JPH05180718A - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
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- JPH05180718A JPH05180718A JP10591791A JP10591791A JPH05180718A JP H05180718 A JPH05180718 A JP H05180718A JP 10591791 A JP10591791 A JP 10591791A JP 10591791 A JP10591791 A JP 10591791A JP H05180718 A JPH05180718 A JP H05180718A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 広い測定レンジにおいて性能の良い圧力信号
を出力することができる半導体圧力センサを提供するに
ある。 【構成】 測定圧力を受け異なる測定レンジでこれに対
応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、先の各
圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され先の測定レン
ジの最大スパンに対応する圧力により先の圧力導入孔を
閉じるストップ弁と、先の複数の圧力信号のうち最も感
度が良くしかも正しい圧力を出力している先の圧力信号
を判別して選択出力する信号判別手段とを具備する半導
体圧力センサである。
を出力することができる半導体圧力センサを提供するに
ある。 【構成】 測定圧力を受け異なる測定レンジでこれに対
応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、先の各
圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され先の測定レン
ジの最大スパンに対応する圧力により先の圧力導入孔を
閉じるストップ弁と、先の複数の圧力信号のうち最も感
度が良くしかも正しい圧力を出力している先の圧力信号
を判別して選択出力する信号判別手段とを具備する半導
体圧力センサである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定圧力を受けてこれ
を圧力信号に変換して出力する半導体圧力センサに係
り、特に広い測定レンジにおいて性能の良い圧力信号を
出力することができるように改良した半導体圧力センサ
に関する。
を圧力信号に変換して出力する半導体圧力センサに係
り、特に広い測定レンジにおいて性能の良い圧力信号を
出力することができるように改良した半導体圧力センサ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の半導体圧力センサの構造を
示す縦断面図である。１０はｎ形のシリコン単結晶で作
られたセンサチップであり、凹部１１を有しさらに凹部
１１の形成により単結晶の厚さの薄くなった起歪部１２
とその周辺の固定部１３とを有している。
示す縦断面図である。１０はｎ形のシリコン単結晶で作
られたセンサチップであり、凹部１１を有しさらに凹部
１１の形成により単結晶の厚さの薄くなった起歪部１２
とその周辺の固定部１３とを有している。
【０００３】起歪部１２は単結晶の（１００）面とさ
れ、その上にはその中心を通る結晶軸＜１００＞方向で
固定部１３との境界付近に例えば剪断形のゲ−ジ１４が
不純物の拡散により伝導形がＰ形として形成されてい
る。剪断形のゲ−ジ１４はその長手方向に一対の電源端
を持ちここに電源電圧が印加され、この長手方向のほぼ
中央部に一対の出力端が形成されここで出力電圧を得
る。
れ、その上にはその中心を通る結晶軸＜１００＞方向で
固定部１３との境界付近に例えば剪断形のゲ−ジ１４が
不純物の拡散により伝導形がＰ形として形成されてい
る。剪断形のゲ−ジ１４はその長手方向に一対の電源端
を持ちここに電源電圧が印加され、この長手方向のほぼ
中央部に一対の出力端が形成されここで出力電圧を得
る。
【０００４】センサチップ１０は、その固定部１３が例
えば中央に導圧孔１５を持つパイレックスガラスなどの
ガラス基板１６に固定され、このガラス基板１６は中央
に導圧孔１７を持つ金属の支持台１８に固定されてい
る。センサチップ１０、ガラス基板１６および金属の支
持台１８の相互間はガラス基板１６に対してセンサチッ
プ１０を電源Ｅ1 により正電位に保持し、かつガラス基
板１６に対して金属の支持台１８を電源Ｅ2 により正電
位に保持して陽極接合する。
えば中央に導圧孔１５を持つパイレックスガラスなどの
ガラス基板１６に固定され、このガラス基板１６は中央
に導圧孔１７を持つ金属の支持台１８に固定されてい
る。センサチップ１０、ガラス基板１６および金属の支
持台１８の相互間はガラス基板１６に対してセンサチッ
プ１０を電源Ｅ1 により正電位に保持し、かつガラス基
板１６に対して金属の支持台１８を電源Ｅ2 により正電
位に保持して陽極接合する。
【０００５】以上のような構成において、測定圧力Ｐが
起歪部１２に印加されると、これによって剪断応力τが
ゲ−ジ１４に発生しこれに対応する出力電圧が出力端に
得られる。
起歪部１２に印加されると、これによって剪断応力τが
ゲ−ジ１４に発生しこれに対応する出力電圧が出力端に
得られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような半導体圧力センサは測定レンジが決められている
ので広い範囲に亘る圧力測定ができず、測定レンジが小
さくなるほど性能が悪くなるという欠点がある。
ような半導体圧力センサは測定レンジが決められている
ので広い範囲に亘る圧力測定ができず、測定レンジが小
さくなるほど性能が悪くなるという欠点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するために、測定圧力を受け異なる測定レンジでこ
れに対応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、
これ等の各圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され先
の測定レンジの最大スパンに対応する圧力により先の圧
力導入孔を閉じるストップ弁と、先の複数の圧力信号の
うち最も感度が良くしかも正しい圧力を出力している先
の圧力信号を判別して選択出力する信号判別手段を具備
するようにしたものである。
解決するために、測定圧力を受け異なる測定レンジでこ
れに対応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、
これ等の各圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され先
の測定レンジの最大スパンに対応する圧力により先の圧
力導入孔を閉じるストップ弁と、先の複数の圧力信号の
うち最も感度が良くしかも正しい圧力を出力している先
の圧力信号を判別して選択出力する信号判別手段を具備
するようにしたものである。
【０００８】
【作 用】複数の圧力センサにより測定圧力を受け異な
る測定レンジでこれに対応する複数の圧力信号を出力す
る。一方、ストップ弁によりこれ等の各圧力センサの圧
力導入孔に格別に配置され圧力導入孔が先の測定レンジ
の最大スパンに対応する圧力になると先の圧力導入孔を
閉じる。信号判別手段はこの複数の圧力信号のうち最も
感度が良くしかも正しい圧力を出力しているとみられる
先の圧力信号を判別して出力する。
る測定レンジでこれに対応する複数の圧力信号を出力す
る。一方、ストップ弁によりこれ等の各圧力センサの圧
力導入孔に格別に配置され圧力導入孔が先の測定レンジ
の最大スパンに対応する圧力になると先の圧力導入孔を
閉じる。信号判別手段はこの複数の圧力信号のうち最も
感度が良くしかも正しい圧力を出力しているとみられる
先の圧力信号を判別して出力する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示す縦断面図
である。２０はケ−ス２１の底板であり、この底板２０
に円筒状の筒体２２が固定されている。この筒体２２の
中央近傍には円板状の仕切板２３が形成され、上室２４
と下室２５とに分離している。
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示す縦断面図
である。２０はケ−ス２１の底板であり、この底板２０
に円筒状の筒体２２が固定されている。この筒体２２の
中央近傍には円板状の仕切板２３が形成され、上室２４
と下室２５とに分離している。
【００１０】この上室２４の中は、さらに隔離板２６で
上下に分離され、この隔離板２６と仕切板２３との間は
更に縦に２枚の仕切板で分離されて圧力室２７、２８、
２９が形成されている。２２の上部には円板状の上蓋３
０が固定されている。この上蓋３０の中央部近傍には測
定圧力Ｐを導入する貫通孔３１が形成されている。
上下に分離され、この隔離板２６と仕切板２３との間は
更に縦に２枚の仕切板で分離されて圧力室２７、２８、
２９が形成されている。２２の上部には円板状の上蓋３
０が固定されている。この上蓋３０の中央部近傍には測
定圧力Ｐを導入する貫通孔３１が形成されている。
【００１１】圧力室２７、２８、２９の上部を構成する
隔離板２６には、これ等の圧力室２７、２８、２９に対
応して圧力導入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃがそれぞれ穿
設されている。また、圧力室２７、２８、２９の下部を
構成する仕切板２３にも、圧力導入孔３３Ａ、３３Ｂ、
３３Ｃがそれぞれ各圧力室の中央に穿設されている。
隔離板２６には、これ等の圧力室２７、２８、２９に対
応して圧力導入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃがそれぞれ穿
設されている。また、圧力室２７、２８、２９の下部を
構成する仕切板２３にも、圧力導入孔３３Ａ、３３Ｂ、
３３Ｃがそれぞれ各圧力室の中央に穿設されている。
【００１２】さらに圧力室２７、２８、２９の内部に設
置される各圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃからのリ
−ド線（３５Ａ、３５Ａ´）、（３５Ｂ、３５Ｂ´）、
（３５Ｃ、３５Ｃ´）を下室２５に導出するハ−メチッ
クシ−ル孔（３６Ａ、３６Ａ´）、（３６Ｂ、３６Ｂ
´）、（３６Ｃ、３６Ｃ´）がそれぞれ仕切板２３に形
成されている。
置される各圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃからのリ
−ド線（３５Ａ、３５Ａ´）、（３５Ｂ、３５Ｂ´）、
（３５Ｃ、３５Ｃ´）を下室２５に導出するハ−メチッ
クシ−ル孔（３６Ａ、３６Ａ´）、（３６Ｂ、３６Ｂ
´）、（３６Ｃ、３６Ｃ´）がそれぞれ仕切板２３に形
成されている。
【００１３】これ等の圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４
Ｃは、いずれも図５に示す支持台１８を除いた部分と同
様な構成を有しているが、これ等の測定レンジはそれぞ
れ異なっている。例えば、圧力センサ３４Ａは測定レン
ジが０〜２Ｋｇｆ／ｃｍ2 、圧力センサ３４Ｂは０〜２
０Ｋｇｆ／ｃｍ2 、圧力センサ３４Ｃは０〜２００Ｋｇ
ｆ／ｃｍ 2 に選定されている。
Ｃは、いずれも図５に示す支持台１８を除いた部分と同
様な構成を有しているが、これ等の測定レンジはそれぞ
れ異なっている。例えば、圧力センサ３４Ａは測定レン
ジが０〜２Ｋｇｆ／ｃｍ2 、圧力センサ３４Ｂは０〜２
０Ｋｇｆ／ｃｍ2 、圧力センサ３４Ｃは０〜２００Ｋｇ
ｆ／ｃｍ 2 に選定されている。
【００１４】また、隔離板２６に形成された圧力導入孔
３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃの上には、バネ性のあるダイア
フラム体で構成されたストップ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７
Ｃがそれぞれ気密を保持して固定されている。
３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃの上には、バネ性のあるダイア
フラム体で構成されたストップ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７
Ｃがそれぞれ気密を保持して固定されている。
【００１５】これ等のストップ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７
Ｃはそれぞれ圧力導入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃを閉じ
る圧力が異なっており、例えばストップ弁３７Ａは２Ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 を、ストップ弁３７Ｂは２０Ｋｇｆ／ｃｍ
2 を、ストップ弁３７Ｃは２００Ｋｇｆ／ｃｍ2 を越え
る圧力でそれぞれ圧力導入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃを
閉じ、各圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃへ圧力が伝
達されないようになっている。
Ｃはそれぞれ圧力導入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃを閉じ
る圧力が異なっており、例えばストップ弁３７Ａは２Ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 を、ストップ弁３７Ｂは２０Ｋｇｆ／ｃｍ
2 を、ストップ弁３７Ｃは２００Ｋｇｆ／ｃｍ2 を越え
る圧力でそれぞれ圧力導入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃを
閉じ、各圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃへ圧力が伝
達されないようになっている。
【００１６】更に、各圧力室２７、２８、２９に固定さ
れた圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの周囲、圧力導
入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、ストップ弁３７Ａ、３７
Ｂ、３７Ｃの内側には、それぞれシリコンオイルなどの
封液３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃが密封して封入されてい
る。
れた圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの周囲、圧力導
入孔３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、ストップ弁３７Ａ、３７
Ｂ、３７Ｃの内側には、それぞれシリコンオイルなどの
封液３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃが密封して封入されてい
る。
【００１７】下室２５の中には信号変換部３９が収納さ
れており、この信号変換部３９には各圧力センサ３４
Ａ、３４Ｂ、３４Ｃからの各リ−ド線（３５Ａ、３５Ａ
´）、（３５Ｂ、３５Ｂ´）、（３５Ｃ、３５Ｃ´）が
接続され、信号変換部３９は圧力センサ３４Ａ、３４
Ｂ、３４Ｃから出力される圧力信号ＰA 、ＰB 、ＰC を
信号処理して筒体２２の側面に穿設された孔４０、４１
を介して出力端４２、４３に圧力信号ＰO を出力する。
れており、この信号変換部３９には各圧力センサ３４
Ａ、３４Ｂ、３４Ｃからの各リ−ド線（３５Ａ、３５Ａ
´）、（３５Ｂ、３５Ｂ´）、（３５Ｃ、３５Ｃ´）が
接続され、信号変換部３９は圧力センサ３４Ａ、３４
Ｂ、３４Ｃから出力される圧力信号ＰA 、ＰB 、ＰC を
信号処理して筒体２２の側面に穿設された孔４０、４１
を介して出力端４２、４３に圧力信号ＰO を出力する。
【００１８】次に、以上のように構成された実施例の動
作について図２に示す動作説明図、図３に示す特性図を
用いて説明する。まず、測定圧力Ｐが貫通孔３１から導
入され、この値が０〜２Ｋｇｆ／ｃｍ2 の範囲のとき
は、圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの全てから圧力
信号ＰA 、ＰB 、ＰC が各リ−ド線（３５Ａ、３５Ａ
´）、（３５Ｂ、３５Ｂ´）、（３５Ｃ、３５Ｃ´）を
介して信号変換部３９に出力されるが、信号変換部３９
は図３に示すように感度の最も大きい圧力信号を出す圧
力センサ３４Ａからの圧力信号ＰA を選択して圧力信号
ＰO として出力する。
作について図２に示す動作説明図、図３に示す特性図を
用いて説明する。まず、測定圧力Ｐが貫通孔３１から導
入され、この値が０〜２Ｋｇｆ／ｃｍ2 の範囲のとき
は、圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの全てから圧力
信号ＰA 、ＰB 、ＰC が各リ−ド線（３５Ａ、３５Ａ
´）、（３５Ｂ、３５Ｂ´）、（３５Ｃ、３５Ｃ´）を
介して信号変換部３９に出力されるが、信号変換部３９
は図３に示すように感度の最も大きい圧力信号を出す圧
力センサ３４Ａからの圧力信号ＰA を選択して圧力信号
ＰO として出力する。
【００１９】この場合に、圧力センサ３４Ａ、３４Ｂ、
３４Ｃの３つのうちいずれか１つ又は２つの圧力センサ
が故障しているときは残りの生きている圧力センサのう
ち最も感度の高い圧力信号を選択して圧力信号ＰO とし
て出力する。次に、測定圧力Ｐが２〜２０Ｋｇｆ／ｃｍ
2 の範囲のときは、信号変換部３９は同様にして圧力セ
ンサ３４Ｂから出力される圧力信号ＰB を選択して圧力
信号ＰO として出力する。この場合は、図２に示すよう
にダイアフラム状のストップ弁３７Ａは圧力導入孔３２
Ａ側に凹んでこれを閉じ、圧力センサ３４Ａに過大圧が
印加されないようにしている。
３４Ｃの３つのうちいずれか１つ又は２つの圧力センサ
が故障しているときは残りの生きている圧力センサのう
ち最も感度の高い圧力信号を選択して圧力信号ＰO とし
て出力する。次に、測定圧力Ｐが２〜２０Ｋｇｆ／ｃｍ
2 の範囲のときは、信号変換部３９は同様にして圧力セ
ンサ３４Ｂから出力される圧力信号ＰB を選択して圧力
信号ＰO として出力する。この場合は、図２に示すよう
にダイアフラム状のストップ弁３７Ａは圧力導入孔３２
Ａ側に凹んでこれを閉じ、圧力センサ３４Ａに過大圧が
印加されないようにしている。
【００２０】さらに、測定圧力Ｐが２０〜２００Ｋｇｆ
／ｃｍ2 の範囲のときは、信号変換部３９は同様にして
圧力センサ３４Ｃから出力される圧力信号ＰC を選択し
て圧力信号ＰO として出力する。この場合は、更に図２
に示すものと同様にしてダイアフラム状のストップ弁３
７Ｂも圧力導入孔３２Ｂ側に凹んでこれを閉じ、圧力セ
ンサ３４Ｂに過大圧が印加されないようにしている。
／ｃｍ2 の範囲のときは、信号変換部３９は同様にして
圧力センサ３４Ｃから出力される圧力信号ＰC を選択し
て圧力信号ＰO として出力する。この場合は、更に図２
に示すものと同様にしてダイアフラム状のストップ弁３
７Ｂも圧力導入孔３２Ｂ側に凹んでこれを閉じ、圧力セ
ンサ３４Ｂに過大圧が印加されないようにしている。
【００２１】したがって、例えば圧力センサが１個のと
きの性能保証範囲がスパンの１／１０までとすると、３
個の圧力センサを有する図１に示す実施例では０．２〜
２００Ｋｇｆ／ｃｍ2 まで性能保証範囲が広がり、最大
スパンの１／１０００までの性能が１台の半導体圧力計
で実現することができることとなる。しかも、これ等の
圧力センサの一部が、例えば絶縁低下などにより使用不
能になっても他の圧力センサでこれをカバ−することが
でき、信頼性が向上する。
きの性能保証範囲がスパンの１／１０までとすると、３
個の圧力センサを有する図１に示す実施例では０．２〜
２００Ｋｇｆ／ｃｍ2 まで性能保証範囲が広がり、最大
スパンの１／１０００までの性能が１台の半導体圧力計
で実現することができることとなる。しかも、これ等の
圧力センサの一部が、例えば絶縁低下などにより使用不
能になっても他の圧力センサでこれをカバ−することが
でき、信頼性が向上する。
【００２２】図４は本発明の他の実施例の構成を示す縦
断面図である。図１に示す機能と同様な機能を有する部
分には同一の符号を付して適宜にその説明を省略する。
図４に示す実施例は腐蝕性流体など接する流体の圧力を
測定する場合に有効な構成を示している。
断面図である。図１に示す機能と同様な機能を有する部
分には同一の符号を付して適宜にその説明を省略する。
図４に示す実施例は腐蝕性流体など接する流体の圧力を
測定する場合に有効な構成を示している。
【００２３】筒体２２の上面には、中央部が曲面状に湾
曲された湾曲部４４が形成された円板状のフランジ４５
が固定されており、さらにこの中央部には貫通孔４６が
開けられている。そして、このフランジ４５の上面には
ダイアフラム４７が気密を保持して湾曲部４４を覆って
いる。これ等の湾曲部４４の内部、貫通孔４６、ストッ
プ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃの外部にはシリコンオイル
などの封液４８が封入されている。
曲された湾曲部４４が形成された円板状のフランジ４５
が固定されており、さらにこの中央部には貫通孔４６が
開けられている。そして、このフランジ４５の上面には
ダイアフラム４７が気密を保持して湾曲部４４を覆って
いる。これ等の湾曲部４４の内部、貫通孔４６、ストッ
プ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃの外部にはシリコンオイル
などの封液４８が封入されている。
【００２４】以上の構成により、測定圧力Ｐがダイアフ
ラム４７に印加されると、この測定圧力Ｐは封液４８を
介してストップ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃに印加され、
更に、封液３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃを介して圧力センサ
３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに伝達される。この後の動作は
図１に示す場合と同様である。
ラム４７に印加されると、この測定圧力Ｐは封液４８を
介してストップ弁３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃに印加され、
更に、封液３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃを介して圧力センサ
３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに伝達される。この後の動作は
図１に示す場合と同様である。
【００２５】なお、以上の説明では、圧力センサとして
剪断形のものをベ−スとして説明したが、これに限られ
ることはなく例えば振動式センサ、或いは容量式センサ
でも良いことは説明するまでもない。
剪断形のものをベ−スとして説明したが、これに限られ
ることはなく例えば振動式センサ、或いは容量式センサ
でも良いことは説明するまでもない。
【００２６】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに本発明によれば、圧力センサを複数個設けこれ等を
相互に関連させて判別手段により最適な測定圧力を出力
するようにしたので、測定レンジを広くとることがで
き、しかも感度良く、信頼性、安全性の高い半導体圧力
センサを実現できる。
うに本発明によれば、圧力センサを複数個設けこれ等を
相互に関連させて判別手段により最適な測定圧力を出力
するようにしたので、測定レンジを広くとることがで
き、しかも感度良く、信頼性、安全性の高い半導体圧力
センサを実現できる。
【図１】本発明の１実施例の構成を示す縦断面図であ
る。
る。
【図２】図１に示す実施例の動作を説明する部分説明図
である。
である。
【図３】図１に示す実施例の動作を説明する特性図であ
る。
る。
【図４】本発明の他の実施例の構成を示す縦断面図であ
る。
る。
【図５】従来の半導体圧力センサの構成を示す縦断面図
である。
である。
１０ センサチップ １１ 凹部 １２ 起歪部 １４ ゲ−ジ １５ 導圧孔 １６ ガラス基板 ２７、２８、２９ 圧力室 ３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ 圧
力導入孔 ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ 圧力センサ ３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ ストップ弁 ３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ 封液 ３９ 信号変換部
力導入孔 ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ 圧力センサ ３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ ストップ弁 ３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ 封液 ３９ 信号変換部
Claims (1)
- 【請求項１】測定圧力を受け異なる測定レンジでこれに
対応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、前記
各圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され前記測定レ
ンジの最大スパンに対応する圧力により前記圧力導入孔
を閉じるストップ弁と、前記複数の圧力信号のうち最も
感度が良くしかも正しい圧力を出力している前記圧力信
号を判別して選択出力する信号判別手段とを具備するこ
とを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10591791A JPH05180718A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10591791A JPH05180718A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05180718A true JPH05180718A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=14420220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10591791A Pending JPH05180718A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05180718A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014568A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-01-15 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 半導体圧力センサ装置 |
| JP2008202970A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Asahi Keiki Kogyo Kk | 圧力計 |
| JP2020190468A (ja) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | 株式会社堀場エステック | 圧力測定装置 |
-
1991
- 1991-05-10 JP JP10591791A patent/JPH05180718A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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