電流電圧変換回路ＩＶなどによ
りチャンネル間電流を検出する必要があるので、信号処
理回路ＳＣなどは動作可能な状態にしておく。
【００４３】さらに、上述した実施例のように時系列的
に出力された後の積分電圧ＶINを測定するのではなく、
時系列的に出力される前の積分電圧ＶINや、あるいは積
分される前の変換電圧ＶIVをそれぞれ個別に測定し、こ
れらからチャンネル間抵抗Ｒchを算出するようにしても
良い。
に出力された後の積分電圧ＶINを測定するのではなく、
時系列的に出力される前の積分電圧ＶINや、あるいは積
分される前の変換電圧ＶIVをそれぞれ個別に測定し、こ
れらからチャンネル間抵抗Ｒchを算出するようにしても
良い。
【００４４】ところで、本発明に係るイメージセンサの
検査方法を適用し得るイメージセンサには、上述したイ
メージセンサだけでなく、種々のイメージセンサがあ
る。
検査方法を適用し得るイメージセンサには、上述したイ
メージセンサだけでなく、種々のイメージセンサがあ
る。
【００４５】たとえば図８に示すように、積分回路ＩＮ
を構成する演算増幅器の反転入力端子に、フォトダイオ
ードＰＤに流れる信号電流を導き出すためのチャンネル
配線ＣＬが直接接続されているイメージセンサにも適用
し得るものである。本実施例では、積分回路ＩＮが電流
検出手段に相当し、この積分回路ＩＮの出力変化をもと
にチャンネル間抵抗を計測しているのである。
を構成する演算増幅器の反転入力端子に、フォトダイオ
ードＰＤに流れる信号電流を導き出すためのチャンネル
配線ＣＬが直接接続されているイメージセンサにも適用
し得るものである。本実施例では、積分回路ＩＮが電流
検出手段に相当し、この積分回路ＩＮの出力変化をもと
にチャンネル間抵抗を計測しているのである。
【００４６】また図９に示すように、光電変換素子とし
てCdＳ-CdSe などの光導電素子ＰＣを用いた非蓄積型の
イメージセンサにも適用し得るものである。この場合
は、電流電圧変換回路ＩＶの変換電圧ＶIVを測定し、こ
れをもとにチャンネル配線ＣＬ間の電気抵抗を算出すれ
ば良い。
てCdＳ-CdSe などの光導電素子ＰＣを用いた非蓄積型の
イメージセンサにも適用し得るものである。この場合
は、電流電圧変換回路ＩＶの変換電圧ＶIVを測定し、こ
れをもとにチャンネル配線ＣＬ間の電気抵抗を算出すれ
ば良い。
【００４７】さらに図１０及び図１１に示すように、ス
イッチング素子として薄膜トランジスタＴＦＴを用いた
イメージセンサにも適用し得るものである。なお、光電
変換素子としては、フォトダイオードＰＤが用いられて
いるものだけでなく、光導電素子ＰＣが用いられている
ものでも適用し得ることは当然である。
イッチング素子として薄膜トランジスタＴＦＴを用いた
イメージセンサにも適用し得るものである。なお、光電
変換素子としては、フォトダイオードＰＤが用いられて
いるものだけでなく、光導電素子ＰＣが用いられている
ものでも適用し得ることは当然である。
【００４８】なお、これまでの実施例では、本発明の効
果が顕著に現れるマトリクス駆動方式のイメージセンサ
に適用した例を中心に説明してきたが、たとえば個別駆
動方式のイメージセンサなどにも適用し得るものであ
る。要するに、チャンネル配線に相当する配線が２本以
上あって、これらの配線が互いに同一電位にされた状態
で光電変換素子に流れる信号電流を検出するタイプであ
れば、どのようなイメージセンサであっても適用し得る
ものである。
果が顕著に現れるマトリクス駆動方式のイメージセンサ
に適用した例を中心に説明してきたが、たとえば個別駆
動方式のイメージセンサなどにも適用し得るものであ
る。要するに、チャンネル配線に相当する配線が２本以
上あって、これらの配線が互いに同一電位にされた状態
で光電変換素子に流れる信号電流を検出するタイプであ
れば、どのようなイメージセンサであっても適用し得る
ものである。
【００４９】その他、薄膜型だけでなく、マルチチップ
型のイメージセンサにも適用し得るなど、本発明はその
主旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき種々な
る改良，修正，変形を加えた態様で実施し得るものであ
る。
型のイメージセンサにも適用し得るなど、本発明はその
主旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき種々な
る改良，修正，変形を加えた態様で実施し得るものであ
る。
【００５０】
【発明の効果】本発明に係るイメージセンサの検査方法
は、配線のうちのいずれかの配線と、その他の配線との
間に電位差を生じさせ、電流検出手段の出力変化をもと
に配線間の電気抵抗を計測しているため、配線間の電気
抵抗を簡易かつ迅速に計測することができる。したがっ
て、配線の欠陥を迅速に発見することができ、検査工程
へのフィードバックなども可能となる。しかも、特にイ
メージセンサを改造する必要がないため、極めて実用的
であるだけでなく、イメージセンサの電流検出手段を積
極的に利用して配線間の電気抵抗を計測しているため、
極めて低コストの検査装置で済むことになる。
は、配線のうちのいずれかの配線と、その他の配線との
間に電位差を生じさせ、電流検出手段の出力変化をもと
に配線間の電気抵抗を計測しているため、配線間の電気
抵抗を簡易かつ迅速に計測することができる。したがっ
て、配線の欠陥を迅速に発見することができ、検査工程
へのフィードバックなども可能となる。しかも、特にイ
メージセンサを改造する必要がないため、極めて実用的
であるだけでなく、イメージセンサの電流検出手段を積
極的に利用して配線間の電気抵抗を計測しているため、
極めて低コストの検査装置で済むことになる。
【００５１】また、電流検出手段が演算増幅器から構成
され、この演算増幅器の非反転入力端子にバイアス電圧
を印加することにより、配線間に電位差を生じさせてい
るだけなので、極めて単純な方法である。
され、この演算増幅器の非反転入力端子にバイアス電圧
を印加することにより、配線間に電位差を生じさせてい
るだけなので、極めて単純な方法である。
【００５２】さらに、これらの検査方法をイメージセン
サの作動中に行なっているため、検査時間を延長するこ
となく、短時間で全ての検査を終えることができる。す
なわち、製造したイメージセンサの動作チェックを行な
うと同時に、イメージセンサの良否をも判別することが
できるのである。
サの作動中に行なっているため、検査時間を延長するこ
となく、短時間で全ての検査を終えることができる。す
なわち、製造したイメージセンサの動作チェックを行な
うと同時に、イメージセンサの良否をも判別することが
できるのである。
【図１】本発明に係るイメージセンサの検査方法の一実
施例を説明するための回路図である。
施例を説明するための回路図である。
【図２】図１に示した検査方法の適用対象であるイメー
ジセンサ全体を示す回路図である。
ジセンサ全体を示す回路図である。
【図３】図１に示した検査方法の作動を説明するための
タイムチャートである。
タイムチャートである。
【図４】図２に示したイメージセンサにおける電流電圧
変換回路の変換電圧に含まれるオフセット電圧を説明す
るためのタイムチャートである。
変換回路の変換電圧に含まれるオフセット電圧を説明す
るためのタイムチャートである。
【図５】図４に示したオフセット電圧を調整するための
回路図である。
回路図である。
【図６】本発明に係る検査方法の他の実施例を説明する
ための回路図である。
ための回路図である。
【図７】本発明に係る検査方法のさらに他の実施例を説
明するためのタイムチャートである。
明するためのタイムチャートである。
【図８】本発明に係る検査方法を適用し得る別のイメー
ジセンサを示す回路図である。
ジセンサを示す回路図である。
【図９】本発明に係る検査方法を適用し得るさらに別の
イメージセンサを示す回路図である。
イメージセンサを示す回路図である。
【図１０】本発明に係る検査方法を適用し得るさらに別
のイメージセンサを示す回路図である。
のイメージセンサを示す回路図である。
【図１１】本発明に係る検査方法を適用し得るさらに別
のイメージセンサを示す回路図である。
のイメージセンサを示す回路図である。
【図１２】図２に示したイメージセンサの通常の作動を
説明するためのタイムチャートである。
説明するためのタイムチャートである。
【図１３】図２に示したイメージセンサにおいて、チャ
ンネル間抵抗の計測方法を説明するための結線図であ
る。
ンネル間抵抗の計測方法を説明するための結線図であ
る。
ＰＤ；フォトダイオード（光電変換素子） Ｉ；信号電流 ＣＬ；チャンネル配線（配線） ＩＶ；電流電圧変換回路（電流検出手段） ＶIV；変換電圧 ＩＮ；積分回路 ＶIN；積分電圧 Ｒch；チャンネル間抵抗 ＶB ；バイアス電圧
Claims (3)
- 【請求項１】 光電変換素子と、該光電変換素子に流れ
る信号電流を導き出すための互いに同一電位にされた複
数の配線と、該配線を介して導き出された信号電流を検
出する電流検出手段とから構成されるイメージセンサの
検査方法であって、前記配線のうちのいずれかの配線
と、その他の配線との間に電位差を生じさせ、前記電流
検出手段の出力変化をもとに前記配線間の電気抵抗を計
測することを特徴とするイメージセンサの検査方法。 - 【請求項２】 前記電流検出手段が演算増幅器から構成
され、該演算増幅器の反転入力端子に前記配線が接続さ
れているイメージセンサの検査方法であって、前記演算
増幅器のうちのいずれかの演算増幅器の非反転入力端子
にバイアス電圧を印加することにより、該演算増幅器の
反転入力端子に接続されている配線と、その他の配線と
の間に電位差を生じさせることを特徴とする請求項１に
記載のイメージセンサの検査方法。 - 【請求項３】 前記イメージセンサの検査方法を、前記
イメージセンサの作動中であって前記信号電流が前記電
流検出手段により検出されていない時間内に実施するこ
とを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のイメージ
センサの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4038642A JPH05207223A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | イメージセンサの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4038642A JPH05207223A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | イメージセンサの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05207223A true JPH05207223A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=12530903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4038642A Withdrawn JPH05207223A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | イメージセンサの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05207223A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6620791B1 (en) | 1999-05-20 | 2003-09-16 | British Sugar Plc | Edible compositions containing trehalose |
| CN104604128A (zh) * | 2013-06-19 | 2015-05-06 | 旭化成微电子株式会社 | 放大电路以及放大电路ic芯片 |
-
1992
- 1992-01-28 JP JP4038642A patent/JPH05207223A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6620791B1 (en) | 1999-05-20 | 2003-09-16 | British Sugar Plc | Edible compositions containing trehalose |
| CN104604128A (zh) * | 2013-06-19 | 2015-05-06 | 旭化成微电子株式会社 | 放大电路以及放大电路ic芯片 |
| JP5827759B2 (ja) * | 2013-06-19 | 2015-12-02 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 増幅回路及び増幅回路ｉｃチップ |
| JPWO2014203525A1 (ja) * | 2013-06-19 | 2017-02-23 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 増幅回路及び増幅回路ｉｃチップ |
| CN104604128B (zh) * | 2013-06-19 | 2017-12-15 | 旭化成微电子株式会社 | 放大电路以及放大电路ic芯片 |
| US10063195B2 (en) | 2013-06-19 | 2018-08-28 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Amplifier circuit and amplifier circuit IC chip |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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