JPH05200225A - 圧力スイング式ガス分離装置 - Google Patents
圧力スイング式ガス分離装置Info
- Publication number
- JPH05200225A JPH05200225A JP3104304A JP10430491A JPH05200225A JP H05200225 A JPH05200225 A JP H05200225A JP 3104304 A JP3104304 A JP 3104304A JP 10430491 A JP10430491 A JP 10430491A JP H05200225 A JPH05200225 A JP H05200225A
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- Japan
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- manifold
- gas
- opening
- gas pipe
- adsorption
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧力スイング式ガス分離装置において、簡単
な構成によって連続回転してガス供給及び真空排気を行
なうターボ機械の無駄な待ち時間をなくして動力損失を
低減させ、かつ、圧力変動を低くして低騒音化を図る。 【構成】 吸着剤１が充填された複数の吸着部２′、各
吸着部に接続された第１のマニホルド４、未処理ガス配
管、処理済みガス配管、精製ガス配管及び真空源にそれ
ぞれ接続された第２のマニホルド５、及び第１と第２の
マニホルド４間に配置され、吸着部２′の入口側と出口
側をそれぞれ未処理ガス配管と処理済みガス配管又は真
空源と精製ガス配管に選択的に連絡するバルブプレート
６を備えた。
な構成によって連続回転してガス供給及び真空排気を行
なうターボ機械の無駄な待ち時間をなくして動力損失を
低減させ、かつ、圧力変動を低くして低騒音化を図る。 【構成】 吸着剤１が充填された複数の吸着部２′、各
吸着部に接続された第１のマニホルド４、未処理ガス配
管、処理済みガス配管、精製ガス配管及び真空源にそれ
ぞれ接続された第２のマニホルド５、及び第１と第２の
マニホルド４間に配置され、吸着部２′の入口側と出口
側をそれぞれ未処理ガス配管と処理済みガス配管又は真
空源と精製ガス配管に選択的に連絡するバルブプレート
６を備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスの精製、回収等に
用いられる圧力スイング式ガス分離装置（以下ＰＳＡ装
置という）に関する。
用いられる圧力スイング式ガス分離装置（以下ＰＳＡ装
置という）に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＰＳＡ装置を図６に示す。吸収器
０２内に吸着剤０１が充填されており、吸収器０２の一
端から未処理ガス導入バルブ０３と真空排気バルブ０５
へ配管が接続されており、吸収器０２の他端から処理済
ガス排出バルブ０４と精製ガス導入バルブ０６へ配管が
接続されている。
０２内に吸着剤０１が充填されており、吸収器０２の一
端から未処理ガス導入バルブ０３と真空排気バルブ０５
へ配管が接続されており、吸収器０２の他端から処理済
ガス排出バルブ０４と精製ガス導入バルブ０６へ配管が
接続されている。
【０００３】この従来のＰＳＡ装置では、吸着工程にお
いて、真空排気バルブ０５および精製ガス導入バルブ０
６を閉じ、未処理ガス導入バルブ０３および処理ガス排
出バルブ０４を開いて吸収器０２内に未処理ガスを流
し、ガス中の特定成分（例えばＣＯ2 、ＮＨ3 、Ｏ2 、
フロンなど）を吸着剤０１に吸着させ、吸着剤０１に吸
着されずに流過した処理済みガスが得られる。
いて、真空排気バルブ０５および精製ガス導入バルブ０
６を閉じ、未処理ガス導入バルブ０３および処理ガス排
出バルブ０４を開いて吸収器０２内に未処理ガスを流
し、ガス中の特定成分（例えばＣＯ2 、ＮＨ3 、Ｏ2 、
フロンなど）を吸着剤０１に吸着させ、吸着剤０１に吸
着されずに流過した処理済みガスが得られる。
【０００４】次いで、脱着工程においては吸着工程と逆
のバルブ操作を行ない、図示しない真空ポンプによって
吸収器０２内を減圧するとともに、吸収器０２内に精製
ガスを少量流す。すると、吸着剤０１に吸着されていた
特定成分が脱着し、真空排出バルブ０５を通って排出さ
れる。
のバルブ操作を行ない、図示しない真空ポンプによって
吸収器０２内を減圧するとともに、吸収器０２内に精製
ガスを少量流す。すると、吸着剤０１に吸着されていた
特定成分が脱着し、真空排出バルブ０５を通って排出さ
れる。
【０００５】以上のサイクルを繰り返し行なうことによ
り、未処理ガス中の特定ガス成分を回収、又は特定ガス
成分の精製が行なわれる。
り、未処理ガス中の特定ガス成分を回収、又は特定ガス
成分の精製が行なわれる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のＰＳＡ装置
では、吸着器内で吸着工程と脱着工程が繰り返して行な
われ、またこれらの工程は多数のバルブ操作になる間欠
作動によって行なわれるために、以下の欠点を有してい
る。 （１）１サイクルの時間が数分と長いために、多量の吸
着剤を必要とする。 （２）未処理ガスのガス供給装置、真空排気装置（真空
ポンプ）はいづれも連続回転のターボ機械であり、間欠
作動とマッチングせず、効率が低い。すなわち、吸着工
程では真空排気装置が、脱着工程ではガス供給装置が、
それぞれ無駄な仕事をすることとなり、単位動力あたり
のガス分離効率がわるい欠点を有している。 （３）ＰＳＡの大容量化については、吸着剤の増加と共
に大型のバルブを多数必要とし、また、開閉制御を必要
とするために高コストとなる。 （４）バルブの開閉にともなう衝撃音、ならびに回路内
のガス圧力変動が急激なために騒音が大きいという欠点
を有している。
では、吸着器内で吸着工程と脱着工程が繰り返して行な
われ、またこれらの工程は多数のバルブ操作になる間欠
作動によって行なわれるために、以下の欠点を有してい
る。 （１）１サイクルの時間が数分と長いために、多量の吸
着剤を必要とする。 （２）未処理ガスのガス供給装置、真空排気装置（真空
ポンプ）はいづれも連続回転のターボ機械であり、間欠
作動とマッチングせず、効率が低い。すなわち、吸着工
程では真空排気装置が、脱着工程ではガス供給装置が、
それぞれ無駄な仕事をすることとなり、単位動力あたり
のガス分離効率がわるい欠点を有している。 （３）ＰＳＡの大容量化については、吸着剤の増加と共
に大型のバルブを多数必要とし、また、開閉制御を必要
とするために高コストとなる。 （４）バルブの開閉にともなう衝撃音、ならびに回路内
のガス圧力変動が急激なために騒音が大きいという欠点
を有している。
【０００７】本発明は、以上の欠点をなくしたＰＳＡ装
置を提供しようとするものである。
置を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の圧力スイング式
ガス分離装置は、吸収剤が充填された複数の吸着部、前
記各吸着部に接続された第１のマニホルド、未処理ガス
配管、処理済みガス配管、精製ガス配管及び真空源にそ
れぞれ接続された第２のマニホルド、及び前記第１のマ
ニホルドと第２のマニホルドの間に配置され前記第１及
び第２のマニホルドを経て前記吸着部の入口側と出口側
をそれぞれ前記未処理ガス配管と処理済みガス配管又は
真空源と精製ガス配管に選択的に連絡する回転するバル
ブプレートを備えている。
ガス分離装置は、吸収剤が充填された複数の吸着部、前
記各吸着部に接続された第１のマニホルド、未処理ガス
配管、処理済みガス配管、精製ガス配管及び真空源にそ
れぞれ接続された第２のマニホルド、及び前記第１のマ
ニホルドと第２のマニホルドの間に配置され前記第１及
び第２のマニホルドを経て前記吸着部の入口側と出口側
をそれぞれ前記未処理ガス配管と処理済みガス配管又は
真空源と精製ガス配管に選択的に連絡する回転するバル
ブプレートを備えている。
【０００９】
【作用】本発明において、１つの吸着部について見れ
ば、バルブプレートの回転によって、ある時期には、そ
の入口側と未処理ガス配管、その出口側と処理済みガス
配管が接続され、未処理ガスは同吸着部に入って吸着が
行なわれ、吸着部で吸着されずに流過した処理済みガス
が出口側から処理済みガス配管へ流される。またこれに
続くある時期には、吸着部の入口側と真空源、出口側と
精製ガス配管が接続されて、吸着部内が減圧されると共
に精製ガス配管から精製ガスが吸着部内へ流入して脱着
が行なわれる。
ば、バルブプレートの回転によって、ある時期には、そ
の入口側と未処理ガス配管、その出口側と処理済みガス
配管が接続され、未処理ガスは同吸着部に入って吸着が
行なわれ、吸着部で吸着されずに流過した処理済みガス
が出口側から処理済みガス配管へ流される。またこれに
続くある時期には、吸着部の入口側と真空源、出口側と
精製ガス配管が接続されて、吸着部内が減圧されると共
に精製ガス配管から精製ガスが吸着部内へ流入して脱着
が行なわれる。
【００１０】一方、ガス配管側と真空源側から見れば、
各ガス配管と真空源は常に１つ以上の吸着部と接続さ
れ、各吸着部において順次に、かつ連続して吸着、脱着
が行なわれる。
各ガス配管と真空源は常に１つ以上の吸着部と接続さ
れ、各吸着部において順次に、かつ連続して吸着、脱着
が行なわれる。
【００１１】
【実施例】図１は本考案の一実施例の縦断面図である。
図２から図４までは、それぞれ図１のＡ−Ａ′，Ｂ−
Ｂ′，Ｃ−Ｃ′断面図であり、図５は図１のＤ矢視図で
ある。
図２から図４までは、それぞれ図１のＡ−Ａ′，Ｂ−
Ｂ′，Ｃ−Ｃ′断面図であり、図５は図１のＤ矢視図で
ある。
【００１２】吸着剤１を充填した縦型の円筒状の吸着塔
２は、図５に破線で示したように８つの扇形の部屋２′
に仕切られており、おのおのの部屋２′の出口側から円
形の第１のマニホールド４へ独立に配管３が接続されて
いる。マニホールド４は吸着塔２と別個に設けても良い
が、本実施例では、吸着塔２の下側に固定して配置され
吸着塔２の各室２′の入口側と第１のマニホールド４の
入口側の開口部４ａとが一体となっている。この入口側
の開口部４ａは、丸形をなして吸着塔２の各室２′に対
応するよう８個設けられている。また、第１のマニホー
ルド４の外周から半径方向内方へ向う８個の出口側の開
口部４ｂが設けられていて、同開口部４ｂの各々は前記
配管３に接続されている。前記の各開口部４ａ，４ｂ
は、図２に示すように、第１のマニホールド４の同一半
径上に配置されている。
２は、図５に破線で示したように８つの扇形の部屋２′
に仕切られており、おのおのの部屋２′の出口側から円
形の第１のマニホールド４へ独立に配管３が接続されて
いる。マニホールド４は吸着塔２と別個に設けても良い
が、本実施例では、吸着塔２の下側に固定して配置され
吸着塔２の各室２′の入口側と第１のマニホールド４の
入口側の開口部４ａとが一体となっている。この入口側
の開口部４ａは、丸形をなして吸着塔２の各室２′に対
応するよう８個設けられている。また、第１のマニホー
ルド４の外周から半径方向内方へ向う８個の出口側の開
口部４ｂが設けられていて、同開口部４ｂの各々は前記
配管３に接続されている。前記の各開口部４ａ，４ｂ
は、図２に示すように、第１のマニホールド４の同一半
径上に配置されている。
【００１３】前記第１のマニホールド４の下方には、間
隔をおいて第２の固定されたマニホールド５が配置され
ている。図４に示すように、このマニホールド５には、
同一の半径上に内側から、真空源に接続された開口部５
ａ、未処理ガス配管に接続された開口部５ｂ及び処理済
みガス配管に接続された開口部５ｄが設けられ、これら
の各開口部５ａ，５ｂ，５ｄは円形をなし、これらの開
口部５ａ，５ｂ，５ｄによって形成される組が計８組等
間隔に設けられている。また、前記開口部５ｂ，５ｄの
中間のやや側方には精製ガス配管に接続された小径の円
形の開口部５ｃが計８個設けられている。
隔をおいて第２の固定されたマニホールド５が配置され
ている。図４に示すように、このマニホールド５には、
同一の半径上に内側から、真空源に接続された開口部５
ａ、未処理ガス配管に接続された開口部５ｂ及び処理済
みガス配管に接続された開口部５ｄが設けられ、これら
の各開口部５ａ，５ｂ，５ｄは円形をなし、これらの開
口部５ａ，５ｂ，５ｄによって形成される組が計８組等
間隔に設けられている。また、前記開口部５ｂ，５ｄの
中間のやや側方には精製ガス配管に接続された小径の円
形の開口部５ｃが計８個設けられている。
【００１４】前記第１及び第２のマニホールド４，５の
間には、その中心の軸６′まわりに回転できるバルブプ
レート６が配置されている。図３に示すように、同バル
ブプレート６には、図３の左半部に円弧状の内外の開口
部６ｂ，６ａ及び右半部に円弧状の内外の開口部６ｄ，
６ｃが設けられている。前記開口部６ｂは開口部６ａに
対してバルブプレート６の回転方向へ若干突出し、また
前記開口部６ｄは開口部６ｃに対してバルブプレート６
の回転方向へ若干突出するように構成されている。か
つ、開口部６ａは隣接する２個の開口部５ｄに開口で
き、開口部６ｂは隣接する３個の開口部５ｂに開口で
き、開口部６ｃは隣接する２個の開口部５ｃに開口で
き、また開口部６ｄは隣接する３個の開口部５ａに開口
できるように、それぞれ構成されている。また、開口部
６ａ，６ｃは、それぞれ隣接する２個の出口側の開口部
４ｂに開口でき、開口部６ｂ，６ｄは、それぞれ隣接す
る３個の入口側の開口部４ａに開口できるように、それ
ぞれ構成されている。
間には、その中心の軸６′まわりに回転できるバルブプ
レート６が配置されている。図３に示すように、同バル
ブプレート６には、図３の左半部に円弧状の内外の開口
部６ｂ，６ａ及び右半部に円弧状の内外の開口部６ｄ，
６ｃが設けられている。前記開口部６ｂは開口部６ａに
対してバルブプレート６の回転方向へ若干突出し、また
前記開口部６ｄは開口部６ｃに対してバルブプレート６
の回転方向へ若干突出するように構成されている。か
つ、開口部６ａは隣接する２個の開口部５ｄに開口で
き、開口部６ｂは隣接する３個の開口部５ｂに開口で
き、開口部６ｃは隣接する２個の開口部５ｃに開口で
き、また開口部６ｄは隣接する３個の開口部５ａに開口
できるように、それぞれ構成されている。また、開口部
６ａ，６ｃは、それぞれ隣接する２個の出口側の開口部
４ｂに開口でき、開口部６ｂ，６ｄは、それぞれ隣接す
る３個の入口側の開口部４ａに開口できるように、それ
ぞれ構成されている。
【００１５】以上のように構成された本実施例では、第
１のマニホールド４の入口側の開口部４ａは、図１の左
側吸着塔に示される吸着塔２の室２′では、バルブプレ
ート６の開口部６ｂを介して第２のマニホールド５の未
処理ガス配管に接続された開口部５ｂと接続されてお
り、かつ、第１のマニホールド４の出口側の開口部４ｂ
はバルブプレート６の開口部６ａを介して第２のマニホ
ールド５の処理済みガス配管に接続された開口部５ｄと
接続されている。このとき、図１の右側で示される吸着
塔２の室２′では第１のマニホールド４の入口側の開口
部４ａはバルブプレート６の開口部６ｄを介して第２の
マニホールド５の真空源に接続された開口部５ａと接続
されており、かつ、第１のマニホールド４の出口側の開
口部４ｂはバルブプレート６の開口部６ｃを介して第２
のマニホールド５の精製ガス配管に接続された開口部５
ｃと接続されている。
１のマニホールド４の入口側の開口部４ａは、図１の左
側吸着塔に示される吸着塔２の室２′では、バルブプレ
ート６の開口部６ｂを介して第２のマニホールド５の未
処理ガス配管に接続された開口部５ｂと接続されてお
り、かつ、第１のマニホールド４の出口側の開口部４ｂ
はバルブプレート６の開口部６ａを介して第２のマニホ
ールド５の処理済みガス配管に接続された開口部５ｄと
接続されている。このとき、図１の右側で示される吸着
塔２の室２′では第１のマニホールド４の入口側の開口
部４ａはバルブプレート６の開口部６ｄを介して第２の
マニホールド５の真空源に接続された開口部５ａと接続
されており、かつ、第１のマニホールド４の出口側の開
口部４ｂはバルブプレート６の開口部６ｃを介して第２
のマニホールド５の精製ガス配管に接続された開口部５
ｃと接続されている。
【００１６】従って、前記図１の左側の吸着塔２の室
２′では、矢印で示すように、同室２′内へ未処理ガス
が前記開口部５ｂ，６ｂ，４ａを経て供給され、同室
２′内で未処理ガス中の特定の成分が吸着され、かつ、
矢印で示すように、処理済みのガスが配管３、開口部４
ｂ，６ａ，５ｄを経て排出される吸着工程が行なわれ
る。一方、前記図１の右側の吸着塔２の室２′では、同
室２′内が開口部４ａ，６ｄ，５ａを経て真空源へ接続
されて減圧されると共に、小量の精製ガスが開口部５
ｃ，６ｃ，４ｂ及び配管３を経て室２′内へ供給され、
吸着剤からの吸着ガスの脱着工程が行なわれる。
２′では、矢印で示すように、同室２′内へ未処理ガス
が前記開口部５ｂ，６ｂ，４ａを経て供給され、同室
２′内で未処理ガス中の特定の成分が吸着され、かつ、
矢印で示すように、処理済みのガスが配管３、開口部４
ｂ，６ａ，５ｄを経て排出される吸着工程が行なわれ
る。一方、前記図１の右側の吸着塔２の室２′では、同
室２′内が開口部４ａ，６ｄ，５ａを経て真空源へ接続
されて減圧されると共に、小量の精製ガスが開口部５
ｃ，６ｃ，４ｂ及び配管３を経て室２′内へ供給され、
吸着剤からの吸着ガスの脱着工程が行なわれる。
【００１７】前記のバルブプレート６は、図示しないモ
ータ等によって回転し、それによって吸着塔２の各室
２′は順次、吸着、脱着工程を繰り返すことになる。ま
た、第１、第２のマニホールド４，５及びバルブプレー
ト６の開口部は前記したように構成されているために、
互いに対向する４個の室２′のうち一方の側の２個の室
２′では前記吸着工程が、他方の側の２個の室２′では
前記脱着工程が行なわれることになる。
ータ等によって回転し、それによって吸着塔２の各室
２′は順次、吸着、脱着工程を繰り返すことになる。ま
た、第１、第２のマニホールド４，５及びバルブプレー
ト６の開口部は前記したように構成されているために、
互いに対向する４個の室２′のうち一方の側の２個の室
２′では前記吸着工程が、他方の側の２個の室２′では
前記脱着工程が行なわれることになる。
【００１８】以上の通り、本実施例では、バルブプレー
ト６を回転させることによって、吸着塔２の室２′にお
いて吸着及び脱着が繰り返して行なわれ、また、いづれ
かの室２′において吸着と脱着が順次連続して行なわれ
ることとなり、バルブを用いない簡単な構成によって、
ガス供給装置と真空排気装置のターボ機械をそれぞれ連
続回転させて有効な仕事を行なわせた状態で吸着と脱着
を行なうことができ、かつ装置内のガス圧力変動を下げ
低騒音とすることができる。
ト６を回転させることによって、吸着塔２の室２′にお
いて吸着及び脱着が繰り返して行なわれ、また、いづれ
かの室２′において吸着と脱着が順次連続して行なわれ
ることとなり、バルブを用いない簡単な構成によって、
ガス供給装置と真空排気装置のターボ機械をそれぞれ連
続回転させて有効な仕事を行なわせた状態で吸着と脱着
を行なうことができ、かつ装置内のガス圧力変動を下げ
低騒音とすることができる。
【００１９】また、本実施例では、吸着塔下部とマニホ
ールド４とを一体とすることにより、吸着塔入口側の配
管を省略して簡便な構造となっている。
ールド４とを一体とすることにより、吸着塔入口側の配
管を省略して簡便な構造となっている。
【００２０】なお、本実施例では精製ガスと処理済みガ
スを区別しているが、処理済みガスの一部を精製ガス配
管から吸着塔２の室２′に供給して精製ガスとして利用
することも可能である。
スを区別しているが、処理済みガスの一部を精製ガス配
管から吸着塔２の室２′に供給して精製ガスとして利用
することも可能である。
【００２１】
【発明の効果】本発明では、請求項１に記載した構成を
採用しているために、バルブプレートを回転させること
によって、複数の吸着部において、順次連続して吸着工
程と脱着工程を行なうこととなり、したがって次の効果
を生み出すことができる。
採用しているために、バルブプレートを回転させること
によって、複数の吸着部において、順次連続して吸着工
程と脱着工程を行なうこととなり、したがって次の効果
を生み出すことができる。
【００２２】（１）サイクルタイムを縮めることがで
き、吸着部に充填される吸着剤の量を少量化することが
できる。
き、吸着部に充填される吸着剤の量を少量化することが
できる。
【００２３】（２）ガス供給装置及び真空脱気装置は無
駄な待ち時間がないために、動力損失が少なく、かつガ
スの分離効率を高くすることができる。
駄な待ち時間がないために、動力損失が少なく、かつガ
スの分離効率を高くすることができる。
【００２４】（３）従来のオン・オフ式バルブにかわ
り、回転するバルブプレートを用いているために大容量
化が容易であり、かつ低コストとすることができる。
り、回転するバルブプレートを用いているために大容量
化が容易であり、かつ低コストとすることができる。
【００２５】（４）装置内のガス圧力変動が従来より小
さく、低騒音とすることができる。
さく、低騒音とすることができる。
【図１】本発明の一実施例の縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ′断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ′断面図である。
【図４】図１のＣ−Ｃ′断面図である。
【図５】図１のＤ矢視図である。
【図６】従来のＰＳＡ装置の縦断面図である。
１ 吸着剤 ２ 吸着塔 ２′ 吸着塔の室 ３ 配管 ４，５ マニホールド ６ バルブプレート ４ａ 入口側の開口部 ４ｂ 出口側の開口部 ５ａ 真空源側に接続された開口部 ５ｂ 未処理ガス配管に接続された
開口部 ５ｃ 精製ガス配管に接続された開
口部 ５ｄ 処理済みガス配管に接続され
た開口部 ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ バルブプレートの開口部
開口部 ５ｃ 精製ガス配管に接続された開
口部 ５ｄ 処理済みガス配管に接続され
た開口部 ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ バルブプレートの開口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 泉 順 長崎市飽の浦町１番１号 三菱重工業株式 会社長崎研究所内 (72)発明者 大嶋 一晃 長崎市飽の浦町１番１号 三菱重工業株式 会社長崎造船所内
Claims (1)
- 【請求項１】 吸収剤が充填された複数の吸着部、前記
各吸着部に接続された第１のマニホルド、未処理ガス配
管、処理済みガス配管、精製ガス配管及び真空源にそれ
ぞれ接続された第２のマニホルド、及び前記第１のマニ
ホルドと第２のマニホルドの間に配置され前記第１及び
第２のマニホルドを経て前記吸着部の入口側と出口側を
それぞれ前記未処理ガス配管と処理済みガス配管又は真
空源と精製ガス配管に選択的に連絡する回転するバルブ
プレートを備えたことを特徴とする圧力スイング式ガス
分離装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3104304A JP2891560B2 (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 圧力スイング式ガス分離装置 |
| US07/880,130 US5248325A (en) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Gas separating system and gas recovery system |
| AU16101/92A AU647617B2 (en) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Gas separation system and gas recovery system |
| EP92107694A EP0512534B1 (en) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Gas separating system and gas recovery system |
| DE69213309T DE69213309T2 (de) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Vorrichtung zur Trennung und Zurückgewinnung von Gasen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3104304A JP2891560B2 (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 圧力スイング式ガス分離装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05200225A true JPH05200225A (ja) | 1993-08-10 |
| JP2891560B2 JP2891560B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=14377188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3104304A Expired - Fee Related JP2891560B2 (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 圧力スイング式ガス分離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2891560B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111054179A (zh) * | 2018-10-17 | 2020-04-24 | 上海深城环保设备工程有限公司 | 扫描脱附吸附浓集装置 |
| CN113941218A (zh) * | 2020-07-15 | 2022-01-18 | 中冶长天国际工程有限责任公司 | 一种吸附塔烟气防泄漏控制系统、方法及装置 |
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1991
- 1991-05-09 JP JP3104304A patent/JP2891560B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111054179A (zh) * | 2018-10-17 | 2020-04-24 | 上海深城环保设备工程有限公司 | 扫描脱附吸附浓集装置 |
| CN111054179B (zh) * | 2018-10-17 | 2022-02-11 | 上海深城环保设备工程有限公司 | 扫描脱附吸附浓集装置 |
| CN113941218A (zh) * | 2020-07-15 | 2022-01-18 | 中冶长天国际工程有限责任公司 | 一种吸附塔烟气防泄漏控制系统、方法及装置 |
| CN113941218B (zh) * | 2020-07-15 | 2023-09-29 | 中冶长天国际工程有限责任公司 | 一种吸附塔烟气防泄漏控制系统、方法及装置 |
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| JP2891560B2 (ja) | 1999-05-17 |
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