JPH05164727A - 酸素分析装置 - Google Patents
酸素分析装置Info
- Publication number
- JPH05164727A JPH05164727A JP3330656A JP33065691A JPH05164727A JP H05164727 A JPH05164727 A JP H05164727A JP 3330656 A JP3330656 A JP 3330656A JP 33065691 A JP33065691 A JP 33065691A JP H05164727 A JPH05164727 A JP H05164727A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- range
- oxygen
- output
- linear range
- linear
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レンジ切り替え操作およびレンジの選択状態
を示す選択状態出力信号が各２レベルのみで済む酸素分
析装置を提供する。 【構成】 酸素濃度を測定するためのジルコニア式酸素
センサ１と、測定した酸素濃度を外部へ出力する出力手
段９、１０、１１と、測定した酸素濃度を表示する表示
手段７と、前記酸素センサ、出力手段、表示手段を制御
する演算手段５とからなる酸素分析装置において、前記
出力手段が、ノンリニア（対数）レンジおよびリニアレ
ンジの２つのアナログ信号を出力するアナログ信号出力
手段と、ノンリニアレンジとリニアレンジの選択状態を
示す選択状態出力手段とを有するとともに、前記演算装
置が、測定酸素濃度に対し、上記ノンリニアレンジある
いはリニアレンジのいずれか一方を自動あるいは手動に
て切り替える切り替え手段を備える。
を示す選択状態出力信号が各２レベルのみで済む酸素分
析装置を提供する。 【構成】 酸素濃度を測定するためのジルコニア式酸素
センサ１と、測定した酸素濃度を外部へ出力する出力手
段９、１０、１１と、測定した酸素濃度を表示する表示
手段７と、前記酸素センサ、出力手段、表示手段を制御
する演算手段５とからなる酸素分析装置において、前記
出力手段が、ノンリニア（対数）レンジおよびリニアレ
ンジの２つのアナログ信号を出力するアナログ信号出力
手段と、ノンリニアレンジとリニアレンジの選択状態を
示す選択状態出力手段とを有するとともに、前記演算装
置が、測定酸素濃度に対し、上記ノンリニアレンジある
いはリニアレンジのいずれか一方を自動あるいは手動に
て切り替える切り替え手段を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体やフェライトの
焼成炉、N2リフロー炉等の炉内雰囲気中の酸素濃度を測
定する酸素分析装置に関し、特にノンリニアレンジとリ
ニアレンジの２つのアナログ信号出力を有する酸素分析
装置に関するものである。
焼成炉、N2リフロー炉等の炉内雰囲気中の酸素濃度を測
定する酸素分析装置に関し、特にノンリニアレンジとリ
ニアレンジの２つのアナログ信号出力を有する酸素分析
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、酸素濃度を測定するためのジルコ
ニア式酸素センサと、測定した酸素濃度を外部へ出力す
る出力手段と、測定した酸素濃度を表示する表示手段
と、前記酸素センサと、出力手段と、表示手段とを制御
する演算手段とからなる酸素分析装置が知られている。
この酸素分析装置において、高濃度から低濃度までをア
ナログ信号出力とする場合、出力時の種々の範囲の精度
が要求されるため、予め複数個のリニアレンジが準備さ
れ、実際に測定した酸素濃度とレンジの選択状態を比較
し自動あるいは手動でレンジを選択し、そのレンジ選択
信号とともにそのレンジでのアナログ出力信号を外部へ
供給し、外部に設けたペンレコーダ等の装置に出力して
いた。
ニア式酸素センサと、測定した酸素濃度を外部へ出力す
る出力手段と、測定した酸素濃度を表示する表示手段
と、前記酸素センサと、出力手段と、表示手段とを制御
する演算手段とからなる酸素分析装置が知られている。
この酸素分析装置において、高濃度から低濃度までをア
ナログ信号出力とする場合、出力時の種々の範囲の精度
が要求されるため、予め複数個のリニアレンジが準備さ
れ、実際に測定した酸素濃度とレンジの選択状態を比較
し自動あるいは手動でレンジを選択し、そのレンジ選択
信号とともにそのレンジでのアナログ出力信号を外部へ
供給し、外部に設けたペンレコーダ等の装置に出力して
いた。
【０００３】通常の酸素分析装置は、この出力手段とは
別に表示手段を有しているため、測定した酸素濃度をリ
アルタイムで直読することができるが、本発明の対象と
するこのような酸素分析装置では監視人が常時その値を
読むといったことはなく、無人の状態で使用されること
が多いため、上記アナログ出力は重要である。
別に表示手段を有しているため、測定した酸素濃度をリ
アルタイムで直読することができるが、本発明の対象と
するこのような酸素分析装置では監視人が常時その値を
読むといったことはなく、無人の状態で使用されること
が多いため、上記アナログ出力は重要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の酸素分
析装置の複数個のリニアレンジの一例として、６レベル
で切り替えて表示する場合、０〜１０ｐｐｍ、０〜１０
０ｐｐｍ、１〜１０００ｐｐｍ、０〜１％、０〜１０
％、０〜１００％の６レベルで出力する方法がとられて
いる。しかしながら、上述したように６レベルで出力す
る場合は、その一例を図７（ａ）〜（ｆ）に示すよう
に、アナログ出力信号のレンジ切り替えのための操作が
煩雑になるとともに、レンジ選択状態を示す接点信号の
出力方法も煩雑となる問題があった。
析装置の複数個のリニアレンジの一例として、６レベル
で切り替えて表示する場合、０〜１０ｐｐｍ、０〜１０
０ｐｐｍ、１〜１０００ｐｐｍ、０〜１％、０〜１０
％、０〜１００％の６レベルで出力する方法がとられて
いる。しかしながら、上述したように６レベルで出力す
る場合は、その一例を図７（ａ）〜（ｆ）に示すよう
に、アナログ出力信号のレンジ切り替えのための操作が
煩雑になるとともに、レンジ選択状態を示す接点信号の
出力方法も煩雑となる問題があった。
【０００５】また、例えば、N2リフロー炉では、大気か
らN2雰囲気に炉内をするため、２０％程度の高濃度の状
態から数十ｐｐｍまでの酸素濃度変化を連続して観察す
る必要があるが、高濃度から低濃度へ連続的に変化する
場合、図７に示すように、各レンジが自動的に切り替わ
って表示されるため、連続した変化の状態を把握しずら
い問題もあった。
らN2雰囲気に炉内をするため、２０％程度の高濃度の状
態から数十ｐｐｍまでの酸素濃度変化を連続して観察す
る必要があるが、高濃度から低濃度へ連続的に変化する
場合、図７に示すように、各レンジが自動的に切り替わ
って表示されるため、連続した変化の状態を把握しずら
い問題もあった。
【０００６】本発明の目的は上述した課題を解消して、
レンジ切り替え操作およびレンジの選択状態を示す選択
状態出力信号が各２レベルのみで済む酸素分析装置を提
供しようとするものである。
レンジ切り替え操作およびレンジの選択状態を示す選択
状態出力信号が各２レベルのみで済む酸素分析装置を提
供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の酸素分析装置
は、酸素濃度を測定するためのジルコニア式酸素センサ
と、測定した酸素濃度を外部へ出力する出力手段と、測
定した酸素濃度を表示する表示手段と、前記酸素セン
サ、出力手段、表示手段を制御する演算手段とからなる
酸素分析装置において、前記出力手段が、ノンリニア
（対数）レンジおよびリニアレンジの２つのアナログ信
号を出力するアナログ信号出力手段と、ノンリニアレン
ジとリニアレンジの選択状態を示す選択状態出力手段と
を有するとともに、前記演算装置が、測定酸素濃度に対
し、上記ノンリニアレンジあるいはリニアレンジのいず
れか一方を自動あるいは手動にて切り替える切り替え手
段を有することを特徴とするものである。
は、酸素濃度を測定するためのジルコニア式酸素センサ
と、測定した酸素濃度を外部へ出力する出力手段と、測
定した酸素濃度を表示する表示手段と、前記酸素セン
サ、出力手段、表示手段を制御する演算手段とからなる
酸素分析装置において、前記出力手段が、ノンリニア
（対数）レンジおよびリニアレンジの２つのアナログ信
号を出力するアナログ信号出力手段と、ノンリニアレン
ジとリニアレンジの選択状態を示す選択状態出力手段と
を有するとともに、前記演算装置が、測定酸素濃度に対
し、上記ノンリニアレンジあるいはリニアレンジのいず
れか一方を自動あるいは手動にて切り替える切り替え手
段を有することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】上述した構成において、出力手段がノンリニア
（対数）レンジとリニアレンジの両レンジにおいて各１
種類の範囲のアナログ信号出力手段を有するよう構成し
ているため、本発明の酸素分析装置からのアナログ信号
出力を供給された外部の装置例えばペンレコーダーの出
力においては、広い範囲の表示に向くノンリニア（対
数）レンジとリニアレンジとの２レンジのみで、高濃度
から低濃度までをこれらのアナログ出力で判別可能とな
る。
（対数）レンジとリニアレンジの両レンジにおいて各１
種類の範囲のアナログ信号出力手段を有するよう構成し
ているため、本発明の酸素分析装置からのアナログ信号
出力を供給された外部の装置例えばペンレコーダーの出
力においては、広い範囲の表示に向くノンリニア（対
数）レンジとリニアレンジとの２レンジのみで、高濃度
から低濃度までをこれらのアナログ出力で判別可能とな
る。
【０００９】すなわち、例えばノンリニアレンジを１ｐ
ｐｍ〜１００％とし、リニアレンジを０〜１００ｐｐｍ
とすれば、大気状態から数十ｐｐｍの酸素濃度範囲を１
度の切り替えで出力表示可能となる。その結果、ノンリ
ニアレンジまたはリニアレンジの選択状態を外部の装置
に供給する選択状態出力信号も２つのレベルで済むこと
となる。
ｐｍ〜１００％とし、リニアレンジを０〜１００ｐｐｍ
とすれば、大気状態から数十ｐｐｍの酸素濃度範囲を１
度の切り替えで出力表示可能となる。その結果、ノンリ
ニアレンジまたはリニアレンジの選択状態を外部の装置
に供給する選択状態出力信号も２つのレベルで済むこと
となる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の酸素分析装置の一例の構成を
示すブロック図である。図１において、酸素センサ１で
測定した酸素濃度を示す信号はＡ／Ｄ変換器２によりデ
ジタル信号に変換後入力ポート３を介してＣＰＵ５に供
給される。また、入力ポート３を介してＣＰＵ５には、
自動と手動の状態を示すとともに手動によりレンジを選
択したときのレンジ選択信号入力回路４からの信号も供
給される。ＣＰＵ５に供給された上記各種のデータは一
旦メモリ６に蓄積され、そのデータに基づき種々の予め
定められている演算例えばネルンストの式から酸素濃度
を求める計算などを行う。その後、必要なデータをデジ
タル形式で表示部７に表示するとともに、出力ポート８
を介して、Ｄ／Ａ変換器９、Ｖ／Ｉ変換器１０、Ｖ／Ｖ
変換器１１からなるアナログ信号出力手段および選択状
態出力回路１２へ供給される。
示すブロック図である。図１において、酸素センサ１で
測定した酸素濃度を示す信号はＡ／Ｄ変換器２によりデ
ジタル信号に変換後入力ポート３を介してＣＰＵ５に供
給される。また、入力ポート３を介してＣＰＵ５には、
自動と手動の状態を示すとともに手動によりレンジを選
択したときのレンジ選択信号入力回路４からの信号も供
給される。ＣＰＵ５に供給された上記各種のデータは一
旦メモリ６に蓄積され、そのデータに基づき種々の予め
定められている演算例えばネルンストの式から酸素濃度
を求める計算などを行う。その後、必要なデータをデジ
タル形式で表示部７に表示するとともに、出力ポート８
を介して、Ｄ／Ａ変換器９、Ｖ／Ｉ変換器１０、Ｖ／Ｖ
変換器１１からなるアナログ信号出力手段および選択状
態出力回路１２へ供給される。
【００１１】このアナログ信号出力手段では、ＣＰＵ５
の制御のもとノンリニアレンジまたはリニアレンジのデ
ジタル信号をＤ／Ａ変換器９でアナログ信号とする。こ
のアナログ信号をＶ／Ｉ変換器１０により例えば４〜２
０ｍＡの範囲の電流出力とするとともに、Ｖ／Ｖ変換器
１１により例えば０〜１Ｖの範囲の電圧出力としてい
る。ここで、電流出力と電圧出力とを求めたのは、需要
者の要望があるためであり、この両者でノンリニアレン
ジまたはリニアレンジにおける１つのアナログ出力とな
っている。また、選択状態出力回路１２からは、ＣＰＵ
５での演算処理(図３ )において、レンジ選択信号入力
回路４の信号に応じて自動または手動でノンリニアレン
ジまたはリニアレンジのいずれか一方に切り替えた選択
状態を示す信号が出力される。
の制御のもとノンリニアレンジまたはリニアレンジのデ
ジタル信号をＤ／Ａ変換器９でアナログ信号とする。こ
のアナログ信号をＶ／Ｉ変換器１０により例えば４〜２
０ｍＡの範囲の電流出力とするとともに、Ｖ／Ｖ変換器
１１により例えば０〜１Ｖの範囲の電圧出力としてい
る。ここで、電流出力と電圧出力とを求めたのは、需要
者の要望があるためであり、この両者でノンリニアレン
ジまたはリニアレンジにおける１つのアナログ出力とな
っている。また、選択状態出力回路１２からは、ＣＰＵ
５での演算処理(図３ )において、レンジ選択信号入力
回路４の信号に応じて自動または手動でノンリニアレン
ジまたはリニアレンジのいずれか一方に切り替えた選択
状態を示す信号が出力される。
【００１２】図２は本発明の酸素センサ１の一例の構成
を示す図である。図２に示す例において、２１は固体電
解質である円筒形状のジルコニアセル、２２はジルコニ
アセル２１の内側へサンプルガスを導入するためのサン
プルガス入口、２３は同じくそのサンプルガス出口、２
４はジルコニアセル２１のサンプルガスと接触する内周
面および基準ガスと接触する外周面に設けた図示しない
電極間の電圧をセンサ信号として取り出すための電圧
計、２５はジルコニアセル２１の温度を測定するための
熱電対、２６はジルコニアセル２１を加熱するためのヒ
ータである。この酸素センサ１における上記センサ信号
が、Ａ／Ｄ変換器２に供給される。
を示す図である。図２に示す例において、２１は固体電
解質である円筒形状のジルコニアセル、２２はジルコニ
アセル２１の内側へサンプルガスを導入するためのサン
プルガス入口、２３は同じくそのサンプルガス出口、２
４はジルコニアセル２１のサンプルガスと接触する内周
面および基準ガスと接触する外周面に設けた図示しない
電極間の電圧をセンサ信号として取り出すための電圧
計、２５はジルコニアセル２１の温度を測定するための
熱電対、２６はジルコニアセル２１を加熱するためのヒ
ータである。この酸素センサ１における上記センサ信号
が、Ａ／Ｄ変換器２に供給される。
【００１３】以下、上述した本発明の酸素分析装置の動
作について説明する。図３はノンリニアレンジとリニア
レンジとの切り替え方法の一例を示すフローチャートで
ある。図１における、レンジ選択信号入力回路４に入力
されるレンジ選択信号が、例えば手動設定のノンリニア
レンジ、手動設定のリニアレンジ、自動設定の３ポジシ
ョンをとるとすると、図３に示すように順番にそのレン
ジ選択信号が手動設定のノンリニアレンジかどうか、手
動設定のリニアレンジかどうか、自動設定かどうかを判
断して、リニア出力処理のサブルーチンを実行するかノ
ンリニア出力処理のサブルーチンを実行するかを選択す
る。自動設定の場合は、予めノンリニアレンジとリニア
レンジとを切り替える酸素濃度ＳＶを設定しておき、こ
のＳＶより酸素濃度が大きいときはノンリニア出力処理
を、ＳＶよりも酸素濃度が小さいときはリニア出力処理
を選択するよう構成している。
作について説明する。図３はノンリニアレンジとリニア
レンジとの切り替え方法の一例を示すフローチャートで
ある。図１における、レンジ選択信号入力回路４に入力
されるレンジ選択信号が、例えば手動設定のノンリニア
レンジ、手動設定のリニアレンジ、自動設定の３ポジシ
ョンをとるとすると、図３に示すように順番にそのレン
ジ選択信号が手動設定のノンリニアレンジかどうか、手
動設定のリニアレンジかどうか、自動設定かどうかを判
断して、リニア出力処理のサブルーチンを実行するかノ
ンリニア出力処理のサブルーチンを実行するかを選択す
る。自動設定の場合は、予めノンリニアレンジとリニア
レンジとを切り替える酸素濃度ＳＶを設定しておき、こ
のＳＶより酸素濃度が大きいときはノンリニア出力処理
を、ＳＶよりも酸素濃度が小さいときはリニア出力処理
を選択するよう構成している。
【００１４】図４は本発明におけるリニア出力方法の一
例を示すフローチャートである。上述したノンリニアレ
ンジとリニアレンジとの切り替えによりリニア出力が選
択された場合は、従来から公知の方法に従って、リニア
レンジのスパン値（ex. 100ｐｐｍ）Ｌs 、リニアレン
ジのゼロ値（ex. ０ｐｐｍ）Ｌz 、サンプルガス導入に
より得られる測定Ｏ2 濃度値ｘからｙ＝｛（ｘ−Ｌz ）
／（Ｌs −Ｌz ）｝×１００を計算し、この値ｙを出力
としてＤ／Ａ変換器９によりアナログ信号として外部へ
供給するとともに、リニアレンジを選択していることを
示すリニアレンジ判別信号を選択状態出力回路１２から
出力している。
例を示すフローチャートである。上述したノンリニアレ
ンジとリニアレンジとの切り替えによりリニア出力が選
択された場合は、従来から公知の方法に従って、リニア
レンジのスパン値（ex. 100ｐｐｍ）Ｌs 、リニアレン
ジのゼロ値（ex. ０ｐｐｍ）Ｌz 、サンプルガス導入に
より得られる測定Ｏ2 濃度値ｘからｙ＝｛（ｘ−Ｌz ）
／（Ｌs −Ｌz ）｝×１００を計算し、この値ｙを出力
としてＤ／Ａ変換器９によりアナログ信号として外部へ
供給するとともに、リニアレンジを選択していることを
示すリニアレンジ判別信号を選択状態出力回路１２から
出力している。
【００１５】ノンリニア出力が選択された場合は、図５
にそのフローチャートを示すように、同様にノンリニア
レンジのスパン値（ex. 100 ％）、ゼロ値（ex. 0.01％
＝100 ｐｐｍ）、サンプルガス導入により得られる測定
Ｏ2 濃度値ＮＬs 、ＮＬz 、ｘを求め、これらの値から
ｙ＝｛（log(x)−log(NLz ) ）／（log(NLs ) −log(NL
z ) ）｝×１００を計算し、この値ｙを出力するととも
にノンリニアレンジ判別信号を出力している。
にそのフローチャートを示すように、同様にノンリニア
レンジのスパン値（ex. 100 ％）、ゼロ値（ex. 0.01％
＝100 ｐｐｍ）、サンプルガス導入により得られる測定
Ｏ2 濃度値ＮＬs 、ＮＬz 、ｘを求め、これらの値から
ｙ＝｛（log(x)−log(NLz ) ）／（log(NLs ) −log(NL
z ) ）｝×１００を計算し、この値ｙを出力するととも
にノンリニアレンジ判別信号を出力している。
【００１６】図６は本発明の酸素分析装置からの出力を
外部のペンレコーダで記録した結果を示す図であり、図
６（ａ）は１ｐｐｍ〜１００％の範囲のノンリニアレン
ジの出力結果を、図６（ｂ）は０〜１００ｐｐｍの範囲
のリニアレンジの出力結果を示す。本発明における出力
結果は、図６（ａ）、（ｂ）に示す２つのみであるた
め、両者を見比べることにより連続した酸素濃度の変化
を容易にとらえることができる。また、レンジ判別信号
も、ノンリニアレンジかリニアレンジかを示すだけで良
いため、０か１の１ビットの信号で済む。
外部のペンレコーダで記録した結果を示す図であり、図
６（ａ）は１ｐｐｍ〜１００％の範囲のノンリニアレン
ジの出力結果を、図６（ｂ）は０〜１００ｐｐｍの範囲
のリニアレンジの出力結果を示す。本発明における出力
結果は、図６（ａ）、（ｂ）に示す２つのみであるた
め、両者を見比べることにより連続した酸素濃度の変化
を容易にとらえることができる。また、レンジ判別信号
も、ノンリニアレンジかリニアレンジかを示すだけで良
いため、０か１の１ビットの信号で済む。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ノンリニア（対数）レンジとリニアレンジの
いずれかを選択的にアナログ信号として出力可能として
いるため、２レンジのみで高濃度から低濃度までをアナ
ログ出力で判別可能となる。その結果、レンジ切り替え
操作およびレンジの選択状態を示す接点信号を各２レベ
ルのみで済ますことができる。
によれば、ノンリニア（対数）レンジとリニアレンジの
いずれかを選択的にアナログ信号として出力可能として
いるため、２レンジのみで高濃度から低濃度までをアナ
ログ出力で判別可能となる。その結果、レンジ切り替え
操作およびレンジの選択状態を示す接点信号を各２レベ
ルのみで済ますことができる。
【図１】本発明の酸素分析装置の一例の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】本発明の酸素センサの一例の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】ノンリニアレンジとリニアレンジとの切り替え
方法の一例を示すフローチャートである。
方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】本発明におけるリニア出力方法の一例を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図５】本発明におけるノンリニア出力方法の一例を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図６】本発明の酸素分析装置からの出力を外部のペン
レコーダーで記録した結果を示す図である。
レコーダーで記録した結果を示す図である。
【図７】従来の酸素分析装置からの出力を外部のペンレ
コーダーで記録した結果を示す図である。
コーダーで記録した結果を示す図である。
１ 酸素センサ ２ Ａ／Ｄ変換器 ３ 入力ポート ４ レンジ選択信号入力回路 ５ ＣＰＵ ６ メモリ ７ 表示部 ８ 出力ポート ９ Ｄ／Ａ変換器 １０ Ｖ／Ｉ変換器 １１ Ｖ／Ｖ変換器 １２ 選択状態出力回路
Claims (2)
- 【請求項１】 酸素濃度を測定するためのジルコニア式
酸素センサと、測定した酸素濃度を外部へ出力する出力
手段と、測定した酸素濃度を表示する表示手段と、前記
酸素センサ、出力手段、表示手段を制御する演算手段と
からなる酸素分析装置において、前記出力手段が、ノン
リニア（対数）レンジおよびリニアレンジの２つのアナ
ログ信号を出力するアナログ信号出力手段と、ノンリニ
アレンジとリニアレンジの選択状態を示す選択状態出力
手段とを有するとともに、前記演算装置が、測定酸素濃
度に対し、上記ノンリニアレンジあるいはリニアレンジ
のいずれか一方を自動あるいは手動にて切り替える切り
替え手段を有することを特徴とする酸素分析装置。 - 【請求項２】 前記ノンリニアレンジが１ｐｐｍ〜１０
０％の範囲であり、前記リニアレンジが０〜１００ｐｐ
ｍである請求項１記載の酸素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3330656A JPH05164727A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 酸素分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3330656A JPH05164727A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 酸素分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164727A true JPH05164727A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18235113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3330656A Withdrawn JPH05164727A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 酸素分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05164727A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5772428A (en) * | 1996-02-09 | 1998-06-30 | Praxair Technology, Inc. | Method and apparatus for heat treatment including H2 /H2 O furnace region control |
| JP2012107892A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Canon Machinery Inc | 酸素分圧検知方法 |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP3330656A patent/JPH05164727A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5772428A (en) * | 1996-02-09 | 1998-06-30 | Praxair Technology, Inc. | Method and apparatus for heat treatment including H2 /H2 O furnace region control |
| JP2012107892A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Canon Machinery Inc | 酸素分圧検知方法 |
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