JPH05203880A - 顕微鏡照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、検鏡法の切換え操作の簡略化を図
る。 【構成】落射明視野を含む各種検鏡法を切換え可能な顕
微鏡照明装置であって、各照明光学系の選択に連動して
落射照明のためのハーフミラーユニット４２を観察光路
に対して挿脱する連動手段６５を具備するものとした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体，液晶等の検査
に用いられる工業用顕微鏡の照明装置に係り、特に各種
の検鏡法を切換えながら使用する顕微鏡の照明装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般に用いられている顕微鏡装置の検鏡
法には、落射明視野，落射暗視野，透過（明視野）等が
ある。

【０００３】落射明視野照明は、図１５に示すように構
成された照明光学系が用いられる。すなわち、レボルバ
１上部の鏡筒２に、光源部３を有する落射投光管４を取
付け、その落射投光管４に対応する観察光路上にハーフ
ミラー５ａを有するハーフミラーユニット５を配置す
る。

【０００４】この照明光学系では、光源部３から発した
照明光が、ハーフミラーユニット５により観察光路に入
射し対物レンズ６を通って標本上に投射される。また標
本から反射して対物レンズ６に入射した観察光は、ハー
フミラーユニット５を通過して、例えば接眼レンズ７へ
導かれる。

【０００５】また落射暗視野照明は、図１６に示すよう
に構成された照明光学系が一般に用いられている。この
照明光学系は、レボルバ上部の観察光路上に配置するミ
ラーユニット８に、環状ミラー９を備え、落射投光管４
からの照明光のうち周辺部だけを環状ミラー９により落
射する。そして対物レンズ１０の先端部に設けられた反
射ミラー（不図示）により、標本に対して傾斜させた照
明を行っている。これにより、標本の段差，きず，ゴミ
等の検査を行うことができる。

【０００６】また透過照明は、最近需要が高くなってい
る液晶検査に好適な照明法である。この照明法は、図１
７に示すように構成された照明光学系により、例えば顕
微鏡本体に外付けされた光源部１１からの照明光を、標
本下方の対物光軸上に配置したミラー１２で垂直に上方
へ反射させて、この光束をコンデンサレンズ１３で集光
して標本を下方から照明するものである。

【０００７】ところで、半導体，液晶等の標本に応じて
検鏡法をいくつかのパターンに別けることができる。ウ
エハ観察等の場合には、主に落射照明、あるいは蛍光照
明が使用され透過照明はあまり用いられない。また液
晶，マスク等を観察する場合には、落射照明及び透過照
明を中心にした照明が行われる。

【０００８】以上の記載では各検鏡法の照明光学系を異
なる図面を用いて別々に説明したが、実際の観察におい
ては各検鏡法を頻繁に切換えて使用する要請が高いの
で、実際の顕微鏡では上記各検鏡法を切換え可能に構成
している。

【０００９】例えば、ハーフミラーユニット５とミラー
ユニット８とを一体のユニット（以下、単に「ハーフミ
ラーユニット」と呼ぶ）で形成して、観察光路に対して
挿脱可能に設け、さらに落射照明用の光源部３と透過照
明用の光源部１１とをそれぞれ独立に点灯可能に構成し
ている。

【００１０】この様に構成することにより、落射明視野
照明と落射暗視野照明との相互間で切換えを行う場合に
は、ハーフミラーユニットを切換える。また落射照明と
透過照明との相互間で切換えを行う場合には、光源部
３，１１を切換え、さらに必要に応じてハーフミラーユ
ニットを切換える。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た装置は、切換える検鏡法によっては煩雑な操作を伴う
場合があり、操作性の改善が望まれていた。

【００１２】例えば、落射明視野照明から透過照明に切
換える場合には、落射照明用の光源部３を消して透過照
明用の光源部１１を点灯させ、さらにハーフミラー５ａ
による光量損失を防ぐために、ハーフミラーユニットを
環状ミラー９に切換える操作が必要になる。

【００１３】また、特願平２−２５７１０５号、特願平
３−７７８８１号には、明るさ及び照明ラム等の点で優
れている照明方法が示されている。この照明方法は、図
１８に概略を示すように、レボルバ１４内に環状光源１
５を備え、外部の光源１６からの照明光を光ファイバー
１７を介して上記環状光源１５へ導く。そして、環状光
源１５から標本に対して照明光を投射する。

【００１４】この照明法は、明るさ及び照明ラム等に関
して優れていると共に、光源１６を顕微鏡本体から容易
に遠ざけることができるので、光源１６の熱が顕微鏡本
体に影響を与えないといった利点がある。

【００１５】この様な照明法も切換え可能に構成した場
合、落射明視野照明から環状光源１５による落射暗視野
照明に切換える際には、光源部の切換え操作と共に、ハ
ーフミラーユニットを環状ミラー９に切換える操作も必
要となる。なぜならば、ハーフミラーユニットを環状ミ
ラー９に切換えなければ、せっかくの明るい落射暗視野
照明が生かされなくなるからである。

【００１６】なお、ハーフミラーユニットの切換操作を
マニュアルで行う場合には、標本上にゴミが落下する可
能性が高いため、そのような操作はできる限り避けるこ
とが望ましい。

【００１７】本発明は以上のような実情に鑑みてなされ
たもので、照明光学系の切換えに応じて光学部材を適当
な位置に自動的に配置でき、検鏡法の切換えに伴う操作
を簡略化した顕微鏡照明装置を提供することを目的とす
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の顕微鏡照明装置は、観察光路上に配置され
るハーフミラーユニットによって光源からの照明光を当
該観察光路に入射する第１の落射照明光学系を備え、対
物レンズを前記観察光路上に配置するレボルバ内に設け
られた環状光源から落射暗視野用の照明光を発生させる
第２の落射照明光学系、あるいは透過照明を行う透過照
明光学系の少なくとも一方を備えた顕微鏡照明装置に、
前記各照明光学系の選択に連動して、前記ハーフミラー
ユニットを前記観察光路に対して挿脱する連動手段を具
備するものとした。

【００１９】また本発明の顕微鏡照明装置は、ハーフミ
ラーユニットが前記観察光路から脱した状態のとき前記
観察光路上に配置されて前記光源からの照明光のうちの
周辺光を受け、かつ観察光を透過させる落射暗視野照明
用の環状ミラーを、前記ハーフミラーユニットに備える
ものとした。

【００２０】さらに、本発明の顕微鏡照明装置は、前記
連動手段に、前記各照明光学系の選択動作とは独立して
前記ハーフミラーユニットの挿脱動作を実行する機能を
備えるものとした。

【００２１】

【作用】本発明の顕微鏡照明装置では、所定の照明光学
系を選択すると、その選択操作に連動してハーフミラー
ユニットが観察光路に対して挿脱される。例えば落射明
視野用の照明光学系が選択されたならばハーフミラーユ
ニットを観察光路に挿入し、第２の落射照明光学系また
は透過照明光学系が選択されたならばハーフミラーユニ
ットを観察光路から脱するように連動手段が動作する。

【００２２】また本発明の顕微鏡照明装置では、連動手
段によってハーフミラーユニットが観察光路から脱した
状態のときには、落射暗視野照明用の環状ミラーが観察
光路上に配置される。従って、第１の落射照明光学系に
より明視野と暗視野の選択が可能になり、落射明視野、
落射暗視野及び環状光源による落射暗視野或いは透過照
明の切換えが最小限の操作で達成される。

【００２３】さらに本発明の顕微鏡照明装置では、連動
手段により照明光学系の選択動作とは独立してハーフミ
ラーユニットが切換えられる。これにより、特に照明光
学系を選択しなくても照明光学系の切換えが可能にな
る。

【００２４】

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１には、本発明の第１実施例に係る顕微鏡
照明装置が示されている。

【００２５】本実施例の顕微鏡照明装置は、顕微鏡本体
の上部アーム２０内に、落射照明用のハーフミラーユニ
ット２１及びこのハーフミラーユニット２１に照明光を
導くための落射用投光管（不図示）が設けられている。
ハーフミラーユニット２１は、不図示の電動機構によっ
て観察光路に対して挿脱可能になっている。また落射用
投光管は、上部アーム２０の背面からハーフミラーユニ
ット２１にかけて連通しており、背面側からコレクタレ
ンズ２２，リレーレンズ２３，２４が配置されている。

【００２６】一方、顕微鏡本体のベース２５内には、上
記観察光路と同心状をなす対物光軸位置に入射光を垂直
に上方へ反射させる反射ミラー２６と、この反射ミラー
２６へ照明光を導くための透過照明用の投光管（不図
示）とが設けられている。透過照明用の投光管は、ベー
ス２５の背面から反射ミラー２６にかけて連通してお
り、背面側からコレクタレンズ２７，リレーレンズ２
８，２９がそれぞれ配置されている。

【００２７】上記２つの投光管の背面側端部には、光フ
ァイバー３１，３２の一端がそれぞれ接続されていて、
両光ファイバー３１，３２の他端はランプハウス３３に
接続されている。このランプハウス３３内には、一方の
光ファイバー３１に落射用の照明光を入射するランプＡ
と、他方の光ファイバー３２に透過照明用の照明光を入
射するランプＢとが備えられている。

【００２８】本実施例では、ランプＡ，光ファイバー３
１，落射用投光管，ハーフミラーユニット２１などから
落射明視野照明光学系を構成し、ランプＢ，光ファイバ
ー３２，透過照明用の投光管，反射ミラー２６などから
透過照明光学系を構成している。

【００２９】また、ベース２５上に設けられたステージ
３７よりも下方に、切換スイッチ３４が設けられてい
る。この切換スイッチ３４は、操作者が検鏡法の切換え
指令を入力する部分である。

【００３０】さらに、ハーフミラーユニット２１を駆動
する電動機構、ランプハウス３３のランプＡ，Ｂ、及び
切換スイッチ３４は、制御部（不図示）に接続されてい
る。この制御部は、ランプＡが選択されたならばハーフ
ミラーユニット２１を観察光路に挿入し、ランプＢが選
択されたならばハーフミラーユニット２１を観察光路か
ら脱するように、電動機構を制御する機能を有する。な
お、ランプＡ，Ｂの選択は、切換スイッチ３４にて行わ
れ、ランプの点灯及び消灯も合わせて行われるようにな
っている。上記制御部，電動機構，切換スイッチ３４等
から連動手段を構成している。

【００３１】以上のように構成された本実施例では、落
射明視野照明を行う場合には、図２（ａ）に示すよう
に、ランプＡを選択する。切換スイッチ３４からランプ
Ａの選択信号が入力されると、この選択に連動してラン
プＡを点灯すると共に上記電動機構を制御してハーフミ
ラーユニット２１を観察光路に挿入する。

【００３２】この結果、ランプＡからの照明光が、光フ
ァイバー３１を介して顕微鏡本体へ導かれ、さらに落射
用投光管および観察光路上に配置されたハーフミラーユ
ニット２１に入射して落射明視野照明される。

【００３３】また、切換スイッチ３４でランプＢが選択
されると、ランプＡを消灯させると共にランプＢを点灯
し、上記電動機構を制御してハーフミラーユニット２１
を観察光路から外す。これにより、透過照明に係る光学
系の配置が完了する。そしてランプＢからの照明光が、
光ファイバー３２，透過照明用の投光管などを介して標
本を下方から照明する。この透過照明による観察光は、
対物レンズに入射してハーフミラーユニット２１位置を
通過するが、このときハーフミラーユニット２１は光路
上にないので光量損失を生じることが無い。

【００３４】この様に本実施例によれば、ランプＡ，Ｂ
の切換えにより落射明視野照明光学系と透過照明光学系
とのいずれか一方を選択するようにし、その選択に連動
してハーフミラーユニット２１を、観察光路に対して図
２に示すモードにて挿脱するようにしたので、切換スイ
ッチ３４によるランプＡ，Ｂの切換えといった極めて簡
単な操作で、所望とする検鏡法の準備を完了させること
ができ、いずれの検鏡法でも光学性能を犠牲にすること
無く明るい照明を実現できる。図３には本発明の第２実
施例に係る顕微鏡照明装置の構成が示されている。な
お、図１に示す第１実施例と同一機能を有する部分には
同一符号を付している。

【００３５】本実施例の顕微鏡照明装置は、ハーフミラ
ーユニット２１を用いた落射明視野と、暗視野用レボル
バ３５内に設けられる環状光源を用いた落射暗視野とを
切換可能に構成されている。なお、レボルバ内に環状光
源を有する顕微鏡の構成は、前記した特願平２−２５７
１０５号に詳述されている。

【００３６】暗視野用レボルバ３５は、図１８に示すレ
ボルバ１４と同様に構成されていて、レボルバ内の環状
光源（不図示）が光ファイバー３６を介してランプハウ
ス３３に接続されている。そしてランプハウス３３内の
ランプＢの照明光が、光ファイバー３６に入射されるよ
うに構成されている。

【００３７】また、切換スイッチ３４によるランプＡ，
Ｂの選択に連動させてハーフミラーユニット２１を観察
光路に挿脱させるための構成は、前記第１実施例と同様
である。

【００３８】この様に構成された本実施例では、図４
（ａ）に示すように切換スイッチ３４によりランプＡを
選択すると、その選択に連動して、前記第１実施例と同
様に、ハーフミラーユニット２１が自動的に観察光路に
挿入されて、落射明視野照明の準備が完了する。

【００３９】また、図４（ｂ）に示すように切換スイッ
チ３４によりランプＢを選択すると、その選択に連動し
て、前記第１実施例と同様に、ハーフミラーユニット２
１が自動的に観察光路から除外され、かつランプＡを消
灯して代わりにランプＢが点灯される。これにより、ラ
ンプＢからの照明光は、光ファイバー３６を通って暗視
野用レボルバ３５へ入射し、レボルバ内の環状光源より
発せられた環状照明光により標本が暗視野照明される。

【００４０】そして標本から反射して対物レンズに入射
した観察光が、直接に接眼レンズ側へ入射する。すなわ
ち、レボルバ内に環状光源を設けることにより実現され
る優れた光学特性を損なうことなく、明るくしかも照明
ラムの少ない落射暗視野照明が行われる。

【００４１】この様に本実施例によれば、ハーフミラー
ユニット２１を用いた落射明視野と、暗視野用レボルバ
３５内に設けられる環状光源を用いた落射暗視野との切
換操作が簡略化され、しかも光量損失が生じない照明装
置が実現される。次に、本発明の第３実施例に係る顕微
鏡照明装置について説明する。

【００４２】図５には、第３実施例である顕微鏡照明装
置の概略的な構成が示されている。なお図１に示す第１
実施例と同一機能を有する部分には同一符号を付してい
る。本実施例の顕微鏡照明装置は、落射明視野，落射暗
視野，透過照明を切換可能に構成されている。本実施例
では、暗視野用レボルバ４１の上部の観察光路に、落射
明視野及び落射暗視野のためのハーフミラーユニット４
２が設けられている。

【００４３】ハーフミラーユニット４２の概略が図６に
示されている。同図に示すように、ハーフミラーユニッ
ト４２は、落射明視野キューブ（ハーフミラーを有する
もの）４３と落射暗視野キューブ（環状ミラーを有する
もの）４４とを備えていて、両キューブ４３，４４が電
動機構４５により観察光路に挿脱自在に支持されてい
る。図７（ａ）（ｂ）に電動機構４５の具体的な構成が
示されている。

【００４４】同図に示す電動機構４５は、観察光軸と直
交する方向にガイド溝が形成された固定ガイド５１を備
え、この固定ガイド５１のガイド溝に可動ガイド５２が
摺動自在に取付けられている。そして可動ガイド５２に
形成されたアリ溝に、落射明視野キューブ４３，落射暗
視野キューブ４４が各々の嵌合凸部を挿入して取付け固
定されている。

【００４５】可動ガイド５２には、断面Ｕ字状をなす支
持部材５３の一端面が固定され、この支持部材５３の他
端面にはラック５４が形成されている。そしてモータ５
５の回転軸に取付けられたピニオン５６が、上記ラック
５４に噛合している。

【００４６】また、支持部材５３にはセンサ片５７が設
けられ、このセンサ片５７の移動方向に沿ってフォトイ
ンタプラタからなるセンサ５８ａ，５８ｂがそれぞれ設
けられている。センサ５８ａは、落射明視野キューブ４
３が観察光路に配置されたときセンサ片５７がセンサ５
８ａと交差する位置に設けられ、センサ５８ｂは、落射
暗視野キューブ４４が観察光路に配置されたときセンサ
片５７がセンサ５８ｂと交差する位置に設けられてい
る。

【００４７】またベース２５のステージ３７下方には、
図８に示す構成の切換スイッチ５９が設けられている。
この切換スイッチ５９は、ランプＡの選択を指示するス
イッチボタン６１、ランプＢの選択を指示するスイッチ
ボタン６２、落射明視野キューブ４３の選択を指示する
スイッチボタン６３、落射暗視野キューブ４４の選択を
指示するスイッチボタン６４を備えている。図９には電
気制御系の構成が示されている。

【００４８】切換スイッチ５９から入力する選択信号及
びセンサ５８ａ，５８ｂから出力される検出信号が、Ｃ
ＰＵからなる制御部６５にそれぞれ入力している。制御
部６５は、図１０に示すテーブルに基づいて各種処理を
実行するように設定されている。すなわち、ランプＡ，
Ｂの選択に連動してハーフミラーユニット４２を制御す
ると共に、さらにランプＡ，Ｂの選択動作とは独立して
ハーフミラーユニット４２のみの操作も可能になってい
る。

【００４９】以上のように構成された本実施例では、ラ
ンプＡを選択することにより落射明視野照明に切換えら
れ、さらに落射暗視野キューブ４４を選択することによ
り、落射暗視野に切換えられる。また、ランプＢを選択
することにより透過照明に切換えられる。

【００５０】すなわち、切換スイッチ５９からランプＡ
を選択する選択信号が入力されると、制御部６５がリレ
ー６７をオンさせてランプＡを点灯させる。これと同時
に、センサ５８ａから検出信号が出力されるまでモータ
ドライバ６６を制御してモータ５５を所定方向へ回転さ
せる。

【００５１】固定されているモータ５５側のピニオン５
６が回転すると、このピニオン５６に噛合しているラッ
ク５４側が移動して支持部材５３と共に可動ガイド５２
が固定ガイド５１に案内されて移動する。この結果、可
動ガイド５２に取付けられているハーフミラーユニット
４２が移動し、落射明視野キューブ４３が観察光路上に
来たところで、センサ片５７がセンサ５８ａと交差し、
その時に検出信号が出力される。制御部６５は、センサ
５８ａから検出信号が入力すると、モータ５５の駆動を
停止させ、落射明視野照明用の光学系配置を終了する。

【００５２】ランプＡが選択されている状態で、さらに
切換スイッチ５９のスイッチボタン６４を選択すると、
制御部６５は再びモータドライバ６６を介してモータ５
５を上記した場合とは逆方向に回転させて、センサ５８
ｂから検出信号が入力した時点で停止させる。この動作
により、落射暗視野キューブ４４が観察光路上に配置さ
れる。落射明視野と落射暗視野の切換えは頻繁に行われ
るものであり、両検鏡法の切換えがステージ下方で極め
て簡単かつ迅速に行われる。

【００５３】一方、ランプＢが選択されると、リレー６
７をオフし、リレー６８をオンさせてランプＢに切換え
ると共に、センサ５８ｂから検出信号が入力するまで所
定方向へモータ５５を回転させて落射暗視野キューブ４
４を観察光路上に配置させる。なお、前回の検鏡法が落
射暗視野であり、落射暗視野キューブ４４が既に観察光
路上に配置されている場合には、ハーフミラーユニット
４２の動作は省略される。

【００５４】また、ランプＢが選択されている状態で、
さらに切換スイッチ５９のスイッチボタン６３を選択す
ると、制御部６５は再びモータドライバ６６を介してモ
ータ５５を駆動し、落射明視野キューブ４３が観察光路
上に配置するような制御を行う。

【００５５】この様に本実施例によれば、落射明視野，
落射暗視野，透過照明の代表的な３種類の検鏡法を、光
学性能を損なうことなく最小限の操作で切換えることが
できる。

【００５６】また、検鏡法の切換え操作の際に従来はス
テージの上で行われていた作業を、ステージ下方で行う
ことができるので、標本上にゴミが落下するなどの不都
合を解消できる利点もある。

【００５７】さらに、落射蛍光，偏光等の特殊なハーフ
ミラーユニットと上記ハーフミラーユニット４２との互
換性を持たせ、電気制御系を図１４に示すように構成す
ることにより、各照明光源と各種ハーフミラーユニット
とのあらゆる組合わせを、非常に簡単な操作で実現し得
るユニバーサル照明システムを構築できる。

【００５８】図１１及び図１２には、本発明の第４実施
例の顕微鏡照明装置の構成が示されている。尚、本実施
例は第３実施例を、落射照明と透過照明の各照明光を一
つのランプから取入れるように変形したものである。前
記第３実施例と同一機能を有する部分には同一符号を付
し詳しい説明は省略する。

【００５９】本実施例の顕微鏡照明装置は、顕微鏡本体
背面の透過照明用の投光管端部に相当する位置にランプ
ハウス７１を取付け、このランプハウス内に一つのラン
プ７２を備えている。そして透過照明用の投光管の入射
部に、回動ミラー７３が設けられている。

【００６０】回動ミラー７３は、オン時には図１１に実
線で示す状態まで起き上がり、ランプハウス７１からの
照明光を垂直上方へ反射させ、オフ時には図１１に点線
で示す状態（透過照明光軸から外れた状態）になり、ラ
ンプハウス７１からの照明光を透過照明光学系に入射す
る。

【００６１】一方、落射照明投光管の入射部には、固定
ミラー７４が配置されていて、上記回動ミラー７３で反
射された照明光を落射照明投光管へ入射する働きをす
る。すなわち、回動ミラー７３の動作により落射照明と
透過照明の切換えを可能にしている。

【００６２】また、顕微鏡本体のステージ下方に切換ス
イッチ７５が設けられている。この切換スイッチ７５
は、前記第３実施例で用いられている切換スイッチのス
イッチボタン６１，６２（ランプＡ，Ｂ）を、落射照明
用と透過照明用にそれぞれ割り付けたものである。

【００６３】電気制御系は、図１２に示すように、切換
スイッチ７５及びセンサ５８ａ，５８ｂからの信号を制
御部７６に入力して、回動ミラー７３を付勢するソレノ
イドコイル７７の励磁を制御するように構成されてい
る。

【００６４】本実施例では、落射照明が選択された場合
には制御部７６からの指令によりソレノイドコイル７７
が励磁されて、回動ミラー７３がオン状態に立ち上げら
れる。これにより、照明光が回動ミラー７３，固定ミラ
ー７４を介してハーフミラーユニット４２に入射する。

【００６５】また、透過照明を選択した場合には、ソレ
ノイドコイル７７への通電を停止させて回動ミラー７３
をオフ状態にする。これにより、ランプハウス７１から
の照明光はそのまま直進して、反射ミラー２６で垂直に
上へ向けられ標本に投射される。なお、ハーフミラーユ
ニット４２の制御は前記第３実施例と同様である。この
ような本実施例によれば、前記第３実施例と同様の作用
効果を奏することができ、さらにランプを一つにするこ
とができる。

【００６６】また、図１３に示すように、２つの光源装
置７８，７９を、落射及び透過の各投光管の端部に直接
取付け、前記第３実施例で説明した電気制御系によっ
て、検鏡法の切換えに応じたハーフミラーユニット４
２，光源の動作を制御させることができる。

【００６７】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、照
明光学系の切換えに応じて光学部材を適当な位置に自動
的に配置でき、検鏡法の切換えに伴う操作を簡略化した
顕微鏡照明装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る顕微鏡照明装置の全
体的な構成図。

【図２】第１実施例の顕微鏡照明装置において各検鏡法
での動作状態を示す図。

【図３】本発明の第２実施例に係る顕微鏡照明装置の全
体的な構成図。

【図４】第２実施例の顕微鏡照明装置において各検鏡法
での動作状態を示す図。

【図５】本発明の第３実施例に係る顕微鏡照明装置の全
体的な構成図。

【図６】第３実施例の顕微鏡照明装置に備えたハーフミ
ラーユニットの概略図。

【図７】図６に示すハーフミラーユニットの上面及び側
断面図。

【図８】第３実施例の顕微鏡照明装置に備えた切換えス
イッチの平面図。

【図９】第３実施例の顕微鏡照明装置の電気制御系の構
成図。

【図１０】図９に示す制御部が有するテーブルの構成
図。

【図１１】本発明の第４実施例に係る顕微鏡照明装置の
全体的な構成図。

【図１２】第４実施例の顕微鏡照明装置の電気制御系の
構成図。

【図１３】ランプハウスとの接続方法を変えた変形例の
構成図。

【図１４】検鏡法を拡張した場合の電気制御系の構成
図。

【図１５】従来の落射明視野照明を示す図。

【図１６】従来の落射暗視野照明を示す図。

【図１７】従来の透過照明を示す図。

【図１８】レボルバ内の環状光源を用いた落射暗視野照
明を示す図。

【符号の説明】

２１，４２…ハーフミラーユニット、３１，３２，３６
…光ファイバー、３３，７１…ランプハウス、５９，７
５…切換えスイッチ、４３…落射明視野キューブ、４４
…落射暗視野キューブ、６５…制御部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 観察光路上に配置されるハーフミラーユ
   ニットによって光源からの照明光を前記観察光路に入射
   する第１の落射照明光学系を備え、対物レンズを前記観
   察光路上に配置するレボルバ内に設けられた環状光源か
   ら落射暗視野用の照明光を発生させる第２の落射照明光
   学系、あるいは透過照明を行う透過照明光学系の少なく
   とも一方を備えた顕微鏡照明装置において、 前記各照明光学系の選択に連動して、前記ハーフミラー
   ユニットを前記観察光路に対して挿脱する連動手段を具
   備したことを特徴とする顕微鏡照明装置。
2. 【請求項２】 前記ハーフミラーユニットは、前記観察
   光路から脱した状態のとき、前記観察光路上に配置され
   て前記光源からの照明光のうちの周辺光を受け、かつ観
   察光を透過させる落射暗視野照明用の環状ミラーを備え
   たことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡照明装置。
3. 【請求項３】 前記連動手段は、前記各照明光学系の選
   択動作とは独立して前記ハーフミラーユニットの前記観
   察光路に対する挿脱動作を実行する機能を備えたことを
   特徴とする請求項１または請求項２記載の顕微鏡照明装
   置。