JPH05181072A - 減光装置 - Google Patents
減光装置Info
- Publication number
- JPH05181072A JPH05181072A JP25992A JP25992A JPH05181072A JP H05181072 A JPH05181072 A JP H05181072A JP 25992 A JP25992 A JP 25992A JP 25992 A JP25992 A JP 25992A JP H05181072 A JPH05181072 A JP H05181072A
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- JP
- Japan
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- thin film
- coating member
- film coating
- incident angle
- driving means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 減光量を微妙に調整できるようにすること。
【構成】 光の透過性の良い基板１２上に角度依存性の
ある多層反射防止膜１３または多層反射膜を形成した薄
膜コーティング部材１１と、この薄膜コーティング部材
を傾動させる駆動手段１５とを備えており、薄膜コーテ
ィング部材１１を駆動手段１５により入射光に対して最
大の反射率を有する入射角位置から傾斜させることによ
り、薄膜コーティング部材１１の透過率または反射率を
変化させて、減光率を任意にかつ微妙に調整する。
ある多層反射防止膜１３または多層反射膜を形成した薄
膜コーティング部材１１と、この薄膜コーティング部材
を傾動させる駆動手段１５とを備えており、薄膜コーテ
ィング部材１１を駆動手段１５により入射光に対して最
大の反射率を有する入射角位置から傾斜させることによ
り、薄膜コーティング部材１１の透過率または反射率を
変化させて、減光率を任意にかつ微妙に調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
る露光装置、またはレーザ加工装置等に利用される減光
装置に関するものである。
る露光装置、またはレーザ加工装置等に利用される減光
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置における露光装置では、
基板材料に塗布されたレジストと呼ぶ感光性の薄膜の上
に光やＸ線または電子線を照射し、現像工程を経て所望
のパターンのレジスト膜を形成する。半導体の微細化技
術の進歩につれて、レジスト膜の性能も向上し、露光量
の僅かな変動にも敏感に反応するため、露光量の制御は
精密に行なわなければならない。露光光源としてエキシ
マレーザを使用する場合、露光強度とレーザのパルス強
度との間には、 露光強度／パルス強度＝パルス数 の関係があり、パルス強度を小さくしてパルス数を多く
することが望ましい。しかし、エキシマレーザを安定的
に発生させることは難しく、レーザを安定して発振させ
た場合のパルス強度はほぼ決まっているので、それを減
光して使用する必要がある。さらに、使用するレジスト
の種類によっても、露光量を微妙に変化させる必要があ
る。
基板材料に塗布されたレジストと呼ぶ感光性の薄膜の上
に光やＸ線または電子線を照射し、現像工程を経て所望
のパターンのレジスト膜を形成する。半導体の微細化技
術の進歩につれて、レジスト膜の性能も向上し、露光量
の僅かな変動にも敏感に反応するため、露光量の制御は
精密に行なわなければならない。露光光源としてエキシ
マレーザを使用する場合、露光強度とレーザのパルス強
度との間には、 露光強度／パルス強度＝パルス数 の関係があり、パルス強度を小さくしてパルス数を多く
することが望ましい。しかし、エキシマレーザを安定的
に発生させることは難しく、レーザを安定して発振させ
た場合のパルス強度はほぼ決まっているので、それを減
光して使用する必要がある。さらに、使用するレジスト
の種類によっても、露光量を微妙に変化させる必要があ
る。
【０００３】従来のこの種の露光装置におけるレーザ光
の減光装置は、図５に示すように、円板１に複数の穴２
を形成し、１つの穴２は開放するとともに、他の穴２に
はそれぞれメッシュの異なる金網３を張って、円板１を
モータ４により回転させることにより、いずれかの穴２
を選択して異なる減光率を得ていた。通常の減光フィル
ターは熱的に弱いので、フィルターとしてこのような金
網３を使用することにより、耐久性を保持している。
の減光装置は、図５に示すように、円板１に複数の穴２
を形成し、１つの穴２は開放するとともに、他の穴２に
はそれぞれメッシュの異なる金網３を張って、円板１を
モータ４により回転させることにより、いずれかの穴２
を選択して異なる減光率を得ていた。通常の減光フィル
ターは熱的に弱いので、フィルターとしてこのような金
網３を使用することにより、耐久性を保持している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の減光装置では、金網のメッシュにより予め定められ
た減光率しか得られず、あと少しといった微妙な調整が
できないという問題があった。また、露光位置までの距
離によっては、金網の影が露光面に投影されてしまうと
いった問題もあった。
来の減光装置では、金網のメッシュにより予め定められ
た減光率しか得られず、あと少しといった微妙な調整が
できないという問題があった。また、露光位置までの距
離によっては、金網の影が露光面に投影されてしまうと
いった問題もあった。
【０００５】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、減光量を微妙に調整することのできる減
光装置を提供することを目的とする。
るものであり、減光量を微妙に調整することのできる減
光装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、光の透過性の良い基板上に角度依存性の
ある多層反射防止膜または多層反射膜を形成した薄膜コ
ーティング部材と、この薄膜コーティング部材を傾動さ
せる駆動手段とを備えたものである。
成するために、光の透過性の良い基板上に角度依存性の
ある多層反射防止膜または多層反射膜を形成した薄膜コ
ーティング部材と、この薄膜コーティング部材を傾動さ
せる駆動手段とを備えたものである。
【０００７】
【作用】本発明は、上記構成により、薄膜コーティング
部材を駆動手段により入射光に対して最大の反射率を有
する入射角位置から傾斜させることにより、薄膜コーテ
ィング部材の透過率または反射率が変化するので、減光
率を任意にかつ微妙に調整することができる。
部材を駆動手段により入射光に対して最大の反射率を有
する入射角位置から傾斜させることにより、薄膜コーテ
ィング部材の透過率または反射率が変化するので、減光
率を任意にかつ微妙に調整することができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例の構成を示すもので
ある。図１において、１１は薄膜コーティング部材であ
り、透過率の極めて高い合成石英基板１２の表面に多層
反射防止膜１３をコーティングしたものである。１４は
薄膜コーティング部材１１の下部を固定した回転軸であ
り、１５はこの回転軸１４を回転させるステップモータ
である。
ある。図１において、１１は薄膜コーティング部材であ
り、透過率の極めて高い合成石英基板１２の表面に多層
反射防止膜１３をコーティングしたものである。１４は
薄膜コーティング部材１１の下部を固定した回転軸であ
り、１５はこの回転軸１４を回転させるステップモータ
である。
【０００９】薄膜コーティング部材１１は、図２に示す
ように、合成石英基板１２の上に、屈折率１．３８（波
長５００ｎｍ）のふっ化マグネシウムＭｇＦ2 と、屈折
率２．００（波長５００ｎｍ）の二酸化ハフニウムＨｆ
Ｏ2 とを十数層重ねたものである。
ように、合成石英基板１２の上に、屈折率１．３８（波
長５００ｎｍ）のふっ化マグネシウムＭｇＦ2 と、屈折
率２．００（波長５００ｎｍ）の二酸化ハフニウムＨｆ
Ｏ2 とを十数層重ねたものである。
【００１０】このような多層反射防止膜は、入射角によ
ってその反射率が変化することが一般に知られている。
図３はその一例であり、入射角度を変化させた際の反射
率を波長の関数として示したものである（「光学薄膜」
H.A.Macleod 著、小倉他訳、日刊工業新聞社、１９８９
年、ｐ１３１参照）。
ってその反射率が変化することが一般に知られている。
図３はその一例であり、入射角度を変化させた際の反射
率を波長の関数として示したものである（「光学薄膜」
H.A.Macleod 著、小倉他訳、日刊工業新聞社、１９８９
年、ｐ１３１参照）。
【００１１】したがって、透過率の極めて高い合成石英
基板１２上にこのような多層反射防止膜１３をコーティ
ングした薄膜コーティング部材１１を、ステップモータ
１５により少しずつ入射角度を変化させることにより、
反射率を高め、すなわち透過率を低くすることができ、
結果として入射光量を減じることができる。
基板１２上にこのような多層反射防止膜１３をコーティ
ングした薄膜コーティング部材１１を、ステップモータ
１５により少しずつ入射角度を変化させることにより、
反射率を高め、すなわち透過率を低くすることができ、
結果として入射光量を減じることができる。
【００１２】上記実施例は、合成石英基板上に多層反射
防止膜を形成した例であるが、多層反射防止膜に代え
て、角度依存性を有する多層反射膜を形成しても同様な
効果がある。図４は入射角０度のところに反射率が最大
になる多層膜を石英基板に施した多層膜ミラーの角度依
存性の一例を示す図であり、入射角度が０度のときは約
９５％あった反射率が、５度変化すると約７５％に低下
し、さらに５度変化すると約５％にまで急激に低下して
しまう。したがって、このような、多層反射膜を用いて
も、出射光量を任意にかつ微妙に調整することができ
る。
防止膜を形成した例であるが、多層反射防止膜に代え
て、角度依存性を有する多層反射膜を形成しても同様な
効果がある。図４は入射角０度のところに反射率が最大
になる多層膜を石英基板に施した多層膜ミラーの角度依
存性の一例を示す図であり、入射角度が０度のときは約
９５％あった反射率が、５度変化すると約７５％に低下
し、さらに５度変化すると約５％にまで急激に低下して
しまう。したがって、このような、多層反射膜を用いて
も、出射光量を任意にかつ微妙に調整することができ
る。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、光の透
過性の良い基板上に角度依存性のある多層反射防止膜ま
たは多層反射膜を形成した薄膜コーティング部材と、こ
の薄膜コーティング部材を傾動させる駆動手段とを備え
ているので、薄膜コーティング部材を駆動手段により入
射光に対して最大の反射率を有する入射角位置から傾斜
させることにより、薄膜コーティング部材の透過率また
は反射率を変化させて、減光率を任意にかつ微妙に調整
することができる。
過性の良い基板上に角度依存性のある多層反射防止膜ま
たは多層反射膜を形成した薄膜コーティング部材と、こ
の薄膜コーティング部材を傾動させる駆動手段とを備え
ているので、薄膜コーティング部材を駆動手段により入
射光に対して最大の反射率を有する入射角位置から傾斜
させることにより、薄膜コーティング部材の透過率また
は反射率を変化させて、減光率を任意にかつ微妙に調整
することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す減光装置の概略斜視図
【図２】同減光装置における薄膜コーティング部材の部
分断面図
分断面図
【図３】多層反射防止膜における角度依存性を示すグラ
フ
フ
【図４】多層反射膜における角度依存性を示すグラフ
【図５】従来の減光装置を示す概略斜視図
１１ 薄膜コーティング部材 １２ 合成石英基板 １３ 多層反射防止膜 １４ 回転軸 １５ ステップモータ
フロントページの続き (72)発明者 中 西 淑 人 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 光の透過性の良い基板上に角度依存性の
ある多層反射防止膜または多層反射膜を形成した薄膜コ
ーティング部材と、この薄膜コーティング部材を傾動さ
せる駆動手段とを備えた減光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25992A JPH05196530A (ja) | 1992-01-06 | 1992-01-17 | 差圧・圧力発信器および封入液封入方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25992A JPH05196530A (ja) | 1992-01-06 | 1992-01-17 | 差圧・圧力発信器および封入液封入方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05181072A true JPH05181072A (ja) | 1993-07-23 |
| JPH05196530A JPH05196530A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=11468924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25992A Pending JPH05196530A (ja) | 1992-01-06 | 1992-01-17 | 差圧・圧力発信器および封入液封入方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05196530A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09159966A (ja) * | 1995-12-06 | 1997-06-20 | Nec Corp | レーザ光学装置 |
| JP2014153387A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Seiko Epson Corp | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよび光スキャナーの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8099856B2 (en) * | 2007-12-28 | 2012-01-24 | Rosemount Inc. | Self-crimping fill tube assembly |
-
1992
- 1992-01-17 JP JP25992A patent/JPH05196530A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09159966A (ja) * | 1995-12-06 | 1997-06-20 | Nec Corp | レーザ光学装置 |
| JP2014153387A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Seiko Epson Corp | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよび光スキャナーの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05196530A (ja) | 1993-08-06 |
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