JPH05182622A - 光電変換型電子顕微鏡 - Google Patents
光電変換型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05182622A JPH05182622A JP4001663A JP166392A JPH05182622A JP H05182622 A JPH05182622 A JP H05182622A JP 4001663 A JP4001663 A JP 4001663A JP 166392 A JP166392 A JP 166392A JP H05182622 A JPH05182622 A JP H05182622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- pulse
- photoelectric conversion
- laser
- electrode
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、パルスの繰り返し周期を任意に設
定することができるようにした光電変換型電子顕微鏡を
提供することを主要な目的とする。 【構成】モ−ドロックレ−ザ１５と、このモ−ドロック
レ−ザ１５から出力される超高速パルス列のレ−ザ光が
入射することで電子を発生する光電変換部２１と、この
光電変換部２１で発生した電子を加速する加速電極２２
と、この加速電極２２に印加するゲ−ト電圧を制御する
ことで光電変換部２１で発生する電子を選択的に加速す
る制御装置２５とを具備したことを特徴とする。
定することができるようにした光電変換型電子顕微鏡を
提供することを主要な目的とする。 【構成】モ−ドロックレ−ザ１５と、このモ−ドロック
レ−ザ１５から出力される超高速パルス列のレ−ザ光が
入射することで電子を発生する光電変換部２１と、この
光電変換部２１で発生した電子を加速する加速電極２２
と、この加速電極２２に印加するゲ−ト電圧を制御する
ことで光電変換部２１で発生する電子を選択的に加速す
る制御装置２５とを具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はパルスの繰返し周期を
任意に設定することができる光電変換型電子顕微鏡に関
する。
任意に設定することができる光電変換型電子顕微鏡に関
する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、超高速ロジックＩＣなどの半
導体素子の信号の流れなどを測定する場合、通常の熱電
子型の電子銃では輝度が不足するため、十分な解像度が
得られない。そのため、光共振器間隔によって定まる定
在波のモ−ドに固定されたレ−ザ光を発振するモ−ドロ
ックレ−ザによって超高速パルス列のレ−ザ光を発生さ
せ、そのレ−ザ光を光−電子変換する、いわゆる光電変
換電子銃が用いられている。
導体素子の信号の流れなどを測定する場合、通常の熱電
子型の電子銃では輝度が不足するため、十分な解像度が
得られない。そのため、光共振器間隔によって定まる定
在波のモ−ドに固定されたレ−ザ光を発振するモ−ドロ
ックレ−ザによって超高速パルス列のレ−ザ光を発生さ
せ、そのレ−ザ光を光−電子変換する、いわゆる光電変
換電子銃が用いられている。
【０００３】モ−ドロックレ−ザを用いた場合、発生す
る電子ビ−ムはモ−ドロックレ−ザの周波数と同じ周波
数をもつパルス列となる。この周波数は一般には100 Ｍ
Ｈz程度であり、そのパルス間隔はおよそ10nsである。
そのため、測定の信号処理系が高速でない場合や被測定
物の変化周期、たとえば減衰時間幅が10nsよりも長い場
合、入射する光パルスを適当に間引くことで、出射され
る電子ビ−ムのパルス間隔を変える必要がある。
る電子ビ−ムはモ−ドロックレ−ザの周波数と同じ周波
数をもつパルス列となる。この周波数は一般には100 Ｍ
Ｈz程度であり、そのパルス間隔はおよそ10nsである。
そのため、測定の信号処理系が高速でない場合や被測定
物の変化周期、たとえば減衰時間幅が10nsよりも長い場
合、入射する光パルスを適当に間引くことで、出射され
る電子ビ−ムのパルス間隔を変える必要がある。
【０００４】従来、光電変換電子銃に入射するレ−ザ光
のパルス列の間隔を拡げるためには、図６に示すように
モ−ドロックレ−ザ１の光共振器２内にキャビティ−ダ
ンパ３を設けたり、図７に示すようにモ−ドロックレ−
ザ１から発振されたレ−ザ光Ｌの光路にシングルパルス
セパレ−タ４を設け、パルス列を間引くということが行
われていた。
のパルス列の間隔を拡げるためには、図６に示すように
モ−ドロックレ−ザ１の光共振器２内にキャビティ−ダ
ンパ３を設けたり、図７に示すようにモ−ドロックレ−
ザ１から発振されたレ−ザ光Ｌの光路にシングルパルス
セパレ−タ４を設け、パルス列を間引くということが行
われていた。
【０００５】そして、上記キャビティ−ダンパ３やシン
グルパルスセパレ−タ４でパルス間隔が変えられたレ−
ザ光Ｌは反射鏡５で反射して電子顕微鏡６の光電変換部
７に入射されるようになっている。
グルパルスセパレ−タ４でパルス間隔が変えられたレ−
ザ光Ｌは反射鏡５で反射して電子顕微鏡６の光電変換部
７に入射されるようになっている。
【０００６】このように、光電変換部７に入射するレ−
ザ光Ｌのパルス間隔を変えることで、電子ビ−ムのパル
ス間隔を変えるようにすると、上述したようにキャビテ
ィ−ダンパ３やシングルパルスセパレ−タ４などの光学
素子を用いなければならない。
ザ光Ｌのパルス間隔を変えることで、電子ビ−ムのパル
ス間隔を変えるようにすると、上述したようにキャビテ
ィ−ダンパ３やシングルパルスセパレ−タ４などの光学
素子を用いなければならない。
【０００７】しかしながら、キャビティ−ダンパ３を用
いる場合、その調整が微妙であり、取扱いが複雑となる
ばかりか、信頼性に欠けることがある。また、シングル
パルスセパレ−タを用いる場合、パルス間隔が数10〜数
100 ＨZ と拡くなり過ぎ、測定上、問題となることがあ
る。
いる場合、その調整が微妙であり、取扱いが複雑となる
ばかりか、信頼性に欠けることがある。また、シングル
パルスセパレ−タを用いる場合、パルス間隔が数10〜数
100 ＨZ と拡くなり過ぎ、測定上、問題となることがあ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来はキ
ャビティ−ダンパやシングルパルスセパレ−タを用いて
レ−ザ光のパルス間隔を変えることで、電子ビ−ムのパ
ルス間隔を変えるようにしていたので、その間隔を任意
に変換することが難しく、しかも所定のパルス間隔を得
るための操作性や信頼性が悪いなどのことがあった。
ャビティ−ダンパやシングルパルスセパレ−タを用いて
レ−ザ光のパルス間隔を変えることで、電子ビ−ムのパ
ルス間隔を変えるようにしていたので、その間隔を任意
に変換することが難しく、しかも所定のパルス間隔を得
るための操作性や信頼性が悪いなどのことがあった。
【０００９】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、光学素子を用いること
なく、電子ビ−ムのパルス繰り返し周期を任意に変える
ことができるようにした光電変換型電子顕微鏡を提供す
ることにある。
ので、その目的とするところは、光学素子を用いること
なく、電子ビ−ムのパルス繰り返し周期を任意に変える
ことができるようにした光電変換型電子顕微鏡を提供す
ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明の第１の手段は、モ−ドロックレ−ザと、こ
のモ−ドロックレ−ザから出力される超高速パルス列の
レ−ザ光が入射することで電子を発生する光電変換部
と、この光電変換部で発生した電子を加速する加速電極
と、この加速電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で上記光電変換部で発生する電子を選択的に加速する制
御手段とを具備したことを特徴とする。
にこの発明の第１の手段は、モ−ドロックレ−ザと、こ
のモ−ドロックレ−ザから出力される超高速パルス列の
レ−ザ光が入射することで電子を発生する光電変換部
と、この光電変換部で発生した電子を加速する加速電極
と、この加速電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で上記光電変換部で発生する電子を選択的に加速する制
御手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】また、この発明の第２の手段は、モ−ドロ
ックレ−ザと、このモ−ドロックレ−ザから出力される
超高速パルス列のレ−ザ光が入射することで電子を発生
する光電変換部と、この光電変換部で発生した電子を加
速する加速電極と、この加速電極によって加速された電
子を偏向させるための偏向電極と、この偏向電極に印加
するゲ−ト電圧を制御することで上記加速電極で加速さ
れた電子を選択的に偏向させずに通過させる制御手段と
を具備したことを特徴とする。
ックレ−ザと、このモ−ドロックレ−ザから出力される
超高速パルス列のレ−ザ光が入射することで電子を発生
する光電変換部と、この光電変換部で発生した電子を加
速する加速電極と、この加速電極によって加速された電
子を偏向させるための偏向電極と、この偏向電極に印加
するゲ−ト電圧を制御することで上記加速電極で加速さ
れた電子を選択的に偏向させずに通過させる制御手段と
を具備したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記第１の手段によれば、光電変換部で発生す
る電子を加速電極で選択的に加速することで、電子の加
速に同期した周期の電子パルス列を得ることができる。
る電子を加速電極で選択的に加速することで、電子の加
速に同期した周期の電子パルス列を得ることができる。
【００１３】上記第２の手段によれば、光電変換部で発
生する電子を偏向電極で選択的に偏向させずに通過せる
ることで、その選択に同期した周期の電子パルス列を得
ることができる。
生する電子を偏向電極で選択的に偏向させずに通過せる
ることで、その選択に同期した周期の電子パルス列を得
ることができる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１５】図１乃至図３はこの発明の第１の実施例を
示し、図２は光電変換型電子顕微鏡１１を示す。この顕
微鏡１１は本体部１２と、この本体部１２の上部に設け
られた電子銃１３と、この電子銃１３に超高速パルス列
のレ−ザ光Ｌを反射鏡１４を介して入射させるモ−ドロ
ックレ−ザ１５とから構成されている。モ−ドロックレ
−ザ１５は、光共振器１５ａと、この光共振器１５ａ内
に配置されたレ−ザ媒質１５ｂとから形成されている。
示し、図２は光電変換型電子顕微鏡１１を示す。この顕
微鏡１１は本体部１２と、この本体部１２の上部に設け
られた電子銃１３と、この電子銃１３に超高速パルス列
のレ−ザ光Ｌを反射鏡１４を介して入射させるモ−ドロ
ックレ−ザ１５とから構成されている。モ−ドロックレ
−ザ１５は、光共振器１５ａと、この光共振器１５ａ内
に配置されたレ−ザ媒質１５ｂとから形成されている。
【００１６】上記本体部１２には複数組の電子レンズ１
６が上下方向に離間して配置され、下部の試料室には超
高速ロジックＩＣなどの被測定物１７が設置されてい
る。被測定物１７の側方には上部検知器１８と下部検知
器１９とが配置されている。これら検知器１８、１９は
上記被測定物１７から反射する電子を検知する。それに
よって、上記被測定物１７における信号の流れなどを測
定することができるようになっている。
６が上下方向に離間して配置され、下部の試料室には超
高速ロジックＩＣなどの被測定物１７が設置されてい
る。被測定物１７の側方には上部検知器１８と下部検知
器１９とが配置されている。これら検知器１８、１９は
上記被測定物１７から反射する電子を検知する。それに
よって、上記被測定物１７における信号の流れなどを測
定することができるようになっている。
【００１７】上記電子銃１３は、図１に示すようにレ−
ザ光Ｌの入射端側に、たとえば光学ガラス上に金を蒸着
して形成された光電変換部２１が設けられている。この
光電変換部２１はレ−ザ光Ｌが入射することで、そのレ
−ザ光Ｌのパルス列に対応したパルス列で電子ｅ- を発
生する。
ザ光Ｌの入射端側に、たとえば光学ガラス上に金を蒸着
して形成された光電変換部２１が設けられている。この
光電変換部２１はレ−ザ光Ｌが入射することで、そのレ
−ザ光Ｌのパルス列に対応したパルス列で電子ｅ- を発
生する。
【００１８】光電変換部２１の下方には加速電極２２が
配置されている。この加速電極２２は上記光電変換部２
１で発生した電子ｅ- を上記本体部１２の電子レンズ１
６に向かって加速する。加速された電子ｅ- 、つまり電
子ビ−ムは、矢印で示すように規制板２３のピンホ−ル
２４を通り、電子レンズ１６で集束されて被測定物１７
を照射するようになっている。
配置されている。この加速電極２２は上記光電変換部２
１で発生した電子ｅ- を上記本体部１２の電子レンズ１
６に向かって加速する。加速された電子ｅ- 、つまり電
子ビ−ムは、矢印で示すように規制板２３のピンホ−ル
２４を通り、電子レンズ１６で集束されて被測定物１７
を照射するようになっている。
【００１９】上記加速電極２２にはゲ−ト電圧Ｖが印加
される。このゲ−ト電圧Ｖは制御装置２５によって制御
される。図３は光電変換部２１に入射するレ−ザ光Ｌの
パルスＰ1 と、加速電極２２に印加されるゲ−ト電圧Ｖ
と、規制板２３のピンホ−ル２４から出射する電子ビ−
ムのパルスＰ2 との関係を示す。
される。このゲ−ト電圧Ｖは制御装置２５によって制御
される。図３は光電変換部２１に入射するレ−ザ光Ｌの
パルスＰ1 と、加速電極２２に印加されるゲ−ト電圧Ｖ
と、規制板２３のピンホ−ル２４から出射する電子ビ−
ムのパルスＰ2 との関係を示す。
【００２０】図３に示されるように、光電変換部２１に
入射するレ−ザ光Ｌの超高速パルス列に対し、ゲ−ト電
圧Ｖをマイナスからプラスに変換したときにだけ、加速
電極２２で電子ｅ- の加速が行われるため、電子銃１３
から本体部１２に向かって電子ビ−ムパルスＰ2 が出射
される。
入射するレ−ザ光Ｌの超高速パルス列に対し、ゲ−ト電
圧Ｖをマイナスからプラスに変換したときにだけ、加速
電極２２で電子ｅ- の加速が行われるため、電子銃１３
から本体部１２に向かって電子ビ−ムパルスＰ2 が出射
される。
【００２１】このような構成の光電変換型電子顕微鏡１
１によれば、加速電極２２に印加する電圧Ｖを制御装置
２５によって制御し、光電変換部２１で発生する電子ｅ
- を選択的に加速すれば、光電変換部２１に入射するレ
−ザ光ＬのパルスＰ1 の周期に対し、光電変換部２１で
発生してピンホ−ル２４を通過する電子ビ−ムのパルス
Ｐ2 の周期を上記電圧Ｖに同期させることができる。
１によれば、加速電極２２に印加する電圧Ｖを制御装置
２５によって制御し、光電変換部２１で発生する電子ｅ
- を選択的に加速すれば、光電変換部２１に入射するレ
−ザ光ＬのパルスＰ1 の周期に対し、光電変換部２１で
発生してピンホ−ル２４を通過する電子ビ−ムのパルス
Ｐ2 の周期を上記電圧Ｖに同期させることができる。
【００２２】つまり、レ−ザ光ＬのパルスＰ1 の周期に
対し、電子ビ−ムのパルスＰ2 の周期を任意に設定する
ことができる。したがって、測定の信号処理系が高速で
ない場合や被測定物１７の変化周期が長い場合など、そ
れに応じて電子ビ−ムのパルスＰ2 の周期を設定するこ
とができる。
対し、電子ビ−ムのパルスＰ2 の周期を任意に設定する
ことができる。したがって、測定の信号処理系が高速で
ない場合や被測定物１７の変化周期が長い場合など、そ
れに応じて電子ビ−ムのパルスＰ2 の周期を設定するこ
とができる。
【００２３】図４と図５はこの発明の第２の実施例を示
す。この実施例は図４に示すように加速電極２２と規制
板２３との間に偏向電極３１が配置されている。この偏
向電極３１にはゲ−ト電圧Ｖを印加するための制御装置
３２が接続されている。上記加速電極２２には、一定の
電圧が印加されるようになっている。
す。この実施例は図４に示すように加速電極２２と規制
板２３との間に偏向電極３１が配置されている。この偏
向電極３１にはゲ−ト電圧Ｖを印加するための制御装置
３２が接続されている。上記加速電極２２には、一定の
電圧が印加されるようになっている。
【００２４】図５は図４に示す構成において、光電変換
部２１に入射するレ−ザ光ＬのパルスＰ1 と、偏向電極
３１に印加されるゲ−ト電圧Ｖと、規制板２３のピンホ
−ル２４から出射する電子ビ−ムのパルスＰ2 との関係
を示す。
部２１に入射するレ−ザ光ＬのパルスＰ1 と、偏向電極
３１に印加されるゲ−ト電圧Ｖと、規制板２３のピンホ
−ル２４から出射する電子ビ−ムのパルスＰ2 との関係
を示す。
【００２５】すなわち、偏向電極３１に印加する電圧Ｖ
をプラスからマイナスに変化させると、ゲ−ト電圧Ｖが
０になったときに上記偏向電極３１による電子ｅ- の偏
向が解除される。電子ｅ- の偏向が解除されれば、加速
電極２２により電子ビ−ムが図４に矢印ａで示す方向に
加速され、偏向電極３１およびピンホ−ル２４を通過す
ることができるから、電子ビ−ムパルスＰ2 を発生させ
ることができる。
をプラスからマイナスに変化させると、ゲ−ト電圧Ｖが
０になったときに上記偏向電極３１による電子ｅ- の偏
向が解除される。電子ｅ- の偏向が解除されれば、加速
電極２２により電子ビ−ムが図４に矢印ａで示す方向に
加速され、偏向電極３１およびピンホ−ル２４を通過す
ることができるから、電子ビ−ムパルスＰ2 を発生させ
ることができる。
【００２６】また偏向電極３１にプラスまたはマイナス
の電圧が印加されていれば、加速電極２２で加速された
電子ビ−ムは、矢印ｂで示すように偏向させられるか
ら、ピンホ−ル２４を通過することができない。
の電圧が印加されていれば、加速電極２２で加速された
電子ビ−ムは、矢印ｂで示すように偏向させられるか
ら、ピンホ−ル２４を通過することができない。
【００２７】したがって、偏向電極３１に印加されたゲ
−ト電圧Ｖの極性を所定の周期で変えれば、その周期に
対応した間隔で電子ビ−ムパルスＰ2 を出力することが
できる。
−ト電圧Ｖの極性を所定の周期で変えれば、その周期に
対応した間隔で電子ビ−ムパルスＰ2 を出力することが
できる。
【００２８】なお、この実施例においては、偏向電極３
１に印加するゲ−ト電圧Ｖの極性を変えることで電子ビ
−ムパルスＰ2 を出力させたが、極性を変えず、偏向電
極３１に印加するゲ−ト電圧Ｖを０とすることで電子ビ
−ムパルスＰ2 を出力させるようにしてもよい。
１に印加するゲ−ト電圧Ｖの極性を変えることで電子ビ
−ムパルスＰ2 を出力させたが、極性を変えず、偏向電
極３１に印加するゲ−ト電圧Ｖを０とすることで電子ビ
−ムパルスＰ2 を出力させるようにしてもよい。
【００２９】また、電子ビ−ムは電子レンズの中心を通
らないと所定の解像度が得られないから、各実施例に示
されたピンホ−ルが形成された規制板が設けられていな
くとも、加速電極で加速されなかった電子や偏向電極で
偏向された電子により、測定精度が低下するということ
がない。つまり、規制板がなくとも、実際の使用にはな
んら差支えない。
らないと所定の解像度が得られないから、各実施例に示
されたピンホ−ルが形成された規制板が設けられていな
くとも、加速電極で加速されなかった電子や偏向電極で
偏向された電子により、測定精度が低下するということ
がない。つまり、規制板がなくとも、実際の使用にはな
んら差支えない。
【００３０】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、加速電極
に印加するゲ−ト電圧を制御することで光電変換部で発
生する電子を選択的に加速するようにした。また、この
発明は、偏向電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で、加速電極で加速された電子を選択的に偏向させずに
通過せるようにした。
に印加するゲ−ト電圧を制御することで光電変換部で発
生する電子を選択的に加速するようにした。また、この
発明は、偏向電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で、加速電極で加速された電子を選択的に偏向させずに
通過せるようにした。
【００３１】したがって、この発明によれば、加速電極
あるいは偏向電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で、その制御に応じて電子ビ−ムのパルスの周期を任意
に設定することができる。しかも、従来の光学素子を用
いてレ−ザ光のパルスを制御する場合に比べ電子ビ−ム
の周期の調整を容易かつ確実に行うことができる。
あるいは偏向電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で、その制御に応じて電子ビ−ムのパルスの周期を任意
に設定することができる。しかも、従来の光学素子を用
いてレ−ザ光のパルスを制御する場合に比べ電子ビ−ム
の周期の調整を容易かつ確実に行うことができる。
【図１】本発明の第１の一実施例の電子銃部分の拡大
図。
図。
【図２】同じく電子顕微鏡全体の概略的構成図。
【図３】同じくレ−ザパルスと加速電極に印加するゲ−
ト電圧に応じて変化する電子ビ−ムパルスとの関係の説
明図。
ト電圧に応じて変化する電子ビ−ムパルスとの関係の説
明図。
【図４】この発明の第２の実施例の電子銃部分の拡大
図。
図。
【図５】同じくレ−ザパルスと偏向電極に印加するゲ−
ト電圧に応じて変化する電子ビ−ムパルスとの関係の説
明図。
ト電圧に応じて変化する電子ビ−ムパルスとの関係の説
明図。
【図６】従来の構成を示す説明図。
【図７】他の従来の構成を示す説明図。
１５…モ−ドロックレ−ザ、２１…光電変換部、２２…
加速電極、２５、３２…制御装置、３１…偏向電極。
加速電極、２５、３２…制御装置、３１…偏向電極。
Claims (2)
- 【請求項１】 モ−ドロックレ−ザと、このモ−ドロッ
クレ−ザから出力される超高速パルス列のレ−ザ光が入
射することで電子を発生する光電変換部と、この光電変
換部で発生した電子を加速する加速電極と、この加速電
極に印加するゲ−ト電圧を制御することで上記光電変換
部で発生する電子を選択的に加速する制御手段とを具備
したことを特徴とする光電変換型電子顕微鏡。 - 【請求項２】 モ−ドロックレ−ザと、このモ−ドロッ
クレ−ザから出力される超高速パルス列のレ−ザ光が入
射することで電子を発生する光電変換部と、この光電変
換部で発生した電子を加速する加速電極と、この加速電
極によって加速された電子を偏向させるための偏向電極
と、この偏向電極に印加するゲ−ト電圧を制御すること
で上記加速電極で加速された電子を選択的に偏向させず
に通過させる制御手段とを具備したことを特徴とする光
電変換型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4001663A JPH05182622A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 光電変換型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4001663A JPH05182622A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 光電変換型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182622A true JPH05182622A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=11507764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4001663A Pending JPH05182622A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 光電変換型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182622A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012505521A (ja) * | 2008-10-09 | 2012-03-01 | カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー | 四次元イメージング超高速電子顕微鏡 |
| JP2017126432A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 株式会社荏原製作所 | 電子銃及びこれを備える検査装置 |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP4001663A patent/JPH05182622A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012505521A (ja) * | 2008-10-09 | 2012-03-01 | カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー | 四次元イメージング超高速電子顕微鏡 |
| JP2017126432A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 株式会社荏原製作所 | 電子銃及びこれを備える検査装置 |
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