JPH05162093A - Vacuum suction device - Google Patents
Vacuum suction deviceInfo
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- JPH05162093A JPH05162093A JP33231191A JP33231191A JPH05162093A JP H05162093 A JPH05162093 A JP H05162093A JP 33231191 A JP33231191 A JP 33231191A JP 33231191 A JP33231191 A JP 33231191A JP H05162093 A JPH05162093 A JP H05162093A
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- adsorbed
- suction nozzle
- vacuum
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、小物部品等を吸着によ
りハンドリングする場合に使用される真空吸着装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum suction device used when handling small parts by suction.
【０００２】近年、電子部品等の小物部品をハンドリン
グする方法の一つに真空吸着による搬送がある。ハンド
リングされる被吸着物の小物部品の中には、静電気の影
響で故障するものもあり、吸着時及び切離時に静電気を
除去する必要がある。また、ハンドリングする場合に
は、ハンド先端に真空吸着装置を組み込む必要があるこ
とから、該真空吸着装置の小型化が望まれている。In recent years, one of the methods for handling small parts such as electronic parts is conveyance by vacuum suction. Some small parts of the object to be attracted to be handled may be damaged due to the influence of static electricity, and it is necessary to remove static electricity at the time of adsorption and separation. Further, in the case of handling, it is necessary to incorporate a vacuum suction device at the tip of the hand. Therefore, it is desired to downsize the vacuum suction device.
【０００３】[0003]
【従来の技術】図４に、従来の真空吸着装置の構成図を
示す。なお、図４は一部断面図である。図４の真空吸着
装置３０において、フランジ３１ａを有する中空シャフ
ト３１の先端に、ゴム系の吸着盤（ゴムパッド）３２が
摺動可能に取り付けられる。この場合、ゴムパッド３２
とフランジ３１ａとの間にはバネ３３が介在して、該ゴ
ムパッド３２が上下動する。そして、中空シャフト３１
の他端は真空源（図示せず）に連通して、ゴムパッド３
２よりエアを引き込む。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a block diagram of a conventional vacuum suction device. 4 is a partial sectional view. In the vacuum suction device 30 of FIG. 4, a rubber-based suction plate (rubber pad) 32 is slidably attached to the tip of a hollow shaft 31 having a flange 31a. In this case, the rubber pad 32
A spring 33 is interposed between the rubber pad 32 and the flange 31a to vertically move the rubber pad 32. And the hollow shaft 31
The other end of the rubber pad 3 communicates with a vacuum source (not shown).
Pull in air from 2.
【０００４】一方、ゴムパッド３２の近傍にノズル３４
が位置し、被吸着物である例えば樹脂パッケージのＩＣ
３５に静電気除去のためのイオン（例えばオゾン）を吹
き付ける。On the other hand, a nozzle 34 is provided near the rubber pad 32.
Is an object to be adsorbed, for example, an IC of a resin package
Ions (for example, ozone) for removing static electricity are sprayed on 35.
【０００５】このような真空吸着装置３０は、真空源よ
り中空シャフト３１を介してゴムパッド３２よりエアを
引き込みながら、該ゴムパッド３２をＩＣ３５の樹脂パ
ッケージに押し付ける。一般に、ゴムとプラスティック
とが接触又は切離しを行う場合に静電気が発生すること
から、ＩＣ３５が静電気の影響で故障する場合がある。
そこで、ＩＣ３５を吸着する前にノズル３４より該樹脂
パッケージにイオンを吹き付け、静電気の除電を行って
いる。Such a vacuum suction device 30 presses the rubber pad 32 against the resin package of the IC 35 while drawing air from the rubber pad 32 through the hollow shaft 31 from the vacuum source. In general, static electricity is generated when the rubber and the plastic are brought into contact with each other or separated from each other, so that the IC 35 may be damaged due to the influence of the static electricity.
Therefore, before adsorbing the IC 35, ions are blown onto the resin package from the nozzle 34 to eliminate static electricity.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、イオンを吹き
付ける場合、イオンの吹き付け経路を長くするとイオン
状態が崩れて除電効果を悪くすることから、引き廻しを
長くすることができない。また、イオンを吹き付けるた
めのノズル３４を設置するための場所を必要とし、狭い
場所に設置することができず、小型化を図ることが困難
であるという問題がある。However, in the case of spraying ions, if the spraying path of the ions is lengthened, the ion state collapses and the charge removal effect deteriorates, so that it is not possible to lengthen the routing. Further, there is a problem that a place for installing the nozzle 34 for spraying ions is required, the nozzle 34 cannot be installed in a narrow place, and it is difficult to reduce the size.
【０００７】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、静電気を除去し、小型化を図る真空記装置を提
供することを目的とする。Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum recording apparatus which eliminates static electricity and is downsized.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題は、被吸着物に
生じた静電気を中和するための中和部材を吹き付けつ
つ、真空状態で該被吸着物を吸着する真空吸着装置にお
いて、供給された前記中和部材を噴射する第１の孔が形
成された噴射部と、該第１の孔に連通された第２の孔を
介して連通する保持体に設けられた中空シャフトの先端
に設けられ、該中和部材を該被吸着物に噴射し、又は該
被吸着物を吸着する吸引ノズルと、前記噴射部を摺動
し、該第１の孔を閉塞した場合には該吸引ノズルより前
記被吸着物に該中和部材を噴射し、該第１の孔を開放し
た場合には該吸引ノズルの周辺より該中和部材を噴射し
て該吸引ノズルを負圧にすることにより該被吸着物を真
空吸着させる切換部とで構成することにより解決され
る。Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are provided in a vacuum adsorption device for adsorbing an object to be adsorbed in a vacuum state while spraying a neutralizing member for neutralizing static electricity generated on the object to be adsorbed. And a tip end of a hollow shaft provided in a holding body that communicates with an injection part having a first hole for injecting the neutralizing member and a second hole that communicates with the first hole. When the neutralizing member is ejected to the object to be adsorbed or the object to be adsorbed is adsorbed and the ejection part is slid to close the first hole, the suction nozzle is When the neutralizing member is sprayed onto the object to be adsorbed and the first hole is opened, the neutralizing member is sprayed from around the suction nozzle to make the suction nozzle have a negative pressure. The problem can be solved by configuring it with a switching unit that vacuum-adsorbs the adsorbate.
【０００９】[0009]
【作用】上述のように、切換部により第１の孔を閉塞し
た場合には、中和部材が第２の孔より保持体、中空シャ
フトを介して吸引ノズルより被吸着物に噴射する。これ
により、既に被吸着物に帯電している静電気を中和す
る。As described above, when the switching unit closes the first hole, the neutralizing member injects from the second hole to the object to be adsorbed through the holding body and the suction nozzle through the hollow shaft. This neutralizes the static electricity that has already been charged on the object to be adsorbed.
【００１０】また、切換部により第１の孔を開放した場
合には、中和部材は切換部を介して吸引ノズルの周辺よ
り被吸着物に噴射する。このとき、第２の孔から吸引ノ
ズルにかけて負圧状態となって、被吸着物を真空吸着す
る。すなわち、被吸着物を中和部材により除電しながら
真空吸着するものである。Further, when the first hole is opened by the switching portion, the neutralizing member sprays the adsorbed substance from around the suction nozzle through the switching portion. At this time, a negative pressure is applied from the second hole to the suction nozzle, and the object to be adsorbed is vacuum-adsorbed. That is, the object to be adsorbed is vacuum-adsorbed while being neutralized by the neutralizing member.
【００１１】このように、中和部材の噴射を吸引ノズル
及びその周辺で行うことから、静電気除電が効果的に行
うことが可能になると共に、小型とすることが可能とな
る。As described above, since the injection of the neutralizing member is performed at the suction nozzle and its surroundings, static electricity can be effectively removed and the size can be reduced.
【００１２】[0012]
【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図１の真空吸着装置１０は、例えば樹脂パッケージのＩ
Ｃ１１を被吸着物としてハンドリングする装置の先端に
設けられるもので、噴射部であるマイクロエジェクタ１
２は上方より下方側部に第１の孔１３が形成され、該下
方側部付近に連通する第２の孔１４が形成される。そし
て、マイクロエジェクタ１２の上方端は、図示しない
が、中和部材であるイオン（例えばオゾン）の供給源に
接続される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a block diagram of an embodiment of the present invention.
The vacuum suction device 10 shown in FIG.
The micro ejector 1 that is provided at the tip of the device that handles C11 as an object to be adsorbed and is a jetting unit.
As for 2, the first hole 13 is formed on the lower side from the upper side, and the second hole 14 communicating with the vicinity of the lower side is formed. Although not shown, the upper end of the micro ejector 12 is connected to a supply source of ions (for example, ozone) which is a neutralizing member.
【００１３】マイクロエジェクタ１２の下部には、第２
の孔と連通した保持体１５が設けられる。この保持体１
５内には中板１５ａが形成されており、厚さ方向にテー
パ１５ｂ形状の穴部１５ｃが形成される。At the bottom of the micro ejector 12, a second
The holding body 15 is provided in communication with the hole. This holder 1
An intermediate plate 15a is formed in the inside of 5, and a hole 15c having a taper 15b shape is formed in the thickness direction.
【００１４】この穴部１５ｃには、一端が嵌合するよう
なテーパ１６ａが形成された中空シャフト１６が設けら
れると共に、中空シャフト１６の側部と保持体１５の先
端内側部との間に自動調心型の球面状の滑り軸受け１７
が介在する。また、中空シャフト１６の先端には吸引ノ
ズル１８が取り付けられ、この吸引ノズル１８と保持体
１５の先端との間にバネ１９が介在する。The hole 15c is provided with a hollow shaft 16 having a taper 16a formed so that one end thereof is fitted, and an automatic gap is provided between a side portion of the hollow shaft 16 and an inner end portion of the holder 15. Centering type spherical plain bearing 17
Intervenes. A suction nozzle 18 is attached to the tip of the hollow shaft 16, and a spring 19 is interposed between the suction nozzle 18 and the tip of the holder 15.
【００１５】この滑り軸受け１７及びバネ１９により可
動機構を構成する。すなわち、中空シャフト１６の先端
に取り付けられた吸引ノズル１８は、該中空シャフト１
６の軸方向に上下動すると共に、軸方向と垂直な面上で
回動する。この場合、保持体１５の穴部１５ｃに中空シ
ャフト１６のテーパ１６ａが嵌合して位置決めされる。The sliding bearing 17 and the spring 19 constitute a movable mechanism. That is, the suction nozzle 18 attached to the tip of the hollow shaft 16 is
6 moves up and down in the axial direction and rotates on a plane perpendicular to the axial direction. In this case, the taper 16a of the hollow shaft 16 is fitted and positioned in the hole 15c of the holder 15.
【００１６】ここで、吸引ノズル１８は、アルミ又はア
ルミ合金等で形成され、表面をタフラム処理される。タ
フラム処理とは、アルミ及びアルミ合金の表面に高抵抗
膜である硬質陽極酸化皮膜を作り、その皮膜の穴にテフ
ロンを含浸させたものであり、表面硬度が高く、且つ潤
滑性も良く耐磨耗性に優れており、電気的抵抗も１０ 6
〜１０10Ω程度で形成される。Here, the suction nozzle 18 is made of aluminum or aluminum.
It is made of Lumi alloy and the surface is toughened. Ta
Flamm treatment means high resistance on the surface of aluminum and aluminum alloys.
Make a hard anodized film that is a film, and put a Tef in the hole of the film.
Ron is impregnated with high surface hardness and moisture.
It has good lubricity, excellent wear resistance, and electrical resistance of 10 6
-10TenIt is formed in the order of Ω.
【００１７】すなわち、吸引ノズル１８の表面を電気的
に高抵抗にすることにより、ＩＣ１１のパッケージに帯
電した静電気を緩やかに除電することができると共に、
ＩＣ１１との接触の際にも材質が金属であることから静
電気を発生しにくくすることができる。また、吸引ノズ
ル１８の表面は耐磨耗性が高いことから交換が不要とな
るものである。That is, by making the surface of the suction nozzle 18 electrically high in resistance, the static electricity charged in the package of the IC 11 can be gradually removed, and
Since the material is metal even when contacting with the IC 11, it is possible to prevent static electricity from being easily generated. Further, since the surface of the suction nozzle 18 has high abrasion resistance, replacement is unnecessary.
【００１８】一方、マイクロエジェクタ１２及び保持体
１５の一部を覆うように切換部であるバルブ２０が、ス
トッパ２１ａ，２１ｂ（２１ｂは保持体１５に形成）間
を限度に位置する。このバルブ２０は、フード部２０ａ
を有しており、上方は少なくとも第１の孔１３の噴射口
径より大きい厚さで形成され、一部にバネ２２を介して
ボールプランジャ２３が設けられる。On the other hand, the valve 20, which is a switching portion, covers the micro ejector 12 and a part of the holding body 15 and is located between the stoppers 21a and 21b (21b is formed on the holding body 15). This valve 20 has a hood portion 20a.
The upper portion is formed to have a thickness larger than at least the injection port diameter of the first hole 13, and the ball plunger 23 is partially provided through the spring 22.
【００１９】また、マイクロエジェクタ１２の側部には
該ボールプランジャ２３が嵌合する溝２４ａ，２４ｂが
軸方向に所定距離で連設される。すなわち、バルブ２０
はマイクロエジェクタ１２を摺動して上下動し、ボール
プランジャ２３が溝２４ａ又は２４ｂに嵌合して位置決
めされる。この場合、バルブ２０が上方に位置するとき
には第１の孔１３は開放状態となり、下方に位置すると
きには該第１の孔１３を閉塞させる。Grooves 24a and 24b, into which the ball plunger 23 is fitted, are continuously provided on the side of the micro ejector 12 at a predetermined distance in the axial direction. That is, the valve 20
Moves up and down by sliding on the micro ejector 12, and the ball plunger 23 is fitted and positioned in the groove 24a or 24b. In this case, when the valve 20 is located above, the first hole 13 is open, and when it is located below, the first hole 13 is closed.
【００２０】次に、図２に、図１の動作を説明するため
の図を示す。図１はバルブ２０が上方に位置する場合で
あり、図２は下方に位置する場合である。Next, FIG. 2 shows a diagram for explaining the operation of FIG. 1 shows the case where the valve 20 is located above, and FIG. 2 shows the case where it is located below.
【００２１】まず、図２において、バルブ２０のボール
プランジャ２３は溝２４ｂに嵌合してストッパ２１ｂで
下方に位置する。このとき、バルブ２０はマイクロエジ
ェクタ１２の第１の孔１３の噴射口を閉塞する。First, in FIG. 2, the ball plunger 23 of the valve 20 is fitted into the groove 24b and is positioned below by the stopper 21b. At this time, the valve 20 closes the injection port of the first hole 13 of the micro ejector 12.
【００２２】そこで、イオン供給源（図示せず）よりイ
オン（オゾン）を供給すると、該イオンは、第２の孔１
４，保持体１５，中空シャフト１６を介して吸引ノズル
１８よりＩＣ１１のパッケージ上に噴射する。このと
き、該パッケージ上に既に帯電している静電気は中和さ
れる状態となる。Therefore, when ions (ozone) are supplied from an ion supply source (not shown), the ions are supplied to the second holes 1
Spraying is performed on the package of the IC 11 from the suction nozzle 18 via the holding member 15, the hollow shaft 16. At this time, the static electricity already charged on the package is neutralized.
【００２３】そして、図１に戻って説明するに、バルブ
２０を上方に移動させてボールプランジャ２３を溝２４
ａに嵌合させてストッパ２１ａにより位置固定すると、
第１の孔１３の噴射口は開放状態となる。そこで、第１
の孔１３よりイオンを所定の流速で供給すると、第１の
孔１３の噴射口よりバルブ２０のフード部２０ａに沿っ
て吸引ノズル１８の周辺よりＩＣ１１のパッケージ上に
イオンを噴射する。Returning to FIG. 1, the valve 20 is moved upward to move the ball plunger 23 into the groove 24.
When it is fitted to a and fixed in position by the stopper 21a,
The injection port of the first hole 13 is open. So the first
When ions are supplied from the hole 13 at a predetermined flow rate, the ions are injected from the injection port of the first hole 13 along the hood portion 20a of the valve 20 from around the suction nozzle 18 onto the package of the IC 11.
【００２４】このとき、第２の孔１４より吸引ノズル１
８にかけて負圧状態となる。そして、吸引ノズル１８を
ＩＣ１１のパッケージ上に接触させると、該ＩＣ１１が
真空吸着される。すなわち、イオンを噴射して静電気の
除電を行いつつ、ＩＣ１１を真空吸着するものである。At this time, the suction nozzle 1 is inserted through the second hole 14.
A negative pressure state is reached over 8. Then, when the suction nozzle 18 is brought into contact with the package of the IC 11, the IC 11 is vacuum-sucked. That is, the IC 11 is vacuum-adsorbed while ejecting ions to remove static electricity.
【００２５】このように、効率よく静電気の除電を行う
ことができると共に、吸引ノズル１８にタフラム処理を
施すことにより静電気発生を低減することができる。ま
た、除電のためのイオンの噴射と真空吸着を一体化して
いることから小型化を図ることができる。As described above, the static electricity can be removed efficiently, and the static electricity can be reduced by performing the tough ram treatment on the suction nozzle 18. Moreover, since the ion injection for static elimination and the vacuum adsorption are integrated, the size can be reduced.
【００２６】次に、図３に、図１の被吸着物が傾斜して
いる場合を説明するための図を示す。図３において、被
吸着物であるＩＣ１１が傾斜している場合に、吸引ノズ
ル１８をパッケージ上に接触させてバネ１９により押し
つけると、中空シャフト１６のテーパ１６ａが保持体１
５の中板１５ａの穴部１５ｃより離れ、球面状の滑り軸
受け１７により該吸引ノズル１８面とＩＣ１１のパッケ
ージ面とは密着状態とされる。すなわち、ＩＣ１１の傾
斜をバネ１９及び滑り軸受け１７により吸収して真空吸
着を確実ならしめるものである。Next, FIG. 3 shows a diagram for explaining a case where the object to be adsorbed in FIG. 1 is inclined. In FIG. 3, when the suction target IC 11 is tilted and the suction nozzle 18 is brought into contact with the package and pressed by the spring 19, the taper 16a of the hollow shaft 16 causes the holder 1
5 is separated from the hole 15c of the intermediate plate 15a, and the surface of the suction nozzle 18 and the package surface of the IC 11 are brought into close contact with each other by the spherical slide bearing 17. That is, the inclination of the IC 11 is absorbed by the spring 19 and the slide bearing 17 to ensure vacuum suction.
【００２７】また、ＩＣ１１を吸着後、装置本体が上昇
し搬送する際には、吸引ノズル１８がバネ１９により下
方に押し戻され、穴部１５ｃに中空シャフト１６のテー
パ部１６ａが嵌め込まれ自動的に位置決めされる。その
ため、搬送等による位置ずれも無く、正確な吸着、切離
しができるものである。Further, when the apparatus main body is lifted and conveyed after adsorbing the IC 11, the suction nozzle 18 is pushed back downward by the spring 19, and the tapered portion 16a of the hollow shaft 16 is fitted into the hole 15c and automatically. Positioned. Therefore, accurate suction and separation can be performed without displacement due to transportation or the like.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、静電気を
除去する中和部材の被吸着物への噴射と、真空吸着を同
時に行うことにより、静電気の除去を効率的に行うこと
ができると共に、一体化することから小型化を図ること
ができる。As described above, according to the present invention, static electricity can be efficiently removed by simultaneously ejecting the neutralizing member for removing static electricity onto the object to be adsorbed and performing vacuum adsorption. At the same time, the size of the device can be reduced because it is integrated.
【図１】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図２】図１の動作を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of FIG.
【図３】図１の被吸着物が傾斜している場合を説明する
ための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a case where an object to be adsorbed in FIG. 1 is inclined.
【図４】従来の真空吸着装置の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional vacuum suction device.
１０ 真空吸着装置 １１ ＩＣ １２ マイクロエジェクタ １３ 第１の孔 １４ 第２の孔 １５ 保持体 １５ａ 中板 １５ｂ，１６ａ テーパ １５ｃ 穴部 １６ 中空シャフト １７ 滑り軸受け １８ 吸引ノズル ２０ バルブ ２０ａ フード 10 Vacuum Adsorption Device 11 IC 12 Micro Ejector 13 First Hole 14 Second Hole 15 Holder 15a Middle Plate 15b, 16a Taper 15c Hole 16 Hollow Shaft 17 Sliding Bearing 18 Suction Nozzle 20 Valve 20a Hood
Claims (3)
するための中和部材を吹き付けつつ、真空状態で該被吸
着物（１１）を吸着する真空吸着装置において、 供給された前記中和部材を噴射する第１の孔（１３）が
形成された噴射部（１２）と、 該第１の孔（１３）に連通された第２の孔（１４）を介
して連通する保持体（１５）に設けられた中空シャフト
（１６）の先端に設けられ、該中和部材を該被吸着物
（１１）に噴射し、又は該被吸着物（１１）を吸着する
吸引ノズル（１８）と、 前記噴射部（１２）を摺動し、該第１の孔（１３）を閉
塞した場合には該吸引ノズル（１８）より前記被吸着物
（１１）に該中和部材を噴射し、該第１の孔（１３）を
開放した場合には該吸引ノズル（１８）の周辺より該中
和部材を噴射して該吸引ノズル（１８）を負圧にするこ
とにより該被吸着物（１１）を真空吸着させる切換部
と、 を有することを特徴とする真空吸着装置。1. A vacuum adsorption device for adsorbing an object to be adsorbed (11) in a vacuum state while spraying a neutralizing member for neutralizing static electricity generated on the object to be adsorbed (11). A holding member that communicates with an injection part (12) having a first hole (13) for injecting a neutralizing member and a second hole (14) that communicates with the first hole (13). A suction nozzle (18) which is provided at the tip of a hollow shaft (16) provided in (15) and which injects the neutralizing member onto the object to be adsorbed (11) or adsorbs the object to be adsorbed (11). When the injection part (12) slides and the first hole (13) is closed, the suction nozzle (18) injects the neutralizing member onto the object to be adsorbed (11), When the first hole (13) is opened, the neutralizing member is jetted from the periphery of the suction nozzle (18) to suck the suction nozzle. A vacuum adsorption device comprising: a switching unit for vacuum-adsorbing the object to be adsorbed (11) by making the chewing (18) a negative pressure.
抗膜を形成することを特徴とする請求項１記載の真空吸
着装置。2. The vacuum suction device according to claim 1, wherein a high resistance film is formed on a surface of the suction nozzle (18).
（１６）とが該中空シャフト（１６）の軸方向に互いに
嵌合する形状（１５ｂ，１６ａ）に形成されると共に、
前記吸引ノズル（１８）を該軸方向及び該軸方向と垂直
な面上で回動させる可動機構（１７，１９）を設けるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の真空吸着装置。3. The holding body (15) and the hollow shaft (16) are formed in a shape (15b, 16a) that fits in the axial direction of the hollow shaft (16),
The vacuum suction device according to claim 1 or 2, wherein a movable mechanism (17, 19) for rotating the suction nozzle (18) in the axial direction and on a plane perpendicular to the axial direction is provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03332311A JP3087785B2 (en) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | Vacuum suction device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03332311A JP3087785B2 (en) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | Vacuum suction device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05162093A true JPH05162093A (en) | 1993-06-29 |
| JP3087785B2 JP3087785B2 (en) | 2000-09-11 |
Family
ID=18253548
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP03332311A Expired - Lifetime JP3087785B2 (en) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | Vacuum suction device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3087785B2 (en) |
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- 1991-12-16 JP JP03332311A patent/JP3087785B2/en not_active Expired - Lifetime
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