JPH0518919A - センサー駆動回路 - Google Patents
センサー駆動回路Info
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- JPH0518919A JPH0518919A JP19702091A JP19702091A JPH0518919A JP H0518919 A JPH0518919 A JP H0518919A JP 19702091 A JP19702091 A JP 19702091A JP 19702091 A JP19702091 A JP 19702091A JP H0518919 A JPH0518919 A JP H0518919A
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- sensitive
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサー出力電圧を大きくすることにより、
複雑かつ高精度の増幅回路を用いる必要をなくし、コス
トが安く、しかも精度の高いガス検出装置等を提供す
る。 【構成】 電熱器２１と該電熱器２１に一定電圧を印加
する定電圧源２０と、前記電熱器２１に対向して配設さ
れた感応物質１１とから成り、該感応物質１１を前記電
熱器２１にて所定温度に加熱して前記感応物質１１の抵
抗を感応対象物の吸脱着現象に応じて変化させる。本発
明は感応物質１１に直列にバイアス電圧ＶBを印加し、
前記感応物質１１とバイアス電圧ＶBとの直列回路に一
定電流又は一定電圧を供給し、前記感応物質の両端間の
電圧ＶSを検出電圧とする。
複雑かつ高精度の増幅回路を用いる必要をなくし、コス
トが安く、しかも精度の高いガス検出装置等を提供す
る。 【構成】 電熱器２１と該電熱器２１に一定電圧を印加
する定電圧源２０と、前記電熱器２１に対向して配設さ
れた感応物質１１とから成り、該感応物質１１を前記電
熱器２１にて所定温度に加熱して前記感応物質１１の抵
抗を感応対象物の吸脱着現象に応じて変化させる。本発
明は感応物質１１に直列にバイアス電圧ＶBを印加し、
前記感応物質１１とバイアス電圧ＶBとの直列回路に一
定電流又は一定電圧を供給し、前記感応物質の両端間の
電圧ＶSを検出電圧とする。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、感応物質の電気抵抗値が該感応
物質に吸脱着する感応対象物によって変化することを利
用したセンサーの駆動回路に関し、例えば、ガスセンサ
ー、温度センサー、湿度センサー、アルコールセンサー
等に応用可能なものである。
物質に吸脱着する感応対象物によって変化することを利
用したセンサーの駆動回路に関し、例えば、ガスセンサ
ー、温度センサー、湿度センサー、アルコールセンサー
等に応用可能なものである。
【０００２】
【従来技術】図６は、従来のセンサー駆動回路の一例を
説明するための図で、図中、１０は定電流源、１１は金
属酸化物半導体等から成る感応物質、２０は電熱器用の
定電圧電源、２１は該定電圧電源２０より一定電圧が供
給される電熱器であり、周知のように、電熱器２１を定
電圧源２０にて所定温度に加熱するとともに、感応物質
１１に定電流源１０より一定電流を流しておくと、感応
物質１１の電気抵抗が、感応対象物である、例えば、ガ
ス、湿度、アルコール等の脱着によって変化するので、
この感応物質の両端間の電圧Ｖｓを検出して感応対象物
の存在あるいはその量を検出することができる。
説明するための図で、図中、１０は定電流源、１１は金
属酸化物半導体等から成る感応物質、２０は電熱器用の
定電圧電源、２１は該定電圧電源２０より一定電圧が供
給される電熱器であり、周知のように、電熱器２１を定
電圧源２０にて所定温度に加熱するとともに、感応物質
１１に定電流源１０より一定電流を流しておくと、感応
物質１１の電気抵抗が、感応対象物である、例えば、ガ
ス、湿度、アルコール等の脱着によって変化するので、
この感応物質の両端間の電圧Ｖｓを検出して感応対象物
の存在あるいはその量を検出することができる。
【０００３】感応物質Ｉ側の一方の電源端子Ａ点と電熱
器II側の一方の電源端子Ｂ点を共通にしたもので、この
ようにすると、感応物質Ｉ側の電源と電熱器II側の電源
とを共通にして、単一の電源３０を使用することができ
る。
器II側の一方の電源端子Ｂ点を共通にしたもので、この
ようにすると、感応物質Ｉ側の電源と電熱器II側の電源
とを共通にして、単一の電源３０を使用することができ
る。
【０００４】図６に示した従来例は、感応物質１１が電
熱器２１と銃気的に絶縁分離されている例であるが、他
方電気的に短絡するようにして、図７，図８に示すよう
に、感応物質１１が電熱器２１の上にも直接接触させて
熱伝導効率を向上させるようにすることも行われてい
る。図８の回路で説明すると、空気中でのセンサー出力
電圧ＶSはその値が小さく（すなわち、感応物質１１の
抵抗値ＲSが小さく）、所定のガス濃度、例えば、ガス
漏れ警報器として検出しなければならないために必要
な、０.４％濃度のイソブタンガス中においても空気中
と大差ない値しか得ることができなかった。なお、前記
感応物質抵抗値ＲSは、 抵抗値ＲS＝センサー出力電圧ＶS／定電流回路の電流値
ＩS で決まる。
熱器２１と銃気的に絶縁分離されている例であるが、他
方電気的に短絡するようにして、図７，図８に示すよう
に、感応物質１１が電熱器２１の上にも直接接触させて
熱伝導効率を向上させるようにすることも行われてい
る。図８の回路で説明すると、空気中でのセンサー出力
電圧ＶSはその値が小さく（すなわち、感応物質１１の
抵抗値ＲSが小さく）、所定のガス濃度、例えば、ガス
漏れ警報器として検出しなければならないために必要
な、０.４％濃度のイソブタンガス中においても空気中
と大差ない値しか得ることができなかった。なお、前記
感応物質抵抗値ＲSは、 抵抗値ＲS＝センサー出力電圧ＶS／定電流回路の電流値
ＩS で決まる。
【０００５】而して、上記従来のガス検出回路では、感
応対象物質の吸脱着現象に応じた変化をする前記感応対
象物質の抵抗値変化が小さいため、増幅回路を用いる
が、単純な増幅回路では回路素子自体の温度特性や精度
の誤差によりセンサーの状態を正確に伝えることが出来
なくなる。そのため、増幅回路は精度の高いものを使用
することが望ましいが、回路が複雑になりコストも高く
なる。
応対象物質の吸脱着現象に応じた変化をする前記感応対
象物質の抵抗値変化が小さいため、増幅回路を用いる
が、単純な増幅回路では回路素子自体の温度特性や精度
の誤差によりセンサーの状態を正確に伝えることが出来
なくなる。そのため、増幅回路は精度の高いものを使用
することが望ましいが、回路が複雑になりコストも高く
なる。
【０００６】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、特に、センサーからの出力電圧を大きくするこ
とにより、複雑かつ高精度の増幅回路を用いる必要をな
くし、コストが安く、しかも精度の高いガス検出装置等
を提供することを目的としてなされたものである。
もので、特に、センサーからの出力電圧を大きくするこ
とにより、複雑かつ高精度の増幅回路を用いる必要をな
くし、コストが安く、しかも精度の高いガス検出装置等
を提供することを目的としてなされたものである。
【０００７】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
電熱器と該電熱器に一定電圧もしくは一定電流を印加す
る定電圧源もしくは定電流源と、前記電熱器に対向して
配設された感応物質とから成り、該感応物質を前記電熱
器にて所定温度に加熱して前記感応物質の抵抗を感応対
象物の吸脱着現象に応じて変化させるようにしたセンサ
ー駆動回路において、前記感応物質に直列にバイアス電
圧を印加し、前記感応物質とバイアス電圧との直列回路
に一定電流もしくは一定電圧を供給し、前記感応物質の
両端間の電圧を検出電圧とすることを特徴としたもので
あり、更には、（２）前記感応対象物が気体であるこ
と、或いは、（３）前記感応物質が金属酸化物半導体で
あること、更には、（４）前記電熱器の印加電圧を所定
の値（すなわち、ガス感度＝感応物質の空気中の抵抗値
／感度物質の所定濃度ガス中抵抗値、が最大となる条件
の値）から５〜３０％減じた設定値にしたことを特徴と
したものである。以下、本発明の実施例に基づいて説明
する。
電熱器と該電熱器に一定電圧もしくは一定電流を印加す
る定電圧源もしくは定電流源と、前記電熱器に対向して
配設された感応物質とから成り、該感応物質を前記電熱
器にて所定温度に加熱して前記感応物質の抵抗を感応対
象物の吸脱着現象に応じて変化させるようにしたセンサ
ー駆動回路において、前記感応物質に直列にバイアス電
圧を印加し、前記感応物質とバイアス電圧との直列回路
に一定電流もしくは一定電圧を供給し、前記感応物質の
両端間の電圧を検出電圧とすることを特徴としたもので
あり、更には、（２）前記感応対象物が気体であるこ
と、或いは、（３）前記感応物質が金属酸化物半導体で
あること、更には、（４）前記電熱器の印加電圧を所定
の値（すなわち、ガス感度＝感応物質の空気中の抵抗値
／感度物質の所定濃度ガス中抵抗値、が最大となる条件
の値）から５〜３０％減じた設定値にしたことを特徴と
したものである。以下、本発明の実施例に基づいて説明
する。
【０００８】図１、図２はそれぞれ、本発明によるセン
サー駆動回路の実施例を説明するための図で、図中、図
６〜図８に示した従来回路と同様の作用をする部分に
は、図６〜図８と同一の参照番号が付してある。而し
て、本発明は、感応物質１１と直列にバイアス電圧発生
素子（例えば、抵抗器、ダイオード、トランジスタ、交
流電源を使用した場合にはコイルなど）１２が設けられ
ていること、及び感応物質１１が電熱器２１から電気的
に絶縁分離されている点に特徴を有する。なお、図１の
実施例は、感応物質Ｉ側と電熱器II側の電源端子の一方
を共通にした例、図２は、感応物質Ｉ側と、電熱器II側
の端子を分離させてそれぞれ個別の電源を持たせた例を
示す。感応物質１１は、例えば、感応対象物がガスであ
る場合、Ｆｅ2Ｏ3、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、Ｚｎ
Ｏ等の金属酸化物半導体から成り、熱容量を小さくすべ
く微小薄膜状に形成されており、前記電熱器２１により
３００〜４５０℃に加熱されると、ガスに対して吸着・
離脱の作用を行う。従って、ガス感応物質１１の抵抗値
は、雰囲気中にガスが存在する場合は、ガス分子を吸着
して小さくなり、ガスがなくなるとガス分子を離脱させ
て大きくなる。而して、本発明は、上述のごとき従来の
センサー駆動回路において、感応物質１１に対してバイ
アス電圧ＶBを加えることにより、該感応物質の抵抗値
が増大することを発見し、これを利用して感応物質１１
の出力電圧の増大を図ったものである。すなわち、本出
願人は、これまで、ガス洩れ警報器や温湿度・アルコー
ル検出装置として、図６に示したセンサー駆動回路を用
いてセンサーの特性評価を行ってきたが、今回、図１に
示すような駆動回路での特性評価を行ったところ、セン
サー出力電圧ＶSが異なる値を示し、特に、バイアス電
圧ＶBを増大させると更に大きなセンサー出力電圧ＶSを
示すことを発見した。
サー駆動回路の実施例を説明するための図で、図中、図
６〜図８に示した従来回路と同様の作用をする部分に
は、図６〜図８と同一の参照番号が付してある。而し
て、本発明は、感応物質１１と直列にバイアス電圧発生
素子（例えば、抵抗器、ダイオード、トランジスタ、交
流電源を使用した場合にはコイルなど）１２が設けられ
ていること、及び感応物質１１が電熱器２１から電気的
に絶縁分離されている点に特徴を有する。なお、図１の
実施例は、感応物質Ｉ側と電熱器II側の電源端子の一方
を共通にした例、図２は、感応物質Ｉ側と、電熱器II側
の端子を分離させてそれぞれ個別の電源を持たせた例を
示す。感応物質１１は、例えば、感応対象物がガスであ
る場合、Ｆｅ2Ｏ3、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、Ｚｎ
Ｏ等の金属酸化物半導体から成り、熱容量を小さくすべ
く微小薄膜状に形成されており、前記電熱器２１により
３００〜４５０℃に加熱されると、ガスに対して吸着・
離脱の作用を行う。従って、ガス感応物質１１の抵抗値
は、雰囲気中にガスが存在する場合は、ガス分子を吸着
して小さくなり、ガスがなくなるとガス分子を離脱させ
て大きくなる。而して、本発明は、上述のごとき従来の
センサー駆動回路において、感応物質１１に対してバイ
アス電圧ＶBを加えることにより、該感応物質の抵抗値
が増大することを発見し、これを利用して感応物質１１
の出力電圧の増大を図ったものである。すなわち、本出
願人は、これまで、ガス洩れ警報器や温湿度・アルコー
ル検出装置として、図６に示したセンサー駆動回路を用
いてセンサーの特性評価を行ってきたが、今回、図１に
示すような駆動回路での特性評価を行ったところ、セン
サー出力電圧ＶSが異なる値を示し、特に、バイアス電
圧ＶBを増大させると更に大きなセンサー出力電圧ＶSを
示すことを発見した。
【０００９】図３は、図１の回路において、バイアス電
圧ＶBの大きさを、変化させた時の感応物質１１の抵抗
値を示す実験結果図で、図中、Ａは空気中、Ｂは２０
℃、９０％の温湿度雰囲気中、Ｃは０.４％のイソブタ
ンガス中の特性図で、曲線Ａから、バイアス電圧ＶBを
追加することによって、空気中でのＶSが非常に大きく
なること（感応物質１１の抵抗値ＲSが大きくなるこ
と）が解る。一方、所定のガス濃度（曲線Ｃ）において
は、ＶBの大きさに関係なくほぼ同じＲSを示すことから
空気中とガス中の割合（ガス感度）は大きく、結果とし
て回路での信号処理が容易かつ簡単になり、信頼性の高
いものとなる。そして、温湿度の影響（曲線Ｂ）におい
ても多少の影響を受けるが（温湿度の影響があっても、
ガス検出にはＬの余裕がある）、信号処理レベルのしき
い値を、その影響以下に容易に設定することができるの
で、バイアス電圧ＶBの効果は大きい。なお、ＶB＝０
（Ｖ）の時は、従来技術と同様で図６の場合に相当し、
それぞれの雰囲気において、あまり選択性を示していな
い。
圧ＶBの大きさを、変化させた時の感応物質１１の抵抗
値を示す実験結果図で、図中、Ａは空気中、Ｂは２０
℃、９０％の温湿度雰囲気中、Ｃは０.４％のイソブタ
ンガス中の特性図で、曲線Ａから、バイアス電圧ＶBを
追加することによって、空気中でのＶSが非常に大きく
なること（感応物質１１の抵抗値ＲSが大きくなるこ
と）が解る。一方、所定のガス濃度（曲線Ｃ）において
は、ＶBの大きさに関係なくほぼ同じＲSを示すことから
空気中とガス中の割合（ガス感度）は大きく、結果とし
て回路での信号処理が容易かつ簡単になり、信頼性の高
いものとなる。そして、温湿度の影響（曲線Ｂ）におい
ても多少の影響を受けるが（温湿度の影響があっても、
ガス検出にはＬの余裕がある）、信号処理レベルのしき
い値を、その影響以下に容易に設定することができるの
で、バイアス電圧ＶBの効果は大きい。なお、ＶB＝０
（Ｖ）の時は、従来技術と同様で図６の場合に相当し、
それぞれの雰囲気において、あまり選択性を示していな
い。
【００１０】図３は、図１の回路において、電熱器２１
の両端にＶH＝１.２０（Ｖ）の電圧を印加した場合の例
を示したが、図４には、この電圧ＶHを変えた場合の特
性を示し、曲線Ａ，Ｂ，Ｃは空気中の特性を示し、Ａは
ＶH＝１.２０（Ｖ）、ＢはＶH＝１.０（Ｖ）、ＣはＶH
＝０.８（Ｖ）に設定した場合の感応物質抵抗値ＲSの特
性を示す。図４から明らかなように、バイアス電圧ＶB
を変えていくと、感応物質抵抗値ＲSが急激に増大して
平衡状態になり、平衡状態になる時のＶBが、電熱器の
電圧ＶHに近いことが分る。図１に示した実施例では、
感応物質と電熱器が微細構造かつ近接しているため、電
熱器の設定電圧の影響を感応物質が受けて、ＶH＞ＶBの
時、ＶSは電熱器の電圧ＶHにおさえられてその値が小さ
い。ところが、ＶH＜ＶBの時、ＶSは電熱器の電位ＶHを
越えて電源部の電位に近づこうとするので、その値が大
きくなる。図１の実施例では回路の一端が共通になって
いるため、そのような電位の影響が出る。図７の従来技
術においては、電源部が二つに分離されていても感応物
質と電熱器が電気的に短絡されているが、図２に示した
実施例では絶縁分離されているので、感応物質の抵抗値
ＲSは電熱器の電位に影響されず、図１でのＶH＜ＶBと
ほぼ同様な特性を示す。この場合、バイアス電圧発生素
子は不用である。ここで二つの分離された電源部を構成
する場合、ＡＣ１００（Ｖ）から引込むと分離電源は大
変複雑になり容易でないが、個別の電池により電源回路
を作る方法はなお一層簡単で都合良い。さらに、図には
示さないが、電熱器の駆動回路が定電圧源によらず定電
流源でも良い。感応物質およびバイアス電圧発生素子に
は、定電流源によらず定電圧源でも可能であり、ＶH，
ＶBの大小関係において、センサー出力電圧ＶSは前記図
１の実施例と同様の特性を示す。なお、図４でＶBがＶH
＜ＶBの領域でＶH＝０.８（Ｖ）および１.０（Ｖ）での
ＲSがＶH＝１.２０（Ｖ）よりかなり小さくなるのは、
図５に示すように、金属酸化物半導体を用いたセンサー
特有の典型的な性質であって、上述の説明に矛盾はな
い。なお、図５において、曲線Ａ，Ｂは空気中、Ｃはガ
ス中の特性を示す。
の両端にＶH＝１.２０（Ｖ）の電圧を印加した場合の例
を示したが、図４には、この電圧ＶHを変えた場合の特
性を示し、曲線Ａ，Ｂ，Ｃは空気中の特性を示し、Ａは
ＶH＝１.２０（Ｖ）、ＢはＶH＝１.０（Ｖ）、ＣはＶH
＝０.８（Ｖ）に設定した場合の感応物質抵抗値ＲSの特
性を示す。図４から明らかなように、バイアス電圧ＶB
を変えていくと、感応物質抵抗値ＲSが急激に増大して
平衡状態になり、平衡状態になる時のＶBが、電熱器の
電圧ＶHに近いことが分る。図１に示した実施例では、
感応物質と電熱器が微細構造かつ近接しているため、電
熱器の設定電圧の影響を感応物質が受けて、ＶH＞ＶBの
時、ＶSは電熱器の電圧ＶHにおさえられてその値が小さ
い。ところが、ＶH＜ＶBの時、ＶSは電熱器の電位ＶHを
越えて電源部の電位に近づこうとするので、その値が大
きくなる。図１の実施例では回路の一端が共通になって
いるため、そのような電位の影響が出る。図７の従来技
術においては、電源部が二つに分離されていても感応物
質と電熱器が電気的に短絡されているが、図２に示した
実施例では絶縁分離されているので、感応物質の抵抗値
ＲSは電熱器の電位に影響されず、図１でのＶH＜ＶBと
ほぼ同様な特性を示す。この場合、バイアス電圧発生素
子は不用である。ここで二つの分離された電源部を構成
する場合、ＡＣ１００（Ｖ）から引込むと分離電源は大
変複雑になり容易でないが、個別の電池により電源回路
を作る方法はなお一層簡単で都合良い。さらに、図には
示さないが、電熱器の駆動回路が定電圧源によらず定電
流源でも良い。感応物質およびバイアス電圧発生素子に
は、定電流源によらず定電圧源でも可能であり、ＶH，
ＶBの大小関係において、センサー出力電圧ＶSは前記図
１の実施例と同様の特性を示す。なお、図４でＶBがＶH
＜ＶBの領域でＶH＝０.８（Ｖ）および１.０（Ｖ）での
ＲSがＶH＝１.２０（Ｖ）よりかなり小さくなるのは、
図５に示すように、金属酸化物半導体を用いたセンサー
特有の典型的な性質であって、上述の説明に矛盾はな
い。なお、図５において、曲線Ａ，Ｂは空気中、Ｃはガ
ス中の特性を示す。
【００１１】また、図４は、空気中（曲線Ａ，Ｂ，Ｃ）
及び０.４％イソブタンガス中（曲線ａ，ｂ，ｃ）にお
けるバイアス電圧ＶBと感応物質抵抗値ＲSの特性をも示
す図で、同図において、電熱器電圧ＶHを１.２０（Ｖ）
に設定すると感度を充分大きく取ることができるが、Ｖ
Hを小さくしていくに従い、感度が小さくなることがわ
かる。ここでＶHが０.８（Ｖ）程度であるとかなり選別
が難しくなる。これをヒータの印加電力として判断する
と、３０％程度（ＶH＝１.０（Ｖ）の時）減じても、感
度として、検出回路において容易に処理できる範囲とい
える。従って、消費電力が小さくなると共に、電熱器の
温度、感応物質の温度を下げることができ、なお一層耐
久寿命が長くなり、安全性、信頼性が向上する。
及び０.４％イソブタンガス中（曲線ａ，ｂ，ｃ）にお
けるバイアス電圧ＶBと感応物質抵抗値ＲSの特性をも示
す図で、同図において、電熱器電圧ＶHを１.２０（Ｖ）
に設定すると感度を充分大きく取ることができるが、Ｖ
Hを小さくしていくに従い、感度が小さくなることがわ
かる。ここでＶHが０.８（Ｖ）程度であるとかなり選別
が難しくなる。これをヒータの印加電力として判断する
と、３０％程度（ＶH＝１.０（Ｖ）の時）減じても、感
度として、検出回路において容易に処理できる範囲とい
える。従って、消費電力が小さくなると共に、電熱器の
温度、感応物質の温度を下げることができ、なお一層耐
久寿命が長くなり、安全性、信頼性が向上する。
【００１２】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、バイアス電圧ＶBを大きくするだけで感応物質の抵
抗値の大きさを変えることができるので、感応物質の抵
抗値の大きさを一定の範囲内であれば任意に設定するこ
とが出来、従って、周辺の回路で容易に処理でき、その
結果、回路の簡素化を図ることができ、また、ガス検出
装置等の精度を上げることが出来る。
と、バイアス電圧ＶBを大きくするだけで感応物質の抵
抗値の大きさを変えることができるので、感応物質の抵
抗値の大きさを一定の範囲内であれば任意に設定するこ
とが出来、従って、周辺の回路で容易に処理でき、その
結果、回路の簡素化を図ることができ、また、ガス検出
装置等の精度を上げることが出来る。
【図１】 本発明の一実施例を説明するための電気回路
図である。
図である。
【図２】 本発明の他の実施例を説明するための電気回
路図である。
路図である。
【図３】 バイアス電圧と感応物質抵抗値との関係を、
雰囲気をパラメータとして求めた時の特性図である。
雰囲気をパラメータとして求めた時の特性図である。
【図４】 バイアス電圧と感応物質抵抗値との関係を、
電熱器電圧をパラメータとして求めた時の特性図であ
る。
電熱器電圧をパラメータとして求めた時の特性図であ
る。
【図５】 電熱器へ印加した電圧ＶHによる感応物質抵
抗値ＲSの特性を示す図である。
抗値ＲSの特性を示す図である。
【図６】 従来のセンサー駆動回路の一例を説明するた
めの電気回路図である。
めの電気回路図である。
【図７】 従来のセンサー駆動回路の他の例を説明する
ための電気回路図である。
ための電気回路図である。
【図８】 従来のセンサー駆動回路の他の例を説明する
ための電気回路図である。
ための電気回路図である。
１０…定電流源、１１…感応物質、１２…バイアス電圧
発生素子、２０…定電圧源、２１…電熱器、３０，３０
1，３０2…電源。
発生素子、２０…定電圧源、２１…電熱器、３０，３０
1，３０2…電源。
Claims (4)
- 【請求項１】 電熱器と該電熱器に一定電圧もしくは一
定電流を印加する定電圧源もしくは定電流源と、前記電
熱器に対向して配設された感応物質とから成り、該感応
物質を前記電熱器にて所定温度に加熱して前記感応物質
の抵抗を感応対象物の吸脱着現象に応じて変化させるよ
うにしたセンサー駆動回路において、前記感応物質に直
列にバイアス電圧を印加し、前記感応物質とバイアス電
圧との直列回路に一定電流もしくは一定電圧を供給し、
前記感応物質の両端間の電圧を検出電圧とすることを特
徴とするセンサー駆動回路。 - 【請求項２】 前記電熱器の印加電圧を所定の値（すな
わち、ガス感度＝感応物質の空気中の抵抗値／感応物質
の所定濃度ガス中抵抗値、が最大となる条件の値）から
５〜３０％減じた設定値にしたことを特徴とする請求項
１に記載のセンサー駆動回路。 - 【請求項３】 電熱器と、該電熱器と電気的に絶縁分離
かつ対向配設された感応物質とから成るセンサーの駆動
回路において、電熱器を駆動する電源部と、感応物質を
駆動させる前記電源部と電気的に絶縁分離された第二の
電源部を持つことを特徴とするセンサー駆動回路。 - 【請求項４】 前記２つの電源部への電力供給がそれぞ
れ個別の電池により行われることを特徴とする請求項３
記載のセンサー駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19702091A JP3236313B2 (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | センサー駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19702091A JP3236313B2 (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | センサー駆動回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518919A true JPH0518919A (ja) | 1993-01-26 |
| JP3236313B2 JP3236313B2 (ja) | 2001-12-10 |
Family
ID=16367434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19702091A Expired - Fee Related JP3236313B2 (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | センサー駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3236313B2 (ja) |
-
1991
- 1991-07-11 JP JP19702091A patent/JP3236313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3236313B2 (ja) | 2001-12-10 |
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Legal Events
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080928 Year of fee payment: 7 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090928 Year of fee payment: 8 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100928 Year of fee payment: 9 |
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