KR100208674B1 - 박막형 광로 조절장치의 동작 측정 방법 및 이를 수행하는 장치 - Google Patents
박막형 광로 조절장치의 동작 측정 방법 및 이를 수행하는 장치 Download PDFInfo
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Abstract
측정광선을 이용하여 박막형 광로 조절 장치의 액츄에이터의 동작상태를 정확하게 측정하기 위한 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 방법 및 이를 수행하는 장치가 개시되어 있다. 클럭을 발생하고, 발생된 클럭을 변조 및 분할하고, 변조된 클럭을 이용하여 측정광선을 발생시킨다. 측정광선을 액츄에이터의 표면에 입사하고, 상기 액츄에이터의 표면에서 반사된 측정광선을 집중시켜 출력시킨다. 집광된 측정광선에 따른 전기적인 신호를 검출하고, 검출된 전기적인 신호를 분할된 클럭에 대응되도록 디지탈신호로 변환하고 이를 증폭하여 저장된 기준신호와 비교하여 액츄에이터의 동작상태를 판단한다. 액츄에이터에 빛을 조사하고, 반사되는 빛에 의하여 액츄에이터를 구성하는 각각의 픽셀의 동작을 검출하여 저가의 장비로 정확하게 액츄에이터의 동작을 측정할 수 있다.
Description
본 발명은 화상 표시 장치의 동작을 측정하기 위한 측정 장치에 관한 것으로, 특히 측정광선을 이용하여 박막형 광로 조절 장치의 액츄에이터의 동작상태를 정확하게 측정하기 위한 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 방법 및 이를 수행하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 광속을 조절하여 화상을 형성할 수 있는 화상표시장치는 광학적 특성에 따라 크게 두 종류로 분류된다. 그 한 종류는 직시형 화상 표시 장치로서 CRT(Cathode Ray Tube) 등이 이에 해당하며, 다른 한 종류는 투사형 화상 표시 장치로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display : LCD), DMD(Deformable Mirror Device), AMA 등이 이에 해당한다. 상기 CRT장치는 화질은 우수하나 화면의 대형화에 따라 그 중량과 용적이 증가하여 제조 비용이 상승하게 되는 문제점이 있다. 이에 비하여, 액정 표시 장치(LCD)는 광학적 구조가 간단하여 얇게 형성하여 중량을 가볍게 할 수 있으며, 용적을 줄이는 것이 가능하다. 그러나 상기 액정 표시 장치는 광의 편광으로 인하여 1~2%의 광효율을 가질 정도로 효율이 떨어지고, 액정 물질의 응답 속도가 느리며 그 내부가 과열되기 쉬운 단점이 있다.
따라서, 상기의 문제점을 해결하기 위하여 AMA, 또는 DMD 등의 화상 표시 장치가 개발되었다. 현재, DMD가 5% 정도의 광효율을 가지는 것에 비하여 AMA는 10% 이상의 광효율을 얻을 수 있다. 상기의 AMA는 그 내부에 설치된 각각의 거울들이 광원으로부터 유입되는 빛을 소정의 각도로 반사하며, 상기 반사된 빛은 슬릿(slit)을 통과하여 스크린에 화상을 맺도록 광속을 조절할 수 있는 장치이다. 따라서 그 구조와 동작 원리가 간단하며, 액정 표시 장치나 DMD 등에 비해 높은 광효율을 얻을 수 있다. 또한 콘트라스트를 향상시켜 밝고 선명한 화상을 얻을 수 있으며, 입사되는 광속의 극성에 영향을 받지 않을 뿐만 아니라 반사되는 광속의 극성에도 여향을 미치지 않는다. AMA에 내장된 거울들은 각기 슬릿에 대응하도록 배열되며, 액츄에이터(actuator)내부에 발생하는 전계에 의해 거울이 경사지게 된다. 따라서 광원으로부터 입사되는 광속을 소정의 각도로 조절하여, 스크린에 화상을 맺을수 있도록 한다.
제1도는 일반적인 박막형 광로 조절 장치의 개략적인 구성을 보여주기 위한 사시도이다. 제1도에서 보는 바와 같이, 박막형 광로 조절장치(1)는 액티브 메트릭스(2)를 구비한다. 상기 액티브 메트릭스(2)의 상부에는 각각의 액츄에이터(4)가 형성된다. 상기 액츄에이터(4)는 인가되는 전기적인 화상 신호 및 바이어스 전압에 의하여 발생되는 전계에 따라 변형을 일으킨다. 상기 액츄에이터(4)가 변형을 일으킬 때, 상기 액츄에이터(4)의 상부에 형성된 거울(6)들은 경사지게 된다. 따라서 상기 경사진 거울(6)들은 광원으로부터 입사된 빛을 소정의 각도로 반사시킬 수 있게 된다. 상기 각각의 거울(6)들을 구동하는 변형부(8)의 구성 물질로서 PZT(Pb(Zr, Ti)O3)나 PLZT((Pb, La)(Zr, Ti)O3)등의 압전 물질이 이용된다. 또한 PMN(Pb(Mg, Nb)O3)등의 전왜 물질을 상기 변형부(8)의 구성 재료로서 사용할 수 있다.
광로 조절 장치는 입력된 화상 신호 즉, 색의 삼원색인 R,G,B신호에 따라 거울(6)의 반사각도를 다르게 조절한다. 따라서, 광원으로부터 입사된 빛이 반사각도가 다르게 조절된 거울(6)에 각각 반사되고, 반사된 화상의 삼원색에 따른 빛을 혼합하여 하나의 화상을 구성하게 된다. 이러한 광로조절장치에서 액츄에이터(4)의 상부에 설치된 거울(6)들의 정확한 동작은 화상의 질을 좌우하는 척도가 된다. 따라서, 광로 조절장치에서 각각의 거울(6)들이 정확하게 동작을 수행하는 지를 측정하는 측정장비의 필요성이 대두된다.
종래의 박막형 광로 조절 장치에서는 고가의 반도체 측정장비를 이용하여 액츄에이터가 정확하게 제조되었는지를 측정하거나, 검사자의 육안에 의하여 액츄에이터를 구성하는 거울의 동작을 측정하는 방법이 사용되었다.
그러나, 고가의 반도체를 이용하여 액츄에이터를 구성하는 각각의 픽셀이 정확하게 제조되었는지를 판단하는 방법은 정확한 장점은 있으나, 측정방법이 복잡할 뿐만 아니라 측정장비자체가 고가인 문제점이 있었다. 또한, 육안에 의하여 액츄에이터의 동작을 측정하는 방법은 고가의 장비를 필요로 하지는 않으나 검사자의 숙련도 등에 따라 검사결과가 다르게 나오는등 정확한 측정이 어려운 문제점이 있었다.
상기한 문제점을 해소하게 위하여 창안된 본 발명의 제1 목적은 액츄에이터를 이루는 각각의 픽셀에 레이져광을 주사하고, 각각의 픽셀에서 반사된 빛을 입력받아 이를 전기적인 신호로 변환하고, 변환된 전기적인 신호를 저장된 데이터와 비교하여 액츄에이터의 동작을 측정하므로서 저가이면서 정확한 동작 측정이 가능한 박막형 광로 조절 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 제2 목적은 상기한 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 방법을 수행하기에 적합한 장치를 제공하는 것이다.
제1도는 일반적인 박막형 광로 조절 장치의 개략적인 구성을 보여주기 위한 사시도이다.
제2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치를 보여주기 위한 블럭도이다.
제3도는 제2도에서 광학계의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 펄스발생부 20 : 펄스변조부
30 : 펄스분할부 40 : 측정광 발생부
50 : 광학계 51 : 콜리메이트 렌즈
52 : 광 분할기 53 : 위상이동판
54 : 대물렌즈 55 : 집광렌즈
56 : 원통렌즈 60 : 광 검출부
70 : A/D변환부 80 : 마이컴
102 : 액츄에이터 104 : 거울
상기의 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
클럭을 발생하고, 발생된 클럭을 변조 및 분할하는 단계;
변조된 클럭을 이용하여 측정광선을 발생시키는 단계;
측정광선을 액츄에이터의 표면에 입사하고, 상기 액츄에이터의 표면에서 반사된 측정광선을 집중시켜 출력시키는 단계;
집광된 측정광선에 따른 전기적인 신호를 검출하는 단계; 그리고,
검출된 전기적인 신호를 상기 단계에서 분할된 클럭에 대응되도록 디지탈신호로 변환하고 이를 증폭하여 저장된 기준신호와 비교하여 액츄에이터의 동작상태를 판단하는 단계로 이루어진다.
또한, 상기한 제2 목적을 수행하기 위한 본 발명은,
클럭을 발생시키는 클럭발생부의 출력단에 접속되어 상기 클럭 발생부에서 출력된 클럭을 변조하여 출력시키는 클럭변조부;
클럭 발생부에서 출력된 클럭을 부호화하여 디지탈신호로 변환시키는 클럭분할부;
클럭 변조부의 출력단에 접속되어 변조된 클럭에 의하여 측정 광선을 발생시키는 측정광 발생부;
측정광 발생부에서 출력된 측정광선을 액츄에이터의 표면에 입사하고, 상기 액츄에이터의 표면에서 반사된 측정광선을 집광하여 출력하는 광학계;
광학계를 통하여 집중된 측정광선을 전기적인 신호로 변환시키는 광검출부;
광검출부의 출력단에 접속되어 상기 클럭분할부에서 출력되는 부호화된 클럭을 입력받아 광검출부에서 출력되는 아날로그의 신호를 디지탈 신호로 변환시키는 A/D변환부; 그리고,
A/D변환부의 출력단에 접속되어 입력된 전기적인 신호를 기준신호와 비교하여 상기 액츄에이터의 동작을 판단하는 마이컴으로 이루어진다.
본 발명에 따르면, 액츄에이터의 표면에 빛을 조사하고, 반사되는 빛에 의하여 액츄에이터를 구성하는 각각의 픽셀의 동작을 검출하여 저가의 장비로 정확하게 액츄에이터의 동작을 측정할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 광원이 광선을 발산하는 과정을 도시한 블럭도이고, 제3도는 제2도에서 광학계의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.
제2도에서 보는 바와 같이, 클럭을 발생시키는 클럭발생부(10)의 출력단에 클럭 변조부(20) 및 클럭 분할부(30)가 접속된다. 상기 클럭 변조부(20)는 상기 클럭 발생부(10)에서 출력된 클럭을 변조하여 출력시키고, 상기 클럭 분할부(30)는 상기 클럭 발생부(10)에서 출력된 클럭은 부호화(Sampling)하여 디지탈신호로 변환시킨다. 클럭발생부(20)의 출력단에는 측정광 발생부(40)가 접속된다. 상기 측정광 발생부(40)는 보급형 컴팩트 디스크 플레이어에 사용되는 레이져 다이오드(Laser Diode)가 사용된다. 상기 측정광 발생부(40)에서 출력된 측정광은 광학계(50)로 출력된다. 상기 광학계(50)는 상기 측정광 발생부(40)에서 출력된 측정광을 액츄에이터에 입사하고, 입사된 측정광을 광검출부(60)에 입력시킨다. 상기 광검출부(60)는 입사된 측정광을 전기적인 신호로 변환시킨다. 상기 광검출부(60)를 예를 들면, 포토 다이오드(Photo Diode)로 구성된다.
상기 광검출부(60)의 출력단에는 A/D변환부(70)가 접속된다. 상기 A/D변환부(70)는 상기 클럭분할부(30)에서 출력되는 부호화된 클럭을 입력받아 아날로그의 신호를 디지탈 신호로 변환시킨다. 상기 A/D변환부(70)의 출력단에는 증폭부가 접속될 수 있다. 또한, 상기 A/D변환부(70)의 출력단에는 입력된 측정관에 따른 전기적인 신호를 기준신호와 비교하여 상기 액츄에이터의 동작을 판단하는 마이컴(80)이 접속된다.
여기서, 상기 광학계(50)는 제3도에서 보는 바와 같이, 측정광을 생성시키는 레이저 다이오드로 구성된 측정광 발생부(40)에서 발산된 측정광선을 콜리메이트 렌즈(51)로 입사받도록 구성된다.상기 콜리메이트 렌즈(51)는 볼록렌즈로 구성되어 측정광을 평행광으로 변환시킨다. 상기 콜리메이트 렌즈(51)에서 평행광으로 변환된 광선은 광 불할기(52)로 입사된다. 상기 광 불할기(52)는 입사된 하나의 광선을 50 : 50의 비율로 두 광선으로 분할하며, 분할된 두 광선중 한 광선은 90°의 각도로 꺽어져 진행하도록 하며, 나머지 하나 광선은 직진하게 된다.
상기 광 분할기(52)을 통과하여 직진되는 광선은 위상이동판(53)으로 입사된다. 상기 위상이동판(53)의 두께는 위상을만큼 이동시키는 두께를 가지게 된다. 상기 위상 이동판(53)에서 출력된 측정관은 위상이만큼 이동되어 대물렌즈(54)로 입사된다. 상기 대물렌즈(54)는 평행광으로 입사되는 광선이 초점을 가지도록 조절 하여 상기 AMA(100)의 액츄에이터(102)에 형성된 거울(104)로 집중시키도록 구성된다.
또한, 상기 거울(104)은 입사되는 측정광을 반사하여 상기 대물렌즈(55)로 진행시키도록 구성되고, 상기 광분할기(52)와 90도의 각을 이루며 광선을 집광하기 위한 집광렌즈(55)가 형성된다. 또한, 상기 대물렌즈(55)와 광검출부(60)사이에는 측정 장비의 포커싱 에러를 검출하기 위한 원통렌즈(56)가 형성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 상세한 동작을 제2도 내지 제3도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
제3도를 참조하면, 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치는 액츄에이터의 상부에 형성된 다수의 거울(104)마다 측정광을 조사한다. 액츄에이터에 조사되는 측정광은 액츄에이터의 동작시나 액츄에이터의 조사시에 반사되는 측정광이 각각 다르게 검출된다. 따라서 이와 같은 원리를 이용하여 액츄에이터의 동작상태를 판단하는 것이다.
이를 위하여 클럭발생부(10)는 클럭을 발생하여 클럭 변조부(20) 및 클럭 분할부(30)에 입력시킨다. 상기 클럭 변조부(20)는 상기 클럭 발생부(10)에서 출력된 클럭을 입력받아 이를 변조하여 측정광 발생부(40)에 출력시키고, 상기 클럭 분할부(30)는 상기 클럭 발생부(10)에서 출력된 클럭을 입력받아 부호화(Sampling)하여 디지탈신호로 변환시켜 A/D변환부(70)에 입력시킨다.
상기 측정광 발생부(40)는 레이저 다이오드로 구성되어 상기 클럭 변조부(20)에서 출력된 클럭을 입력받아 액츄에이터의 동작상태를 측정하기 위한 측정광을 발생시킨다. 상기 측정광 발생부(40)에서 발생된 측정광선은 광학계(50)로 입사된다. 상기 광학계(50)는 상기 측정광 발생부(40)에서 출력된 측정광은 볼록렌즈로 구성된 콜리메이트 렌즈(51)로 입사받아 평행광으로 변환시킨다. 평행광으로 변화된 측정광은 광 분할기(52)로 입사되어 50 : 50의 비율을 갖는 두 광선으로 분할된다. 상기 분할된 측정광의 일측은 90°의 각도록 꺽어져 진행하도록 하며 나머지 한 광선은 직진하도록 한다. 상기 직진하는 광선은만큼 이동되는 두께를 지닌 위상이동판(53)으로 입사된다. 상기 위상이동판(53)은 측정광선의 위상을만큼 이동시킨다. 상기 위상 이동판(53)을 통과한 측정광선은 대물렌즈(54)로 입사된다. 상기 대물렌즈(54)는 평행광으로 입사되는 광선을 박막형 광로조절장치의 액츄에이터 상부에 형성된 거울(104)로 집중시킨다.
만약 액츄에이터(102)가 구동되어 거울(104)이 반사각도를 조절하게 되면 측정광선은 반사되어 다시 상기 대물렌즈(54)로 진행된다. 상기 대물렌즈(54)로 입사된 광선은 다시 평행광으로 바뀌어 상기 위상이동판(53)으로 입사된다. 상기 평행광은 상기 위상이동판(53)을 지나면서 그 위상이만큼 더 이동되어 총 위상의 이동은가 된다. 위상이만큼 이동된 상기 평행광은 상기 광 분할기(52)에서 90°의 각도록 꺽어져 반사된다. 상기 콜리메이트 렌즈(51)를 통과한 후 상기 광 분할기에서 90°의 각도로 꺽어져 진행하는 평행광과 상기 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 거울(104)에서 반사된 후 상기 광 분할기(52)에서 90°의 각도로 꺽어져 진행하는 평행광은 함께 진행하게 된다.
상기 광 분할기(52)를 통하여 진행하는 평행광은 함께 집광렌즈(55)로 입사된다. 상기 집광렌즈(55)로 입사된 상기 평행광은 상기 광 검출부(60)에 집광된다. 만약, 측정장비에서 포커싱 에러(Focusing Error)즉, 대물렌즈(54)에서 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 거울(104)로 측정 광선이 입사되지 않는 다면 원통렌즈(55)에서 광 검출부(60)로 광선이 입사되지 않는다. 따라서, 측정장비와 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 거울(104)사이에 포커싱 에러가 발생하였음을 알게 된다.
상기 집광렌즈(55)를 통하여 집중된 빛은 포토 트랜지스터로 이루어진 광검출부(60)에 입사되어 입사된 광선의 양에 따라 흐르는 전류의 양이 가변된다. 즉, 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 거울(104)이 동작한다면, 반사된 측정광의 량은 가변된다. 그러나, 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 거울(104)이 동작하지 않는다면, 거울(104)에서 반사된 측정광의 량은 일정하게 된다.
따라서, 마이컴(80)은 광검출부(60)에서 출력되는 전기적인 신호가 A/D변환부(70)로 입력되어 상기 클럭분할부(30)에서 발생된 디지탈의 기준 펄스에 동기되어 디지털값으로 변환되어 입력된 디지탈의 신호를 저장된 기준신호와 비교하여 상기 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 각각의 거울(104)의 동작상태를 판단하는 것이다.
또한, 본 발명은 상기와 같은 방법에 의하여 액츄에이터(102)의 상부에 형성된 각각의 거울(104)을 순차적으로 이동하면서 각 거울(104)의 동작상태를 측정하게 된다. 본 발명은 측정광을 이용하여 액츄에이터(102)의 동작상태를 판단하기 때문에 수 ㎚의 두께의 액츄에이터(102)라도 저가의 장비로 측정이 가능하다.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명은 액츄에이터를 이루는 각각의 픽셀에 레이져광을 주사하고, 각각의 픽셀에서 반사된 빛을 입력받아 이를 전기적인 신호로 변환하고, 변환된 전기적인 신호를 저장된 데이터와 비교하여 액츄에이터의 동작을 측정하므로서 저가이면서 정확한 동작 측정이 가능하다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명 하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당업자에 의해 그 개량이나 변형이 가능하다.
Claims (7)
- Ⅰ)클럭을 발생하고, 발생된 클럭을 변조 및 분할하는 단계; Ⅱ)상기 변조된 클럭을 이용하여 측정광선을 발생시키는 단계; Ⅲ)상기 측정광선을 액츄에이터의 표면에 입사하고, 상기 액츄에이터의 표면에서 반사된 측정광선을 집중시켜 출력시키는 단계; Ⅳ)상기 집광된 측정광선에 따른 전기적인 신호를 검출하는 단계; 그리고, Ⅴ)상기 단계에서 검출된 전기적인 신호를 상기 Ⅰ단계에서 분할된 클럭에 대응되도록 디지탈신호로 변환하고 이를 증폭하여 저장된 기준신호와 비교하여 액츄에이터의 동작상태를 판단하는 단계로 이루어진 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 방법.
- 제1항에 있어서 상기 Ⅲ단계는 i)측정광선을 평행광으로 변환시켜 수직 및 수평 측정광선으로 분할하고, ii)상기 분할된 두 측정광선이 90°의 각도를 이루도록 진행시키고, iii)직진되는 측정광의 위상을 이동시켜 액츄에이터 상부에 집중시키고, ⅳ)상기 액츄에이터의 상부에서 반사된 측정광선을 평행광으로 변환하고, ⅴ)위상을 변조하여 상기 수평측정광선과 함께 집광시키는 단계로 이루어진 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 Ⅲ단계는 측정광선을 집광시키기 전에 포커싱 에러를 판단하는 과정을 포함한 단계인 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 방법.
- 클럭을 발생시키는 클럭발생부(10)의 출력단에 접속되어 상기 클럭 발생부(10)에서 출력된 클럭을 변조하여 출력시키는 클럭변조부(20); 상기 클럭 발생부(10)에서 출력된 클럭을 부호화하여 디지탈신호로 변환시키는 클럭 분할부(30); 상기 클럭 변조부(20)의 출력단에 접속되어 변조된 클럭에 의하여 측정 광선을 발생 시키는 측정광 발생부(40); 상기 측정광 발생부(40)에서 출력된 측정광선을 액츄에이터의 표면에 입사하고, 상기 액츄에이터의 표면에서 반사된 측정광선을 집광하여 출력하는 광학계(50); 상기 광학계(50)를 통하여 집중된 측정광선을 전기적인 신호로 변환시키는 광검출부(60); 상기 광검출부(60)의 출력단에 접속되어 상기 클럭분할부(30)에서 출력되는 부호화된 클럭을 입력받아 상기 광검출부에서 출력되는 아날로그의 신호를 디지탈 신호로 변환시키는 A/D변환부(70); 그리고 상기 A/D변환부(70)의 출력단에 접속되어 입력된 전기적인 신호를 기준신호와 비교하여 상기 액츄에이터의 동작을 판단하는 마이컴(80)으로 이루어진 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 측정광 발생부(40)는 레이져 다이오드로 구성되는 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 광학계(50)는 측정광선을 평행광으로 만드는 콜리메이트 렌즈(51); 상기 콜리메이트 렌즈를 통과하며 평행하게 바뀌어진 하나의 측정광선을 수직방향으로, 수직방향으로 진행하는 하나의 측정광선과 90°의 각도를 이루며 진행하는 다른 측정 광선으로 분할하는 광 불할기(52); 상기 광분할기를 통과한 광선의 위상을 파장의 ¼만큼 변화시키는 위상이동판(53); 상기 위상이동판을 통과한 광선을 액츄에이터의 표면에 집중시키며, 액츄에이터의 표면에서 반사된 광선을 평행광으로 변화시키는 대물렌즈(54); 상기 광 분할기(52)에서 입사되는 광선을 집중시키는 집광렌즈(55); 상기 액츄에이터의 표면과 대물렌즈사이의 포커싱 에러를 검출하기 위한 원통렌즈(56)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 광검출부(60)는 포토 다이오드로 구성되는 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 동작 측정 장치.
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Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019960077166A KR100208674B1 (ko) | 1996-12-30 | 1996-12-30 | 박막형 광로 조절장치의 동작 측정 방법 및 이를 수행하는 장치 |
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| KR19980057863A (ko) | 1998-09-25 |
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