JPH05174762A - フィラメント - Google Patents
フィラメントInfo
- Publication number
- JPH05174762A JPH05174762A JP34340491A JP34340491A JPH05174762A JP H05174762 A JPH05174762 A JP H05174762A JP 34340491 A JP34340491 A JP 34340491A JP 34340491 A JP34340491 A JP 34340491A JP H05174762 A JPH05174762 A JP H05174762A
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- Japan
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- filament
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- wires
- wire
- electron beam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子ビームを偏向させる磁界を生ずることな
く長尺のカソードを均一に加熱する。 【構成】 フィラメント２２は上下２本の平行なワイヤ
２２ａ，２２ｂで形成され、給電部５により下側のワイ
ヤ２２ａ，２２ｂの中央を機械的に支持するとともに給
電をする。ワイヤ２２ａ，２２ｂは両端でスライド板３
に固定され、スライドピン４がスライド板３を貫通す
る。ワイヤ２２ａ，２２ｂが熱膨張・熱収縮するとスラ
イド板３がスライドピン４に沿いスライドする。フィラ
メント２２に電流を流すと抵抗加熱され、フィラメント
２２を加熱する。
く長尺のカソードを均一に加熱する。 【構成】 フィラメント２２は上下２本の平行なワイヤ
２２ａ，２２ｂで形成され、給電部５により下側のワイ
ヤ２２ａ，２２ｂの中央を機械的に支持するとともに給
電をする。ワイヤ２２ａ，２２ｂは両端でスライド板３
に固定され、スライドピン４がスライド板３を貫通す
る。ワイヤ２２ａ，２２ｂが熱膨張・熱収縮するとスラ
イド板３がスライドピン４に沿いスライドする。フィラ
メント２２に電流を流すと抵抗加熱され、フィラメント
２２を加熱する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は長尺のフィラメントに関
し、真空中で金属蒸気等を発生させるリニア電子銃に利
用して有用である。
し、真空中で金属蒸気等を発生させるリニア電子銃に利
用して有用である。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のリニア電子銃を示し、図５
は図４のＡ−Ａ断面を示す。長尺で棒状のカソード１
は、その後方に設けられたフィラメント２からの熱電子
１４をボンバード電源７により電子衝撃加熱するか、フ
ィラメント２の熱輻射又はアルミナ等を介した熱伝導に
より、均一に加熱される。アノード１０に正の加速電圧
が印加されると、カソード１から熱電子ｅが引き出され
これが電子ビーム１３となる。ここでグリッド９は、グ
リッド電源１２により負のバイアスを印加し、電子ビー
ム１３となる熱電子ｅの軌道や量を制御する。
は図４のＡ−Ａ断面を示す。長尺で棒状のカソード１
は、その後方に設けられたフィラメント２からの熱電子
１４をボンバード電源７により電子衝撃加熱するか、フ
ィラメント２の熱輻射又はアルミナ等を介した熱伝導に
より、均一に加熱される。アノード１０に正の加速電圧
が印加されると、カソード１から熱電子ｅが引き出され
これが電子ビーム１３となる。ここでグリッド９は、グ
リッド電源１２により負のバイアスを印加し、電子ビー
ム１３となる熱電子ｅの軌道や量を制御する。
【０００３】カソード加熱用のフィラメント２は、フィ
ラメント固定ブロック８で固定されているが、カソード
１に比較して断面係数が小さいため、クリープ変形防止
上スパンを短かくする必要があり、短尺のフィラメント
を直列に設置したり、中間支持機構２０を設けたりして
いる。
ラメント固定ブロック８で固定されているが、カソード
１に比較して断面係数が小さいため、クリープ変形防止
上スパンを短かくする必要があり、短尺のフィラメント
を直列に設置したり、中間支持機構２０を設けたりして
いる。
【０００４】長尺な「るつぼ」の中にターゲットを備
え、このターゲットに電子ビーム１３を照射するとター
ゲットが溶融蒸発し金属蒸気が得られる。この金属蒸気
により蒸着等が行える。
え、このターゲットに電子ビーム１３を照射するとター
ゲットが溶融蒸発し金属蒸気が得られる。この金属蒸気
により蒸着等が行える。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで長尺なるつぼ
の長手方向に均一に蒸気密度を得るためには、電子ビー
ムの出力密度が均一である必要がある。しかし、１本の
カソード加熱用のフィラメント２によりカソード１を加
熱すると、フィラメント電流Ｉの作る磁界Ｂ（ｆ）によ
り熱電子１４や電子ビーム１３が偏向され出力密度分布
を悪化させる。また、短尺のフィラメントを直列に設け
たり、途中に中間支持機構２０を設けると、接合部や中
間支持部の温度低下がカソード１の温度低下に影響し、
均一な出力密度分布を得ることが困難であった。
の長手方向に均一に蒸気密度を得るためには、電子ビー
ムの出力密度が均一である必要がある。しかし、１本の
カソード加熱用のフィラメント２によりカソード１を加
熱すると、フィラメント電流Ｉの作る磁界Ｂ（ｆ）によ
り熱電子１４や電子ビーム１３が偏向され出力密度分布
を悪化させる。また、短尺のフィラメントを直列に設け
たり、途中に中間支持機構２０を設けると、接合部や中
間支持部の温度低下がカソード１の温度低下に影響し、
均一な出力密度分布を得ることが困難であった。
【０００６】本発明は、上記従来技術に鑑み、カソード
を均一に加熱し、しかも電子ビームに磁界の影響の与え
ることのない長尺のフィラメントを提供することを目的
とする。
を均一に加熱し、しかも電子ビームに磁界の影響の与え
ることのない長尺のフィラメントを提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、棒状のカソードから電子ビームを放出させ
るためカソードを加熱する長尺のフィラメントであっ
て、上下２本の平行なワイヤを有するとともに、下側の
ワイヤの中央部を機械的に支持し且つこの中央部から給
電をして上下のワイヤに逆向きの電流を通す給電部を備
え、ワイヤの長手方向の伸縮を許容しつつワイヤの両端
をスライド自在に支持するスライド支持部を備えたこと
を特徴とする。
明の構成は、棒状のカソードから電子ビームを放出させ
るためカソードを加熱する長尺のフィラメントであっ
て、上下２本の平行なワイヤを有するとともに、下側の
ワイヤの中央部を機械的に支持し且つこの中央部から給
電をして上下のワイヤに逆向きの電流を通す給電部を備
え、ワイヤの長手方向の伸縮を許容しつつワイヤの両端
をスライド自在に支持するスライド支持部を備えたこと
を特徴とする。
【０００８】
【作用】上下のワイヤに逆向きに電流が流れるので、各
ワイヤによる磁界が相殺され電子ビームに悪影響を及ぼ
すことがなく、また、上側のワイヤに浮力が作用しワイ
ヤ支持が簡単にできる。また下側のワイヤを給電部で支
持しているので、この支持部でも温度が他と同じ温度と
なり、温度が均一になる。
ワイヤによる磁界が相殺され電子ビームに悪影響を及ぼ
すことがなく、また、上側のワイヤに浮力が作用しワイ
ヤ支持が簡単にできる。また下側のワイヤを給電部で支
持しているので、この支持部でも温度が他と同じ温度と
なり、温度が均一になる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。なお、従来技術と同一機能をはたす部分には
同一符号を付し、重複する説明は省略する。
説明する。なお、従来技術と同一機能をはたす部分には
同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１０】図１は本発明のフィラメントを用いたリニ
ア電子銃の要部を示し、図２はこのリニア電子銃を用い
た蒸気発生装置を示す。両図に示すように、本発明に係
るフィラメント２２は、上下２本の平行なワイヤ２２
ａ，２２ｂで構成されており、両ワイヤ２２ａ，２２ｂ
は両端部で連結されるとともに直角に折り曲げられてい
る。下側のワイヤ２２ｂは、固定ブロック８に固定され
た給電部５に連結されており、給電部５及び固定ブロッ
ク８が、フィラメント２２を機械的に支持する中間支持
機構となっている。
ア電子銃の要部を示し、図２はこのリニア電子銃を用い
た蒸気発生装置を示す。両図に示すように、本発明に係
るフィラメント２２は、上下２本の平行なワイヤ２２
ａ，２２ｂで構成されており、両ワイヤ２２ａ，２２ｂ
は両端部で連結されるとともに直角に折り曲げられてい
る。下側のワイヤ２２ｂは、固定ブロック８に固定され
た給電部５に連結されており、給電部５及び固定ブロッ
ク８が、フィラメント２２を機械的に支持する中間支持
機構となっている。
【００１１】フィラメント２２の両端は、スライド板３
に固定されており、スライド板３にはスライドピン４が
貫通している。このため、フィラメント２２が熱膨張や
熱収縮により長手方向に伸縮した際には、この伸縮に応
じてスライド板３がスライドピン４に沿いスライドす
る。このようにフィラメント２２の両端はスライドを許
容しつつスライド板３及びスライドピン４で支持されて
いる。
に固定されており、スライド板３にはスライドピン４が
貫通している。このため、フィラメント２２が熱膨張や
熱収縮により長手方向に伸縮した際には、この伸縮に応
じてスライド板３がスライドピン４に沿いスライドす
る。このようにフィラメント２２の両端はスライドを許
容しつつスライド板３及びスライドピン４で支持されて
いる。
【００１２】フィラメント電源６からフィラメント２２
への給電は、給電部５及び下側のワイヤ２２ｂの中央部
を介して行なう。フィラメント２２に電流が通ると抵抗
加熱によりフィラメント２２の温度が上昇する。給電部
５は下側のワイヤ２２ｂに対する中間支持機構としても
作用しているが、給電部５に電流が流れるため、中間支
持部における温度低下は生じない。
への給電は、給電部５及び下側のワイヤ２２ｂの中央部
を介して行なう。フィラメント２２に電流が通ると抵抗
加熱によりフィラメント２２の温度が上昇する。給電部
５は下側のワイヤ２２ｂに対する中間支持機構としても
作用しているが、給電部５に電流が流れるため、中間支
持部における温度低下は生じない。
【００１３】このときワイヤ２２ａとワイヤ２２ｂに流
れる電流の向きが逆になっているので、各ワイヤ２２
ａ，２２ｂに流れる電流による磁界で、軌道が曲げられ
ることはない。また、上下のワイヤ２２ａ，２２ｂに流
れる電流の向きが逆になっているので、ワイヤ２２ａ，
２２ｂ間に反発力が生じる。下側のワイヤ２２ｂは給電
部５により支持されているので、上側のワイヤ２２ａに
浮力が生じることになる。このようにワイヤ２２ａに浮
力が生じるため、ワイヤ２２ａ，２２ｂ間に中間支持部
材を設ける必要はなく構成が簡単になる。
れる電流の向きが逆になっているので、各ワイヤ２２
ａ，２２ｂに流れる電流による磁界で、軌道が曲げられ
ることはない。また、上下のワイヤ２２ａ，２２ｂに流
れる電流の向きが逆になっているので、ワイヤ２２ａ，
２２ｂ間に反発力が生じる。下側のワイヤ２２ｂは給電
部５により支持されているので、上側のワイヤ２２ａに
浮力が生じることになる。このようにワイヤ２２ａに浮
力が生じるため、ワイヤ２２ａ，２２ｂ間に中間支持部
材を設ける必要はなく構成が簡単になる。
【００１４】次に全体の動作を説明する。フィラメント
２２に電流を通すとフィラメント２２は抵抗加熱され
る。カソード１としてタングステン等の純金属を採用す
る場合は、カソード１とフィラメント２の間に設けたボ
ンバード電源７により電圧を印加し、電子衝撃加熱によ
りフィラメント２２の熱電子を放出させカソード１を加
熱する。
２２に電流を通すとフィラメント２２は抵抗加熱され
る。カソード１としてタングステン等の純金属を採用す
る場合は、カソード１とフィラメント２の間に設けたボ
ンバード電源７により電圧を印加し、電子衝撃加熱によ
りフィラメント２２の熱電子を放出させカソード１を加
熱する。
【００１５】カソード１の材料として純金属より低い温
度で作動できるＬａＢ8 （ホウ化ランタン）やバリウム
含浸タングステン等を用いる場合は、フィラメント２２
の熱輻射又はアルミナ焼結体を介してフィラメント２２
から熱伝導することによっても、カソード１を所定の温
度に加熱することが可能である。
度で作動できるＬａＢ8 （ホウ化ランタン）やバリウム
含浸タングステン等を用いる場合は、フィラメント２２
の熱輻射又はアルミナ焼結体を介してフィラメント２２
から熱伝導することによっても、カソード１を所定の温
度に加熱することが可能である。
【００１６】カソード１から放出された電子ビーム１４
は、アノード電源１１からアノード１０に印加された加
速電圧により引き出され、一様磁場Ｂ中で２７０°偏向
され、るつぼ１５中のターゲット１６に照射される。そ
してターゲット１６が溶融して金属蒸気１７を得る。
は、アノード電源１１からアノード１０に印加された加
速電圧により引き出され、一様磁場Ｂ中で２７０°偏向
され、るつぼ１５中のターゲット１６に照射される。そ
してターゲット１６が溶融して金属蒸気１７を得る。
【００１７】グリッド電源１２により負電圧が加えられ
たグリッド９は、電子ビーム１４の軌道や放出量の制御
をする。
たグリッド９は、電子ビーム１４の軌道や放出量の制御
をする。
【００１８】図３は本発明の他の実施例に係る超長尺電
子銃を示す。この装置では長尺（１ｍ以上）のカソード
１をカソード支持機構１８で支持しており、またフィラ
メント２２を多数直列に設置してフィラメント２２をス
ライドピン支持ブロック１９で支持している。そしてフ
ィラメント２２により長尺のカソード１を均一に加熱
し、ビーム長が１ｍ以上の電子ビーム１３が発生する。
子銃を示す。この装置では長尺（１ｍ以上）のカソード
１をカソード支持機構１８で支持しており、またフィラ
メント２２を多数直列に設置してフィラメント２２をス
ライドピン支持ブロック１９で支持している。そしてフ
ィラメント２２により長尺のカソード１を均一に加熱
し、ビーム長が１ｍ以上の電子ビーム１３が発生する。
【００１９】結局、給電部５やフィラメント固定ブロッ
ク８がフィラメント２２の下側のワイヤ２２ｂの中央部
に設けられるため、本フィラメント２２を最小の間隙で
直列に配置することが可能であり、カソード長１ｍ以上
の超長尺電子銃も製作が可能となる。
ク８がフィラメント２２の下側のワイヤ２２ｂの中央部
に設けられるため、本フィラメント２２を最小の間隙で
直列に配置することが可能であり、カソード長１ｍ以上
の超長尺電子銃も製作が可能となる。
【００２０】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに本発明によれば、上下２本の平行なワイヤによりフ
ィラメントを構成し、上下のワイヤに流す電流の向きを
逆にしたため、各ワイヤに流れるフィラメント電流によ
る磁界が相殺され、電子ビームの軌跡に悪影響を及ぼす
ことがなくなる。また上側のワイヤに浮力が生じるた
め、上下ワイヤ間に中間支持機構は不要となり、構成は
簡単でよい。
うに本発明によれば、上下２本の平行なワイヤによりフ
ィラメントを構成し、上下のワイヤに流す電流の向きを
逆にしたため、各ワイヤに流れるフィラメント電流によ
る磁界が相殺され、電子ビームの軌跡に悪影響を及ぼす
ことがなくなる。また上側のワイヤに浮力が生じるた
め、上下ワイヤ間に中間支持機構は不要となり、構成は
簡単でよい。
【００２１】またフィラメントの下側のワイヤ中央で、
給電と支持をしているため、支持部分で温度低下するこ
となく、均一な加熱ができる。
給電と支持をしているため、支持部分で温度低下するこ
となく、均一な加熱ができる。
【００２２】本発明のフィラメントを使用することによ
り長尺なカソードを均一に加熱することができ、ビーム
出力密度の均一な長尺なリニア電子銃を得る。このリニ
ア電子銃を用いることにより長手方向に均一な蒸気密度
が得られ、蒸着等を均一にさらに高速に行なうことが可
能となる。
り長尺なカソードを均一に加熱することができ、ビーム
出力密度の均一な長尺なリニア電子銃を得る。このリニ
ア電子銃を用いることにより長手方向に均一な蒸気密度
が得られ、蒸着等を均一にさらに高速に行なうことが可
能となる。
【図１】本発明のフィラメントを用いたリニア電子銃の
要部を示す斜視図である。
要部を示す斜視図である。
【図２】本発明のフィラメントを用いた蒸気発生装置を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】本発明のフィラメントを用いた超長尺リニア電
子銃を示す構成図である。
子銃を示す構成図である。
【図４】従来のリニア電子銃を示す構成図である。
【図５】図４のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
１ カソード ２ フィラメント ３ スライド板 ４ スライドピン ５ 給電部 ６ フィラメント電源 ７ ボンバード電源 ８ フィラメント固定ブロック ９ グリッド １０ アノード １１ アノード電源 １２ グリッド電源 １３ 電子ビーム １４ 熱電子 １５ るつぼ １６ ターゲット １７ 金属蒸気 １８ カソード支持機構 １９ スライドピン支持ブロック ２０ 中間支持機構 ２２ フィラメント ２２ａ，２２ｂ ワイヤ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 隆正 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島製作所内 (72)発明者 高島 徹 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 棒状のカソードから電子ビームを放出さ
せるためカソードを加熱する長尺のフィラメントであっ
て、 上下２本の平行なワイヤを有するとともに、下側のワイ
ヤの中央部を機械的に支持し且つこの中央部から給電を
して上下のワイヤに逆向きの電流を通す給電部を備え、
ワイヤの長手方向の伸縮を許容しつつワイヤの両端をス
ライド自在に支持するスライド支持部を備えたことを特
徴とするフィラメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03343404A JP3117261B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | フィラメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03343404A JP3117261B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | フィラメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174762A true JPH05174762A (ja) | 1993-07-13 |
| JP3117261B2 JP3117261B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=18361253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03343404A Expired - Fee Related JP3117261B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | フィラメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3117261B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112703574A (zh) * | 2018-09-19 | 2021-04-23 | 瓦里安半导体设备公司 | 固态掺杂物材料的可插入式靶容纳器 |
| US11664192B2 (en) | 2019-10-09 | 2023-05-30 | Applied Materials, Inc. | Temperature control for insertable target holder for solid dopant materials |
| US11854760B2 (en) | 2021-06-21 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Crucible design for liquid metal in an ion source |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP03343404A patent/JP3117261B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112703574A (zh) * | 2018-09-19 | 2021-04-23 | 瓦里安半导体设备公司 | 固态掺杂物材料的可插入式靶容纳器 |
| KR20210049174A (ko) * | 2018-09-19 | 2021-05-04 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 간접 가열식 캐소드 이온 소스 및 상이한 도펀트들을 이온화하는 방법 |
| JP2022500830A (ja) * | 2018-09-19 | 2022-01-04 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 固体ドーパント材料のための挿入可能なターゲットホルダ |
| US11404254B2 (en) | 2018-09-19 | 2022-08-02 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Insertable target holder for solid dopant materials |
| CN112703574B (zh) * | 2018-09-19 | 2023-06-30 | 瓦里安半导体设备公司 | 间接加热式阴极离子源及将不同的掺杂物离子化的方法 |
| US11664192B2 (en) | 2019-10-09 | 2023-05-30 | Applied Materials, Inc. | Temperature control for insertable target holder for solid dopant materials |
| US11854760B2 (en) | 2021-06-21 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Crucible design for liquid metal in an ion source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3117261B2 (ja) | 2000-12-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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